DE102004036715A1 - Verfahren und System für die radiale Deformationseinstellung in einem optischen System (Optical System radial deformation adjustment method and system) - Google Patents

Verfahren und System für die radiale Deformationseinstellung in einem optischen System (Optical System radial deformation adjustment method and system) Download PDF

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Abstract

Ein Verfahren für die radiale Deformationseinstellung in einem optischen System umfasst einen ersten Schritt, bei dem die beim Montieren eines optischen Systems mit mindestens einem optischen Element (1) geschaffene radiale Deformation vorhergesagt wird, einen zweiten Schritt, bei dem eine Oberflächenform und eine Änderungsgröße des optischen Elements (1), die zum Korrigieren der beim ersten Schritt vorhergesagten radialen Deformation verwendet werden, berechnet werden, einen dritten Schritt, bei dem Korrekturverarbeitung auf die Oberfläche des optischen Elements (11) auf der Grundlage der beim zweiten Schritt berechneten Oberflächenform und Änderungsgröße des optischen Elements (1) angewendet wird, und einen vierten Schritt, bei dem das optische System durch Verwenden des optischen Elements (1), auf das die Korrekturverarbeitung beim dritten Schritt angewendet wird, als das optische Element (1), von dem die radiale Deformation beim ersten Schritt vorhergesagt wird, montiert und eingestellt wird.
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