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Gebiet der
Erfindung
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Die
Erfindung betrifft eine piezoelektrische Antriebseinheit und ein
Verfahren zur Erzeugung einer vorzugsweise rotatorischen Antriebsbewegung einer
solchen Antriebseinheit. Die Antriebseinheit umfasst einen Stator
einen Rotor und Antriebselemente in Form von vorzugsweise mehreren
piezoelektrischen Aktoren.
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Piezoelektrische
Aktoren oder Elemente ändern
unter dem Einfluss einer veränderlichen
elektrischen Spannung ihre Länge.
Dadurch ist es möglich und
bekannt, in einem kinematischen System eine zwangsläufige Bewegung
derart zu erreichen, dass die Translation oder Rotation eines Gliedes
genutzt werden kann bis hin zur fortlaufenden Bewegung. Man spricht
hier auch von einem sogenannten Wanderwellenantrieb, beschrieben
z.B. in W. Schinköthe, M.
Hermann: „Aktorik
in der Feinwerktechnik",
Teil 2, IKFF, Universität
Stuttgart, Ausgabe 4/1997. Der Wanderwellenantrieb ist eine besondere
Form eines Ultraschallantriebes. Er nutzt die elliptische Oberflächenbewegung
einer fortlaufenden resonanten Biegewelle. Ein derartiger Schwingungszustand
kann unter bestimmten Anregungsbedingungen durch Überlagerung
von Eigenformen in geometrisch geschlossenen Resonatoren erzeugt
werden. Üblicherweise
werden dafür
einfache geometrische Grundkörper
wie Scheiben, Ringe oder hohle Zylinder verwendet. Die folgenden
Ausführungen
zeigen kurz die Entstehung von Wanderwellen, ohne auf das Problem
der an die Geometrie geknüpften
Eigenformen näher
einzugehen. Zunächst
soll die Gleichung einer stehenden Welle betrachtet werden. y1 = a·sin(k·x)·sin(ω·t)
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Durch
Addition einer zweiten stehenden Welle gleicher Amplitude, die sich
durch eine zeitliche Phasenverschiebung Φ0 und
eine räumliche
Phasenverschiebung k·x0 unterscheidet, ergibt die resultierende
Schwingung folgende Gleichung. y = y1 +
y2 = a·sin(k·x)·sin(ω·t) + a·sin(k·x + k·x0)·sin(ω·t + Φ0)
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Trigonometrische
Umformungen überführen die
Ausgangsgleichung in die folgende Form. 2y =
y1 + y2 = a·cos(k·x – ω·t) – a·cos(k·x + ω·t) + a·cos(k·x – ω·t + k·x0 – Φ0) – a·cos(k·x + ω·t + k·x0 + Φ0)
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Für eine räumliche
Phasenverschiebung von x0 = λ/4 und eine
zeitliche Phasenverschiebung von Φ0 =
T/4 reduziert sich die Zahl der Wanderwellen auf die folgende Gleichung
einer einzigen Wanderwelle. y = a·cos(k·x – ω·t)
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Eine
zeitliche Phasenverschiebung von Φ0 = – T/4 kehrt
die Drehrichtung der Wanderwelle um. Für abweichende Werte der zeitlichen
und räumlichen Phasenverschiebungen
bleibt eine Überlagerung
aus umlaufenden und stehenden Wellen.
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Zwei
stehende Biegewellen bilden die Voraussetzung für die Erzeugung einer Wanderwelle. 7a (obere Zeichnung) zeigt ein Trägermaterial 29,
an dem zwei piezoelektrische Elemente 30, 31 angeordnet
sind. Eine stehende Biegewelle kann durch unterschiedliche Ausrichtung
(Polarisation) der einzelnen Elemente 30, 31 und
entsprechende Ansteuerung erreicht werden. Liegt an beiden Elementen 30, 31 die
selbe Spannung U an, verlängern
bzw. verkürzen
sich die Elemente je nach ihrer Polarisation, wie es in 7b gezeigt ist, und das Trägermaterial 29 wird
wellenartig verformt. Jedes Element 30, 31 erzeugt
eine halbe Wellenlänge
der entstehenden sinusförmigen
stehenden Welle. Durch Umpolen der angelegten Spannung wird eine
entgegengesetzte Biegewelle erzeugt.
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Nach
dem heutigen Stand der Technik werden Aktoren als piezoelektrische
Biegewandler oder Translatoren einzeln, in Gruppen oder in Verbindung mit
Wegveränderungssystemen
für eine
fortlaufende translatorische oder drehende Bewegung eines Antriebsgliedes
selbst in Längs-
oder Biegeschwingungen versetzt, um einen eigenen ausgewählten Punkt auf
einer geschlossenen Bahn zu bewegen, die geeignet ist diese Bewegung
durch Reibpaarung mit einem Abtriebsglied auf dieses zu übertragen.
Dieses Prinzip wird bei sogenannten Ultraschallmotoren eingesetzt.
Andere Ausführungen
bewirken durch Klemmen und Lösen
eine Mitnahme, also auch durch Reibschluss. Durch eine ringförmige Anordnung
von Aktoren und ihre periodische Ansteuerung kann eine Wanderwelle
erzeugt werden, die auf einen Rotor übertragen, diesen in Drehung
um seine Rotationsachse versetzt. Eine solche rotierende Ausführung eines
piezoelektrischen Motors ist zum Beispiel in der
EP 449 048 B1 offenbart.
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Die
bekannten Lösungen
besitzen unter anderem den Nachteil, dass hier eine Bewegungsübertragung
durch Reibschluss erfolgt. Dabei wird die Kraft- und Momentenübertragung
durch die erforderliche Mindestvorspannung an der Paarungsstelle
und den Reibbeiwert bestimmt. Ferner tritt ein unerwünschter
Verschleiß an
der Reibpaarungsstelle auf. Zur Sicherung der Funktion werden Piezomotoren mit
Reibschluss an der Bewegungsübertragungsstelle
mit hoher Frequenz betrieben. Eine Drehzahlverstellung ist über die
Frequenz dabei kaum möglich. Schließlich sind
die übertragbaren
Momente dieser Motoren insbesondere bei Biegeschwingern sehr gering.
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Offenbarung
der Erfindung
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Der
Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, eine piezoelektrische
Antriebseinheit zur Erzeugung einer vorzugsweise rotatorischen Antriebsbewegungen
zu schaffen, bei der auf eine Bewegungsübertragung durch Reibschluss
mit allen seinen Nachteilen verzichtet wird.
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Diese
Aufgabe wird erfindungsgemäß durch eine
Antriebseinheit gemäß dem unabhängigen Patentanspruch
1 gelöst.
Ein Verfahren zur Erzeugung einer vorzugsweise rotatorischen Antriebsbewegung einer
solchen Antriebseinheit ist im unabhängigen Patentanspruch 10 angegeben.
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Bevorzugte
Ausgestaltungen und weitere vorteilhafte Merkmale der Erfindung
sind Gegenstand der abhängigen
Patentansprüche.
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Die
Antriebseinheit umfasst erfindungsgemäß einen mit einem fluiden Medium
gefüllten
ringförmigen
Spalt, der zwischen einander zugewandten Oberflächen des Stators und des Rotors
ausgebildet ist, mehrere, an den Spalt angrenzend angeordnete piezoelektrische
Aktoren, die bei elektrischer Anregung nach einem vorgegebenen Schema
oder einer vorgegebenen Funktion eine im Wesentlichen radiale Längenänderung
in Richtung des Spaltes ausführen, derart,
dass die abgegebene mechanische Energie der Aktoren als Strömungsenergie
auf das fluide Medium übertragen
wird, wobei die Strömungsenergie des
fluiden Mediums auf den Rotor übertragen
und in eine rotatorische Antriebsbewegung des Rotors umgesetzt wird.
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Der
Vorteil der Erfindung liegt darin, das die Bewegungsübertragung
auf den Rotor nahezu verschleißfrei
durch die dem fluiden Medium mittels der piezoelektrischen Aktoren
aufgeprägte
hydrodynamische Energie erfolgt.
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In
vorteilhafter Weise bietet sich ein derartiges Antriebskonzept bei
Motoren an, deren Rotor mittels eines hydrodynamischen Lagersystem
gelagert ist.
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In
einer bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung sind die piezoelektrischen
Aktoren entlang des Umfangs des Spaltes in einer gemeinsamen Ebene
angeordnet, wobei die Ebene vorzugsweise etwa senkrecht zur Rotationsachse
verläuft.
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Dabei
sind die piezoelektrischen Aktoren segmentartig ausgebildet und
an die ringförmige
Geometrie des Spaltes angepasst.
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Zur
besseren Übertragung
der hydrodynamischen Energie des Fluids auf den Rotor weist ein
Teil des Rotors vorzugsweise über
seinen Umfang verteilt angeordnete, dem Spalt zugewandte und von dem
fluiden Medium umströmte
rippenförmige
Vorsprünge
auf.
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Die
Lagerung des Rotors gegenüber
dem Stator kann auf bekannte Weise mittels Wälzlagersystemen erfolgen.
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Vorteilhaft
bietet es sich aber an, den Rotor mittels eines hydrodynamischen
Lagersystems im Stator zu lagern. Auf diese Weise kann ein Teil
des Lagerspalts gleichzeitig als Spalt für das Antriebssystem verwendet
werden. Das als Schmiermittel verwendete fluide Medium des hydrodynamischen
Lagers dient dabei gleichzeitig als Antriebsmedium.
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Die
Antriebseinheit kann vorteilhaft als Spindelmotor zum Antrieb der
Speicherplatten eines Festplattenlaufwerks ausgebildet sein.
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Nach
den erfindungsgemäßen Verfahren
erfolgt die Kraftübertragung
bei der beschriebenen piezoelektrischen Antriebseinheit nach dem
hydrodynamischen Prinzip, wobei die von den piezoelektrischen Aktoren
abgegebene mechanische Energie in Strömungsenergie eines fluiden
Mediums gewandelt wird, welche vom Rotor der Antriebseinheit wieder
in mechanische Energie rücktransformiert
wird.
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Die
Drehzahl des Rotors bzw. das erreichbare Drehmoment ist unter anderem
abhängig
von der Frequenz mit der die Aktoren angesteuert werden und dem
Grad der Längenänderung
(abhängig
von der angelegten Spannung).
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Zur
Beschreibung der Übertragungsfähigkeit von
hydrodynamischen Antrieben dienen daher die Grundlagen der Strömungslehre.
Betrachtet man den im Spalt umlaufenden Fluidstrom, so errechnet
sich die darin enthaltene Leistung aus der Größe des fließenden Massenstroms und aus
der ihm aufgeprägten
spezifischen Energie (Geschwindigkeit). Für die Strömung im Ringspalt lassen sich
die Beziehungen aus den von Bernoulli erarbeiteten Grundlagen entwickeln.
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Für eine bestmögliche Leistungsübertragung ist
die Strömung
im Spalt vorzugsweise quer zur Rotationsachse der Antriebseinheit
gerichtet.
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Es
ist eine elektronische Steuerungseinrichtung vorgesehen, welche
die piezoelektrischen Aktoren nach einem vorgegebenen Schema oder
einer vorgegebenen Funktion elektrisch ansteuert, so dass sich im
Lagerspalt eine gewünschte
Strömung
des fluiden Mediums einstellt.
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Dabei
werden in Bezug auf die Rotationsachse gegenüberliegende piezoelektrischen
Aktoren vorzugsweise paarweise angesteuert.
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Ein
bevorzugtes Ausführungsbeispiel
der Erfindung wird nachstehend anhand von Zeichnungsfiguren näher erläutert.
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Kurzbeschreibung
der Zeichnungen
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1 zeigt
einen Längsschnitt
durch eine als Spindelmotor ausgebildete, erfindungsgemäße Antriebseinheit;
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2a zeigt
einen Querschnitt der Antriebseinheit im Bereich der piezoelektrischen
Aktoren während
einer ersten Ansteuerungsphase;
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2b zeigt
einen Querschnitt der Antriebseinheit im Bereich der piezoelektrischen
Aktoren während
einer zweiten Ansteuerungsphase;
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2c zeigt
einen Querschnitt der Antriebseinheit im Bereich der piezoelektrischen
Aktoren während
einer zweiten Ansteuerungsphase;
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3 zeigt
ein schematisches Diagramm des zeitlichen Verlaufs der an die piezoelektrischen Aktoren
angelegten Steuerspannungen.
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4 zeigt
ein Schema einer ringförmigen piezokeramischen
Anordnung (entnommen aus Schinköthe
et al).
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5 zeigt
eine Lagerhülse
als Teil eines hydrodynamischen Gleitlagers zur Integration einer
piezoelektrische Antriebseinheit.
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6 zeigen weitere mögliche Ausgestaltungen von
piezokeramischen Anordnungen.
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7 zeigen
eine piezokeramische Anordnung aufgebracht auf ein Trägermaterial
im Ruhezustand und angeregtem Zustand (entnommen aus Schinköthe et al).
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Beschreibung
eines bevorzugten Ausführungsbeispiels
der Erfindung
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In 1 ist
eine als Spindelmotor ausgebildete erfindungsgemäße Antriebseinheit dargestellt, wie
sie zum Beispiel zum Antrieb von Speicherplatten eines Festplattenlaufwerks
eingesetzt werden kann.
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Die
Antriebseinheit umfasst einen Stator in Form einer feststehenden
Lagerhülse 1 mit
einer axialen zylindrischen Bohrung, in welcher eine Welle 2 um
eine Rotationsachse 11 drehbar aufgenommen ist. Die Lagerhülse 1 selbst
ist in einem Basisflansch 3 eingepresst. Zwischen dem Innendurchmesser
der Lagerhülse 1 und
dem geringfügig
kleineren Außendurchmesser
der Welle 2 ist mindestens ein hydrodynamischer Radiallagerbereich
mit einem Lagerspalt 4 vorgesehen, der mit einem Schmiermittel,
vorzugsweise einem fluiden Medium 10, gefüllt ist.
Dieser Radiallagerbereich ist in bekannter Weise durch ein Rillenmuster
(nicht dargestellt) gekennzeichnet, das auf der Oberfläche der
Welle 2 und/oder auf der Innenfläche der Lagerhülse 1 vorgesehen
ist. Sobald die Welle 2 in Rotation versetzt wird, baut
sich aufgrund des Rillenmusters ein hydrodynamischer Druck im Lagerspalt 4 bzw.
im darin befindlichen fluiden Medium auf, so dass das Lager tragfähig wird.
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Ein
durch eine mit der Welle 2 verbundene Druckplatte 5 und
eine Abdeckplatte 6 gebildetes hydrodynamisches Drucklager
am unteren Ende der Welle 2 sorgt für die axiale Positionierung
der Welle 2 in Bezug auf die Lagerhülse 1 der Lageranordnung und
nimmt die axialen Kräfte
auf. Dieser Axiallagerbereich wird durch die Abdeckplatte 5 luftdicht
verschlossen, so dass kein Lagerfluid aus dem Lagerspalt 4 austreten
kann, der sich als Lagerspalt 4' zwischen Druckplatte 5, Lagerhülse 1 und
Abdeckplatte 6 fortsetzt. Damit sich ein ausreichender
hydrodynamischer Druck im Axiallager aufbaut, sind die einander
zugewandten Oberflächen
der Druckplatte 5 und/oder der Abdeckplatte 6 ebenfalls
mit einem Rillenmuster (nicht dargestellt) versehen.
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Das
freie Ende der Welle 2 trägt eine Nabe 7, auf
dem eine oder mehrere Speicherplatten (nicht dargestellt) des Festplattenlaufwerks
angeordnet und befestigt sind.
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Als
Antriebselemente werden erfindungsgemäß mehrere piezoelektrische
Aktoren (allgemein mit Ziffer 8 bezeichnet) verwendet.
Im dargestellten Beispiel sind sechs Aktoren 8a, 8b, 8c, 8d, 8e,
und 8f vorgesehen. Es können
aber auch mehr oder weniger als sechs Aktoren vorgesehen sein. Die
piezoelektrischen Aktoren 8a-8f sind segmentartig
ausgebildet und in einem Zwischenraum zwischen der Lagerhülse 1 und
der Abdeckplatte 6 ringförmig um die Druckplatte 5 angeordnet,
wobei sich der mit dem fluiden Medium 10 gefüllte Lagerspalt 4' des hydrodynamischen
Lagers zwischen den Aktoren 8 und der Druckplatte 5 fortsetzt.
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Die
Aktoren 8 sind derart ausgebildet, dass sie bei Anlegen
einer elektrischen Spannung eine bezüglich der Rotationsachse 11 radiale
Längenänderung
ausführen,
das heißt
dass sich die Strecke zwischen dem Außen- und Innendurchmesser der
Aktoren 8 ändert.
Da zumindest Teile der Außenflächen der
Aktoren 8 vorzugsweise fest an der radial innenliegenden
Oberfläche
der Lagerhülse 1 anliegen, wirkt
sich die Längenänderung
der Aktoren 8 ausschließlich radial nach innen in
Richtung des Spaltes 4 bzw. der Druckplatte 5 aus.
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Wie
es in 2b schematisch dargestellt ist, ist
eine Steuerungseinrichtung 9 vorgesehen, die über Leitungsverbindungen
mit den einzelnen Aktoren 8a-8f verbunden ist. Durch die
Steuerungseinrichtung 9 werden die piezoelektrischen Aktoren 8a-8f nach
einem vorgegebenen Schema oder einer vorgegebenen Funktion angesteuert. 3 zeigt
ein einfaches Beispiel für
den möglichen
zeitlichen Verlauf der an die Aktoren 8a-8f angelegten
Steuerspannungen.
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Die
Aktoren werden vorzugsweise paarweise periodisch angesteuert. Dabei
werden die Aktorenpaare 8a + 8d, 8b + 8e und 8c + 8f nacheinander jeweils
für ein
Drittel einer Periode T angesteuert.
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Gemäß 2a ziehen
sich die Aktoren 8a + 8d bei Anregung in radialer
Richtung zusammen, so dass sich der an diese Aktoren angrenzende
Spalt 4' verbreitet.
Dadurch entsteht kurzzeitig ein Unterdruck im Medium 10,
der dadurch kompensiert wird, dass das Medium in Richtung dieses
Spaltabschnitts fließt.
Wie in 2b zu sehen ist, werden nun
die Aktoren 8a + 8d ausgeschaltet und die Aktoren 8b + 8e angeregt,
so dass das Medium zwangsläufig
im Gegenuhrzeigersinn in Richtung der Aktoren 8b + 8e fließt. Schließlich werden
gemäß 2c die
Aktoren 8c + 8f angeregt, so dass das Medium in
Richtung dieses Spaltabschnitts fließt. Hier wiederholt sich der Zyklus
mit der Aktivierung der Aktoren 8a + 8d.
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Infolge
der abwechselnden Aktivierung der Aktorenpaare 8a + 8d, 8b + 8e und 8c + 8f werden im
fluiden Medium 10 Druckunterschiede erzeugt, die sich in
Form einer Wanderwelle fortsetzen, so dass das fluide Medium 10 im
Lagerspalt 4' in
eine kreisförmige
Strömung
versetzt wird. Die Strömungsenergie
des fluiden Mediums im Spalt 4' wird auf die Druckplatte 5 übertragen
und in mechanische Energie zurückgewandelt,
die den Rotor, bestehend aus Druckplatte 5, Welle 2 und
Nabe 7, in Rotation versetzt.
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Um
eine bessere Übertragung
der Strömungsenergie
des Mediums 10 auf die Druckplatte 5 zu erreichen,
ist die Druckplatte 5 an ihrem Außenumfang vorzugsweise mit
rippenartigen Vorsprüngen 12 versehen,
die vom Medium umströmt
werden. Diese Vorsprünge 12 setzen
dem Medium einen Widerstand entgegen und wirken wie Schaufeln einer Turbine.
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Gemäß einem
weiteren Ausführungsbeispiel der
Erfindung werden für
die Generierung einer Wanderwelle im Stator des Motors zwei stehende
Wellen durch eine entsprechende Anordnung und Beschaltung von piezoelektrischen
Aktoren angeregt. Zur Erläuterung
des Prinzips ist in 4 ein piezokeramischer Ring 13 dargestellt.
Der Ring 13 ist auf seinem Umfang in zwei Anregungsbereiche 14, 15 unterteilt, von
denen jeder eine stehende Welle erzeugt. Jeder Anregungsbereich 14, 15 beinhaltet
beispielsweise acht piezoelektrische, segmentartige Aktoren 16,
deren abwechselnde Polarisationen durch unterschiedliche Vorzeichen „+" bzw. „–„ gekennzeichnet
sind. Die Bedingung für
das Entstehen einer reinen Wanderwelle ist die Einhaltung der räumlichen
und zeitlichen Phasenverschiebung von π/2 bzw. T/4. Die räumliche
Phasendifferenz kann durch ein zusätzliches Zwischensegment 17 der
Länge λ/4 zwischen den
beiden Anregungsbereichen realisiert werden. Der Ring 13 wird
bei der neunten Biegeeigenfrequenz betrieben. Auf dem Umfang befinden
sich dementsprechend 9λ,
weshalb ein zweites Zwischensegment 18 der Länge 3λ/4 zwischen
den beiden Anregungsbereichen 14, 15 erforderlich
ist. Die erforderliche zeitliche Phasendifferenz von T/4 wird durch
die unterschiedliche Ansteuerung der beiden Anregungsbereiche 14, 15 erzielt.
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Wird
z.B. der erste Anregungsbereich 14 mit einem Signal U = Û sin(ωt) angeregt,
erfüllt
die Anregung des zweiten Anregungsbereich 15 mit einem
Signal U = Û cos(ωt) gerade
die zeitliche Phasenbedingung. Durch Vertauschen der beiden Anregungssignale
kann die Laufrichtung der Wanderwelle und damit die Drehrichtung
des Motors umgeschaltet werden.
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Das
Zwischensegment der 17 Länge λ/4 kann gleichzeitig als Sensor
zur Kontrolle des Schwingungszustandes dienen. Das andere Zwischensegment 18 der
Länge 3λ/4 ist nicht
beschaltet.
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Die
in 4 dargestellte ringförmige piezokeramischen Anordnung
kann gleichermaßen
als zylinderförmige
Anordnung realisiert werden, die in einer Antriebseinheit gemäß 5 verwendet
werden kann.
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5 zeigt
eine Lagerhülse 19 als
Teil eines hydrodynamischen Gleitlagers, in welche eine piezoelektrische
Antriebseinheit integriert werden kann. Die Lagerhülse kann
beispielweise im Austausch für die
in 1 dargestellte Lagerhülse 1 verwendet werden.
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Die
Lagerhülse 19 umfasst
entsprechend der in 1 dargestellten Lagerhülse eine
Bohrung zur Aufnahme einer Welle (nicht dargestellt) und eine erweiterte
Bohrung zur Aufnahme einer an der Welle befestigten Druckplatte
(nicht dargestellt). Entsprechend 1 ist auch
hier zwischen den Oberflächen von
Welle, Druckplatte und Lagerhülse
ein Lagerspalt vorhanden der mit einem Lagerfluid gefüllt ist. Die
Begrenzung der erweiterten Bohrung wird durch einen zylinderförmigen Bund 20 mit
geringer Wandstärke
gebildet. Dieser Bund 20 dient als Träger und Resonanzkörper für einen
zylinderförmigen
piezokeramischen Ring 21, der am Außenumgang des Bundes befestigt
wird. Die Segmentierung des Ringes 21 kann 4 entsprechen.
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Vorzugsweise
liegt der piezokeramische Ring 21 nur auf der der Welle
zugewandten Seite der Lagerbuchse 19 an. Bei Anregung der
piezokeramischen Anordnung 21 entsprechend der oben beschriebenen
Weise wird eine Wanderwelle erzeugt und auf den Bund 20 als
zusätzlichen
Resonator übertragen.
Die Wanderwelle versetzt das zwischen dem Außenumfang der Druckplatte und
dem Innenumfang des Bundes 20 befindliche Lagerfluid in
eine gerichtete kreisförmige
Bewegung. Die Strömungsenergie
des Lagerfluids wird auf die Druckplatte übertragen, die dadurch in Rotation
versetzt wird und die Welle drehend antreibt.
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Weitere
mögliche
Ausgestaltungen von piezokeramischen Anordnungen 22, 23, 24 sind
in den 6a, 6b und 6c dargestellt.
Dabei sind die piezoelektrischen Aktoren jeweils auf dem Umfang
eines angedeuteten Resonators 25 (vgl. Bund in 5)
angeordnet.
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Die
Anordnung 22 gemäß 6a umfasst 12 piezoelektrische
segmentartige Aktoren 26 die wechselweise in Dreiergruppen
angesteuert werden, ähnlich
wie es in Verbindung mit den 2 beschrieben wurde.
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Die
Anordnung 23 gemäß 6b umfasst 8 piezoelektrische
Aktoren 27 die paarweise im Wechsel angesteuert werden, ähnlich wie
es in Verbindung mit den 2 beschrieben
wurde.
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Die
Anordnung 24 gemäß 6c umfasst 16 piezoelektrische
Aktoren 28 die wechselweise in Vierergruppen angesteuert
werden, ähnlich
wie es in Verbindung mit den 2 beschrieben
wurde.
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- 1
- Lagerhülse, Stator
- 2
- Welle
- 3
- Basisflansch
- 4
- Lagerspalt 4'
- 5
- Druckplatte
- 6
- Abdeckplatte
- 7
- Nabe
- 8
- Piezoelektrische
Aktoren (8a-8f)
- 9
- Steuerungseinrichtung
- 10
- Fluides
Medium
- 11
- Rotationsachse
- 12
- Vorsprünge
- 13
- Piezokeramischer
Ring
- 14
- Anregungsbereich
- 15
- Anregungsbereich
- 16
- Aktor,
piezoelektrisch, segmentartig
- 17
- Zwischensegment
- 18
- Zwischensegment
- 19
- Lagerhülse, Stator
- 20
- Bund
- 21
- Piezokeramischer
Ring
- 22
- Piezokeramische
Anordnung
- 23
- Piezokeramische
Anordnung
- 24
- Piezokeramische
Anordnung
- 25
- Resonator
- 26
- Aktor,
segmentartig
- 27
- Aktor,
segmentartig
- 28
- Aktor,
segmentartig
- 29
- Trägermaterial
- 30
- Piezoelektrisches
Element
- 31
- Piezoelektrisches
Element