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Die
vorliegende Erfindung betrifft einen Mikroaktor und ein Verfahren
zum Herstellen eines Mikroaktors zum Bewegen eines Fluids und zur
Steuerung der Bewegung eines Fluids sowie ein Verfahren zum Bewegen
eines Fluids und zur Steuerung der Bewegung eines Fluids mit einem
Mikroaktor mit einer zumindest teilweise Wasser enthaltenden Aktorflüssigkeit.
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Mikroaktoren
der oben genannten Gattung sind im Stand der Technik als Mikroblasen-Aktoren bekannt,
bei welchen in der Aktorflüssigkeit
erzeugte Mikroblasen zur Erzeugung einer Aktorwirkung benutzt werden.
Solche Mikroblasen können
beispielsweise durch lokale Erhitzung der Aktorflüssigkeit
in Form thermischer Mikroblasen erzeugt werden. Jedoch ist die Erzeugung
thermischer Blasen mit dem Einsatz von hohen Temperaturen, beispielsweise >100°C für Wasser bei atmosphärischem
Druck, verbunden, welche für
biologische Anwendungen mit lebenden Zellen oder Proteinmolekülen meist
nicht zulässig
sind.
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Gemäß einem
anderen Aktorkonzept sind Blasen in einer Wasser enthaltenden Flüssigkeit
mittels einer Elektrolyse erzeugbar. Werden bei dieser Variante
Elektroden in die Aktorflüssigkeit
eingebracht und diese elektrisch angeschlossen, erfolgen an den
Elektroden folgende Reaktionen:
Anode (+): 2H2O → O2 + 4H+ + 4e–
Katode
(–): 2H2O + 2e– → H2 +
2OH–.
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Es
entstehen hierbei Sauerstoff- und Wasserstoff-Blasen, welche für Aktorikzwecke
benutzt werden können,
wobei für
die Blasenbildung mittels Elektrolyse weder eine hohe Temperatur
noch ein hoher Energieverbrauch nötig ist.
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Die
Druckschrift US 2005/0052502 A1 beschreibt einen Mikroaktor der
oben genannten Gattung, bei welchem thermisch erzeugte Blasen als
mikrofluidisches Aktorprinzip verwendet werden. Hierfür sind mehrere
Kammern in einer dicken Schicht aus Fotolack oberhalb mehrerer Heizelemente
vorgesehen. Die Kammern sind mit einer Membran abgedeckt. Durch
einen Einlass kann Flüssigkeit
mit einem geringen Siedepunkt in die Kammern geleitet werden. Wird
die Flüssigkeit
mit den Heizelementen erhitzt, bilden sich thermische Blasen, welche
die Membran nach oben bewegen bzw. das Volumen der Kammern erhöhen. Die
nach oben gedrückte
Membran wirkt wiederum auf ein mit dem mikrofluidischen Aktor mittelbar
oder unmittelbar in Verbindung stehendes zu bewegendes Fluid, wobei
das Fluid in Richtung eines Fluidausgangs gedrückt wird.
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Sowohl
die oben beschriebenen Grundprinzipien der Nutzung einer Erzeugung
von Gasblasen in Aktoren als auch der in der Druckschrift US 2005/0052502
A1 beschriebene mikrofluidische Aktor besitzen den Nachteil, dass
die zur Blasenbildung erforderlichen Flüssigkeiten nur schwer bzw.
gar nicht in den beschriebenen Aktoren integrierbar sind. Vielmehr
muss die Aktorflüssigkeit über entsprechende
Kanäle
nach Fertigstellung der Mikroaktoren in entsprechende Kammern eingebracht
werden, was gerade bei Mikroaktoren mit kleinen Kammerabmessungen
mit großen
Schwierigkeiten verbunden sein kann. Alternative Lösungsansätze, bei
denen das zu bewegende Fluid selbst als Aktorfluid dient, indem
in ihm Blasen mittels Elektrolyse oder thermisch erzeugt werden,
verändern
das zu bewegende Fluid und eignen sich daher insbesondere nicht
für analytische
Anwendungen.
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Es
ist daher die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen Mikroaktor,
ein Verfahren zum Bewegen eines Fluids mit einem Mikroaktor, ein
Verfahren zur Steuerung der Bewegung eines Fluids mit einem Mikroaktor
sowie ein Herstellungsverfahren für einen Mikroaktor zur Verfügung zu
stellen, mit welchen ein Aktorprinzip unter Erzeugung von Gasblasen
genutzt werden kann und auf einfache Weise die für die Umsetzung des Aktorprinzips
notwendigen Aktorkomponenten auf kleinem Raum integrierbar sind.
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Die
erfindungsgemäße Aufgabe
wird durch einen Mikroaktor der oben genannten Gattung gelöst, bei
welchem die Aktorflüssigkeit
in einem flüssigkeitsabsorbierenden
Material eingebracht ist.
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Mit
dem flüssigkeitsabsorbierenden
Material kann die Aktorflüssigkeit,
zumindest zeitweise, festgehalten werden und damit an einer geeigneten
Stelle des Mikroaktors positioniert und dort integriert werden,
wodurch ein Befüllen
des Mikroaktors mit der Aktorflüssigkeit
nach der Herstellung des Mikroaktors nicht nötig ist.
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Gemäß einer
bevorzugten Ausführungsform der
Erfindung ist das flüssigkeitsabsorbierende
Material ein Hydrogel. Hydrogele besitzen den Vorteil, dass sie
durch eingebaute hydrophile Polymerkomponenten in Wasser unter beträchtlicher
Volumenzunahme aufquellen und somit Wasser gut binden können. Zudem
kann man ein Hydrogel vorteilhaft in einer mikromechanischen Komponente
integrieren. Beispielsweise lässt
sich ein Hydrogel in einem mikromechanischen Prozess auf einen Chip
durch Rakeln in Kavitäten,
im Siebdruckverfahren oder photolithographisch auf einfache Weise
strukturiert aufbringen. Entsprechend ist es möglich, die für den Mikroaktor
notwendige Aktorflüssigkeit
in Form eines flüssigkeitsgetränkten Hydrogels
in dem erfindungsgemäßen Mikroaktor
vorzusehen.
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Gemäß einem
günstigen
Beispiel der Erfindung basiert das Hydrogel auf einem superabsorbierenden
Polymer. Superabsorbierende Polymere (SAP) sind in der Lage, ein
Vielfaches ihres Eigengewichts an Flüssigkeiten aufzusaugen. Damit
sind solche Superabsorber besonders gut geeignet, um für den erfindungsgemäßen Mikroaktor
eine große
Menge Aktorflüssigkeit
an einem davor vorgesehenen Bereich des Mikroaktors zu speichern
und für
das Wirkprinzip des Mikroaktors zur Verfügung zu stellen.
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Es
hat sich als besonders vorteilhaft erwiesen, wenn das superabsorbierende
Polymer Polyacrylsäure
umfasst. Beispielsweise kann ein Superabsorber eingesetzt werden,
der aus einem Copolymer aus Acrylsäure (Propensäure, C3H4O2)
und Natriumacrylat (Natriumsalz der Acrylsäure, NaC3H3O2) besteht, wobei
das Verhältnis
der beiden Monomere zueinander variieren kann. Zusätzlich kann
ein sogenannter Kernvernetzer (Core-Cross-Linker, CXL) der Monomerlösung zugesetzt
werden, der die gebildeten langkettigen Polymermoleküle stellenweise
untereinander durch chemi sche Brücken
verbindet. Durch diese Brücken
wird das Polymerwasser unlöslich.
Beim Eindringen von Wasser bzw. der Aktorflüssigkeit in die Polyacrylsäure quillt
diese auf und strafft auf molekularer Ebene das Netzwerk der Polymermoleküle, so dass
Wasser nicht mehr ohne Hilfe entweichen kann. Somit ist Polyacrylsäure besonders gut
geeignet, um die Aktorflüssigkeit
an einer bestimmten Stelle des Mikroaktors zu integrieren.
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Entsprechend
einer weiteren vorteilhaften Variante der Erfindung umfasst das
Hydrogel ein thermisch stimulierbares Hydrogel. Durch den Einsatz
eines thermisch stimulierbaren bzw. thermisch sensiblen Hydrogels
kann die Aktorflüssigkeit
bei geringen oder Normaltemperaturen vorteilhaft in dem Mikroaktor
gespeichert werden und bei erhöhten Temperaturen
aus dem Hydrogel freigesetzt werden oder umgekehrt. Entsprechend
einer speziellen Ausführungsform
der Erfindung kann die thermisch freigesetzte Aktorflüssigkeit
verwendet werden, um darin Blasen zu erzeugen, die die Aktorwirkung
ermöglichen.
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Entsprechend
einer ganz besonders vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung weist
der Mikroaktor eine mit dem Fluid unmittelbar oder über ein weiteres
Fluid, wie ein Gas oder eine Flüssigkeit,
mittelbar in Kontakt stehende bewegliche Membran auf. Diese Membran
kann benutzt werden, um die Wirkung der Aktorflüssigkeit oder einer darin stattfindenden
Blasenbildung über
die Membran auf das Fluid zu übertragen,
um das Fluid zu bewegen oder die Fluidbewegung zu steuern.
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Insbesondere
kann die Steuerung des Fluids im zumindest teilweisen Verschließen eines
Kanals bestehen. Auf diese Weise kann mit dem erfindungsgemäßen Mikroaktor
eine Ventil- und/oder eine Pumpenwirkung erzielt werden.
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Entsprechend
einem Ausführungsbeispiel der
Erfindung weist der Mikroaktor wenigstens eine bewegliche Ventilklappe
auf, zwischen welcher und der Membran (7) ein Pumpenraum
für das
Fluid ausgebildet ist. Diese Ausführung ist besonders geeignet,
um eine Membranpumpe auszubilden.
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Hierbei
hat es sich als besonders günstig
erwiesen, den Mikroaktor so auszubilden, dass der Mikroaktor eine
bei nicht gedehnter Membran in den Pumpenraum nach in nen öffnende
und bei gedehnter Membran einen Kanal schließende Ventilklappe, und eine
bei gedehnter Membran einen Kanal schließende und bei nicht gedehnter
Membran den Pumpenraum nach außen öffnende
Ventilklappe aufweist. Somit kann eine wirkungsvolle Membranpumpe
mit einem Einlass und einem Auslass für das Fluid bereitgestellt
werden, welche mit der gleichen Membran geöffnet bzw. geschlossen werden
können.
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Gemäß einer
bevorzugten Ausführungsform der
Erfindung ist die Aktorflüssigkeit
mit Elektroden elektrisch kontaktierbar. Auf diese Weise kann mit Hilfe
der Elektroden eine Elektrolyse in der Aktorflüssigkeit bewirkt werden. Bei
der Elektrolyse entstehen Sauerstoff- und Wasserstoffblasen, mit
welchen das von dem Mikroaktor zu bewegende Fluid direkt oder mittelbar
bewegt werden kann.
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Entsprechend
einem günstigen
Beispiel der Erfindung ist das Hydrogel mit einem Katalysator gekoppelt.
Der Katalysator kann dazu verwendet werden, bei dem elektrolytischen
Aktorikprinzip eine Rückwärtsreaktion
von Wasserstoff und Sauerstoff zu Wasser zu bewirken, das dann wieder
in dem flüssigkeitsabsorbierenden
Material des Mikroaktors speicherbar ist.
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Beispielsweise
können
als Katalysator Platin oder Palladium eingesetzt werden. Somit kann
ein Mikroaktor mit einer dynamischen Betriebsweise zur Verfügung gestellt
werden.
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Der
Katalysator kann dabei sowohl als Schicht als auch als im flüssigkeitsabsorbierenden Material
enthaltene Nano-, Mikro- oder Millimeter große Partikel ausgebildet sein.
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Gemäß einer
weiteren vorteilhaften Ausführungsform
der Erfindung weist der Mikroaktor wenigstens ein Heizelement auf.
Bei Verwendung dieser Aufbauvariante des Mikroaktors können in
der in dem flüssigkeitsabsorbierenden
Material eingebrachten Aktorflüssigkeit
oder einer aus dem flüssigkeitsabsorbierenden
Material freigesetzten Aktorflüssigkeit
thermische Blasen erzeugt werden, die zur Realisierung der Aktorfunktionalität eingesetzt
werden können.
Die Aktorfunktionalität
umfasst dabei sowohl die Bewegung eines zu bewegenden Fluids, als
auch die Steuerung der Bewegung eines Fluids beispielsweise durch
zumindest teilweises Verschließen
eines Kanals.
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Der
erfindungsgemäße Mikroaktor
kann vorteilhaft als Mikroaktor in einem Lab-on-Chip-System oder einem Point-of-Care-Diagnostik-System
integriert werden. Auf diese Weise können integrierte bioanalytische
Systeme, beispielsweise Systeme zur Untersuchung von flüssigen Proben,
preiswert, mit hoher Effizienz und hoher Wirksamkeit zur Verfügung gestellt
werden.
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Die
Aufgabe der Erfindung wird ferner durch ein Verfahren zum Bewegen
eines Fluids mit einem Mikroaktor mit einer zumindest teilweise
Wasser enthaltenden Aktorflüssigkeit
gelöst,
bei welchem die Aktorflüssigkeit
in einem flüssigkeitsabsorbierenden Material
gespeichert wird. Hiermit kann die Aktorflüssigkeit an einer bestimmten
Stelle des Mikroaktors festgehalten und im Bedarfsfall zur Verfügung gestellt
werden, so dass der entsprechende Mikroaktor mit einer darin integrierten
Aktorflüssigkeit
bereitgestellt werden kann. Entsprechend entfällt bei dem erfindungsgemäßen Verfahren
das aus dem Stand der Technik bekannte aufwändige Befüllen des Mikroaktors mit Aktorflüssigkeit
beziehungsweise die Notwendigkeit zur Nutzung der zu bewegenden
Flüssigkeit
selbst für
das Aktorprinzip. Stattdessen kann der Mikroaktor sofort für den jeweiligen
Anwendungsfall eingesetzt werden und verändert nicht die zu bewegende
Flüssigkeit
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Es
hat sich als besonders günstig
erwiesen, die Aktorflüssigkeit
in einem Hydrogel zu speichern. Hydrogele sind nicht nur in der
Lage, Flüssigkeiten gut
zu speichern, sondern geben diese im Bedarfsfall auch auf einfache
Weise frei und sind zudem auf einfache Weise mittels herkömmlicher
Verfahren auf oder in einem Chip integrierbar.
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Entsprechend
einer bevorzugten Variante der Erfindung wird in der Aktorflüssigkeit
mittels Elektrolyse wenigstens ein Gas erzeugt, mit welchem das Fluid
direkt oder mittelbar bewegt wird. Durch eine in der Wasser enthaltenden
Aktorflüssigkeit
durchgeführten
Elektrolyse entstehen Wasserstoff- und Sauerstoffblasen, die direkt
oder mittelbar auf das Fluid zu dessen Bewegung eingesetzt werden
können.
Die Aktorwirkung kann auf einfache Weise durch Unterbrechen der
Elektrolyse mittels Abschalten einer Stromversorgung beendet werden.
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Gemäß einer
weiteren Variante der Erfindung wirkt das bei der Elektrolyse erzeugte
Gas auf eine Membran des Mikroaktors. Die Membran dient dabei entweder
zur unmittelbaren oder mittelbaren Bewegung des Fluids oder zur
Steuerung der Bewegung eines Fluids z.B. durch zumindest teilweises Verschließen eines
Kanals. Auf diese Weise kann die bei der Elektrolyse entstehende
Gasbildung und eine daraus resultierende Volumenvergrößerung eines das
Gas aufnehmenden Raumes in Verbindung mit einer Membran verwendet
werden, um die Membran auszudehnen, so dass diese auf das Fluid
wirkt. Somit kann eine direkte Wechselwirkung zwischen dem bei der
Elektrolyse erzeugten Gas und dem zu bewegenden Fluid vermieden
werden.
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Es
ist ganz besonders von Vorteil, wenn mit einem Katalysator eine
Rückwärtsreaktion
der bei der Elektrolyse entstehenden Gase zu Wasser bewirkt wird.
Somit kann ein kontinuierlich arbeitendes Verfahren zum Bewegen
des Fluids oder zur Kontrolle der Bewegung eines Fluids mit dem
Mikroaktor zur Verfügung
gestellt werden. Dies ermöglicht
zum Beispiel sowohl eine Vorwärts-
als auch eine Rückwärtsbewegung
des zu bewegenden Fluids, sowie zum Beispiel auch sowohl ein Öffnen- als
auch Schließen eines
Ventils.
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Entsprechend
einer möglichen
Variante der Erfindung wird das flüssigkeitsabsorbierende Material
thermisch stimuliert. Somit kann beispielsweise die in dem flüssigkeitsabsorbierenden
Material gespeicherte Aktorflüssigkeit
von dem flüssigkeitsabsorbierenden
Material freigesetzt und/oder zur thermischen Blasenbildung angeregt
werden. Die Blasenbildung mittels thermischer Hilfsmittel kann sowohl
allein als auch in Kombination mit einer mittels Elektrolyse erzeugten
Gasblasenbildung zum Bewegen des Fluids mit dem Mikroaktor eingesetzt
werden.
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Die
erfindungsgemäße Aufgabe
wird weiterhin durch ein Verfahren zum Herstellen eines Mikroaktors,
mit einer Aktorflüssigkeit
gelöst,
bei welchem die Aktorflüssigkeit
in einem flüssigkeitsabsorbierenden
Material eingebracht wird und das flüssigkeitsabsorbierende Material
in den Mikroaktor integriert wird. Somit kann der Mikroaktor mit
einem darin bzw. darauf integrierten, die Aktorflüssigkeit
bereits enthaltenden Material hergestellt werden.
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Vorteilhafterweise
wird das flüssigkeitsabsorbierende
Material in einem Siebdruckverfahren, einem Rakelverfahren oder
photochemisch/photolithographisch auf einen Chip strukturiert oder
unstrukturiert aufgebracht. Diese Verfahren sind in der Mikrotechnik
verfügbare
und häufig
eingesetzte Verfahren, mit welchen das flüssigkeitsabsorbierende Material
effizient und mit hoher Genauigkeit auf einen Chip aufgebracht werden
kann. Entsprechend können
mikrotechnische Chips, die das erfindungsgemäße Mikroaktorprinzip nutzen,
auf einfache Weise in hoher Stückzahl
gefertigt werden.
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Das
Substrat, auf dem das flüssigkeitsabsorbierende
Material aufgebracht wird, kann aus einem beliebigen Material sein.
Vorzugsweise wird jedoch Silizium, Glas, Keramik, Metall oder Kunststoff
als Substratmaterial dienen.
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In
einer besonders vorteilhaften Ausführung des Verfahrens zur Herstellung
des Mikroaktors wird das flüssigkeitsabsorbierende
Material in zuvor hergestellte strukturierte Vertiefungen in einem
strukturierbaren Substrat gerakelt. Unter Rakeln versteht man im
Folgenden das Aufbringen oder Einbringen des flüssigkeitsabsorbierenden Materials
auf oder in eine Kavität
in dem Substrat mit einer Rakel, welche wenigstens eine glatte Kante
besitzt, welche über das
Substrat bewegt wird. Auf diese Weise kann das flüssigkeitsabsorbierende
Material so aufgebracht werden, dass seine Oberfläche ungefähr mit der
Substratoberfläche
eine Ebene bildet.
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Mögliche Ausführungsvarianten,
deren Wirkungsweise sowie Vorteile der vorliegenden Erfindung werden
im Folgenden anhand der Figuren der Zeichnung beschrieben. Dabei
zeigen:
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1 eine
schematische Darstellung eines Mikroaktors gemäß einer ersten Ausführungsform der
vorliegenden Erfindung;
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2 eine
schematische Darstellung eines Mikroaktors gemäß einer zweiten Ausführungsform der
vorliegenden Erfindung;
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3 eine
schematische Darstellung eines Mikroaktors gemäß einer dritten Ausführungsform der
vorliegenden Erfindung;
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4 eine
schematische Darstellung eines Mikroaktors gemäß einer vierten Ausführungsform der
vorliegenden Erfindung;
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5 bis 8 eine
schematische Darstellung eines erfindungsgemäßen Verfahrens zum Herstellen
eines Mikroaktors gemäß einer
fünften
Ausführungsform
der Erfindung;
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9 eine
schematische Darstellung eines Verfahrens zum Bewegen eines Fluids
mit einem Mikroaktor gemäß einer
sechsten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung;
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10 eine
schematische Darstellung eines Verfahrens zum Bewegen eines Fluids
mit einem Mikroaktor gemäß einer
siebenten Ausführungsform der
vorliegenden Erfindung;
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11 eine
schematische Darstellung eines Verfahrens zum Bewegen eines Fluids
mit einem Mikroaktor gemäß einer
achten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung;
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12 bis 14 eine
schematische Darstellung eines Verfahrens zum Bewegen eines Fluids mit
einem Mikroaktor gemäß einer
neunten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung;
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15 bis 21 eine
schematische Darstellung eines erfindungsgemäßen Verfahrens zum Herstellen
eines Mikroaktors mittels Rakeln in Kavitäten gemäß einer zehnten und einer elften
Ausführungsform
der Erfindung;
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22 und 23 schematische
Darstellungen des Aufbaus und der Funktionsweise eines Mikroaktors
zur Beeinflussung der Bewegung eines Fluids in Form eines Ventils
gemäß einer
zwölften Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung;
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24 und 25 schematische
Darstellungen des Aufbaus und der Funktionsweise eines Mikroaktors
zur Beeinflussung der Bewegung eines Fluids in Form eines Ventils
gemäß einer
dreizehnten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung;
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26 und 27 schematische
Darstellungen des Aufbaus und der Funktionsweise eines als Membranpumpe
verwendbaren Mikroaktors gemäß einer
vierzehnten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung; und
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28 und 29 schematische
Darstellungen des Aufbaus und der Funktionsweise einer Anordnung
mehrerer erfindungsgemäßer Mikroaktoren
zur Realisierung einer peristaltischen Pumpe gemäß einer fünfzehnten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung.
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1 zeigt
eine schematische Darstellung einer ersten möglichen Ausführungsvariante
eines erfindungsgemäßen Mikroaktors 1.
Der Mikroaktor 1 weist ein Substrat 14 auf, das
im gezeigten Ausführungsbeispiel
aus Glas besteht. In anderen, nicht gezeigten Ausführungsbeispielen
der Erfindung kann das Substrat 14 auch aus einem anderen
geeigneten Trägermaterial,
wie Silizium, Keramik oder Kunststoff wie z.B. PMMA, Polycarbonat,
Polypropylen, Polyethylen, einem Cycloolefin-Copolymer, einem Ormocer,
bestehen.
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Auf
dem Substrat 14 sind zwei Elektroden 4, 5 aufgebracht,
welche eine Aktorflüssigkeit 3 kontaktieren,
die in ein flüssigkeitsabsorbierendes
Material eingebracht ist. In dem in 1 gezeigten
Beispiel bestehen die Elektroden 4, 5 aus Gold,
können
jedoch in anderen, nicht gezeigten Ausführungsformen der Erfindung
z.B. auch aus Aluminium, Platin, Nickel, Kupfer oder einem anderen
Metall sowie auch z.B. aus einem leitfähigen Polymer bestehen. Die Elektroden 4, 5 besitzen
typischerweise eine Schichtdicke von etwa 100nm bis zu einigen Mikrometern.
In einer hier nicht gezeigten Ausführungsform kann sich unter
den Elektroden auch noch eine Isolations- und/oder Haftvermittlerschicht befinden.
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Die
Aktorflüssigkeit 3 ist
eine Wasser enthaltende Flüssigkeit.
Das fllüssigkeitsabsorbierende Material
ist in dem in 1 gezeigten Beispiel ein Hydrogel 6 und
kann in anderen Ausführungsformen der
Erfindung auch ein anderes, zur Flüssigkeitsaufnahme und -speicherung
geeignetes Material sein.
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Das
Hydrogel 6 ist in dem in 1 gezeigten Beispiel
ein superabsorbierendes Polymer, welches Polyacrylsäure aufweist.
In anderen, nicht gezeigten Beispielen der Erfindung kann das Hydrogel 6 auch ein
thermisch stimulierbares Hydrogel aufweisen, welches ab einer bestimmten
Temperatur beginnt, das in ihm gespeicherte Wasser abzugeben oder
aufzunehmen.
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Das
Hydrogel 6 ist so auf den Elektroden 4, 5 aufgebracht,
dass zumindest Endbereiche der Elektroden 4, 5 von
dem Wasser enthaltenden Hydrogel 6 mit diesen in Kontakt
sind. Typischerweise besitzt das Hydrogel 6 eine Dicke
zwischen einigen Mikrometern bis zu einigen Millimetern und eine
Ausdehnung zwischen (10 × 10) μm2 bis zu (20 × 20) mm2.
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Auf
dem Substrat 14 mit den Elektroden 4, 5 und
dem Hydrogel 6 mit der Aktorflüssigkeit 3 ist eine Mikrostruktur 15 aufgebracht,
die wenigstens einen Kanal 16 für das von dem Mikroaktor 1 zu
bewegende Fluid 2 aufweist.
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Wird
in der Aktorflüssigkeit 3 eine
Elektrolyse erzeugt, bilden sich Sauerstoff- und Wasserstoff-Gasblasen 10, 11,
welche einen Raum 17 zwischen dem Hydrogel 6 und
dem zu bewegenden Fluid 2 einnehmen und somit das Fluid 2 entsprechend der
mit dem Pfeil A gezeigten Richtung von dem Hydrogel 6 wegdrücken.
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2 zeigt
auf schematische Weise das Grundprinzip einer zweiten möglichen
Ausführungsvariante
eines erfindungsgemäßen Mikroaktors 101.
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Der
Mikroaktor 101 weist wie der Mikroaktor 1 ein
Substrat 14 und darauf angeordnete Elektroden 4, 5 auf,
zwischen welchen ein eine Aktorflüssigkeit 3 enthaltendes
flüssigkeitsabsorbierendes
Material in Form eines Hydrogels 6 vorgesehen ist. Bezüglich der
Eigenschaften und Anordnung dieser Komponenten des Mikroaktors 101 wird
auf die obigen Ausführungen
zu diesen Komponenten im Zusammenhang mit dem Mikroaktor 1 verwiesen.
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Auf
dem Substrat 14 mit den Elektroden 4, 5 und
dem die Aktorflüssigkeit 3 enthaltenden
Hydrogel 6 ist eine Mikrostruktur 18 vorgesehen.
Diese Mikrostruktur 18 weist eine Membran 7 auf,
die in dem in 2 gezeigten Beispiel oberhalb
des Hydrogels 6 vorgesehen ist. Zwischen dem Hydrogel 6 und
der Membran 7 ist ein Freiraum 19 vorgesehen,
in welchen Gas 10, 11, das aus der Aktorflüssigkeit 3 während einer
Elektrolyse austritt, eintreten kann.
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Die
Membran 7 besteht in dem gezeigten Beispiel aus Polydimethylsiloxan
(PDMS) und kann durch die bei der Elektrolyse entstehenden Gasblasen 10, 11 in
die mit dem Pfeil B angedeutete Richtung gedehnt werden. In einem
hier nicht dargestellten Ausführungsbeispiel
kann die Membran auch aus einem anderen Silikon, aus Parylen, aus
einem mittels Plasmapolymerisation über dem flüssigkeitsabsorbierenden Material
abgeschiedenen Polymer oder einem anderen Material mit für die Aktorfunktionalität ausreichender
Elastizität
bestehen.
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Oberhalb
der Membran 7 ist in der Mikrostruktur 18 ein
Kanal 20 für
das von dem Mikroaktor 101 zu bewegende Fluid 2 vorgesehen.
Bewegt sich die Membran 7 durch die bei der Elektrolyse
der Aktorflüssigkeit 3 aus
dem Hydrogel 6 austretenden Gasblasen 10, 11,
wie durch den Pfeil B gezeigt, in Richtung des Fluids 2 in
dem Kanal 20, wird das Fluid 2 entsprechend der
mit dem Pfeil C angedeuteten Bewegungsrichtung weggedrängt.
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Wird
in den in 1 und 2 gezeigten Vorrichtungen
die Elektrolyse durch Unterbrechen der Stromversorgung der Elektroden 4, 5 beendet,
so stoppt die Erzeugung von Gasblasen 10, 11.
Dabei bleibt jedoch das bereits erzeugte Gas 10, 11 in
den Kanälen 16, 20 größtenteils
erhalten. Damit bleibt das Fluid 2 an der bis dahin erreichten
Position stehen.
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Wird
in den Mikroaktoren 1, 101 ein Katalysator 8 in
oder an dem die Aktorflüssigkeit 3 enthaltenden
Hydrogel 6 vorgesehen, kann eine Rückwärtsreaktion von Wasserstoff 10 und
Sauerstoff 11 zu Wasser ermöglicht werden, das dann wiederum
in dem Hydrogel 6 gebunden werden kann. Ein solcher Katalysator 8 kann
beispielsweise aus Platin oder Palladium bestehen. Beispielsweise
können
die Elektroden 4, 5 als Katalysator 8 verwendet
werden und aus Platin oder Palladium hergestellt werden.
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3 zeigt
schematisch den Aufbau einer dritten möglichen Variante eines erfindungsgemäßen Mikroaktors 102.
In dem Mikroaktor 102 ist auf dem Substrat 14 wenigstens
ein Heizelement 9 in Form einer Heizelektrode vorgesehen,
auf welcher das die Aktorflüssigkeit
enthaltende Hydrogel 6 vorgesehen ist. Wird das Heizelement 9 geheizt,
wird das Hydrogel 6 thermisch aktiviert, wobei in der Aktorflüssigkeit 3 thermische
Blasen entstehen. Das aus der Aktorflüssigkeit 3 in Form
von Blasen entweichende Gas 10, 11 wird dann verwendet,
um das in dem Kanal 16 enthaltene Fluid 2 zu verdrängen.
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4 zeigt
schematisch ein viertes Ausführungsbeispiel
eines erfindungsgemäßen Mikroaktors 103.
Der Mikroaktor 103 ist eine Kombination aus den in 1 und 3 gezeigten
Ausführungsbeispielen.
Der Mikroaktor 103 weist sowohl die in der Ausführungsform
von 1 dargestellten Elektroden 4, 5 als
auch das in der Ausführungsform
von 3 enthaltene Heizelement 9 auf. Somit
kann das in dem Hydrogel 6 enthaltene Wasser sowohl thermisch
als auch durch Elektrolyse zur Blasenbildung angeregt werden, womit
das Fluid 2 aus dem Kanal 16 gedrängt werden
kann.
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Die
in den 3 und 4 dargestellten Ausführungsvarianten
sind auch mit der in 2 dargestellten Mikrostruktur 18 mit
der Membran 7 herstellbar.
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Die 5 bis 8 zeigen
schematisch Schritte eines exemplarischen Technologieablaufs zur
Herstellung des in 1 gezeigten Mikroaktors 1 gemäß einer
fünften
Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung.
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Wie
in 5 gezeigt, wird zunächst das Substrat 14 bereitgestellt.
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Entsprechend 6 werden
auf das Substrat 14 beispielsweise mittel Sputtern, Bedampfen oder
Galvanisieren die Elektroden 4 und 5 aufgebracht.
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Im
Hinblick auf 7 wird zwischen die Elektroden 4, 5 das
die Aktorflüssigkeit 3 enthaltende
Hydrogel 6 beispielsweise in einem Siebdruckverfahren oder
Rakelverfahren aufgebracht.
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Nachfolgend
wird, wie in 8 gezeigt, eine Mikrostruktur 15 auf
die in 7 gezeigte Struktur aufgebracht. Die Mikrostruktur 15 ist
eine vorgefertigte mikrostrukturierte Struktur, zwischen welcher
und der in 7 gezeigten Struktur der Kanal 16 für das Fluid 2 ausgebildet
wird.
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Anstatt
der Mikrostruktur 15 kann die in 7 gezeigte
Struktur auch mit einer Mikrostruktur 18 entsprechend 2 zusammengefügt werden, wobei
die Mikrostruktur 18 zusätzlich zu der Mikrostruktur 15 die
bewegliche Membran 7 aufweist, die durch aus der Aktorflüssigkeit 3 erzeugbare
Gase 10, 11 beeinflussbar ist.
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Gemäß einer
weiteren, nicht gezeigten Herstellungsvariante der Erfindung kann
anstelle der Elektroden 4, 5 wenigstens ein Heizelement 9,
wie in 3 gezeigt, vorgesehen werden. Mit dem Heizelement 9 kann
die in dem Hydrogel 6 enthaltene Aktorflüssigkeit 3 thermisch
aktiviert werden, so dass sich thermische Blasen bilden, mit welchen
das in dem Kanal 16 enthaltene Fluid 2 weggedrückt werden kann.
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Entsprechend
einer weiteren, nicht gezeigten Herstellungsvariante kann wenigstens
ein Heizelement 9 in Kombination mit den Elektroden 4, 5,
wie in 4 gezeigt, in einem Mikroaktor 103 integriert werden,
wobei das Hydrogel 6 ein thermisch stimulierbares bzw.
thermisch sensibles Hydrogel ist. Durch eine thermische Aktivierung
des thermisch stimulierbaren Hydrogels 6 mittels des Heizelementes 9 kann
die Aktorflüssigkeit 3 bzw.
das in ihr enthaltene Wasser wenigstens teilweise aus dem Hydrogel 6 in
einen dem Hydrogel 6 vorgelagerten Raum 17 austreten,
wo es dann entweder thermisch oder mittels der Elektroden 4, 5 zur
Blasenbildung angeregt werden kann.
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Dabei
ist es auch möglich,
dass ein thermisch stimulierbares Hydrogel 6 verwendet
wird, welches nur bei niedrigen Temperaturen die Aktorflüssigkeit 3 freigibt
und bei höheren
Temperaturen die Aktorflüssigkeit 3 speichert,
so dass bei geringeren Tem peraturen die Aktorflüssigkeit durch die Elektroden 4, 5 mittels
Elektrolyse zur Blasenbildung angeregt wird und bei höheren Temperaturen
eine Blasenbildung unterbleibt.
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9 zeigt
schematisch ein Verfahren zum Bewegen des Fluids 2 mit
dem Mikroaktor 1, der in anderen Ausführungsformen auch der Mikroaktor 101, 102 oder 103 sein
kann, gemäß einer
sechsten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung.
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Der
Mikroaktor 1 wird verwendet, um das Fluid 2, das
sich in dem Kanal 22 befindet, in dem hier gezeigten Beispiel
gemäß der mit
dem Pfeil D angedeuteten Bewegungsrichtung nach oben zu bewegen.
Eine Bewegung des Fluids 2 in dem gezeigten Beispiel nach
unten ist durch das Vorsehen eines Ventils 23 abgeschnitten.
Ein Rückfluss
des Fluids 2 zu dem Mikroaktor 1 ist in dem in 9 gezeigten Beispiel
nicht möglich,
da der Kanal 21, welcher sich ausgehend von dem Mikroaktor 1 zum
Kanal 22 erstreckt, hydrophob ist, so dass das zu bewegende Fluid 2 hier
nicht eindringen kann. Entsprechend kann eine Gasblasenausbildung
in dem Mikroaktor 1 dazu genutzt werden, mit Hilfe des
entstehenden Gases das Fluid 2 in dem Kanal 22 nach
oben zu bewegen.
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10 zeigt
eine weitere mögliche
Ausführungsvariante
des erfindungsgemäßen Verfahrens zum
Bewegen des Fluids 2 unter Nutzung des Mikroaktors 1,
der hier ebenfalls auch durch den Mikroaktor 101, 102 oder 103 ersetzt
werden kann, gemäß einer
siebenten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung.
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Nach
der in 10 dargestellten Ausführungsvariante
soll hier das Fluid 2 durch die von dem Mikroaktor 1 zur
Verfügung
gestellte Aktorwirkung nur bis zu einer bestimmten Position transportiert werden.
An dem Kanal 22 ist, in der 10 zur
Veranschaulichung links dargestellt, ein Kanal 24 vorgesehen,
aus dem Gas 10, 11 entweichen kann. Der Kanal 24 ist
in dem dargestellten Beispiel wie auch der Kanal 21 hydrophob,
so dass das Fluid 2 weder in den Kanal 24 noch
in den Kanal 21 eindringen kann. Tritt in dem Mikroaktor 1 eine
Gasblasenerzeugung ein, wird das entstehende Gas 10, 11 durch
den Kanal 21 in die durch den Pfeil E angedeutete Bewegungsrichtung
geleitet, wo das Gas schließlich
auf das Fluid 2 trifft und dieses nach oben drückt. In
dem dargestellten Beispiel kann das Fluid 2 bis maximal zu
der durch den Kanal 24 vorgegebenen Endposition gedrückt werden,
da durch den Kanal 24 das Gas entweichen kann.
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11 zeigt
eine nächste
Ausführungsvariante
des erfindungsgemäßen Verfahrens
zum Bewegen des Fluids 2 unter Nutzung des Mikroaktors 1, der
in anderen Ausführungsformen
auch durch den Mikroaktor 101, 102 oder 103 ersetzt
werden kann, gemäß einer
achten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung.
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In 11 ist
direkt im Anschluss an eine Ausgangsöffnung des Mikroaktors 1 ein
Reservoir 25 vorgesehen, das mit dem Fluid 2 gefüllt ist.
Durch Wirkung des Mikroaktors 1 kann in der durch den Pfeil
F vorgegebenen Bewegungsrichtung das Reservoir 25 entleert
werden.
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Die 12 bis 14 zeigen
eine weitere Ausführungsform
des erfindungsgemäßen Verfahrens
zum Bewegen des Fluids 2 durch den Mikroaktor 1,
der in anderen Ausführungsformen
der Erfindung auch durch den Mikroaktor 101, 102 oder 103 ersetzt
werden kann, gemäß einer
neunten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung.
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Wie
in 12 schematisch gezeigt, befindet sich in dem Kanal 22 das
Fluid 2, das durch einen Einlass 26 in den Kanal 22 gebracht
wurde. Zwischen dem Mikroaktor 1 und dem Kanal 22 ist
ein hydrophober Druckkanal 21 vorgesehen, durch welchen
Gas, das in dem Mikroaktor 1 erzeugt wird, in Richtung
des Kanals 22 fließt.
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Die
Bewegung des Fluids 2 in dem Kanal 22 wird nach
oben durch einen hydrophoben Bereich 27 begrenzt. Der hydrophobe
Bereich 27 in dem Kanal 22 dient damit als Stopp
für eine
kapillare Befüllung des
Kanals 22.
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Wie
in 13 gezeigt, wird in einem weiteren Schritt ein
Ventil 23 oberhalb des Einlasses 26 in dem Kanal 22 geschlossen.
Hierdurch kann sich in dem Kanal 22 unterhalb des Fluids 2 ein
Druck durch das aus dem Kanal 21 hinzugeführte Gas 10, 11 aufbauen.
Anstelle des Ventils 23 kann der Einlass 26 auch
mittels eines Deckels, durch Quellen eines Hydrogels, durch Ausdehnen
einer elastischen Matrix, die ausdehnbare Mikrosphären enthält, oder
andere Verschlussmechanismen verschlossen werden.
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14 zeigt
schematisch einen nächsten Schritt
zum Ausführen
des erfindungsgemäßen Verfahrens
zum Bewegen des Fluids 2 mit dem Mikroaktor 1.
Wie in 14 gezeigt, wird der durch den
Mikroaktor 1 aufgebaute Druck dazu verwendet, das Fluid 2 über den
hydrophoben Stopp 27 hinaus weiter zu bewegen. Im weiteren
Verlauf des Kanals 22 sind an diesem Kanal 22 Sensorflächen 28, 29, 30, 31 vorgesehen, über welche
das Fluid 2 durch den aufgebauten Druck gedrückt wird.
Somit ist es möglich, das
Fluids 2 biologischen, chemischen oder physikalischen Analysen
and den Sensorflächen 28, 29, 30, 31 zu
unterziehen.
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15 bis 21 zeigen
anhand schematischer Darstellungen das Grundprinzip eines erfindungsgemäßen Verfahrens
gemäß einer
zehnten und einer elften Ausführungsform
der Erfindung zum Herstellen eines Mikroaktors 104 bzw.
eines in den 22 und 23 dargestellten
Mikroaktors 105. Da einige der in dieser Verfahrensvariante
verwendeten Schritte und Materialien mit Schritten und Materialien
des oben im Hinblick auf das in den 5 bis 8 beschriebenen
Verfahrens gleich sind, werden im folgenden gleiche Bezugszeichen
verwendet, um gleiche Merkmale zu bezeichnen.
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Wie
in 15 gezeigt, wird zunächst das Substrat 14 bereitgestellt.
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Entsprechend 16 wird
in das Substrat 14, beispielsweise mittels Heißprägen, mindestens eine
Vertiefung 32 eingebracht.
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Gemäß einer
weiteren, hier nicht gezeigten Herstellungsvariante kann das Substrat 14 auch
bereits strukturiert bereitgestellt werden, wie dies z.B. im Spritzguss-
oder Reaktionsguss-Verfahren möglich
ist.
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Entsprechend 17 werden
auf das Substrat 14 beispielsweise mittels Sputtern, Bedampfen oder
Galvanisieren die Elektroden 4 und 5 aufgebracht.
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In
dem in 18 dargestellten Verfahrensschritt
wird in die Vertiefung 32 zwischen die Elektroden 4, 5 das
die Aktorflüssigkeit 3 enthaltende
Hydrogel 6 beispielsweise in einem Siebdruckverfahren oder
einem Rakelverfahren aufgebracht.
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Nachfolgend
wird gemäß der zehnten
Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung, wie in 19 gezeigt,
eine Mikrostruktur 15 auf die in 18 gezeigte
Struktur aufgebracht, um den Mikroaktor 104 auszubilden.
Die Mikrostruktur 15 ist eine vorgefertigte mikrostrukturierte
Struktur, zwischen welcher und der in 18 gezeigten
Struktur der Kanal 16 für
das Fluid 2 ausgebildet wird.
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Anstelle
der in 19 dargestellten Vorgehensweise
kann gemäß der elften
Ausführungsform der
vorliegenden Erfindung auf die in 18 gezeigte
Struktur zunächst,
wie in 20 gezeigt, die Membran 7 aufgebracht
werden. Nachfolgend wird, wie in 21 gezeigt,
die in 18 gezeigte Struktur mit der
Mikrostruktur 15 entsprechend zusammengefügt. Grundsätzlich ist
es auch möglich,
dass eine Mikrostruktur mit der Membran 7 vorgefertigt
wird und diese dann mit der in 18 gezeigten
Struktur zusammengefügt
wird.
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In
dem im Hinblick auf die 15 bis 21 beschriebenen
Technologieablauf kann anstelle der oder zusätzlich zu den Elektroden 4, 5 wenigstens ein
Heizelement 9, wie in 3 oder 4 gezeigt, vorgesehen
werden, um die in Bezug auf die 3 und 4 erläuterten
Eigenschaften für
den Mikroaktor 104 oder 105 zu erzielen.
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22 und 23 zeigen
schematische Darstellungen des Aufbaus und der Funktionsweise einer
Ausführungsvariante
des in 21 dargestellten Mikroaktors 105 zur
Beeinflussung der Bewegung eines Fluids 2 in Form eines
Ventils gemäß einer
zwölften
Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung
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In
dem in 22 dargestellten Mikroaktor 105 sind
in der Mikrostruktur 15 für den das Fluid 2 enthaltenden
Kanal 16 ein Einlasskanal 33 und ein Auslasskanal 34 für das Fluid 2 vorgesehen.
Der Einlasskanal 33 befindet sich oberhalb der in dem Sunstrat 14 vorgesehenen
Vertiefung 32 mit dem Hydrogel 6 und der darüber angeodneten
dehnbaren Membran 7. Wie in 22 gezeigt,
kann das Fluid 2 durch den Einlasskanal 33 in
den Mikroaktor 105 eingebracht werden, darin durch den
Kanal 16 strömen und
durch den Auslasskanal 34 wieder aus dem Mikroaktor 105 austreten.
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Bewegt
sich die Membran 7 durch die bei einer Elektrolyse oder
durch thermische Anregung der Aktorflüssigkeit 3 aus dem
Hydrogel 6 austretenden Gasblasen 10, 11, wie
durch den Pfeil B gezeigt, in Richtung des Einlasskanals 33,
bis es diesen verschließt,
wird das Fluid 2 daran gehindert, durch den Kanal 16 zu
strömen.
Wird die Gasblasenausbildung 10, 11 unterbrochen,
bleibt zunächst
der Einlasskanal verschlossen. Durch eine in dem Hydrogel 6,
beispielsweise mittels eines oben beschriebenen Katalysators 8 auslösbare Rückwärtsreaktion
der Gasblasen zu Wasser, kann die Membran wieder in Richtung ihrer
ursprünglichen,
in 22 gezeigten Position zurückbewegt werden, wodurch der
Einlasskanal 33 wieder geöffnet werden kann.
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Wird
der Auslasskanal 34 oberhalb der Vertiefung 32 mit
dem Hydrogel 6 und der darüber befindlichen dehnbaren
Membran 7 angeordnet, kann das beschriebene Ventilprinzip
ebenso verwendet werden, um den Auslasskanal 34 zu schließen oder zu öffnen.
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24 und 25 zeigen
schematische Darstellungen des Aufbaus und der Funktionsweise eines
Mikroaktors 106 in Form eines Ventils gemäß einer
dreizehnten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung zur Beeinflussung der Bewegung eines Fluids 2.
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Der
Mikroaktor 106 weist einen Einlasskanal 35 für das Fluid 2 durch
das Substrat 14 und einen Auslasskanal 36 für das Fluid 2 in
der Mikrostruktur 15 oberhalb einer durch eine Aktivierung
eines darunter befindlichen, eine Aktorflüssigkeit 3 enthaltenden
Hydrogels 6 dehnbaren Membran 7 auf. Wie in 24 gezeigt,
kann das Fluid 2 durch den Einlasskanal 35 in
den Mikroaktor 106 eingebracht werden, darin durch den
Kanal 16 strömen
und durch den Auslasskanal 36 wieder aus dem Mikroaktor 106 austreten.
Bewegt sich die Membran 7 durch die bei einer Elektrolyse
oder thermischen Anregung der Aktorflüssigkeit 3 aus dem
Hydrogel 6 austretenden Gasblasen 10, 11,
wie durch den Pfeil B in 25 gezeigt,
in Richtung des Auslasskanals 36, bis es diesen verschließt, wird
das Fluid 2 daran gehindert, durch den Kanal 16 zu
strömen.
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26 und 27 beinhalten
schematische Darstellungen des Aufbaus und der Funktionsweise eines
als Membranpumpe verwendbaren Mikroaktors 107 gemäß einer
vierzehnten Ausführungsform der
vorliegenden Erfindung.
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Der
Mikroaktor 107 ist aus einem Substrat 14, darauf
aufgebrachten Elektroden 4, 5, einem zwischen
und oberhalb der Elektroden 4, 5 aufgebrachten,
die Aktorflüssigkeit 3 enthaltenden
Hydrogel 6, einer darüber
vorgesehenen Membran 7 und einer mit dieser Struktur zusammengefügten Mikrostruktur 37 aufgebaut.
Die Mikrostruktur 37 weist ein oberhalb des dehnbaren Bereiches
der Membran 7 angeordnetes Ventilelement 38 auf.
Das Ventilelement 38 besteht in dem gezeigten Beispiel
aus einem etwa mittig über
dem dehnbaren Bereich der Membran 7 befindlichen unbeweglichen
Block 39 und seitlich des Blocks 39, noch über dem
dehnbaren Bereich der Membran 7 angeordneten Cantilevern 40, 41.
Der Cantilever 41 bildet eine Einlassventilklappe für das Fluid 2 aus,
das bei einer geöffneten
Einlassventilklappe in eine oberhalb der Membran 7 in der
Mikrostruktur 37 vorgesehene Pumpkammer 42 gelangen kann.
Der Cantilever 42 bildet eine Auslassventilklappe für das Fluid 2 aus,
das bei geöffnete
Auslassventilklappe aus der Pumpkammer 42 und damit aus dem
Mikroaktor 107 austreten kann.
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Bewegt
sich die Membran 7 durch die bei einer Elektrolyse oder
durch thermische Anregung der Aktorflüssigkeit 3 aus dem
Hydrogel 6 austretenden Gasblasen 10, 11,
wie durch den Pfeil B gezeigt, nach oben, schließt sich die zuvor offene, nach
innen öffnende
Einlassventilklappe 41 und ein in der Pumpkammer 42 befindliches
Fluid 2 wird durch den Überdruck
durch das nach außen öffnende
Auslassventil 40 gedrückt.
Bewegt sich die Membran 7 zurück, so schließt sich
die nach außen Öffnende
Auslassventilklappe 40 und die nach innen öffnende
Einlassventilklappe 41 öffnet
sich, wodurch weiteres Fluid 2 in die Pumpkammer 42 strömen kann.
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28 und 29 zeigen
schematische Darstellungen des Aufbaus und der Funktionsweise einer
Anordnung mehrerer erfindungsgemäßer Mikroaktoren 1,
welche in anderen Ausführungsformen der
Erfindung auch entsprechend der Mikroaktoren 101, 102, 103, 104, 105, 106 oder 107 aufgebaut
sein können,
zur Realisierung einer peristaltischen Pumpe gemäß einer fünfzehnten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung.
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Wie
in 28 gezeigt, sind in einem Substrat 14 mehrere
Mikroaktoren 1 mit darüber
vorgesehenen dehnbaren Bereichen 71, 72, 73 einer
Membran 7 nebeneinander angeordnet, wobei unter den Bereichen 71, 72, 73 jeweils
mit Elektroden 4, 5 und/oder Heizelementen 9 kontaktierbare,
die Aktorflüssigkeit 3 enthaltende
Bereiche eines flüssigkeitsabsorbierenden
Materials, wie einem Hydrogel 6, vorgesehen sind. Bewegen
sich die Membranen 71, 72, 73 durch die
bei einer Elektrolyse oder durch thermische Anregung der Aktorflüssigkeit 3 aus
dem Hydrogel 6 austretenden Gasblasen 10, 11,
wie durch den Pfeil B gezeigt, periodisch und zeitlich versetzt nach
oben und wieder zurück,
kann eine peristaltische Pumpwirkung erreicht werden.
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Es
ist zudem möglich,
einzelne der oben beschriebenen Ausführungsformen der erfindungsgemäßen Mikroaktoren 1, 101, 102, 103, 104, 105, 106, 107 oder
weiterer, nicht gezeigter Ausführungsvarianten
sowie der beschriebenen Aktoreinsatzmöglichkeiten miteinander vorteilhaft
zu kombinieren. Beispielsweise können
mehrere der erfindungsgemäßen Mikroaktoren
in einem fluidischen System als Pumpe(n) und Ventil(e) Verwendung
finden oder in Form mehrerer Pumpen oder mehrerer Ventile in verschiedenen
Systemen eingesetzt werden. Zudem ist eine Zusammenschaltung und
Ansteuerung mehrerer Membran-Mikroaktoren, wie dem Mikroaktor in 2 oder 21,
als Membranpumpe, wie in den 26 und 27 gezeigt,
möglich.
Ebenso können mehrere
erfindungsgemäße Membran-Mikroaktoren, wie
die in 2 oder 21 schematisch
gezeigten Mikroaktoren, als Peristaltikpumpe, wie in 28 und 29 gezeigt,
zusammengeschaltet und angesteuert werden.