DE102005013818A1

DE102005013818A1 - Drucksensor mit integriertem Temperatursensor

Info

Publication number: DE102005013818A1
Application number: DE102005013818A
Authority: DE
Inventors: Kyutaro Kariya Hayashi; Keiji Kariya Horiba
Original assignee: Denso Corp
Current assignee: Denso Corp
Priority date: 2004-03-25
Filing date: 2005-03-24
Publication date: 2005-10-06
Anticipated expiration: 2025-03-25
Also published as: KR100605028B1; DE102005013818B4; CN1673703A; FR2868162B1; JP2005274412A; US20050210990A1; KR20060044607A; CN100348960C; FR2868162A1; US7216546B2

Abstract

Ein Drucksensor (100) weist ein Gehäuse (10), Anschlusselemente (11), ein Drucksensorelement (20), einen Kanal (30) und ein Temperatursensorelement (40) auf. Die Anschlusselemente (11) sind durch Einsatzformung (Insert Molding) an dem Gehäuse (10) angebracht und können mit einer externen Vorrichtung verbunden werden. Das Drucksensorelement (20) ist mit den Anschlusselementen (11) elektrisch verbunden und in dem Gehäuse (10) untergebracht. Der Kanal (30) weist eine Druckaufnahmeöffnung (31) auf, durch die ein Druckübertragungsmedium zu dem Drucksensorelement (20) geleitet wird, und ist mit dem Gehäuse (10) verbunden. Das Temperatursensorelement (40) ist mit den Anschlusselementen (11) elektrisch verbunden und in der Druckaufnahmeöffnung (31) angeordnet. Ein Teil jedes Anschlusselements (11) verläuft durch die Druckaufnahmeöffnung (31) und erstreckt sich zu dem Temperatursensorelement (40). Der Erstreckungsabschnitt (11a) ist mit dem Temperatursensorelement (40) elektrisch verbunden. Der Erstreckungsabschnitt (11a) ist als mittels Einsatzformverfahren hergestellter Abschnitt des Gehäuses (10) ausgebildet und wird von dem Material, aus dem das Gehäuse (10) hergestellt ist, gehalten.

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf einen Drucksensor mit integriertem Temperatursensor.

Ein Drucksensor mit integriertem Temperatursensor wird in der JP-A-2003-75019 vorgeschlagen und ist in 4 gezeigt. Der Drucksensor 900 wird bei einem Fahrzeug zum Messen von Druck im Ansaugkrümmer und von Ansauglufttemperaturen verwendet. Der Motor des Fahrzeugs wird auf der Grundlage von Signalen, die die Messungen angeben, gesteuert.

Ein Sensorgehäuse 910 enthält eine gegossene integrierte Schaltung 921 mit einem Drucksensorelement 920, das Druck ermittelt. Die gegossene integrierte Schaltung 921 ist über einen Anschlussrahmen 922 elektrisch mit Anschlusselementen 911 verbunden. Die Anschlusselemente 911 sind zur Ausgabe von Drucksignalen an eine externe Prozessorschaltung vorgesehen. Ein Kanal 930 ist mit dem Gehäuse 910 so verbunden, dass eine Drucksensorkammer von dem Gehäuse 910 und dem Kanal 930 definiert wird. Der Kanal 930 weist zwei Druckaufnahmeöffnungen 931 auf, die durch Teilung des Inneren des Kanals 930 mittels einer Trennplatte 932 ausgebildet werden.

Eine der Druckaufnahmeöffnungen 931 ist als Mediumleitungsöffnung 931a vorgesehen, durch die ein Druckübertragungsmedium zu dem Drucksensorelement 920 geleitet wird. Die andere Druckaufnahmeöffnung 931b ist als Temperatursensorelement-Gehäuseöffnung 931b vorgesehen, in der Leitungsdrähte 924 angeordnet sind. Die Leitungsdrähte 924 sind durch Schweißen elektrisch und mechanisch mit den Anschlusselementen 911 verbunden. Ein Temperatursensorelement 940 ist nahe dem Ende der Leitungsdrähte 924 angeordnet.

Ein Stoßdämpferelement 925 aus Harz ist in der Temperatursensorelement-Gehäuseöffnung 931b um die Leitungsdrähte 924 herum angeordnet, um Vibrationen des Temperatursensorelements 940 und der Leitungsdrähte 924 zu reduzieren. Wenn das Stoßdämpferelement 925 nicht vorgesehen ist, wird das Temperatursensorelement 940 nur durch die Leitungsdrähte 924 gestützt. Daher schwingt das Tempera tursensorelement 940 mit einem Verbindungspunkt 923, der zwischen den Leitungsdrähten 924 und dem Anschlusselement 911 als Stützpunkt vorgesehen ist, wenn der Drucksensor 900 vibriert.

In einem derartigen Fall wird wiederholt Belastung auf den Verbindungspunkt 923 aufgebracht und die Leitungsdrähte 924 berühren die Innenwand des Kanals 930. Als Folge hiervon werden die Leitungsdrähte 924 beschädigt. Die Leitungsdrähte 924 werden von dem Stoßdämpferelement 925 fest gehalten. Somit werden die Schwingbewegungen des Temperatursensorelements 940 und der Leitungsdrähte 924 reduziert und ihre Widerstandsfähigkeit kann verbessert werden.

Die Leitungsdrähte 924 sind zum Schutz vor Korrosion oder Schmutz mit einem Schlauch oder einem Beschichtungselement überzogen, damit sie in der Messumgebung nicht blank vorliegen. Der Verbindungspunkt ist zum Schutz mit einem Einkapselungselement 926 bedeckt. Der Drucksensor 900 benötigt also den Schlauch oder das Beschichtungselement zum Schutz der Leitungsdrähte 924, das Einkapselungselement 926 zum Schutz des Verbindungspunkts 923 und das Stoßdämpferelement 925 zum Schutz der Leitungsdrähte 924. Die Leitungsdrähte 924 erfordern einen komplizierten Aufbau, damit die Vibrationsfestigkeit des Temperatursensorelements 940 sichergestellt ist.

Es ist daher Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen Drucksensor mit integriertem Temperatursensor zur Verfügung zu stellen, bei dem Vibrationen des Temperatursensorelements mit einer einfachen Konfiguration unterdrückt werden. Der Drucksensor der vorliegenden Erfindung weist ein Gehäuse, Anschlusselemente, ein Drucksensorelement und ein Temperatursensorelement auf.

Die Anschlusselemente sind durch Einsatzformung (Insert Molding) an dem Gehäuse angebracht und können mit einer externen Vorrichtung verbunden werden. Das Drucksensorelement, das den Druck ermittelt, ist mit den Anschlusselementen elektrisch verbunden und in dem Gehäuse untergebracht. Der Kanal, der eine Mediumleitungsöffnung aufweist, durch die ein Druckübertragungsmedium zum dem Drucksensorelement geleitet wird, ist mit dem Gehäuse verbunden. Das Temperatursensorelement, das die Temperatur des Druckübertragungsmediums ermittelt, ist mit den Anschlusselementen elektrisch verbunden und in der Mediumleitungsöffnung angeordnet.

Ein Teil jedes Anschlusselements geht durch die Druckaufnahmeöffnung hindurch und erstreckt sich bis zu dem Temperatursensorelement. Dieser Teil wird als Erstreckungsabschnitt bezeichnet. Der Erstreckungsabschnitt ist mit dem Temperatursensorelement elektrisch verbunden. Der Erstreckungsabschnitt ist als mittels Einsatzformverfahren hergestellter Abschnitt des Gehäuses ausgebildet und wird von dem Material, aus dem das Gehäuse hergestellt ist, gehalten. Bei dieser Konfiguration fungieren die Erstreckungsabschnitte der Anschlusselemente als Leitungsdrähte. Daher werden keine Leitungsdrähte benötigt und die Verbindungspunkte der Leitungsdrähte sind nicht vorhanden.

Die Erstreckungsabschnitte werden von dem Material, aus dem das Gehäuse hergestellt ist, gehalten. Somit sind sie vor Korrosion und Schmutz geschützt und sind verstärkt. Die Widerstandsfähigkeit der Erstreckungsabschnitte gegenüber Vibrationen und gegenüber der Umgebung wird sichergestellt. Außerdem können die Erstreckungsabschnitte leicht zu derselben Zeit hergestellt werden wie das Gehäuse. Somit sind Einkapselungselemente um die Basis der Erstreckungsabschnitte herum oder Stützelemente zum Stützen der Erstreckungsabschnitte, beispielsweise das in 4 gezeigte Stoßdämpferelement 925, nicht notwendig. Bei dieser Konfiguration werden die Vibrationen eines Temperatursensorelements durch eine einfache Konfiguration unterdrückt.

Die oben genannte und weitere Aufgaben, Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden durch die nachfolgende detaillierte Beschreibung unter Bezug auf die beigefügten Zeichnungen deutlicher. Es zeigt:
1 eine Querschnittsansicht eines Drucksensors gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
2 eine Querschnittsansicht eines Kanals in dem Drucksensor entlang der Linie II-II in 1;
3A eine Teil-Querschnittsansicht des Drucksensors gemäß einer Abänderung der Ausführungsform;
3B eine Teil-Querschnittsansicht des Drucksensors gemäß einer Abänderung der Ausführungsform; und
4 eine Querschnittsansicht eines Drucksensors gemäß dem Stand der Technik.
Die bevorzugten Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung werden unter Bezug auf die beigefügten Zeichnungen erläutert. In den Zeichnungen werden für gleiche Bauteile und Vorrichtungen die gleichen Bezugszeichen verwendet.
Unter Bezug auf 1 weist ein Drucksensor 100 ein Sensorgehäuse 10, Anschlusselemente 11, ein Druckssensorelement 20, einen Kanal 30 und ein Temperatursensorelement 40 auf. Die Anschlusselemente 11 können mit einer externen Vorrichtung verbunden werden und sind mittels Einsatzformung an dem Gehäuse 10 angebracht. Das Drucksensorelement 20 ermittelt Druck. Es ist mit den Anschlusselementen 11 elektrisch verbunden und an dem Gehäuse 10 befestigt und darin untergebracht. Der Kanal 30 weist eine Druckaufnahmeöffnung 31 auf, durch die ein Druckübertragungsmedium zu dem Drucksensorelement 20 geleitet wird. Das Temperatursensorelement 40 ermittelt die Temperatur des Druckübertragungsmediums. Es ist in der Druckaufnahmeöffnung 31 angebracht und mit den Anschlusselementen 11 elektrisch verbunden.
Das Gehäuse 10 besteht aus Harz, beispielsweise Polyphenylensulfid (PPS), Polybutylenterephthalat (PBT) oder Epoxidharz. Das Gehäuse 10 weist eine Ausnehmung 12 auf, in der sich das Drucksensorelement 20 befindet. Die Anschlusselemente 11 sind aus einem leitenden Material, beispielsweise Kupfer und Legierung 42, hergestellt. Ein Ende des ersten Anschlusselements 11 ist an der Ausnehmung 12 freigelegt. Der freigelegte Abschnitt des Anschlusselements 11 ist vergoldet, so dass er als Bond Pad fungiert. Das andere Ende des ersten Anschlusselements 11 und ein Ende des zweiten Anschlusselements 11 sind an einer Öffnung 13 des Gehäuses 10 freigelegt. Die Enden können mit (nicht gezeigten) externen Vorrichtungen mit Verbindungsstücken verbunden werden. Ein Teil des Gehäuses um die Öffnung 13 und die Enden der Anschlusselemente 11 herum fungiert als Verbindungsstück des Drucksensors 100.
Das Drucksensorelement 20 ermittelt Druck und gibt elektrische Signale entsprechend den Druckhöhen ab. Es ist aus einem Halbleitersensorchip und einer Glasbasis, die den Sensorchip trägt, aufgebaut. Der Sensorchip ist ein bekannter Chip, der den piezoresistiven Effekt, ein Diaphragma und eine Brückenschaltung verwendet, ist jedoch nicht auf diese Art beschränkt. Das Diaphragma verformt sich, wenn auf seine obere Oberfläche ein Druck aufgebracht wird. Die Brückenschaltung ist aus diffundierten Transistoren aufgebaut.
Das Drucksensorelement 20 ist mit einem Kleber, beispielsweise einem (nicht gezeigten) Silikonkautschuk, am Boden der Ausnehmung 12 befestigt. (Nicht gezeigte) Eingangs- und Ausgangs-Anschlusselemente des Drucksensorelements 20 sind mit den Bond Pads der Anschlusselemente 11 über Bonddrähte 14 aus Gold oder Aluminium elektrisch verbunden. Das Drucksensorelement 20 ist mit den Anschlusselementen 11 elektrisch verbunden und in dem Gehäuse 10 untergebracht.
Die Ausnehmung 12 ist mit einem Dichtungselement 15 gefüllt, das elektrisch isoliert ist und chemische Beständigkeit aufweist, beispielsweise Fluorgel oder Fluorkautschuk. Das Dichtungselement 15 dichtet Lücken zwischen den Anschlusselementen 11 und dem Gehäuse 10 ab und schirmt das Drucksensorelement 20 und die Bonddrähte 14 ab. Das Drucksensorelement 20, die Anschlusselemente 11, die Bonddrähte 14, die Verbindungspunkte zwischen dem Drucksensor 20 und den Bonddrähten 14 und die Verbindungspunkte zwischen den Anschlusselementen 11 und den Bonddrähten 14 sind mit den Dichtungselementen 15 bedeckt, sind vor Chemikalien geschützt, elektrisch isoliert und vor Korrosion geschützt.
Das Dichtungselement 15 weist eine Zweischichtstruktur auf. Die obere Schicht ist aus einem Hochmodul-Material mit chemischer Beständigkeit hergestellt, um Blasen aus den Lücken zwischen den Anschlusselementen 11 und dem Gehäuse 10 zu reduzieren. Gummi auf Fluorbasis kann für die untere Schicht des Dichtungselements 15 verwendet werden. Die obere Schicht ist aus einem Niedermodul-Material mit chemischer Beständigkeit hergestellt, damit auf das Drucksensorelement 20 und die Bonddrähte 14 weniger Belastung aufgebracht wird. Ein Gel auf Fluorbasis oder ein Fluorsilicon-Gel kann für die untere Schicht des Dichtungselements 15 verwendet werden.
Der Kanal 30 ist so mit dem Gehäuse 10 verbunden, dass er die Ausnehmung 12 überdeckt. Eine Drucksensorkammer 16 wird durch das Gehäuse 10 und den Kanal 30 definiert. Der Kanal 30 ist aus wärmebeständigem Harz, beispielsweise PBT oder PPS, hergestellt. Der Kanal 30 ist mit einem Kleber 17 mit hoher chemischer Beständigkeit und hoher Elastizität an dem Gehäuse 10 befestigt. Hartes Epoxidharz kann für den Kleber 17 verwendet werden. Der Kanal 30 steht von dem Gehäuse 10 vor und weist eine Druckaufnahmeöffnung 31 auf, die sich von seinem Ende zu der Drucksensorkammer 16 erstreckt.
Die Druckaufnahmeöffnung 31 ist durch eine Trennplatte 32 in zwei Abschnitte geteilt. Die Trennplatte 32 ist entlang eines Pfads angeordnet, in dem das Druckübertragungsmedium geleitet wird, was in 1 durch einen weißen Pfeil angezeigt ist. Einer der Abschnitte der Druckaufnahmeöffnung 31 wird als Mediumleitungsöffnung 31a verwendet, durch die das Druckübertragungsmedium zu einer Druckaufnahmeoberfläche des Drucksensorlements 20 zum Messen des Drucks geleitet wird. Der andere Abschnitt wird als Temperatursensorelement-Gehäuseöffnung 31b verwendet, in der das Temperatursensorelement 40 angebracht ist.
Ein O-Ring 33 ist um den Kanal 30 herum angeordnet. Der Drucksensor 100 kann luftdicht an einem (nicht gezeigten) Sensormontierabschnitt eines Gegenstandes montiert werden. Die Mediumleitungsöffnung 31a und die Temperatursensorelement-Gehäuseöffnung 31b schließen sich an die Drucksensorkammer 16 in dem Kanal 30 an. Die Trennplatte 32 wird bei der Herstellung des Kanals 30 einstückig mit diesem ausgebildet.
Ein Teil jedes Anschlusselements 11 geht durch die Druckaufnahmeöffnung 31 hindurch und erstreckt sich bis zu dem Temperatursensorelement 40. Der sich erstreckende Teil des Anschlusselements 11 wird als Erstreckungsabschnitt 11a bezeichnet. Das Temperatursensorelement 40 ist mit einem Ende des Erstreckungsabschnitts 11a jedes Anschlusselements 11 elektrisch verbunden.
Der Erstreckungsabschnitt 11a wird durch Biegen eines Teils des Anschlusselements 11 ausgebildet und so feinbearbeitet, dass er durch die Druckaufnahmeöffnung 31 hindurchtreten kann. Die Anschlusselemente 11 sind so angeordnet, dass die Erstreckungsabschnitte 11a durch die Temperatursensorelement-Gehäuseöffnung 31b hindurchgehen. Die Erstreckungsabschnitte 11a sind mittels Einsatzformung an dem Gehäuse 10 angebracht, d.h. als mittels Einsatzformverfahren hergestellte Abschnitte des Gehäuses 10 ausgebildet, und werden von dem Material, aus dem das Gehäuse 10 hergestellt ist, gehalten.
Das Temperatursensorelement 40 ist ein normales Thermistorelement. Es ist durch Löten mit den Erstreckungsabschnitten 11a elektrisch verbunden. Die Erstreckungsabschnitte 11a sind durch Einsatzformung an dem Gehäuse 10 angebracht und werden von dem Material, aus dem das Gehäuse hergestellt ist, gehalten. Das Temperatursensorelement 40 wird durch das Material, aus dem das Gehäuse 10 hergestellt ist, abgeschirmt. Das Gehäuse 10 wird durch Verbinden des Temperatursensorelements 40 mit den Enden der Erstreckungsabschnitte 11a und Formpressen mit den Anschlusselementen 11 vorbereitet.
Ein Verfahren zum Herstellen des Drucksensors 100 wird nun erläutert. Das Gehäuse 10 wird durch Verbinden des Temperatursensorelements 40 mit den Enden der Erstreckungsabschnitte 11a und Formpressen mit den Anschlusselementen vorbereitet. Das Drucksensorelement 20 wird mit einem Kleber in der Ausnehmung 12 an dem Gehäuse 10 befestigt. Die Bonddrähte 14 werden zwischen den Anschlusselementen 11 und dem Drucksensorelement 20 verbunden, um das Drucksensorelement 20 über die Bonddrähte 14 mit den Anschlusselementen 11 zu verbinden. Das Dichtungselement 15 wird so in die Ausnehmung 12 eingespritzt, dass die Ausnehmung 12 mit dem Dichtungselement 15 ausgefüllt ist, und es wird durch ein Aushärtungsverfahren thermisch gehärtet.
Der Kanal 30 wird mit dem Kleber 17 so an dem Gehäuse 10 befestigt, dass er mit dem Gehäuse 10 derart verbunden ist, dass die Erstreckungsabschnitte 11a in die Temperatursensorelement-Gehäuseöffnung 31b eingesetzt werden. Dann ist der Temperatursensor 100 fertig.
Der Drucksensor 100 kann als Ansaugluftdrucksensor für den Ansaugkrümmer eines Fahrzeugs verwendet werden. In diesem Fall wird der Drucksensor 100 so in dem Fahrzeug eingebaut, dass die Druckaufnahmeöffnung 31 mit dem Ansaugkrümmer in Verbindung steht, damit der Ansaugluftdruck (Unterdruck) von dem Drucksensorelement 20 ermittelt werden kann.
Ein Druckübertragungsmedium wird durch die Mediumleitungsöffnung 31a zu der Druckaufnahmeoberfläche des Drucksensorelements 20 geleitet, wenn auf das Innere des Drucksensors, wie mit dem weißen Pfeil angezeigt, ein Druck aufgebracht wird. Das Drucksensorelement 20 ermittelt den Druck und gibt ein elektrisches Signal entsprechend der Höhe des Drucks aus. Das elektrische Signal wird über den Bonddraht 14 und das Anschlusselement 11 an eine externe Vorrichtung ausgegeben. Die Temperatur des Druckübertragungsmediums wird durch das Temperatursensorelement 40 ermittelt, das nahe dem Pfad für das Druckübertragungsmedium angeordnet ist. Ein Signal, das die ermittelte Temperatur angibt, wird über den Erstreckungsabschnitt 11a an eine externe Vorrichtung ausgegeben.
Bei dem Drucksensor 100 verlaufen Teile der Anschlusselemente 11 durch die Druckaufnahmeöffnung 31 und sind mit dem Temperatursensorelement 40 elektrisch verbunden. Die Erstreckungsabschnitte 11a fungieren als Leitungsdrähte. Somit benötigt der Drucksensor 100 keine Leitungsdrähte. Außerdem benötigt der Drucksensor 100 kein Einkapselungselement zum Schutz eines Verbindungspunkts des Leitungsdrahts, wie er in dem in 4 gezeigten Stand der Technik verwendet wird.
Die Erstreckungsteile 11a werden von dem Material, aus dem das Gehäuse 10 hergestellt ist, gehalten und sind daher vor Korrosion und Schmutz geschützt. Des weiteren werden sie mit dem Material verstärkt, wodurch ihre Festigkeit gegenüber Vibrationen oder einer harten Umgebung sichergestellt wird. Die Erstreckungsteile 11a sind einfach zu derselben Zeit herzustellen wie das Gehäuse 10. Somit sind die Einkapselungselemente um die Basis der Erstreckungsabschnitte 11a herum oder Stützelemente zum Stützen der Erstreckungsabschnitte 11a, beispielsweise ein Stoßdämpferelement 925, nicht notwendig. Vibrationen des Temperatursensorelements 40 werden mit einer einfachen Konfiguration in dem Drucksensor 100 zweckmäßig unterdrückt.
Das Herstellungsverfahren des Drucksensors 100 kann vereinfacht werden, weil der Aufbau des Drucksensors 100 vereinfacht ist. Daher kann der Drucksensor 100 mit niedrigen Kosten bereitgestellt werden. Außerdem ist das Temperatursensorelement 40 in der Druckaufnahmeöffnung 31 in einem kleinen Raum angeordnet, der von der Trennplatte 32 abgetrennt wird. Somit ist es weniger wahrscheinlich, dass das Temperatursensorelement 40 aufgrund von Vibrationen in hohem Maße verschoben wird; auch wenn eine Verschiebung stattfindet, ist diese nur gering.
Die vorliegende Erfindung sollte nicht auf die vorstehend erläuterte und in den Figuren gezeigte Ausführungsform beschränkt werden, sondern kann auf verschiedene Arten implementiert werden, ohne vom Geist der Erfindung abzuweichen. Beispielsweise kann ein Teil des Erstreckungsabschnitts 11a, an dem das Temperatursensorelement angeordnet ist, mit einem Dichtungselement 10a abgedichtet werden, nachdem das Gehäuse hergestellt worden ist, wie in 3A gezeigt ist. Das Dichtungselement 10a kann aus dem gleichen Material hergestellt sein wie das Gehäuse 10 oder aus einem anderen Material, das ein Epoxidharz enthält. Ein Teil des Erstreckungsabschnitts 11a kann ohne Abdichtung freigelegt sein. Das Gehäuse 10 kann aus anderen Materialien als aus Harz hergestellt werden, solange die Anschlusselemente 11 durch Einsatzformung an dem Gehäuse 10 angebracht werden können.
Die Druckaufnahmeöffnung 31 kann ohne Trennplatte 32 ausgebildet werden, solange ein Teil jedes Anschlusselements 11 einen Erstreckungsabschnitt 11a aufweist, der mit dem Material, aus dem das Gehäuse 10 hergestellt ist, abgedichtet ist und das Temperatursensorelement 40 mit dem Ende des Erstreckungsabschnitts 11a verbunden ist. Bei dieser Konfiguration werden die Leitungsdrähte und die Elemente, die die Leitungsdrähte schützen, weggelassen, während die Vibrationsfestigkeit der Erstreckungsabschnitte 11a mit einer einfachen Konfiguration zweckmäßig zur Verfügung gestellt wird.

Claims

Drucksensor (100) mit integriertem Temperatursensor mit: einem Gehäuse (10); Anschlusselementen (11), die durch Einsatzformung (Insert Molding) an dem Gehäuse (10) angebracht sind und mit einer externen Vorrichtung verbunden werden können; einem Drucksensorelement (20) zum Ermitteln eines Drucks, wobei das Drucksensorelement (20) mit den Anschlusselementen (11) elektrisch verbunden und in dem Gehäuse (10) untergebracht ist; einem Kanal (30), der eine Druckaufnahmeöffnung (31) aufweist, durch die ein Druckübertragungsmedium zu dem Drucksensorelement (20) geleitet wird, und der mit dem Gehäuse (10) verbunden ist; und einem Temperatursensorelement (40) zum Ermitteln der Temperatur des Druckübertragungsmediums, wobei das Temperatursensorelement (40) mit den Anschlusselementen (11) elektrisch verbunden und in der Druckaufnahmeöffnung (31) angeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Anschlusselemente (11) Abschnitte (11a) aufweisen, die durch die Druckaufnahmeöffnung (31) hindurchgehen und sich bis zu dem Temperatursensorelement (40) erstrecken, die Erstreckungsabschnitte (11a) der Anschlusselemente (11) als mittels Einsatzformverfahren hergestellte Abschnitte des Gehäuses (10) ausgebildet sind und von einem Material, aus dem das Gehäuse (10) hergestellt ist, gehalten werden, und die Erstreckungsabschnitte (11a) der Anschlusselemente (11) mit dem Temperatursensorelement (40) elektrisch verbunden sind.
Drucksensor (100) nach Anspruch 1, wobei das Gehäuse (10) aus Harz hergestellt ist.
Drucksensor nach Anspruch 1 oder 2, der des weiteren eine Trennplatte (32) in der Druckaufnahmeöffnung (31) aufweist, wobei: die Trennplatte (32) entlang eines Pfads angeordnet ist, in dem das Druckübertragungsmedium geleitet wird, und zwar so, dass wenigstens ein Teil der Druckaufnahmeöffnung (32) durch die Trennplatte (32) abgetrennt wird; und das Temperatursensorelement (40) in einem Raum angeordnet ist, der durch die Trennplatte (32) abgetrennt wird.
Drucksensor (100) nach Anspruch 1, wobei das Temperatursensorelement (40) an den Enden der Erstreckungsabschnitte (11a) der Anschlusselemente (11) angeordnet ist und von dem Material, aus dem das Gehäuse (10) hergestellt ist, gehalten wird.
Drucksensor (100) nach Anspruch 1, wobei: die Erstreckungsabschnitte (11a) freiliegende Enden aufweisen; und das Temperatursensorelement (40) an den freiliegenden Enden angeordnet ist.
Drucksensor (100) nach Anspruch 1, wobei: die Erstreckungsabschnitte (11a) freiliegende Enden aufweisen; das Temperatursensorelement (40) an den freiliegenden Enden angeordnet ist; und die freiliegenden Enden und das Temperatursensorelement (40) mit einem Dichtungselement (10a) abgedichtet sind.