DE102005021372A1

DE102005021372A1 - Projektionsbelichtungsanlage mit gasgespülter Kammer, Verfahren zur Bestimmung des Kontaminationszustands eines optischen Elements sowie Verfahren zur Bestimmung eines Konzentrationsgradienten eines Gasbestandteils in der Kammer

Info

Publication number: DE102005021372A1
Application number: DE200510021372
Authority: DE
Inventors: Herbert Fink; Konstantin Forcht
Original assignee: Carl Zeiss SMT GmbH
Current assignee: Carl Zeiss SMT GmbH
Priority date: 2005-05-04
Filing date: 2005-05-04
Publication date: 2006-11-09

Abstract

Eine Mikrolithographie-Projektionsbelichtungsanlage (1) umfasst mindestens ein optisches Element (10), das in einer gasgespülten, gegen die Umgebungsluft zumindest teilweise abgeschlossenen Kammer (7) angeordnet ist, und eine Messeinrichtung zur Bestimmung der Konzentration mindestens eines Gasbestandteils in der Kammer (7). Die Messeinrichtung umfasst mindestens einen optischen Sensor (12, 12'), insbesondere einen Lumineszenz-Sensor, dessen optisches Ausgangssignal von der Konzentration des Gasbestandteils in der Kammer (7) abhängig ist.

Description

Die Erfindung betrifft eine Mikrolithographie-Projektionsbelichtungsanlage umfassend mindestens ein optisches Element, das in einer gasgespülten, gegen die Umgebungsluft zumindest teilweise abgeschlossenen Kammer angeordnet ist, und eine Messeinrichtung zur Bestimmung der Konzentration mindestens eines Gasbestandteils in der Kammer, sowie ein Verfahren zur Bestimmung des Kontaminationszustands eines optischen Elements in der Kammer sowie Verfahren zur Bestimmung eines Konzentrationsgradienten eines Gasbestandteils in der Kammer.

Objektive und Beleuchtungssysteme von Projektionsbelichtungsanlagen für die Mikrolithographie sowie Wafer-Inspektionssysteme werden für gewöhnlich mit Strahlung im DUV- und VUV-Wellenlängenbereich, d.h. mit Wellenlängen kleiner 200 nm, betrieben. Mit der Strahlung in diesem Wellenlängenbereich reagieren verschiedene Gase, z.B. Kohlenwasserstoffe, unter Bildung von Stoffen, die sich auf den Oberflächen der optischen Elemente dieser Systeme ablagern können. Daher werden solche Systeme, bzw. Teile derselben, in der Regel mit aktiver Zufuhr von inertem Spülgas, z.B. Helium, welches keine photochemischen Reaktionen mit der Strahlung hervorruft, in einer von der Umgebungsluft abgeschlossenen Kammer betrieben. Trotz einer solchen aktiven Spülung können Kontaminationen auftreten, die eine Funktionsstörung und im schlimmsten Fall einen Funktionsausfall zur Folge haben können. Ursache sind oft anorganische oder organische Substanzen, die unter anderem aus der Umgebungsluft ins Innere eines solchen Systems, z.B. eines Objektivs, gelangen können. Es ist schwierig, die dauerhafte Dichtigkeit der Kammer und der Gaszufuhr bei Betrieb unter Normaldruck und bei aktiver Spülung genau zu bestimmen.

Aus der US 6,535,270 ist die Möglichkeit bekannt, die Lebensdauer eines Filters, durch den Umgebungsluft in eine gasgespülte Kammer eingeleitet wird, zu bestimmen, indem die Konzentration von Verunreinigungen, insbesondere von Ammonium und Sulfat, in der Kammer mit wenigstens einer Messvorrichtung bestimmt wird.

In der JP 2000124109 wird eine Projektionsbelichtungsanlage beschrieben, bei der die Konzentration von Sauerstoff in einer gasgespülten Kammer bestimmt wird, indem eine oder mehrere Messeinrichtungen zur Bestimmung der Sauerstoffkonzentration in der Kammer angeordnet werden. In Abhängigkeit von der O₂-Konzentration in der Kammer wird die Menge an Inertgas, welches der Kammer zugeführt wird, gesteuert.

Als O₂-Sensoren werden typischerweise Lambda-Sonden auf Zirkon-Basis verwendet, die eine Arbeitstemperatur von ca. 700°C und einen aktiv geführten Gasstrom durch die Sonde benötigen. Die Sensoren werden daher üblicherweise, wie z.B. in der US 2002/0051126 beschrieben, in einer Gaszuleitung bzw. Gasableitung eines Objektivs angebracht. Bei der Positionierung von Lambda-Sonden im Inneren der Kammer besteht das Problem, dass diese einen Teil des Gasstroms für die Messung in eine Messzelle ableiten, wodurch einerseits die Strömungsverhältnisse in der Kammer unzulässig beeinflusst werden und andererseits durch die begrenzte Fließgeschwindigkeit des Gases die Messresultate nur mit einer gewissen Verzögerung zur Verfügung stehen. Überdies ist die Lebensdauer solcher Sensoren begrenzt, da das Sensormaterial nicht für den Dauerbetrieb einsetzbar ist.

Aufgabe der Erfindung

Aufgabe der Erfindung ist es, eine Projektionsbelichtungsanlage der oben genannten Art dahingehend weiterzubilden, dass die Konzentrationsmessung eines Gasbestandteils in der Kammer auf einfache Weise ohne Beeinflussung des Gasstroms und der Strömungsverhältnisse sowie ohne Zeitverzögerung ermöglicht wird.

Gegenstand der Erfindung

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe auf ebenso überraschend einfache wie wirkungsvolle Art und Weise dadurch gelöst, dass die Messeinrichtung mindestens einen optischen Sensor, insbesondere einen Lumineszenz-Sensor, umfasst, dessen optisches Ausgangssignal von der Konzentration des Gasbestandteils in der Kammer abhängig ist.

Das Messprinzip eines optischen Sensors auf Lumineszenz-Basis für die Messung der Konzentration eines Gases, z.B. Sauerstoff, basiert auf dem Löschen („Quenching") von Lumineszenz durch das zu messende Gas. Die Lumineszenz wird erzeugt durch gezielte Anregung eines geeigneten Farbstoffs. Die Anregung erfolgt durch geeignete Zufuhr von Energie, z.B. durch Bestrahlung mit Messlicht einer definierten Wellenlänge. Die Kollision von Molekülen des zu messenden Gases mit Molekülen des Farbstoffs wird die Lumineszenz des Farbstoffs verändert. Die Veränderung (Intensität und/oder Lebensdauer) der Lumineszenz liefert ein Maß für die Gaskonzentration (z.B. die Sauerstoffkonzentration) in der Kammer.

Ein solcher optischer Sensor benötigt nur wenig Raum, kann an einem beliebigen Ort in der Kammer angeordnet werden und beeinflusst den Strömungsverlauf in der Kammer nicht. Er wird außerdem nicht heiß, verbraucht bei der Messung kein Gas und hat eine wesentlich höhere Lebensdauer als die bisher in Projektionsbelichtungsanlagen zur Bestimmung des Sauerstoffgehalts verwendeten Lambda-Sonden. Durch das optische Messprinzip wird auch die thermische Trägheit, wie sie bei Verwendung einer Lambda-Sonde auftritt, vermieden. Mit einem Fluoreszenz-Sensor ist es daher möglich, die zeitabhängige Konzentration des Sauerstoffgehaltes (oder anderer Komponenten) des Spülgases zeitnah im on-line Betrieb zu erfassen, anzuzeigen und gleichzeitig auf elektronische Medien zu speichern, die beliebig weitergeleitet und ausgelesen werden können.

Bei einer bevorzugten Ausführungsform ist der optische Sensor im Inneren der Kammer, bevorzugt an einer Kammerwand oder in einer Fassung des optischen Elements angeordnet. Insbesondere bei der Anordnung des Sensors in der Fassung kann eine Konzentrationsmessung in unmittelbar Nähe des optischen Elements durchgeführt werden, sodass sich unmittelbar Rückschlüsse auf dessen Kontaminationsgrad ziehen lassen. Alternativ kann der optische Sensor auch in einer Gaszuleitung bzw. Gasableitung der Kammer angeordnet sein.

In einer weiteren bevorzugten Ausführungsform ist die Kammer durch das Gehäuse eines Projektionsobjektivs gebildet. Die Vermeidung von Kontaminationen im Innenraum eines Projektionsobjektivs ist besonders wichtig, damit die Abbildungseigenschaften des Projektionsobjektivs bei der Abbildung von Halbleiterstrukturen von einem Retikel auf ein lichtempfindliches Substrat (Wafer) nicht negativ beeinflusst werden.

In einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform ist die Kammer durch das Gehäuse eines Beleuchtungssystems gebildet. Selbstverständlich können sowohl ein Gehäuse des Projektionsobjektivs als auch ein Gehäuse des Beleuchtungssystems derselben Projektionsbelichtungsanlage jeweils eine Kammer bilden, in denen eine Konzentration des Gasbestandteils bestimmt wird. Alternativ ist es auch möglich, dass die Kammer durch ein die gesamte Projektionsbelichtungsanlage umschließendes Gehäuse gebildet ist. Außerdem ist die Erfindung nicht auf Projektionsbelichtungsanlagen beschränkt, sondern kann auch in anderen optischen Systemen zum Einsatz kommen, die eine gasgespülte Kammer aufweisen, deren Dichtigkeit überwacht werden soll, wie z.B. in Wafer-Inspektionssystemen.

In einer besonders bevorzugten Ausführungsform weist die Messeinrichtung eine insbesondere gepulste Messlichtquelle, die mit dem Sensor über ein Lichtleiterkabel (z.B. Glasfaserkabel) verbunden ist, sowie eine Detektionseinheit auf. Das Lichtleiterkabel (z.B. Glasfaserkabel) dient zur Zufuhr von Messlicht zum Sensor sowie zur Rückleitung des von dem Sensor erzeugten, für die Detektion verwendeten Fluoreszenzlichts. Die Detektionseinheit kann durch die faseroptische Kopplung sowohl am Gaseinlass als auch am Gasauslass der Kammer integriert sein. Bevorzugt ist die Messlichtquelle zusammen mit der Detektionseinheit in einer gemeinsamen Baugruppe integriert. Durch das gepulste Messlicht kann eine vorzeitige Alterung der Glasfaser bzw. des Sensors vermieden werden.

In einer bevorzugten Weiterbildung ist der optische Sensor an einem Ende des Glasfaserkabels angebracht und das Glasfaserkabel durch eine Öffnung in der Kammerwand geführt. Durch die geringe Dicke des Glasfaserkabels von ca. 1 mm ist nur eine kleine Bohrung an der Kammerwand notwendig, um den Sensor im Inneren der Kammer zu positionieren.

In einer alternativen Weiterbildung ist der Sensor an der Innenseite der Kammerwand in einem für das Licht der Messlichtquelle transparenten Teilbereich der Kammerwand angeordnet. Das eine Ende des Glasfaserkabels kann von außerhalb der Kammer mit dem transparenten Teilbereich der Kammerwand in Verbindung gebracht werden, wobei das Messlicht durch den transparenten Teilbereich tritt und auf den Sensor trifft.

In einer besonders bevorzugten Ausführungsform ist der optische Sensor als Folie ausgebildet. Derartige Foliensensoren, insbesondere zur Messung von Sauerstoff, welche z.B. am Ende von Glasfasern angebracht werden können, sind verschiedentlich bekannt und werden z.B. von der Firma „Presens" angeboten („www.presens.de").

In einer besonders vorteilhaften Ausführungsform ist der optische Sensor zur Messung der Sauerstoffkonzentration in der Kammer ausgebildet. Durch die Kenntnis der Sauerstoffkonzentration in der Kammer über einen längeren Zeitraum lassen sich Rückschlüsse auf den Kontaminationsverlauf in der Kammer ziehen. Selbstverständlich können auch die Konzentrationen anderer Gase (z.B. Schwefeldioxid, Kohlendioxid) mittels eines geeigneten Sensors über eine optische Fluoreszenzmessung bestimmt werden.

Die Erfindung ist auch verwirklicht in einem Verfahren zur Bestimmung des Kontaminationsgrads des mindestens einen optischen Elements in der Kammer der wie oben beschriebenen Projektionsbelichtungsanlage, bei dem die Konzentration des Gasbestandteils in der Kammer mittels des optischen Sensors bestimmt wird, diese mit einer Soll-Konzentration in der Kammer sowie der Konzentration des Gasbestandteils in der Umgebungsluft verglichen und daraus der Anteil der Umgebungsluft in der Kammer bestimmt wird. Wenn der Sauerstoffgehalt (oder der Gehalt anderer Komponenten) der umgebenden Luft sowie des benutzten Spülgases bekannt ist, kann der eindiffundierte Anteil der Umgebungsluft in der Kammer berechnet werden. Dieses Verfahren bietet die Möglichkeit, das in die Kammer eingebrachte Spülgas direkt zu überwachen und Gaslecks oder Systemlecks zu detektieren. Dadurch ist eine Bewertung des Kontaminationsrisikos und des Kontaminationsverlaufs von optischen Elementen in der Kammer möglich.

Bei einem Verfahren zur Bestimmung eines Konzentrationsgradienten des mindestens einen Gasbestandteils in der Kammer der wie oben beschriebenen Projektionsbelichtungsanlage wird der Konzentrationsgradient durch Messung der Konzentration an zumindest zwei räumlich voneinander beabstandeten optischen Sensoren bestimmt. Aus dem mit den optischen Sensoren gemessenen Konzentrationsgradienten können Rückschlüsse auf das Strömungsprofil des Gasbestandteils bzw. aller Gase in der Kammer gezogen werden, weil die optischen Sensoren den Strömungsverlauf in der beprobten Umgebung nicht beeinflussen.

Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung eines Ausführungsbeispiels der Erfindung, anhand der Figuren der Zeichnung, die erfindungswesentliche Einzelheiten zeigen, und aus den Ansprüchen. Die einzelnen Merkmale können je einzeln für sich oder zu mehreren in beliebiger Kombination bei einer Variante der Erfindung verwirklicht sein.

Zeichnung
Ein Ausführungsbeispiel ist in der schematischen Zeichnung dargestellt und wird in der nachfolgenden Beschreibung erläutert. Es zeigt:
1 eine schematische Darstellung einer Projektionsbelichtungsanlage für die Mikrolithographie mit einem gasgespülten Projektionsobjektiv und einer Messeinrichtung zur Bestimmung der Sauerstoffkonzentration des Spülgases in dem Objektiv, und
2 einen Schnitt durch die Gehäusewand des Projektionsobjektivs mit einem optischen Sensor, der an einer Glasfaser in das Innere des Objektivs geführt ist.
In 1 ist eine Projektionsbelichtungsanlage 1 für die Mikrolithographie gezeigt, welche ein Beleuchtungssystem 2 aufweist, in das das Licht einer Laserlichtquelle 3 mit einer Wellenlänge im UV-Bereich, beispielsweise von ca. 193 nm, eingestrahlt wird. Das Laserlicht wird in dem Beleuchtungssystem 2 derart geformt, dass ein rechteckförmiger Bereich auf einem Retikel 4, welches am Ausgang des Beleuchtungssystems 2 positioniert ist, im Wesentlichen homogen ausgeleuchtet wird. Mit einem Projektionsobjektiv 5 werden die auf dem Retikel 4 vorhandenen Strukturen in verkleinertem Maßstab, z.B. 4:1, auf ein lichtempfindliches Substrat 6 (Wafer) abgebildet.
Das Projektionsobjektiv 5 weist eine luftdicht gegen die Umgebungsluft abgedichtete Kammer 7 auf, die durch das Gehäuse des Projektionsobjektivs gebildet wird. Die Kammer 7 wird durch einen Gaseinlass 8 und einen Gasauslass 9 während des Betriebs der Projektionsbelichtungsanlage 1 ständig aktiv mit einem inerten Gas, z.B. Helium, gespült. Ein optisches Element 10 ist stellvertretend für eine Mehrzahl von in dem Projektionsobjektiv 5 enthaltenen optischen Elementen gezeigt.
Reaktive Gase wie z.B. Kohlenwasserstoffe reagieren mit dem Licht der Lichtquelle 3 unter Bildung von Ablagerungen auf den Oberflächen dieser optischen Elemente. Durch die Bestimmung des Sauerstoffgehalts in der Kammer 7, insbesondere über einen längeren Zeitraum, können daher Aussagen über den Grad der Kontamination der optischen Komponenten des Projektionsobjektivs 5 getroffen werden. Außerdem kann die Messung des Sauerstoffgehalts zur Bestimmung der Dichtigkeit der Kammer herangezogen werden (s.u.).
Zur Bestimmung des Sauerstoffgehalts in der Kammer 7 ist, wie in 2 im Detail gezeigt, an der Innenseite einer Kammerwand 11 ein optischer Sensor 12 in Form einer Folie aus geeignetem organischen oder anorganischen Material angebracht. Der optische Sensor 12 ist an einem Ende eines Glasfaserkabels 13 angebracht, welches durch eine Öffnung der Kammerwand in diese geführt ist. Das andere Ende des Glasfaserkabels 13 steht mit einer in 1 gezeigten Auswerteeinheit 15 in Verbindung, die eine Messlichtquelle 16 und eine Detektionseinheit 17 umfasst. Die Auswerteeinheit 15 bildet somit zusammen mit dem Glasfaserkabel 13 und dem optischen Sensor 12 eine Messeinrichtung zur Bestimmung des Sauerstoffgehalts in der Kammer 7.
Für die Messung wird gepulstes Messlicht von der Messlichtquelle 16 ausgesandt, das auf den optischen Sensor 12 trifft, welcher in Abhängigkeit von der Konzentration an molekularem Sauerstoff 14, der auf der Innenseite der Kammerwand 11 auf den Sensor 12 trifft, mehr oder weniger stark bzw. lang zur Fluoreszenz angeregt wird. Das Fluoreszenzsignal wird durch die Glasfaser 13 an die Auswerteeinheit 15 übermittelt, wo es zur Auswertung von der Detektionseinheit 17 erfasst wird. Die Erfassung des Messwertes geschieht ausschließlich durch den Kontakt der Glasfaser 13 (bzw. des integrierten Sensors 12) mit dem relevanten Spülgas, d.h. ohne jeglichen Einfluss auf Betrieb und Spülfluss des Projektionsobjektivs 5.
Alternativ ist es auch möglich, einen optischen Sensor an der Innenseite der Kammerwand in einem transparenten Teilbereich derselben anzubringen. In diesem Fall wird eine Glasfaser von der Außenseite der Kammer an den transparenten Teilbereich der Kammerwand herangeführt und durch diesen hindurch Messlicht in den optischen Sensor eingekoppelt.
Nachdem die Sauerstoffkonzentration in der Kammer 7 mittels des optischen Sensors 12 bestimmt worden ist, kann diese mit einer Soll-Konzentration in der Kammer 7 sowie der Sauerstoffkonzentration in der Umgebungsluft verglichen und daraus der Anteil der Umgebungsluft in der Kammer 7 bestimmt werden. Die Soll-Konzentration von Sauerstoff in der Kammer 7 sollte mit der (geringen) Rest-Sauerstoffkonzentration in dem Spülgas übereinstimmen. Ist die Sauerstoffkonzentration größer als erwartet, deutet dies darauf hin, dass z.B. durch ein Leck Umgebungsluft von außen in die Kammer gelangt ist. Aus der bekannten Sauerstoffkonzentration in der Umgebungsluft lässt sich der Luftanteil in der Kammer 7 bestimmen. Hierdurch können Rückschlüsse auf die Luftdichtigkeit der Kammer 7 und daraus auf den Kontaminationsgrad des optischen Elements 10 gezogen werden. Gegebenenfalls können Gaslecks gefunden und die Kammer 7 abgedichtet werden.
Mit dem oben beschriebenen Verfahren ist es auch möglich, bis zu einem gewissen Grad eine ortsaufgelöste Dichtigkeitsuntersuchung durchzuführen, z.B. indem eine Mehrzahl von optischen Sensoren an geeigneten Orten in der Kammer 7 angeordnet werden. Mit einer solchen, räumlich aufgelösten Messung der Konzentration kann auch ein Konzentrationsgradient des Gasbestandteils in der Kammer 7 berechnet und eine Strömungsanalyse des Gasbestandteils bzw. des gesamten Gasstroms durch die Kammer 7 durchgeführt werden, weil die optischen Sensoren das Strömungsprofil der Gase in der Kammer 7 nicht beeinflussen. In diesem Fall ist die Auswerteeinheit 15 vorteilhafter Weise zur Bereitstellung von Messlicht bzw. zur Detektion von Signalen mehrerer optischer Sensoren ausgelegt. Ein zur Durchführung eines solchen Verfahrens notwendiger, weiterer optischer Sensor 12', der in der Bauweise mit dem optischen Sensor 12 übereinstimmt, ist mit der Auswerteeinheit 15 über ein weiteres Glasfaserkabel 13' verbunden (vgl. 1) und in eine Fassung 18 des optischen Elements 10 integriert. Durch die Anbringung an der Fassung 18 ist der Sensor 12' in unmittelbarer Nähe des optischen Elements 10 positioniert, sodass unmittelbar Rückschlüsse auf dessen Kontaminationsgrad gezogen werden können.
Selbstverständlich kann mit geeigneten optischen Sensoren anstelle der Sauerstoffkonzentration in der Kammer 7 auch die Konzentration von anderen Gasen (z.B. Kohlendioxid) überwacht werden. Auch kann, wenn neben dem Projektionsobjektiv 5 auch das Beleuchtungssystem 2 in einer gasgespülten Kammer integriert ist, ein optischer Sensor auch dort zur Messung der Gaskonzentration zum Einsatz kommen. Auch andere optische Systeme mit einer gasgespülten Kammer wie Wafer-Inspektionsanlagen können mit einem solchen Sensor ausgestattet werden.
In allen Fällen ist durch die Auswerteeinheit 15 eine permanente und einfach handhabbare on-line Analytik des Spülgases gewährleistet. Die Detektierung von Lecks oder Unregelmäßigkeiten der Spülung ist mit dem hier beschriebenen System mit größerer Genauigkeit möglich, als dies bei der Verwendung von Lambda-Sonden zur Bestimmung des Sauerstoffgehalts der Fall wäre. Der faseroptisch geführte Fluoreszenz-Sensor 12 ermöglicht die Detektion von Sauerstoff an beliebigen Orten in dem Projektionsobjektiv 5, verbraucht nur wenig Raum, wird nicht heiß und verbraucht bei der Messung kein Gas aus der beprobten Umgebung. Ebenfalls werden die Strömungsverhältnisse der beprobten Umgebung in der Kammer nicht beeinflusst, sodass mit Hilfe der Bestimmung von Konzentrationsunterschieden an mehreren voneinander beabstandeten optischen Sensoren direkt auf das Strömungsprofil des Gasflusses in der Kammer geschlossen werden kann.
Insbesondere beim Einsatz von gepulstem Messlicht kann außerdem eine vorzeitige Alterung des Sensors 12 verhindert werden, sodass ein dauerhafter Sensorbetrieb ermöglicht wird. Durch die Anbringung des Sensors 12 an der Kammerwand 11 und die Führung durch das Glasfaserkabel 13 ist auch ein besonders einfacher Austausch des Sensors 12 möglich, falls dieser defekt ist oder dessen Lebensdauer überschritten ist.

Claims

Mikrolithographie-Projektionsbelichtungsanlage (1) umfassend mindestens ein optisches Element (10), das in einer gasgespülten, gegen die Umgebungsluft zumindest teilweise abgeschlossenen Kammer (7) angeordnet ist, und eine Messeinrichtung zur Bestimmung der Konzentration mindestens eines Gasbestandteils in der Kammer (7), dadurch gekennzeichnet, dass die Messeinrichtung mindestens einen optischen Sensor (12, 12'), insbesondere einen Lumineszenz-Sensor, umfasst, dessen optisches Ausgangssignal von der Konzentration des Gasbestandteils in der Kammer (7) abhängig ist.
Projektionsbelichtungsanlage nach Anspruch 1, bei welcher der optische Sensor (12, 12') im Inneren der Kammer (7), bevorzugt an einer Kammerwand (11) oder in einer Fassung (18) des optischen Elements (10) angeordnet ist.
Projektionsbelichtungsanlage nach Anspruch 1 oder 2, bei der die Kammer (7) durch das Gehäuse eines Projektionsobjektivs (5) gebildet ist.
Projektionsbelichtungsanlage nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei der die Kammer durch das Gehäuse eines Beleuchtungssystems (2) gebildet ist.
Projektionsbelichtungsanlage nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei welcher die Messeinrichtung eine insbesondere gepulste Messlichtquelle (16), die mit dem Sensor (12, 12') über einen Lichtleiter, insbesondere ein Glasfaserkabel (13, 13') verbunden ist, sowie eine Detektionseinheit (17) aufweist.
Projektionsbelichtungsanlage nach Anspruch 4, bei welcher der optische Sensor (12, 12') an einem Ende des Lichtleiters angebracht ist und der Lichtleiter durch eine Öffnung in der Kammerwand (11) geführt ist.
Projektionsbelichtungsanlage nach Anspruch 4, bei welcher der Sensor an der Innenseite der Kammerwand in einem für das Licht der Messlichtquelle transparenten Teilbereich der Kammerwand angeordnet ist.
Projektionsbelichtungsanlage nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei welcher der optische Sensor (12, 12') als Folie ausgebildet ist.
Projektionsbelichtungsanlage nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei welcher der optische Sensor (12, 12') zur Messung der Sauerstoffkonzentration ausgebildet ist.
Verfahren zur Bestimmung des Kontaminationszustands des mindestens einen optischen Elements (10) in der Kammer (7) der Projektionsbelichtungsanlage (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem die Konzentration des Gasbestandteils in der Kammer (7) mittels des optischen Sensors (12, 12') bestimmt wird, diese mit einer Soll-Konzentration in der Kammer (7) sowie der Konzentration des Gasbestandteils in der Umgebungsluft verglichen und daraus der Anteil der Umgebungsluft in der Kammer (7) bestimmt wird.
Verfahren zur Bestimmung eines Konzentrationsgradienten des mindestens einen Gasbestandteils in der Kammer (7) der Projektionsbelichtungsanlage (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem der Konzentrationsgradient durch Messung der Konzentration an zumindest zwei räumlich voneinander beabstandeten optischen Sensoren (12, 12') bestimmt wird.