DE102005060870A1 - Verfahren zum Verschließen einer Öffnung - Google Patents
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Abstract
Integriertes Bauteil mit einem Substrat 1, wobei das Substrat 1 einen Hohlraum 10 aufweist, der eine mechanische Struktur 11 umgibt. Der Hohlraum 10 wird von einem Fluidum 14 einer bestimmten Zusammensetzung unter einem bestimmten Druck ausgefüllt, und die mechanischen Eigenschaften der mechanischen Struktur 11 werden durch das Fluidum 14 beeinflusst.
Description
- Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Verschließen einer Öffnung in einem Substrat. Die Erfindung betrifft ferner ein integriertes Bauteil mit einem Substrat.
- Neben der Integration elektronischer Schaltungen führte der technologische Fortschritt auch zu einer Miniaturisierung von mechanischen Bauteilen und Systemen. So genannte mikroelektromechanische Systeme (MEMS) realisieren dabei mechanische Einheiten im Bereich weniger Mikrometern und darunter. Dabei erfolgt die industrielle Herstellung über einen Mehrschichtaufbau, wobei oft auf Materialien der Halbleiterindustrie zurückgegriffen wird. Dabei werden Hohlräume gebildet, in denen mikromechanische Strukturen angeordnet werden können. Des Weiteren sind in der Regel obere Schichten vorgesehen, die die mechanische Struktur in den Hohlraum einschließen, in dem eine wohl definierte Umgebung geschaffen werden kann. Hierfür wird durch Öffnungen ein entsprechendes flüssiges oder gasförmiges Fluidum in den Hohlraum eingebracht und die Öffnungen verschlossen. Damit ist der Hohlraum auch geschützt vor äußeren Einflüssen, und eine unerwünschte zeitliche Veränderung, wie beispielsweise eine Korrosion, wird verhindert. Es besteht daher eine Notwendigkeit, die Öffnungen zu verschließen und ein Fluidum in den Hohlraum dementsprechend dauerhaft einzuschließen.
- Bekannte Verfahren schließen dabei ein Fluidum ein, dessen Druck und Dichte es oft nicht vermag, die mechanischen Eigenschaften der mechanischen Struktur wesentlich zu beeinflussen. Des Weiteren dringen bei herkömmlichen Verfahren Ver schlussmaterial und teilweise auch aggressive Komponenten in den Hohlraum ein, die dann dort zu einer Beschädigung führen können. Zum Abschließen einer mechanischen Struktur in einen Hohlraum wird beispielsweise der Verschluss von Öffnungen durch einen sog. Refill-Prozess in der
EP 1274648 B1 beschrieben. Verbleibende Öffnungen des Substrats werden dort verpfropft und es wird ein Innendruck bzw. eine Innenatmosphäre in dem Hohlraum eingeschlossen, der bzw. die durch die Prozessbedingungen des Refill-Prozesses bestimmt werden. Einen von diesem Prozess abgekoppelten Abschluss einer bestimmten Innenatmosphäre ist dabei nicht möglich. Ferner können Verschlussmaterial, Komponenten davon oder auch Reaktionsprodukte in den Hohlraum eindringen. - Es ist daher Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein verbessertes Verfahren zum Verschließen einer Öffnung in einem Substrat bereitzustellen. Es ist ferner Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein verbessertes integriertes Bauteil mit einer mechanischen Struktur bereitzustellen. Diese Aufgabe wird durch das Verfahren nach Anspruch 1 bzw. durch das integrierte Bauteil nach Anspruch 11 gelöst. Weitere vorteilhafte Ausführungen der Erfindung sind in den abhängigen Ansprüchen angegeben.
- Gemäß einem ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung wird ein Verfahren zum Verschließen einer Öffnung in einem Substrat bereitgestellt. Das Verfahren umfasst dabei die folgenden Schritte: Zunächst wird ein Substrat mit einem Hohlraum bereitgestellt, wobei der Hohlraum durch die Öffnung zugänglich ist. Des Weiteren wird ein Fluidum einer bestimmten Zusammensetzung und unter einem bestimmten Druck in den Hohlraum eingebracht. Es wird ferner ein Verschlussmaterial bereitgestellt, das auf die Öffnung aufgebracht wird und so das Flui dum in den Hohlraum einschließt, wobei verhindert wird, dass Verschlussmaterial in den Hohlraum eindringt. Das erfindungsgemäße Verfahren hat den Vorteil, ein Fluidum einer bestimmten wohl definierten Zusammensetzung und unter einem bestimmten wohl definierten Druck in den Hohlraum einzuschließen. Dabei werden Druck und Zusammensetzung des Fluidums vom Bereitstellen und dem Aufbringen des Verschlussmaterials auf die Öffnung entkoppelt. Nachteilige Umgebungsverhältnisse während dem Bereitstellen und dem Aufbringen des Verschlussmaterials beeinflussen somit nicht oder nicht wesentlich das Fluidum, das in den Hohlraum eingeschlossen wird. Weder Verschlussmaterial noch weitere – und teilweise schädliche – Komponenten, die bei dem Bereitstellen und bei dem Aufbringen des Verschlussmaterials anfallen, dringen somit in den Hohlraum ein, und eine Beschädigung des Hohlraums oder etwaigen eben darin enthaltener Strukturen wird verhindert.
- Gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung erfolgt das Bereitstellen des Verschlussmaterials durch das Bereitstellen von Komponenten. Die besagten Komponenten bilden am Ort der Öffnung durch physikalische und/oder chemische Umformung das Verschlussmaterial aus, und es erfolgt dabei ein Abschluss der Öffnung, sodass weder Verschlussmaterial noch Komponenten in den Hohlraum eindringen. Es wird dadurch in vorteilhafter Weise ein wohl definiertes Fluidum in den Hohlraum eingeschlossen, wobei weder Verschlussmaterial, noch Komponenten, noch andere Reaktionskomponenten im Hohlraum zu einer Beschädigung führen können.
- Gemäß einer weiteren Ausführungsform der vorliegenden Erfindung erfolgt das Ausbilden des Verschlussmaterials durch einen plasmaverstärkten Gasphasenabscheidungsprozess unter einem atmosphärischen Druck (PECVD). Bei einem Gasphasenab scheidungsprozessen wird das Verschlussmaterial zunächst in Form von Komponenten an den Ort der Abscheidung gebracht, um ebendort durch eine physikalische und/oder chemische Umformung das Verschlussmaterial zu bilden. Oft führt dabei ein Eindringen in den Hohlraum von Komponenten, von Reaktionsprodukten oder von Verschlussmaterial selbst, zu einer Beschädigung dort vorgesehener Strukturen. Die erfindungsgemäße Durchführung der Gasphasenabscheidung bei atmosphärischem Druck verhindert jedoch in vorteilhafter Weise die Diffusion von schädlichen Substanzen durch die Öffnung in den Hohlraum. Ferner führt der gegenüber herkömmlichen Abscheidungsverfahren erhöhte atmosphärische Druck, im Wesentlichen im Bereich um 1 bar, zu einer vorteilhaften Beeinflussung mechanischer Strukturen im Hohlraum. Somit können durch das erfindungsgemäße Verfahren zwei Vorteile durch eine Maßnahme erzielt werden.
- Gemäß einer weiteren Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird das Verschlussmaterial in Form einer Paste bereitgestellt. Ferner kann dabei das Verschlussmaterial in einem Trägermedium eingebracht sein, das nach dem Aufbringen wieder aufgelöst werden kann. Durch Auflösung des Trägermediums bleibt das Verschlussmaterial in einer porösen Form zurück, und der Hohlraum ist in vorteilhafter Weise nach wie vor durch die Öffnung zugänglich. Es können also weitere Prozessschritte erfolgen, die einen Zugang zum Hohlraum erfordern.
- Gemäß einer weiteren Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird das Verschlussmaterial flüssig auf die Öffnung aufgebracht, sodass durch Erstarren des Verschlussmaterials auf der Öffnung der Hohlraum abgeschlossen wird. Das Verflüssigen vieler üblicher Verschlussmaterialien kann dabei in vorteilhafter Weise unter fast beliebigen Umgebungsbedingungen er folgen. Damit wird der Einschluss eines wohl definierten Fluidums bestimmter Zusammensetzungen unter einem bestimmten Druck in den Hohlraum möglich.
- Gemäß einer weiteren Ausführungsform der vorliegenden Erfindung erfolgt eine Bildung einer Benetzungsschicht auf dem Substrat wenigstens in einer Umgebung der Öffnung. Durch die erfindungsgemäße Benetzungsschicht wird die Ansammlung von Verschlussmaterial in vorteilhafter Weise um und auf der Öffnung begünstigt. Vorzugsweise kann hierfür eine Metallöse als Benetzungsfläche für ein Lot um die Öffnung vorgesehen sein.
- Gemäß einer weiteren Ausführungsform der vorliegenden Erfindung liegt der Druck des eingeschlossenen Fluidums zwischen 500 mbar und 2 bar. Dieser erfindungsgemäße Druck verhindert einerseits die Diffusion schädlicher Substanzen in den Hohlraum und kann andererseits die strukturellen Eigenschaften des Hohlraums und mechanische Eigenschaften darin befindlicher Strukturen günstig beeinflussen. Ferner kann die Temperatur während der Aufbringung des Verschlussmaterials zwischen 175°C und 400°C liegen. In vorteilhafter Weise ist dabei eine zuverlässige Aufbringung des Verschlussmaterials, beispielsweise durch Verflüssigung, gewährleistet, während die Temperatur nicht ausreicht, um Komponenten im und auf dem Substrat zu beschädigen.
- Gemäß einer weiteren Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird auf eine Innenwand des Hohlraums und auf eine Oberfläche der mechanischen Struktur eine Antihaftbeschichtung aufgebracht. Durch diese Antihaftbeschichtung wird ein Haften der mechanischen Struktur auch bei mechanischem Kontakt mit einer Oberfläche des Hohlraums verhindert. Da ein Haften der mechanischen Struktur an Flächen des Hohlraums eine häufige Ursache für einen unstabilen Betrieb des integrierten Bauteils oder auch für einen Totalausfall desselbigen darstellt, führt das Vorsehen der erfindungsgemäßen Antihaftbeschichtung zu einer wesentlichen Verbesserung des Betriebs und der Zuverlässigkeit des integrierten Bauteils.
- Gemäß einem zweiten Aspekt der vorliegenden Erfindung wird ein integriertes Bauteil bereitgestellt. Das integrierte Bauteil weist ein Substrat mit einem Hohlraum auf, wobei letzterer eine mechanische Struktur umgibt. Der Hohlraum ist ferner mit einem Fluidum einer bestimmten Zusammensetzung und unter einem bestimmten Druck ausgefüllt. Die mechanischen Eigenschaften der mechanischen Struktur sind dabei durch das Fluidum wesentlich beeinflussbar. Das erfindungsgemäße integrierte Bauteil ermöglicht eine wesentliche Beeinflussung der mechanischen Eigenschaften der mechanischen Struktur. In vorteilhafter Weise ist somit eine gezielte Abstimmung mechanischer Parameter möglich, wie etwa das Abstimmen der Dämpfung. Gleichzeitig ist das integrierte Bauteil zuverlässig und stabil abgeschlossen. Ferner ist durch ein wohl definiertes Fluidum bestimmter Zusammensetzungen und unter einem bestimmten Druck die Herstellung des erfindungsgemäßen integrierten Bauteils wesentlich vereinfacht, da das Eindringen von schädlichen Substanzen in den Hohlraum während der Herstellung verhindert wird. Damit kann die Leistungsfähigkeit und die Zuverlässigkeit integrierter Bauteile mit mechanischen Strukturen wesentlich verbessert werden.
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1A bis1D zeigen eine schematische Schnittansicht eines integrierten Bauteils gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung; -
2A bis2D zeigen eine schematische Schnittdarstellung eines integrierten Bauteils gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung; und -
3A und3B zeigen eine schematische Schnittdarstellung eines integrierten Bauteils gemäß einer dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. -
1A zeigt ein integriertes Bauteil in einem Substrat1 mit einer mechanischen Struktur11 , die in einem Hohlraum10 angeordnet ist. Eine Substratoberfläche100 weist dabei Öffnungen12 mit Innenwänden112 auf. Die innere Oberfläche des Hohlraums10 wird mit110 , und die Oberfläche der mechanischen Struktur11 wird mit111 bezeichnet. Ein derartiges integriertes Bauteil wird mithilfe einer Reihe von an sich bekannten Prozesstechniken hergestellt. Das Substrat1 weist dabei oft Silizium, Siliziumoxid, Siliziumnitrid und andere übliche Materialien in Form von strukturierten Schichten auf. So wird beispielsweise die mechanische Struktur11 durch das Entfernen einer darunter liegenden Siliziumoxidschicht freigestellt. Die Öffnungen12 in der Substratoberfläche100 dienen dabei auch zum Zuführen prozessbedingter Flüssigkeiten und Gase. Damit auch bei mechanischem Kontakt der mechanischen Struktur11 mit den Wänden des Hohlraums10 die Funktionsweise des integrierten Bauteils nicht beeinträchtigt wird, wird eine Antihaftbeschichtung (anti stiction coating, ASC)13 auf eine Oberfläche111 der mechanischen Struktur11 , auf eine Innenwand110 des Hohlraums10 , auf eine Innenwand112 der Öffnungen12 und auf die Substratoberfläche100 aufgebracht, wie in1B gezeigt. Diese Antihaftbeschichtung erhöht wesentlich die Zuverlässigkeit des integrierten Bauteils. Das Vorsehen einer Antihaftbeschichtung13 ist jedoch für diese Ausführungsform nicht notwendig. - In einem weiteren Schritt, wie in
1C dargestellt, wird ein Fluidum14 durch die Öffnungen12 in den Hohlraum10 eingebracht. Im Sinne der vorliegenden Erfindung, bezeichnet ein Fluidum sowohl Gase als auch Flüssigkeiten, die auch in vorteilhafter Weise mit dem mechanischen System11 wechselwirken können. So können beispielsweise der Druck und die Zusammensetzung des Fluidums14 derart gewählt werden, dass eine bestimmte mechanische Dämpfung der mechanischen Struktur11 erzielt wird. Moderne Abscheidungstechniken, wie beispielsweise chemische Gasphasenabscheidung (Chemical Vapor Deposition, CVD) führen zunächst Komponenten an den Ort der Abscheidung heran, an dem sich dann durch chemische und/oder physikalische Umformung das abzuscheidende Material bildet. Ausgangskomponenten, verwendete Materialien oder Reaktionsprodukte können dabei die mechanische Struktur11 , den Hohlraum10 , oder auch Beschichtungen, wie etwa die Antihaftbeschichtung13 , beschädigen. Das Fluidum14 verhindert hierbei auch das Eindringen derartiger schädlicher Komponenten und Stoffe. - In
1D ist schließlich das integrierte Bauteil mit einer Verschlussschicht15 gezeigt, das die Öffnungen12 dicht abschließt und das Fluidum14 bei einem bestimmten Druck und unter einer bestimmten Zusammensetzung in den Hohlraum10 einschließt. Das Aufbringverfahren der Verschlussschicht15 kann dabei die Antihaftbeschichtung13 auf der Substratoberfläche100 entfernen. Der Druck des Fluidums14 , vorzugsweise im Bereich um 1 bar, kann dabei sowohl das Eindringen schädlicher Stoffe verhindern und kann gleichzeitig die mechanischen Eigenschaften der mechanischen Struktur11 beeinflussen. Es hat sich gezeigt, dass ein integriertes Bauteil, wie in1D dargestellt, durch einen plasmaverstärkten chemischen Gasphasenabscheidungsprozess (PECVD) bei einem Druck, der im Wesentlichen dem Atmosphärendruck von 1 bar entspricht, abgeschlossen werden kann, ohne dass Verschlussmaterial oder schädliche Stoffe die mechanische Struktur11 , die Antihaftbeschichtung13 oder andere Komponenten im Hohlraum10 beschädigen. Vorzugsweise kann bei dem PECVD-Prozess eine niederfrequente Plasmafrequenz im Bereich von 10 Hz bis 200 kHz zum Einsatz kommen. -
2A zeigt ein weiteres integriertes Bauteil mit einem Substrat2 mit einem Hohlraum20 , in dem eine mechanische Struktur21 vorgesehen ist. Eine Oberfläche220 des Hohlraums20 und eine Oberfläche221 des mechanischen Systems21 sind mit einer Antihaftbeschichtung23 beschichtet. Der Hohlraum20 ist über Öffnungen22 mit Innenwänden222 zugänglich. Auf einer Oberfläche200 des Substrats2 wurde teilweise eine Benetzungsschicht26 , mindestens in einer Umgebung der Öffnungen22 , aufgebracht. Eine vorteilhafte Umgebung einer Öffnung22 wird durch einen ringförmigen, die Öffnung22 umschließenden Bereich gebildet, wobei die Breite des Rings zwischen dem Ein- und dem Zehnfachen des Öffnungsdurchmessers beträgt. Im Sinne der vorliegenden Erfindung, kann die Umgebung dabei einen Mindestabstand zum Rand der Öffnung22 wahren, bis direkt an die Öffnung22 heranreichen, oder aber auch die Öffnung22 mit umfassen. - Im Sinne einer vorteilhaften Ausführungsform wird ein leitendes Verschlussmaterial gewählt, beispielsweise sog. Lotbumps, das neben dem Verschluss der Öffnungen
22 auch einen elektrischen Kontakt zu einem über dem Substrat3 angeordneten weiteren Substrat bereitstellt. Das weitere Substrat kann dann auch eine elektrische Ansteuerschaltung umfassen. Im Sinne einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform, wird das integrierte Bauteil derart mit der Antihaftbeschichtung23 be schichtet, sodass sich auch auf der Oberfläche200 das Material der Antihaftbeschichtung23 ausbildet. Dieses Material kann dann in der Umgebung um die Öffnungen22 lokal entfernt werden und an beschichteten Stellen keine weitere Beschichtungen zulassen. Beispielsweise wirkt das Material der Antihaftbeschichtung23 auf der Oberfläche200 dann als Lotstoplack. - In einem Herstellungsschritt wird ein Verschlussmaterial
28 in Form einer Paste auf die Oberfläche200 des Substrats2 aufgebracht, wie in2B gezeigt. Das Verschlussmaterial28 kann dabei in einer gekörnten Form vorliegen und in einem Trägermedium27 die Paste bilden. Beispiele hierfür sind Lotpasten bzw. Glasfrittenpasten, bei dem sich ein gekörntes Metall bzw. ein gekörntes Sealglas in einem Binder befindet. Das Trägermedium27 ist im Sinne der vorliegenden Erfindung nicht zwingend erforderlich, es vereinfacht jedoch das Aufbringen des Verschlussmaterials28 . Ist ein Trägermedium27 vorgesehen, wird es in einem folgenden Herstellungsschritt entfernt, wie in2C dargestellt. Ein organisches Trägermedium27 kann beispielsweise verascht werden. Es bleibt eine poröse Anordnung des Verschlussmaterials28 auf der Oberfläche200 zurück. Daher sind die Öffnungen22 nach wie vor durchlässig und der Hohlraum20 ist auch nach dem Aufbringen des Verschlussmaterials28 zugänglich. So können weitere Prozessschritte auch in diesem Stadium durchgeführt werden, wie beispielsweise das Aufbringen der Antihaftbeschichtung23 . - Wie ferner in
2C gezeigt, wird ein Fluidum24 in den Hohlraum20 des Substrats2 eingebracht. Sowohl Zusammensetzung als auch Druck des Fluidums24 werden so gewählt, dass das in den Hohlraum20 eingeschlossene Fluidum24 die mechanische Struktur21 oder deren Beschichtung nicht beschädigt und vorteilhafter Weise die mechanischen Eigenschaften des mechanischen Systems21 in gewünschter Weise einstellt. Außerdem kann das Fluidum24 eine Diffusion schädlicher Substanzen in den Hohlraum20 verhindern. Durch flächiges oder lokales Erhitzen wird das Verschlussmaterial verflüssigt, das sich daraufhin vorzugsweise an den Stellen der Benetzungsschicht26 sammelt und eine Kappe über den Öffnungen22 bildet. Das erstarrte Verschlussmaterial28 bildet damit dichte Verschlusskappen29 , wie in2D dargestellt. Das Aufschmelzen des Verschlussmaterials28 ermöglicht weitestgehende Unabhängigkeit bezüglich des Drucks und der Zusammensetzung des Fluidums24 . Es ist daher möglich, ein gewünschtes Fluidum24 oder auch ein Vakuum in den Hohlraum20 dicht einzuschließen. Es ist ferner möglich, auf das Aufbringen des Verschlussmaterials28 und des Trägermedium27 zu verzichten, und lediglich ein flüssiges Verschlussmaterial bereitzustellen, das vorteilhafter Weise an der Benetzungsschicht26 haften bleibt, wie dies beispielsweise durch Wellenlöten oder ein Lötbad erfolgen kann. Das verflüssigte Verschlussmaterial sollte in vorteilhafter Weise eine Oberflächenspannung aufweisen, die einerseits die Bildung einer Kappe über den Öffnungen22 begünstigt, und andererseits ein Eindringen in die Öffnungen unterdrückt. Es kann somit auf die Benetzungsschicht26 verzichtet werden. -
3A zeigt ein weiteres integriertes Bauteil in einem Substrat3 mit einer mechanischen Struktur31 , die in einem Hohlraum30 angeordnet ist. Der Hohlraum30 ist über Öffnungen32 mit Innenwänden332 zugänglich. Sowohl eine Oberfläche330 des Hohlraums30 als auch eine Oberfläche331 der mechanischen Struktur31 sind mit einer Antihaftbeschichtung33 beschichtet. Ferner ist in den Hohlraum30 ein Fluidum34 eingebracht. - Durch lokales Aufschmelzen, wie z.B. durch einen Laserstrahl, wird ein zuvor aufgebrachtes Verschlussmaterial oder ein oberer Teil des Substrats
3 verflüssigt und schließt durch Pfropfen39 die Öffnungen32 ab, wie in3B gezeigt. Das Verschlussmaterial kann in dieser Ausführungsform durch das Substrat3 gebildet werden. Es kann somit ein wohl definiertes Fluidum34 unter einem bestimmten Druck und unter einer bestimmten Zusammensetzung in den Hohlraum30 eingebracht werden, ohne dass weitere Prozessschritte zum Aufbringen weiterer Verschlussmaterialien nötig sind. Ein weiterer Vorteil besteht darin, dass eine schonende Prozessierung des bisher strukturierten integrierten Bauteils erfolgen kann. Auch lässt dieses Verfahren ein selektives Verschließen der Öffnungen32 zu, indem beispielsweise zunächst ein erster Teil der Öffnungen32 verschlossen wird, danach weitere Prozessschritte ausgeführt werden, die noch einen Zugang zum Hohlraum30 voraussetzen, und danach die übrigen Öffnungen32 verschlossen werden. Neben dem Aufschmelzen von Teilen des Substrats3 kann durch lokales Erhitzen auch ein separates Material zur Bildung der Pfropfen39 verwendet werden, wie beispielsweise Metalle, die vor dem Aufschmelzen in einer Umgebung um die Öffnungen32 deponiert werden. Alternativ kann auch Material in Form einer Folie, z. B. aus Metall, einem Thermo- oder Duroplasten, bereitgestellt werden. - Bei allen Ausführungsformen liegt die Temperatur, während des Aufbringens bzw. des Aufschmelzens des Verschlussmaterials vorzugsweise in einem Bereich von 175°C bis 400°C. Ferner können als Verschlussmaterial beispielsweise SiO2 oder Si3N4 zum Einsatz kommen und als Fluidum beispielsweise Stickstoff, Neon, Mischungen daraus, SF6, oder andere inerte Gase bzw. Mischungen daraus mit eingeschlossen. Die Öffnungen
12 ,22 ,32 können des Weiteren unterschiedliche Größen aufweisen.
Claims (10)
- Verfahren zum Verschließen einer Öffnung (
12 ,22 ,32 ) in einem Substrat (1 ,2 ,3 ), wobei das Verfahren folgende Schritte umfasst: – Bereitstellen eines Substrats (1 ,2 ,3 ) mit einem Hohlraum (10 ,20 ,30 ), wobei der Hohlraum (10 ,20 ,30 ) durch die Öffnung (12 ,22 ,32 ) zugänglich ist; – Einbringen eines Fluidums (14 ,24 ,34 ) einer bestimmten Zusammensetzung und/oder unter einem bestimmten Druck in den Hohlraum (10 ,20 ,30 ); – Bereitstellen eines Verschlussmaterials (3 ,15 ,28 ); – Aufbringen des Verschlussmaterials (3 ,15 ,28 ) auf die Öffnung (12 ,22 ,32 ), sodass das Fluidum (14 ,24 ,34 ) im Hohlraum (10 ,20 ,30 ) eingeschlossen wird, und wobei verhindert wird, dass das Verschlussmaterial (3 ,15 ,28 ) in den Hohlraum (10 ,20 ,30 ) eindringt. - Verfahren nach Anspruch 1, wobei das Bereitstellen des Verschlussmaterials (
3 ,15 ,28 ) durch das Bereitstellen von Komponenten erfolgt, wobei die Komponenten durch physikalische und/oder chemische Umformung das Verschlussmaterial (3 ,15 ,28 ) ausbilden, und wobei das Ausbilden des Verschlussmaterials (3 ,15 ,28 ) auf der Öffnung (12 ,22 ,32 ) so erfolgt, sodass keine Komponenten in den Hohlraum (10 ,20 ,30 ) eindringen. - Verfahren nach Anspruch 2, wobei das Bereitstellen der Komponenten und das Ausbilden des Verschlussmaterials (
3 ,15 ,28 ) durch einen plasmaverstärkten Gasphasenabscheidungsprozess unter einem atmosphärischem Druck erfolgt. - Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 2, wobei das Bereitstellen des Verschlussmaterials (
3 ,15 ,28 ) als Paste erfolgt, insbesondere mit einem Trägermedium (27 ), das nach einem Aufbringen aufgelöst wird. - Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, wobei das Verschlussmaterial (
3 ,15 ,28 ) flüssig auf die Öffnung (12 ,22 ,32 ) aufgebracht wird, sodass durch Erstarren des Verschlussmaterials (3 ,15 ,28 ) auf der Öffnung (12 ,22 ,32 ) der Hohlraum (10 ,20 ,30 ) abgeschlossen wird. - Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, wobei zusätzlich ein Schritt zur Bildung einer Benetzungsschicht (
26 ) auf dem Substrat (1 ,2 ,3 ) wenigstens in einer Umgebung der Öffnung (12 ,22 ,32 ) erfolgt. - Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, wobei der Druck des Fluidums (
14 ,24 ,34 ) zwischen 500 mbar und 2 bar liegt. - Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, wobei die Temperatur während der Aufbringung des Verschlussmaterials (
3 ,15 ,28 ) auf die Öffnung (12 ,22 ,32 ) zwischen 175°C und 400°C liegt. - Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 8, wobei vor dem Aufbringen des Verschlussmaterials (
3 ,15 ,28 ) auf die Öffnung (12 ,22 ,32 ) eine Antihaftbeschichtung (13 ,23 ,33 ) auf eine Innenwand (110 ,220 ,330 ) des Hohlraums (10 ,20 ,30 ) und auf eine Oberfläche (111 ,221 ,331 ) einer mechanischen Struktur (11 ,21 ,31 ) aufgebracht wird. - Integriertes Bauteil mit einem Substrat (
1 ,2 ,3 ), das einen Hohlraum (10 ,20 ,30 ) aufweist, der mit einem Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 9 abgeschlossen ist.
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