DE102004057776A1

DE102004057776A1 - Lagekorrektureinrichtung zur Korrektur der Position eines Bauelementehalters für elektronische Bauelemente

Info

Publication number: DE102004057776A1
Application number: DE102004057776A
Authority: DE
Inventors: Günther JESERER
Original assignee: Multitest Elektronische Systeme GmbH
Current assignee: Multitest Elektronische Systeme GmbH
Priority date: 2004-11-30
Filing date: 2004-11-30
Publication date: 2005-07-07
Anticipated expiration: 2024-12-01
Also published as: US7841071B2; DE102004057776B4; US20060155396A1

Abstract

Bei einer Lagekorrektureinrichtung zur Korrektur der Position eines Bauelementhalters (10) einer Handhabungsvorrichtung für elektronische Bauelemente (6), insbesondere ICs, ist im Bereich einer Kontakteinheit (2) eine Basisplatte (3) sowie ein relativ zur Basisplatte (3) verschiebbarer Zentrierrahmen (22) vorgesehen. Weiterhin ist eine Antriebseinrichtung (27) vorgesehen, die mit dem Zentrierrahmen (22) in Wirkverbindung ist, um den Zentrierrahmen (22) und damit den in den Zentrierrahmen (22) eingeführten Bauelementhalter (10) in Abhängigkeit von Korrekturwerten zu verschieben, die von einer Recheneinrichtung auf der Grundlage von Messwerten berechnet werden, die von einer Lageerfassungseinrichtung zur Erfassung der Ist-Position des im Bauelementhalte (10) gehaltenen, zu testenden Bauelements (6) gewonnen werden.

Description

Die Erfindung betrifft eine Lagekorrektureinrichtung zur Korrektur der Position eines Bauelementhalters einer Handhabungsvorrichtung für elektronische Bauelemente, insbesondere ICs.

Elektronische Bauelemente wie ICs werden in üblicher Weise, bevor sie auf Leiterplatten montiert oder in Geräte eingebaut werden, auf ihre elektrischen Eigenschaften getestet. Hierbei werden die elektronischen Bauelemente zunächst von einer automatisch arbeitenden Handhabungsvorrichtung ("Handler") aus beispielsweise aus Aluminiumplatten bestehenden Bauelementträgern entnommen und einer Testvorrichtung zugeführt. Im Schnittstellenbereich zwischen Handhabungsvorrichtung einerseits und Testvorrichtung andererseits befindet sich bekannterweise eine Kontakteinheit, die eine feststehende Basisplatte sowie einen auf der Basisplatte befestigten Kontaktsockel aufweist. Der Kontaktsockel trägt eine Vielzahl von Kontakten, die auf die Anschlusskontakte des zu testenden Bauelements abgestimmt und mit der Testvorrichtung elektrisch verbindbar sind.

Wenn die Bauelemente mittels des Bauelementhalters der Handhabungsvorrichtung an den Testsockel herangeführt werden, ist es von großer Bedeutung, dass die Anschlusskontakte des zu testenden Bauelements genau zentriert auf die zugeordneten Kontakte des Kontaktsockels aufgesetzt werden. Da die Anschlusskontakte der Bauelemente aufgrund des Zwangs zur Miniaturisierung sehr klein ausgeführt sind und eng beieinander liegen, kommt es hierbei auf höchste Präzision an. Dies bereitet in der Praxis Schwierigkeiten, da die Bauelemente naturgemäß Maßtoleranzen hinsichtlich ihrer Außenkonturen aufweisen und die Lage der Bauelemente innerhalb des Bauelementhalters nicht immer die gleiche ist.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Lagekorrektureinrichtung der eingangs genannten Art zu schaffen, welche auf einfache und sehr genaue Weise die richtige Positionierung des Bauelements relativ zum Kontaktsockel sicherstellt.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die Merkmale des Anspruches 1 gelöst. Vorteilhafte Ausführungsformen der Erfindung sind in den weiteren Ansprüchen beschrieben.

Die erfindungsgemäße Lagekorrektureinrichtung weist folgende Merkmale auf:

– Es ist ein Zentrierrahmen vorgesehen, der auf zumindest zwei Seiten eine Einführöffnung für den Bauele menthalter begrenzt und der im Bereich einer Kontakteinheit angeordnet ist;
– die Kontakteinheit weist eine feststehende Basisplatte sowie einen auf der Basisplatte befestigten Kontaktsockel mit Kontakten auf, die mit einer Testvorrichtung elektrisch verbindbar sind;
– es ist eine Lageerfassungseinrichtung zur Erfassung der Ist-Position des im Bauelementhalter gehaltenen, zu testenden Bauelements vorgesehen;
– es ist eine Recheneinrichtung zum Berechnen von Lagekorrekturwerten aus der Differenz zwischen der Ist-Position und einer Soll-Position des Bauelements vorgesehen;
– der Zentrierrahmen ist verschiebbar relativ zur Basisplatte angeordnet;
– es ist eine Antriebseinrichtung vorgesehen, die mit dem Zentrierrahmen in Wirkverbindung ist, um den Zentrierrahmen und damit den Bauelementhalter in Abhängigkeit der von der Recheneinrichtung berechneten Korrekturwerte derart zu verschieben, dass das Bauelement in seine Soll-Position relativ zum Kontaktsockel gelangt.

Mit Hilfe der erfindungsgemäße Lagekorrektureinrichtung ist es möglich, das zu testende Bauelement unmittelbar vor seinem Kontakt mit dem Kontaktsockel exakt in die richtige Position zu bringen, so dass die Anschlusskontakte des Bauelements genau auf den Kontakten des Kontaktsockels zu liegen kommen.

Zweckmäßigerweise besteht die Lageerfassungseinrichtung zur Erfassung der Ist-Position des Bauelements aus einem optischen Messsystem, d.h. einer Kameraeinrichtung, mit der die Ist-Position des Bauelements vorzugsweise unmittelbar vor dem Einführen des Bauelementhalters in den Zentrierrahmen gemessen wird. Da auch die auf der Basis dieser Vermessung vorgenommene Lagekorrektur unmittelbar vor dem Einführen des Bauelementhalters in den Zentrierrahmen und damit in unmittelbarer Nähe des Kontaktsockels erfolgt, spielen in diesem Fall Lageverschiebungen des Bauelements innerhalb des Bauelementhalters, die beim Überführen des Bauelements zum Kontaktsockel auftreten können, keine Rolle.

Gemäß einer vorteilhaften Ausführungsform ist die Einführöffnung für den Bauelementhalter auf zwei benachbarten Seiten durch den Zentrierrahmen und auf den restlichen Seiten durch die Basisplatte begrenzt. Hierbei sind an der Basisplatte Federmittel vorgesehen, welche am eingeführten Bauelementhalter seitlich anliegen und diesen gegen den Zentrierrahmen drücken. Diese Ausführungsform ermöglicht einerseits eine einfache, kostengünstige Herstellung und stellt andererseits ein einfaches Einführen des Bauelementhalters in die Einführöffnung sicher.

Gemäß einer vorteilhaften Ausführungsform sind am Zentrierrahmen verstellbare, in die Einführöffnung vorstehende Anlageelemente befestigt, an denen der eingeführte Bauelementhalter anliegt. Mittels derartiger verstellbarer Anlageelemente lässt sich die Relativlage unterschiedlicher Bauelementhalter zum Zentrierrahmen auf einfache Weise anpassen.

Das Einführen des Bauelementhalters in die Einführöffnung wird erleichtert, wenn die Anlageelemente auf ihrer den Bauelementhalter zugewandten Seite Anlaufschrägen auf weisen.

Gemäß einer vorteilhaften Ausführungsform ist der Zentrierrahmen derart an der Basisplatte angeordnet, dass seine Hauptebene parallel zur Hauptebene der Basisplatte verläuft, wobei der Zentrierrahmen durch Haltebolzen an der Basisplatte gehalten wird, welche Löcher des Zentrierrahmens mit seitlichem Spiel durchdringen. Hierdurch lässt sich eine einfache Halterung des Zentrierrahmens an der Basisplatte bewerkstelligen.

Gemäß einer vorteilhaften Ausführungsform weist die Antriebseinrichtung drei bewegbare Betätigungsorgane auf, die an drei beabstandeten Stellen seitlich am Zentrierrahmen angreifen und damit die Relativlage des Zentrierrahmens relativ zur Basisplatte bestimmen. Hierbei ist es vorteilhaft, wenn der Zentrierrahmen mittels der Antriebseinrichtung in mindestens einer Längenrichtung sowie in Drehrichtung bewegbar ist.

Ein einfaches Nachfolgen des Bauelementhalters an die Korrekturbewegungen des Zentrierrahmens ergibt sich, wenn der Bauelementhalter eine in die Einführöffnung einführbare Grundplatte aufweist, die schwimmend relativ zu einer Kolbenstange der Handhabungsvorrichtung gelagert ist.

Die Erfindung wird nachfolgend anhand der Zeichnungen beispielhaft näher erläutert. Es zeigen:

1: eine Kontakteinheit mit einer Basisplatte sowie einen drehbaren Rotationskörper einer Handhabungsvorrichtung, der mehrere Bauelementhalter trägt;

2: einen Bauelementhalter in der Nachbarschaft eines Kontaktsockels, wobei sich der Bauelementhalter kurz vor dem Einführen in die Einführöffnung des Zentrierrahmens befindet;

3: eine Draufsicht schräg von oben auf den Zentrierrahmen, einen Teil der Basisplatte sowie einen Teil der Antriebseinrichtung;

4: einen Teilschnitt, der die Kontakteinheit sowie den Bauelementhalter zeigt, wenn das Bauelement auf den Kontaktsockel aufgesetzt ist;

5: einen zweidimensionalen Schnitt der Anordnung gemäß 4;

6: den Zentrierrahmen und den Bauelementhalter mit Kolbenstange in Alleinstellung während der Kontaktierung, schräg von vorne; und

7: die Anordnung von 6 schräg von hinten.

In 1 ist ein Teil eines Rahmens 1 einer nicht näher dargestellten Handhabungsvorrichtung für elektronische Bauelemente, eines sog. "Handlers", ersichtlich. An der Rückseite des Rahmens 1 ist eine Kontakteinheit 2 befestigt, die eine feststehende Basisplatte 3 sowie einen aus 2 näher ersichtlichen Kontaktsockel 4 aufweist. Der Kontaktsockel 4 trägt in bekannter Weise eine Vielzahl vorstehender Kontakte 5, die im dargestellten Ausführungsbeispiel die Form von Kegeln haben, jedoch auch anders ausgebildet sein können. Mittels der Kontakte 5 kann in bekannter Weise eine elektrische Verbindung zu einer nicht dargestellten Testvorrichtung geschaffen werden, mit der elektronische Bauelemente 6 (4, 5, 7) auf ihre elektrischen Eigenschaften hin überprüft werden.

Um die elektronischen Bauelemente 6 dem Kontaktsockel 4 zuführen zu können, weist die Handhabungsvorrichtung einen um eine horizontale Drehachse 7 schwenkbaren, quaderförmigen Rotationskörper 8 auf. Im Rotationskörper 8 sind insgesamt acht durchgehende Kolbenstangen 9 längsverschiebbar gelagert, wobei in der in 1 gezeigten Stellung vier Kolbenstangen 9 vertikal und weitere vier Kolbenstangen 9 horizontal angeordnet sind. An einem Ende einer jeden Kolbenstange 9 kann jeweils ein Bauelementhalter 10 (s. insbesondere die 6 und 7) befestigt sein. Die Bauelementhalter 10 dienen zum Halten jeweils eines Bauelements 6 und werden nachfolgend noch näher beschrieben. In 1, die lediglich eine grobe Übersicht über einige wesentliche Komponenten vermitteln soll, sind die nach unten weisenden, an den vertikalen Kolbenstangen 9 befestigten Bauelementhalter 10 jedoch nur unvollständig eingezeichnet.

Die Bauelementhalter 10 können mittels ihrer zugeordneten Kolbenstange 9 unabhängig voneinander bewegt werden, um Bauelemente 6 aus nicht dargestellten Bauelementrägern zu entnehmen und, nachdem der Rotationskörper 8 eine Drehung um 90° durchgeführt hat und die Lage des Bauelements 6 im Bauelementhalter 10 mittels einer optischen Lageerfassungseinrichtung 30 in der Form einer Kamera über einen schräg angeordneten Spiegel 13 ermittelt worden ist (1 und 3), die Bauelemente 6 dem Kontaktsockel 4 zuzuführen, so dass die Anschlusskontakte 11 (7) des Bauelements 6 auf den zugeordneten Kontakten 5 des Kontaktsockels 4 zu liegen kommen. Nach Durchführung der Messung wird das Bauelement 6 durch Zurückziehen des Bauelementhalters 10 wieder vom Kontaktsockel 4 entfernt, wonach der Rotationskörper 8 wieder so geschwenkt wird, dass das Bauelement 6 in den Bauelementträger zurückgelegt werden kann.

Im Folgenden wird ein Bauelementhalter 10 anhand der 5 bis 7 näher beschrieben.

An der Kolbenstange 9 ist eine quer verlaufende Verbindungsplatte 12 starr befestigt. An der Verbindungsplatte 12 ist über vier Stützen 14 eine zur Verbindungsplatte 12 parallele Grundplatte 15 befestigt. Die Stützen 14 durchdringen die Grundplatte 15 in Bohrungen größeren Durchmesssers mit seitlichem Spiel und hintergreifen die Grundplatte 15, so dass die Grundplatte 15 relativ zu den Stützen 14 etwas seitlich verschoben werden kann und damit schwimmend relativ zu den übrigen Teilen des Bauelementhalters 10 gelagert ist. Mittels Federzungen 36 (5), die seitlich gegen die Grundplatte 15 drücken, ist die Grundplatte 15 jedoch in ihre mittige Stellung vorgespannt.

Um das Bauelement 6 an der Unterseite der Grundplatte 15 zu halten, weist jeder Bauelementhalter 10 einen auf die Oberseite des zu haltenden Bauelements 6 aufsetzbaren Vakuumsauger 16 mit einem innenliegenden Kanal 17 auf, in dem Unterdruck vorliegt.

Um das Bauelement 6 an der Unterseite der Grundplatte 15 in seitlicher Richtung zu positionieren, weist der Bauelementhalter 10 eine Positioniereinrichtung mit Klemmelementen 18, 19 in der Form von L-förmigen Klemmhebeln auf. Diese Klemmelemente 18, 19 sind von einer Öffnungsstellung, in der sie von den vier Seitenrändern des Bauelements 6 beabstandet sind, in eine Klemmstellung bringbar, in der sie auf die Seitenränder des Bauelements 6 eine eine seitliche Bewegung des Bauelements 6 verhindernde Druckkraft aufbringen. Hierzu sind die Klemmelemente 18, 19 um Schwenkachsen 20 schwenkbar an der Grundplatte 15 gelagert. Weiterhin werden die Klemmelemente 18, 19 mittels Druckfedern 21 in ihre Klemmstellung vorgespannt. Wird der Bauelementhalter 10 dagegen auf einen nicht dargestellten Bauelementräger aufgesetzt, aus dem die Bauelemente 6 entnommen oder in dem die Bauelemente 6 wieder abgelegt werden sollen, stoßen die nach außen weisenden Schenkel der Klemmelemente 18, 19 an den Bauelementträger, wodurch die Klemmelemente 18, 19 geöffnet werden und das Bauelement 6 freigegeben wird.

Um das zu testende Bauelement 6 lagegenau auf den Kontaktsockel 4 der Kontakteinheit 2 aufsetzen zu können, weist die Handhabungsvorrichtung eine Lagekorrektureinrichtung zur Korrektur der Position des zu testenden Bauelements 6 unmittelbar vor dem Kontaktieren mit dem Kontaktsockel 4 auf. Diese Lagekorrektureinrichtung besteht im Wesentlichen aus einem Zentrierrahmen 22, der auf zwei Seiten eine Einführöffnung 23 für die Grundplatte 15 des Bauelementhalters 10 begrenzt und der derart an der Basisplatte 3 der Kontakteinheit 2 angeordnet ist, dass seine Hauptebene parallel zur Hauptebene der Basisplatte 3 verläuft. Wie aus den 3 und 7 ersichtlich, ist der Zentrierrahmen 22 im Wesentlichen L-förmig ausgebildet und weist einen Schenkel 24 sowie einen hierzu rechtwinkelig abstehenden Schenkel 25 auf. Der Zentrierrahmen 22 wird durch drei Haltebolzen 26 in der Form von Schrauben hintergriffen und dadurch an der Basisplatte 3 gehalten, wobei die Haltebolzen 26 entsprechende Löcher des Zentrierrahmens 22 durchdringen, die größer als der Schaftdurchmesser der Haltebolzen 26 ausgeführt sind. Zwischen dem Haltebolzen 26 und den Wänden der Löcher ist somit ein seitliches Spiel vorhanden, so dass der Zentrierrahmen 22 in seiner Hauptebene geringfügig verschoben und gedreht werden kann.

Um den Zentrierrahmen 22 relativ zur Basisplatte 3 zu verschieben, ist eine Antriebseinrichtung 27 vorgesehen (3). Diese Antriebseinrichtung 27 weist drei voneinander beabstandete Betätigungsorgane 28 in der Form von Stangen auf, die einerseits mit einer Motoreinheit 29 derart in Verbindung sind, dass sie in Längsrichtung verschoben werden können, und andererseits an drei beabstandeten Stellen mit dem Zentrierrahmen 22 verbunden sind. In dem in 3 gezeigten Ausführungsbeispiel sind zwei Betätigungsorgane 28 parallel zueinander angeordnet und in den beiden gegenüberliegenden Endbereichen der Schenkel 24 des Zentrierrahmens 22 seitlich an diesem befestigt. Das dritte Betätigungsorgan 28 erstreckt sich dagegen senkrecht zu den beiden erstgenannten Betätigungsorganen 28 und erstreckt sich von einer schmalen Stirnseite des Schenkels 24 in diesen hinein. Aufgrund dieser Anordnung ist es möglich, durch ein gezieltes Betätigen einzelner Betätigungsorgane 28 den Zentrierrahmen 22 relativ zur Basisplatte 3 in x- oder y-Richtung zu verschieben oder in φ-Richtung zu drehen.

Die Lagekorrektureinrichtung weist ferner, wie bereits ausgeführt und in den 1 und 3 dargestellt, eine optische Lageerfassungseinrichtung 30 in der Form einer Kamera auf, welche die Ist-Position des Bauelements 6 innerhalb des Bauelementhalters 10 aufnimmt. Die Lageerfassungseinrichtung 30 steht mit einer Recheneinrichtung 31 in Verbindung, welche Lagekorrekturwerte aus der Differenz zwischen der Ist-Position und einer Soll-Position des Bauelements 6 innerhalb des Bauelementhalters 10 berechnet. Die Recheneinrichtung 31 steht wiederum mit der Antriebseinrichtung 27 (3) in Verbindung und steuert die Antriebseinrichtung 27 derart, dass der Zentrierrahmen 22 und damit die Einführöffnung 23 in Abhängigkeit der Lagerkorrekturwerte in eine Position verschoben werden, in der die in die Einführöffnung 23 eingeführte Grundplatte 15 des Bauelementhalters 10 und damit das Bauelement 6 genau in der gewünschten Soll-Position liegt.

Die in der Einführöffnung 23 eingeführte Grundplatte 15 des Bauelementhalters 10 liegt auf zwei Seiten an Anlageelementen 32 an, die verstellbar am Zentrierrahmen 22 befestigt sind und seitlich über die Schenkel 24, 25 in die Einführöffnung 23 hinein vorstehen. Um ein leichtes Einführen in die Einführöffnung 23 und Zentrieren der Grundplatte 15 sicherzustellen, weisen hierzu die Anlageelemente 32 auf ihrer dem Bauelement 6 zugewandten Seite entsprechende Auflaufschrägen auf.

Die Einführöffnung 23 wird auf den beiden anderen Seiten, an denen die Schenkel 24, 25 des Zentrierrahmens 22 nicht vorhanden sind, durch entsprechende Stege 33 der Basisplatte 3 begrenzt. An den beiden Stegen 33 sind Federmittel 34 in der Form von U-förmigen Federklammern aufgesetzt, deren innenliegende Schenkel in die Einführöffnung 23 vorragen. Die innenliegenden Schenkel der Federmittel 34 liegen am eingeführten Bauelement 6 seitlich an diesem an und drücken das Bauelement 6 gegen die Anlageelemente 32 des Zentrierrahmens 22. Aufgrund der Vorspannkraft der Federmittel 34 wird somit das Bauelement 6 immer in Anlage an den Anlageelementen 32 gehalten, wobei sie gleichzeitig ermöglichen, dass das Bauelement 6 zusammen mit dem Zentrierrahmen 22 relativ zur feststehenden Basisplatte 3 verschoben werden kann.

In 3 ist weiterhin ein über die Basisplatte 3 vorstehender Zentrierzapfen 35 dargestellt, der zur Zentrierung der Basisplatte 3 relativ zur Handhabungsvorrichtung (Handler) dient.

Soll das Bauelement 6 unter bestimmten Temperaturbedingungen getestet werden, so ist es ohne weiteres möglich, dass sich lediglich der Zentrierrahmen 22 im temperierten Bereich befindet, während die Motoreinheit 29 außerhalb des temperierten Bereiches angeordnet ist. Dies ermöglicht einfachere Motorantriebe und erhöht die Lebensdauer derselben. Weiterhin ist von Bedeutung, dass es nicht erforderlich ist, die Lagekorrektur mittels einer Vorrichtung vorzunehmen, die am Bauelementhalter 10 angeordnet und mit diesem mitbewegt werden müßte, was einen wesentlich höheren technischen Aufwand bedeuten würde.

Claims

Lagekorrektureinrichtung zur Korrektur der Position eines Bauelementhalters (10) einer Handhabungsvorrichtung für elektronische Bauelemente (6), insbesondere ICs, mit – einem Zentrierrahmen (22), der auf zumindest zwei Seiten eine Einführöffnung (23) für den Bauelementhalter (10) begrenzt und der im Bereich einer Kontakteinheit (2) angeordnet ist, die eine feststehende Basisplatte (3) sowie einen auf der Basisplatte (3) befestigten Kontaktsockel (4) mit Kontakten (5) aufweist, die mit einer Testeinrichtung elektrisch verbindbar sind, – einer Lageerfassungseinrichtung (30) zur Erfassung der Ist-Position des im Bauelementhalter (10) gehaltenen, zu testenden Bauelements (6), – einer Recheneinrichtung (31) zum Berechnen von Lagekorrekturwerten aus der Differenz zwischen der Ist-Position und einer Soll-Position des Bauelements (6), – wobei der Zentrierrahmen (22) relativ zur Basisplatte (3) verschiebbar angeordnet ist, – und wobei eine Antriebseinrichtung (27) vorgesehen ist, die mit dem Zentrierrahmen (22) in Wirkverbindung ist, um den Zentrierrahmen (22) und damit den Bauelementhalter (10) in Abhängigkeit der von der Recheneinrichtung (31) berechneten Korrekturwerte derart zu verschieben, dass das Bauelement (6) in seine Soll-Position relativ zum Kontaktsockel (4) gelangt.
Lagekorrektureinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Einführöffnung (23) für den Bauelementhalter (10) auf zwei benachbarten Seiten durch den Zentrierrahmen (22) und auf den restlichen Seiten durch die Basisplatte (3) begrenzt ist, wobei an der Basisplatte (3) Federmittel (34) vorgesehen sind, welche am eingeführten Bauelementhalter (10) seitlich anliegen und diesen gegen den Zentrierrahmen (22) drücken.
Lagekorrektureinrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass am Zentrierrahmen (22) verstellbare, in die Einführöffnung (23) vorstehende Anlageelemente (32) befestigt sind, an denen der eingeführte Bauelementhalter (10) anliegt.
Lagekorrektureinrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Anlageelemente (32) auf ihrer dem Bauelementhalter (10) zugewandten Seite Auflaufschrägen aufweisen.
Lagekorrektureinrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Zentrierrahmen (22) derart an der Basisplatte (3) angeordnet ist, dass seine Hauptebene parallel zur Hauptebene der Basisplatte (3) verläuft, wobei der Zentrierrahmen (22) durch Haltebolzen (26) an der Basisplatte (3) gehalten wird, welche Löcher des Zentrierrahmens (22) mit seitlichem Spiel durchdringen.
Lagekorrektureinrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Antriebseinrichtung (27) drei bewegbare Betätigungsorgane (28) aufweist, die an drei beabstandeten Stellen seitlich am Zen trierrahmen (22) angreifen und damit die Relativlage des Zentrierrahmens (22) relativ zur Basisplatte (3) bestimmen.
Lagekorrektureinrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Zentrierrahmen (22) mittels der Antriebseinrichtung (27) in mindestens einer Längenrichtung sowie in Drehrichtung bewegbar ist.
Lagekorrektureinrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Bauelementhalter (10) eine in die Einführöffnung (23) einführbare Grundplatte (15) aufweist, die schwimmend relativ zu einer Kolbenstange (9) der Handhabungsvorrichtung gelagert ist.