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Die
Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur thermischen
Vakuumbeschichtung eines kontinuierlich transportierten Substrats
durch Verdampfen von festen und/oder flüssigen Beschichtungsmaterialen
und Dampfabscheidung des dampfförmigen
Beschichtungsmaterials auf dem Substrat, wobei sich das Substrat
in einem beheizten Bedampfungskanal einer Bedampfungseinrichtung
bewegt, der Bedampfungskanal in einer Vakuumkammer angeordnet und
mit einer Verdampfungseinrichtung verbunden ist und die Bedampfungseinrichtung
sowie die Verdampfungseinrichtung die wesentlichen Teile einer Beschichtungseinrichtung
sind.
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Es
sind verschiedene Beschichtungsverfahren zur physikalischen Dampfabscheidung
(PVD) im Vakuum bekannt. Die dazu genutzten Beschichtungsanlagen
werden unterschieden in Anlagen nach einem statischen oder einem
kontinuierlichen Verfahren. Im Gegensatz zum statischen Verfahren
wird beim kontinuierlichen Verfahren ein Substrat fortwährend durch
die Beschichtungseinrichtung hindurch transportiert. Entsprechend
wird dem Bedampfungskanal der Beschichtungseinrichtung kontinuierlich Beschichtungsmaterial
in Form von Dampf zugeführt.
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Derartige
Anlagen dienen insbesondere der Beschichtung von bandförmigen Stahlsubstraten
mit einer Bandbreite im Zentimetermaßstab bis in den Metermaßstab. Zur
wirtschaftlichen Nutzung einer Anlage nach dem kontinuierlichen
Beschichtungsver fahren besteht hierbei die Notwendigkeit der kontinuierlichen
Bevorratung der Beschichtungseinrichtung mit Beschichtungsmaterial
ohne den kontinuierlichen Substrattransport zu unterbrechen.
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In üblichen
Beschichtungsverfahren werden Temperaturen im Bedampfungskanal gefahren,
die geeignet sind, die mechanischen Eigenschaften des Substrats
zu beeinflussen. Aus diesem Grund ist eine genaue Abstimmung zwischen
der Temperatur im Bedampfungskanal und der Transportgeschwindigkeit
des Substrats erforderlich und einzuhalten. Kommt es zu einer Störung des
Transports, beispielsweise einer Verringerung der Transportgeschwindigkeit
oder gar einem Stillstand des Substrats im Bedampfungskanal bei
gleich bleibender Oberflächentemperatur
des Bedampfungskanals, kann sich das Substrat soweit erwärmen, dass
es beschädigt
wird, seine physikalischen Eigenschaften können sich dabei bis zur Unbrauchbarkeit
verändern.
Insbesondere das Reißen
des Substratbandes ist aufgrund der üblichen Anlagengröße und der
besonderen Prozessbedingungen mit einem erheblichen Zeit- und Kostenaufwand
für die
Instandsetzung verbunden.
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Aus
der
DE 29 51 802 A1 ist
eine vollautomatische Lackierung von bandförmigem Material bekannt, in
welchem der Wärmestrahler,
der dem Trocknen des aufgebrachten Lackes dient, zum Schutz des
zu lackierenden Bandes zumindest teilweise durch ein Strahlenschutzblech
abgedeckt wird. Aufgrund der in einem Bedampfungskanal vollständig anders
anfallenden Strahlungsquellen führt
solch eine Blende in den beschriebenen Beschichtungsverfahren jedoch
nicht zu dem erforderlichen Schutz des Bandmaterials vor Schädigung.
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Aufgabe
der vorliegenden Erfindung ist es daher, für die bekannten Beschichtungsverfahren und
Beschichtungsvorrichtungen die Möglichkeit
eines schnell einsetzbaren Schutzes für das Substrat gegen eine Beschädigung während des
Beschichtungsprozesses, insbesondere während sich ändernder Parameter des Be schichtungsprozesses
wie beispielsweise die Substratgeschwindigkeit anzugeben.
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Die
Aufgabe wird in einem erfindungsgemäßen Verfahren dadurch gelöst, dass
der Bedampfungskanal bei Unterschreiten einer Mindesttransportgeschwindigkeit
oder bei Stillstand des Substrats durch Einschub wenigstens eines
lageveränderlichen
Hohlkörpers
derart in einen äußeren Raum
und einen inneren Raum getrennt wird, dass sich das Substrat im
inneren Raum befindet.
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Somit
wird in dem Falle, in dem das Substrat längere Zeit als konzipiert der
Strahlungswärme
des beheizten Bedampfungskanals ausgesetzt ist, das im Bedampfungskanal
befindliche Substrat durch den zwischen dem Substrat und der heißen Bedampfungskanaloberfläche angeordneten
Hohlkörper
thermisch geschützt
und das Substrat ist in einem solchen Störungsfall keinen thermischen
Belastungen ausgesetzt. Mit dem Einschieben eines Hohlkörpers wird
außerdem
ein sehr schnell zur Verfügung
stehender Schutz des Substrates ermöglicht, der mittels geeigneter
Bewegungs- und Temperaturerfassung auch automatisiert werden kann.
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Ein
weiterer besonderer Vorteil des erfindungsgemäßen Einschubes eines Hohlkörpers in den
Raum zwischen der Bedampfungskanaloberfläche und dem Substrat besteht
darin, dass sich das beispielsweise durch Düsen in der Kanaloberfläche einströmende, dampfartige
Beschichtungsmaterial im Wesentlichen auf dem Hohlkörper und
nicht auf dem Substrat abscheidet. Auf diese Weise kann auch eine
unkontrollierte Beschichtung des Substrates in einem Störungsfall
verhindert werden. Des Weiteren ist es möglich, aufgrund des guten Abschlusses
des Substrates mit eingeführtem
Hohlkörper,
zur Konditionierung des Verdampfersystems die erfindungsgemäße Substratschutzeinrichtung
zu schließen,
da dadurch eine Kontaminierung der Schicht auf dem innerhalb des
Bedampfungskanals befindlichen Substratabschnittes verhindert werden
kann.
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In
einer besonders vorteilhaften Ausführungsform des Verfahrens ist
vorgesehen, dass zwei Hohlkörper
in einer zueinander gerichteten Bewegung eingeschoben werden und
die zwei zueinander gerichteten Stirnseiten der beiden Hohlkörper im
eingeschobenen Zustand aneinander liegen.
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Durch
die Einführung
von zwei Hohlkörpern in
den Bedampfungskanal, sind vergleichsweise kurze Verfahrwege der
Hohlkörper
möglich,
was einerseits den Vorteil des schnell zur Verfügung stehenden Substratschutzes
erhöht
und andererseits den zusätzlichen
Platzbedarf für
das Bereitstellen des Hohlkörpers
in einer Bereitschaftsposition verringert, insbesondere da die Ausmaße einer
Bedampfungsanlage üblicherweise
sehr erheblich sind. Auch kann die zur Bewegung der Hohlkörper erforderliche
Kraft, die mittels geeigneter Übertragungsmittel
im Inneren der Bedampfungseinrichtung aufzubringen ist, deutlich
verringert werden. Beispielsweise kann bei der üblichen vertikalen Anordnung
einer Bedampfungskammer durch eine entsprechende Kraftumlenkung die
Gewichtskraft des einen Hohlkörpers
zur Bewegung des anderen Hohlkörpers
genutzt werden.
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Zweckmäßig ist
es auch, wenn der oder die Hohlkörper
in der den Bedampfungskanal umgebenden Vakuumkammer verfährt. Der
Bedampfungskanal weist eintrittsseitig eine Öffnung zur Einführung des
Hohlkörpers
auf. Der Hohlkörper
befindet sich dadurch sowohl in der Bereitschaftsposition als auch in
der Einsatzposition sowie in jeder Zwischenposition in der Vakuumkammer,
so dass eine Beeinflussung der Prozessparameter wie Druck innerhalb
der Vakuumkammer vermieden wird. Außerdem ist diese Ausgestaltung
der Erfindung geeignet, einen besonders schnell einsetzbaren Schutz
des Substrates zu gewährleisten.
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In
einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung des Verfahrens ist vorgesehen,
dass der Hohlkörper parallel
zur Transportrichtung des bandförmigen Substrats
eingeschoben wird. Der Hohlkörper
ruht somit in Bereitschaftsposition in unmittelbarer Nähe des Bedampfungskanals
und ist relativ zum bewegten Substrat bereits in dieser Lage so
genau positioniert, dass lediglich eine Parallelverschiebung des Hohlkörpers erforderlich
ist. Somit wird der Schutz des Substrats schon allein nach der Durchführung einer
einfachen linearen Bewegung des Schutzkörpers hergestellt.
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Darüber hinaus
ist es dienlich, wenn der Hohlkörper
mit einem geeigneten Verfahren gekühlt wird, da somit die von
dem Hohlkörper
aufgenommene Wärmeenergie
abgeführt
wird. Damit ist insbesondere gewährleistet,
dass sich während
des Verweilens des Hohlkörpers
im heißen
Bedampfungskanal das dampfförmige
Beschichtungsmaterial stets auf dem Hohlkörper abscheidet und dessen
Aufheizen verzögert
oder gar verhindert wird, so dass keine rückläufige Verdampfung des kurzfristig
auf dem eingefahrenen, relativ kalten Hohlkörper abgeschiedenen Materials
erfolgt. Besonders bevorzugt geschieht die Kühlung deshalb aktiv mittels
einer Kühlflüssigkeit.
Diese Kühlung
kann unabhängig
von der Dauer des Verweilens des Hohlkörpers in dem heißen Bedampfungskanal
gewährleistet
werden.
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Zur
Unterbrechung einer weiteren Beschickung des Bedampfungskanals mit
dampfförmigem Beschichtungsmaterial
wird zweckmäßigerweise
im Störungsfall
die Beschickung der Beschichtungskammer mit Beschichtungsmaterial
durch Schließen eines
Ventils unterbunden. Das bereits im Bedampfungskanal und der Zuleitung
befindliche, dampfförmige
Beschichtungsmaterial scheidet sich infolge der Unterbrechung der
Zufuhr im Wesentlichen vollständig
auf der kalten Oberfläche
des in den Bedampfungskanal eingeschobenen Hohlkörpers ab. Da die übrigen Oberflächen des
Bedampfungskanals weiterhin bis zur im Wesentlichen vollständigen Abscheidung
des restlichen dampfförmigen
Beschichtungsmaterials geheizt werden, wird sich das Beschichtungsmaterial
im wesentliche nur auf dem Hohlkörper abscheiden.
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Anordnungsseitig
wird die Aufgabe durch eine erfindungsgemäße Vorrichtung zur Substratbeschichtung
gemäß der Merkmale
des Anspruches 7 gelöst.
Gemäß Anspruch
7 umgibt bei einem Unterschreiten einer Mindesttransportgeschwindigkeit
des Substrats oder bei dessen Stillstand wenigstens ein in den Bedampfungskanal
einführbarer
Hohlkörper das
Substrat. Somit wird das im Bedampfungskanal ruhende Substrat durch
den zwischen dem Substrat und einer Heizeinrichtung angeordneten
Hohlkörper thermisch
geschützt.
Das Substrat ist somit in solch einem Störungsfall thermisch geringeren
Belastungen ausgesetzt. Zudem scheidet sich das einströmende dampfartige
Beschichtungsmaterial im Wesentlichen auf dem Hohlkörper ab.
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Zur
Gewährleistung
einer möglichst
wenig aufwändigen
und zudem, durch ein lediglich einteiliges Funktionselement, sicheren Funktionsweise
ist es vorteilhaft, dass der Hohlkörper ein prismatischer oder
zylindrischer Hohlkörper
ist. Das Substrat wird für
seinen kontinuierlichen Transport durch den Hohlkörper hindurchgeführt, so
dass durch den Hohlkörper
ein vollumfänglicher
Schutzkörper
bereitgestellt wird.
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In
einer weiteren besonderen Ausführungsform
ist vorgesehen, dass der Hohlkörper
bei regelmäßigem, kontinuierlichem
Substrattransport mit wenigstens der Mindestgeschwindigkeit in einer
Bereitschaftsposition außerhalb
des Bedampfungskanals und innerhalb der Vakuumkammer und darüber hinaus
gegebenenfalls bei Unterschreiten der Mindesttransportgeschwindigkeit
des Substrats oder bei dessen Stillstand in einer Einsatzposition
im wesentlichen im Bedampfungskanal angeordnet ist. Dabei kann der
Hohlkörper
stets gänzlich
in der Vakuumkammer angeordnet verbleiben und im Einführbereich
mit der Wand des Bedampfungskanals abschließen.
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Sofern
entsprechend einer anderen Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Beschichtungseinrichtung
zwei Hohlkörper
in einer Einsatzposition im Wesentlichen in der Beschichtungskammer
angeordnet sind, bilden die Hohlkörper eine optisch dichte Trennung
in einen inneren und äußeren Teil
des Bedampfungskanals, wodurch sich die beschriebenen Vorteile hinsichtlich
der Abtrennung des im Bedampfungskanals befindlichen Substrats verstärken und darüber hinaus
der anlagentechnische Aufwand für die
Substratschutzeinrichtung optimieren lassen.
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Zweckmäßiger Weise
kann die Hohlkörperwand
aus einem Hochtemperaturstahl oder einer Hochtemperaturlegierung
gefertigt werden. In jedem Fall weist die Hohlkörperwand eine selbst im Störfall ausreichende
thermische und somit auch mechanische Stabilität bis zu einem Temperaturbereich
von 800°C,
vorzugsweise bis 1000°C,
auf.
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Um
eine thermische Isolierung der beiden Räume zueinander zu erzielen
weist der Hohlkörper eine
innere Hohlkörperwand
und eine dazu beabstandete äußere Hohlkörperwand,
so dass ein Zwischenraum umschlossen wird. Der Zwischenraum ist dabei
zwischen den beiden Wänden
vollumfänglich an
dem Hohlkörper
ausgebildet.
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Auf
diese Weise kann eine Kühlung
des Hohlkörpers
ermöglicht
werden, indem der Zwischenraum zwischen der inneren Hohlkörperwand und
der äußeren Hohlkörperwand
mit einer Kühlflüssigkeit
angefüllt
ist. Die Kühlflüssigkeit
nimmt die auf die Wände übertragene
Wärme auf.
Besonders vorteilhaft wird die Kühlflüssigkeit
ausgetauscht und somit die aufgenommene Wärme aufgeführt.
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Als
Flüssigkeit
wird Wasser oder jede andere Flüssigkeit
mit hoher Wärmekapazität verwendet. Insbesondere
wird Wasser als Flüssigkeit
verwendet, da Wasser günstig
verfügbar
ist. Zur effektiven Kühlung
wird die Flüssigkeit
durch den Zwischenraum hindurchgeleitet. Zusätzlich kann durch den Einbau von
Wänden
in den Zwischenraum und einer daraus resultierenden Kanalumgebung
die Durchflussrichtung und die Fließgeschwindigkeit konstruktiv
vorgegeben sein. Je kleiner der Kanalquerschnitt, desto höher ist
die Fließgeschwindigkeit
bei konstant gehaltenem Durchflussvolumen. Zur Kühlung tritt kalte Flüssigkeit
in den Zwischenraum ein und warme Flüssigkeit tritt wieder aus.
Die Kühlung
kann während
Bereitschaftsposition des Hohlkörpers
auch nicht aktiv sein, d. h. die Flüssigkeit ruht in dem Zwischenraum.
Im Einsatzzeitpunkt wird sodann die Kühlung dadurch aktiviert, dass
die Flüssigkeit durchgeleitet
wird. Alternativ kann die Kühlung
zur Gewährleistung
der Funktion und einer raschen Einsetzbarkeit fortwährend aktiv
sein.
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Zweckmäßig ist
es, dass der Hohlkörper
auf Rollen und/oder Schienen gelagert ist, damit der Hohlkörper definiert
bewegt werden kann und eine Beschädigung der Vakuumkammer oder
des Bedampfungskanals während
der Bewegung sicher verhindert wird. Die Führung ist unter den Betriebsbedingungen
vakuumtauglich und thermisch stabil ausgebildet. Zur Bewegung des
Hohlkörpers
ist es besonders zweckmäßig, dass
die Substratschutzvorrichtung wenigstens einen Antrieb umfasst.
Der Antrieb ist vorzugsweise außerhalb
der Vakuumkammer angeordnet und wirkt in diesem Fall über ein
oder mehrere Transmissionsglieder auf den Hohlkörper.
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Als
Transmissionsmittel sind beispielsweise Seile, Bänder, Gurte, Ketten, Zahnriemen
oder dergleichen vorgesehen. Dabei wird die Wirkrichtung der Kraft über Umlenkrollen
richtungsverändert.
Alternativ wird die Antriebskraft auf den Hohlkörper beispielsweise mittels
einer teleskopisierbaren Vorrichtung, mittels einer Vorrichtung
mit einer Zahnstangenführung
oder dergleichen übertragen.
Die Transmissionsmittel und gegebenenfalls die Umlenkungen sind
unter den Betriebsbedingungen vakuumtauglich und thermisch stabil
ausgebildet.
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Die
Erfindung soll nachfolgend anhand eines Ausführungsbeispiels näher erläutert werden.
In den zugehörigen
Zeichnungen zeigen
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1 die
schematische Darstellung eines vertikalen Querschnitts durch eine
erfindungsgemäße Beschichtungseinrichtung
mit einer Substratschutzeinrichtung,
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2 die
Beschichtungseinrichtung nach 1 mit der
Substratschutzeinrichtung in Betriebsposition und
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3 die
schematische Darstellung eines vertikalen Querschnitts durch einen
Hohlkörper.
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Zum Gegenstand:
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1 zeigt
eine erfindungsgemäße Beschichtungseinrichtung 1 mit
einer Vakuumkammer 2 und einem darin angeordneten Bedampfungskanal 3. Der
Bedampfungskanal 3 weist eine Höhe von etwa 4 Metern auf und
ist auf mittlerer Höhe
der etwa 10 Meter hohen Vakuumkammer 2 angeordnet. Der
Bedampfungskanal 3 hat die Form eines hoch stehenden, länglichen,
hohlen Quaders und ist an dem oberen und unteren Ende grundflächig geöffnet. Die
Außenseite des Bedampfungskanals 3 ist vollumfänglich mit
einer Heizeinrichtung 4 versehen, die als elektrische Widerstandsheizung
zur Strahlungsheizung ausgebildet ist.
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Auf
Höhe der
Mitte der Vakuumkammer 2 bzw. des Bedampfungskanals 3 ist
auf zwei gegenüberliegenden
Seiten, beidseitig des Substrates, eine in Betriebslage im Wesentlichen
horizontal ausgerichtete Düse 5 montiert,
die mit dem jeweils engen Enden in den Bedampfungskanal 3 münden. Das
jeweils andere Ende der Düsen 5 ist
mit einer Verdampfungseinrichtung, welche der Verdampfung des Beschichtungsmaterials
dient, verbunden.
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Durch
die Vakuumkammer 2 und durch den Bedampfungskanal 3 wird
ein bandförmiges
Substrat 6 transportiert. Das Substrat 6 ist derart
ausgerichtet, dass die Flächen
quer zu der Düse
orientiert sind, wobei die Düse
jeweils auf die Flächenmitte
des Substrats gerichtet ist. Das Substrat kann in einem vorangegangenen
Beschichtungsdurchlauf bereits beschichtet sein.
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Ebenfalls
in der Vakuumkammer 2 befindet sich der erfindungsgemäße Hohlkörper als
Substratschutzeinrichtung. Diese besteht aus zwei linear verfahrbaren
Einheiten. Jede Einheit umfasst einen Hohlquader 7, der
an den Seiten der Grundflächen zum
Hindurchführen
des Substratbandes 6 geöffnet ist.
Die Abmessungen der Grundfläche
eines Hohlquaders 7 sind kleiner als die Abmessungen der Grundfläche des
Bedampfungskanals 3, und die Höhe eines Hohlquaders 7 überragt
die halbe Höhe des
Bedampfungskanals 3 leicht. Ferner sind die Hohlquader 7 aufeinander
gerichtet, um das Substratband 6 herum und zur Transportrichtung
des Substratbandes 6 parallel verfahrbar gelagert.
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In
Bereitschaftsposition ist jeweils ein Hohlquader 7 oberhalb
und unterhalb der Bedampfungskanal 3 gehaltert (1).
In der Einsatzposition, d. h. nachdem die beiden Hohlquader in den
Bedampfungskanal eingeführt
sind, stoßen
die beiden Hohlquader 7 mit ihren gegenüberliegenden Stirnseiten auf
Höhe der
Düsen 5 aneinander.
In der Berührungsebene
der beiden Hohlquader 7 liegend diese dampfdicht aufeinander,
so dass der Bedampfungskanal 3 in einen Bedampfungsinnenkanal 11 und
in einen Bedampfungsau ßenkanal 12 geteilt
ist (2).
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Die
Kühlwasserversorgung
des Hohlquaders 7 erfolgt beispielsweise über nicht
näher dargestellte, mäanderförmig gelegte
Schlauchverbindungen, die sich durch Öffnen ihrer Biegeradien an
die Distanzunterschiede des Hohlquaders 7 anpassen.
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3 zeigt
einen Hohlquader im Querschnitt. Der Hohlquader 7 bildet
zwischen einer äußeren Hohlkörperwand 8 und
einer inneren Hohlkörperwand 9 umfänglich einen
Zwischenraum 10 aus, der als Kanalsystem dient. Durch das
Kanalsystem hindurch wird Wasser als Kühlflüssigkeit 13 mit einer definierten
Durchflussgeschwindigkeit geleitet.
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Jeder
Hohlquader 7 ist an nicht näher dargestellten Führungsschienen
geführt.
Zur Aufhängung weist
der Hohlquader 7 auf der dem anderen Hohlquader gegenüberliegenden
Grundseite eine Querstrebe 14 auf. Aufgrund der Länge der
Hohlquader, welche um mindestens einen Querschnitt der Querstrebe
größer ist
als die halbe Länge
des Bedampfungskanals, stehen die Querstreben der Aufhängung aus
der Bedampfungskanal 3 heraus hervor.
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Außerhalb
der Vakuumkammer 2 ist ein ebenfalls nicht näher dargestellter
Antrieb mit einer in die Vakuumkammer 2 reichenden Welle
montiert. Die Antriebswellen sind mittels über Umlenkrollen geführte Zugmittel
mit den beiden Hohlquadern 7 verbunden.
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Zum Verfahren:
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Das
Beschichtungsverfahren ist eine kontinuierliche thermische Vakuumbeschichtung
des bandförmigen
Substrats durch Verdampfen von festem Beschichtungsmaterial und
Dampfabscheidung des dampfförmigen
Beschichtungsmaterials auf dem kontinuierlich transportierten Substrat
in dem Bedampfungskanal 3.
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Dazu
wird das feste Beschichtungsmaterial im Vakuum erhitzt und durch
die Düse 5 beidseitig des
Substrats in den geheizten und evakuierten Bedampfungskanal 3 transportiert.
Mittels eines an der Verdampfereinrichtung vorhandenen dampfdichten Ventils
kann der Zustrom dampfförmigen
Beschichtungsmaterials reguliert und auch unterbrochen werden.
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In
dem Bedampfungskanal 3 wird das bandförmige Substrat 6 aus
Stahl transportiert, wobei die Transportgeschwindigkeit variiert
und im Ausführungsbeispiel
zwischen 30 Meter pro Minute und 200 Meter pro Minute liegt.
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Der
Substrattransport wird mit Sensoren über eine computergestützte Steuereinheit überwacht.
Sobald im Substrattransport eine Störung auftritt und das Substrat 6 nicht
oder nicht schnell genug wieder aus dem heißen Bedampfungskanal 3 heraustritt,
wird eine Störung
registriert.
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In
diesem Fall fahren die beiden außerhalb, d. h. oberhalb und
unterhalb des Bedampfungskanal 3 in der Vakuumkammer 4 gehalterten
Hohlquader 7 als ein thermischer Schutzvorhang in den Bedampfungskanal 3 ein
und zusammen. In der Kontaktebene liegen die beiden Hohlquader 7 so
dicht aufeinander, dass kein dampfförmiges Beschichtungsmaterial in
die Bedampfungsinnenkammer eindringt. Während des Beschichtungsprozesses
ist der Zwischenraum 10 mit Kühlwasser 11 gefüllt, welches
durch den Zwischenraum 10 durchgeleitet wird.
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Auch
wird durch eine Steuereinheit die weitere Beschickung des Bedampfungskanals 3 mit
nachdrängendem
dampfförmigem
Beschichtungsmaterial unterbunden. Das in dem Bedampfungskanal 3 und in
den zwischen Verdampfungs- und Bedampfungseinrichtung vorhandenen
Transportlinien befindliche dampfförmige Beschichtungsmaterial
scheidet sich auf der gekühlten, äußeren Hohlkörperwand 8 und auf
der gekühlten,
inneren Hohlkörperwand 9 ab.
Zumindest die Bedampfungsinnenkammer ist danach im Wesentlichen
frei von Kondensat des Beschichtungsmaterials.
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Bei
einer Störung
wird das Heizen des Bedampfungskanals fortgesetzt. So scheidet sich
das dampfförmige
Beschichtungsmaterial im Wesentlichen vollständig auf der inneren und äußeren Hohlkörperwand 8, 9 der
Hohlquader 7 ab.
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- 1
- Beschichtungseinrichtung
- 2
- Vakuumkammer
- 3
- Bedampfungskanal
- 4
- Heizeinrichtung
- 5
- Düse
- 6
- Substrat
- 7
- Hohlkörper, Hohlquader
- 8
- äußere Hohlkörperwand
- 9
- innere
Hohlkörperwand
- 10
- Zwischenraum
- 11
- Bedampfungsinnenkanal
- 12
- Bedampfungsaußenkanal
- 13
- Kühlflüssigkeit
- 14
- Querstrebe