DE102004031317A1 - Gassensormodul und Verfahren zu seiner Herstellung - Google Patents
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Abstract
Die Erfindung betrifft ein Gassensormodul, das mindestens aufweist: DOLLAR A einen spektroskopischen Gassensor (1) mit einem eine infrarot-sensitive Messstruktur (7) aufweisenden Sensorchip (2) und einem auf diesem vakuumdicht befestigten Kappenchip (4), DOLLAR A einen Leadframe (22) mit Anschlusspins (21) und Kontaktpads (24), die mit Kontaktpads (14) des Gassensors (1) kontaktiert sind, DOLLAR A einen auf dem Kappenchip (4) oberhalb der Messstruktur (7) befestigten Filterchip (30) und DOLLAR A einen Gehäusekörper (23) aus einem gespritzten, für Infrarot-Strahlung zumindest weitgehend intransparenten Gehäusematerial, in den der Gassensor (1), der Leadframe (22) und der Filterchip (30) eingespritzt sind, DOLLAR A wobei die Anschlusspins (21) aus dem Gehäusekörper (23) herausragen, eine Oberseite (31) des Filterchips (30) an der Oberseite (23a) des Gehäusekörpers (23) freiliegt und die Seitenflächen (33) des Filterchips (30) von dem Gehäusematerial bedeckt sind. DOLLAR A Hierdurch wird eine einfache, kostengünstige Herstellung und ein freier optischer Zugang zu dem Filterchip und der Messstruktur bei guter Abschirmung von Streustrahlung erreicht.
Description
- Die Erfindung betrifft ein Gassensormodul zur spektroskopischen Messung mindestens einer Gaskonzentration und ein Verfahren zum Herstellen eines derartigen Gassensormoduls.
- Spektroskopische Gassensoren werden insbesondere im Automobilbereich zur Messung der CO2-Konzentration der Umgebungsluft eingesetzt, um die Qualität der Umgebungsluft zu prüfen oder eine Leckage einer mit CO2 betriebenen Klimaanlage zu detektieren. Der Gassensor ist im allgemeinen in einem Gehäuse aufgenommenen und weist einen in Oberflächen-Mikromechanik hergestellten Sensorchip mit einer infrarot-sensitiven Messstruktur auf, die eine oberhalb einer Kaverne ausgebildete Membran mit einer Thermopile-Struktur aus kontaktierten Leiterbahnen und eine Infrarot-Strahlung absorbierende Absorberschicht aufweist. Bei Absorption von Infrarotstrahlung erwärmt sich die Absorberschicht und ermöglicht die Messung einer Thermospannung an der Thermopile-Struktur. Der Sensorchip ist nach oben durch einen Kappenchip mit einer Kaverne, welcher im mittleren IR-Bereich transparent ist, abgedeckt, die die Messstruktur vakuumdicht nach außen abschließt. Oberhalb des Gassensors ist ein Filterchip zur selektiven Filterung eines Infrarot-Wellenlängenbereichs vorgesehen; im Allgemeinen werden hierbei zweikanalige Gassensormodule mit zwei derartigen Messstrukturen und unterschiedlichen, selektiv filternden Filterchips vorgesehen, um Messungen in einem von der betreffenden Gaskonzentration absorbierten Wellenlängenbereich und einem Referenzwellenlängenbereich zu ermöglichen, diese vergleichen und Signaldriften kompensieren zu können.
- Für eine genaue Messung mit hoher Sensitivität sollte hierbei nur die Absorberschicht die IR-Strahlung empfangen; falls IR-Strahlung auch auf die äußeren Enden der Leiterbahnen der Thermopile-Struktur außerhalb der Membran einfällt, kann dies zu einer ungewollten Erwärmung der kalten Enden der Thermopile-Struktur und somit einer Herabsetzung der Auflösung und Messgenauigkeit führen.
- Als Gehäuse für Gassensoren sind unter anderem Metallgehäuse, sogenannte TO-Gehäuse, bekannt und verfügbar, in die in Bulk-Mikromechanik hergestellte Gassensoren ohne Kappenchip eingesetzt werden, woraufhin sie nachfolgend mit einem Deckel mit Blendenöffnungen verschlossen werden. Die Strahlungsfilter werden hierbei im Allgemeinen in dem Deckel verklebt. Um ausreichende Strahlungsleistung in den Gassensor bzw. an die Sensorchips zu bekommen und um die Filterchips in hierfür vorgesehene Öffnungen der Kappe kleben zu können, müssen die Filterchips einen hinreichenden Kleberand aufweisen und daher groß dimensioniert sein, weshalb sie in der Herstellung sehr kostspielig sind. Die bedingt durch die Bulk-Mikromechanik offene, aus Thermopile-Elementen bestehende Messstruktur auf den Chips ermöglicht keine direkte Passivierung der Bonddrähte für die Kontaktierung in dem Gehäuse. Durch die Klebeverbindung der Filterchips in dem Deckel sind die Gehäuse nicht hermetisch dicht, was die Tauglichkeit insbesondere für Automobilanwendungen mit entsprechender Belastung durch Betauung, Korrosion an Chipbondpads, großen Temperaturbereichen usw. beeinträchtigt.
- Weiterhin sind vollständig umspritzte bzw. gemoldete Sensormodule insbesondere für in Oberflächen-Mikromechanik hergestellte Beschleunigungssensoren bekannt. Hierbei wird das Sensorelement auf einen Trägerstreifen bzw. Leadframe befestigt, z. B. geklebt oder gelötet. Durch Drahtbonds bzw. Drahtverbindungen wird ein elektrischer Kontakt zu den Anschlusspins bzw. Anschlussbeinchen des Leadframes hergestellt. Danach wird der Leadframe mit dem befestigten Sensor mit einem Mold-Compound bzw. Moldmaterial – im Allgemeinen einer Kunststoffmasse – umspritzt bzw. gemoldet.
- Da Moldmaterialien für optische Sensoren im interessanten Wellenbereich, z. B. für IR-Strahlung im Bereich größer/gleich 4.000 nm, nicht oder auf Dauer nicht ausreichend transparent sind, ist jedoch kein sicherer optischer Zugang zum Sensor vorhanden. Ein optischer Zugang zu einem Gassensor in dem gemoldeten Gehäusekörper kann grundsätzlich durch Moldgehäuse mit einer Kavität auf der Chipoberfläche erfolgen, wie sie z. B. aus
US 5,897,338 bekannt sind. Bei derartigen Gehäusen können Mindestkavitäten von 2 mm2 auf Chips in Standardchiphöhe erzeugt werden. Wird eine maximale Chiphöhe, z. B. durch einen Stapelchip-Aufbau bzw. Stacked-Chip-Aufbau, überschritten, kann diese Kavität nicht mehr erzeugt werden. - Das erfindungsgemäße Gassensormodul und das Verfahren zu seiner Herstellung weisen demgegenüber insbesondere den Vorteil auf, dass eine einfache und kostengünstige Herstellung, ein freier optischer Zugang zu dem Filterchip und der Messstruktur und eine sichere Abschirmung der weiteren Bereiche des Gassensors, insbesondere eine Abschirmung gegenüber unerwünschter Streustrahlung, erreicht wird.
- Erfindungsgemäß wird der Filterchip direkt z.B. mittels eines für IR-Strahlung transparenten Klebstoffs auf dem Kappenchip befestigt und in das Moldmaterial des Gehäusekörpers eingemoldet. Seine Oberseite liegt hierbei an der Oberseite des Gehäusekörpers frei, so dass ein freier optischer Zugang von oben durch den Filterchip, die transparente Klebstoffschicht und den Kappenchip zu der Messstruktur möglich ist. Das Moldmaterial des Gehäusekörpers wirkt hierbei abschirmend bzw. als Blende, die einen ungewollten Einfall von IR-Strahlung in weitere Bereiche des Gassensors verhindert. Die Filtergröße kann an die Größe der Absorberschicht auf der Thermopile-Struktur angepasst werden. Da auf Waferebene eine genaue Positionierung der Filterchips auf den Kappenchips oberhalb der Absorberschicht möglich ist, kann durch das für Infrarot-Strahlung nicht transparente Moldmaterial des Gehäusekörpers eine sichere Blendenfunktion erreicht werden. Ein Eintreten der Strahlung wird lediglich durch die Filterfläche in den Chip zugelassen. Das Eintreten von z. B. Streustrahlung wird durch die direkte Anbindung des Filterchips in das Moldmaterial sicher verhindert. Da die Seitenflächen des Filterchips im Allgemeinen keine Filterschichten tragen, wird durch das erfindungsgemäße Einspritzen bzw. Molden der Filterchips mit ihren Seitenflächen bis zu ihrer Oberseite das Eindringen von Streustrahlung gegenüber herkömmlichen Systemen deutlich verbessert. Ergänzend kann auf dem Kappenchip eine Blendenschicht, insbesondere aus Metall, z. B. Aluminium, ausgebildet sein, falls z.B. das verwendete Moldmaterial nicht vollständig infrarot-intransparent ist.
- Indem der Filterchip direkt auf die Oberseite des Kappenchips geklebt wird, entsteht zwischen Filterchip und Kappenchip kein zusätzlicher mit Luft oder Vakuum gefüllter Zwischenraum, der zu Reflexionen oder Mehrfachreflexion an den Grenzflächen führen könnte.
- Die Herstellung kann kostengünstig ohne wesentlichen Mehraufwand gegenüber herkömmlichen gemoldeten Gehäusen erfolgen, indem beim Molden, anders als z.B. in
US 5,897,338 , das Moldwerkzeug, z. B. mit einer Dichtung an der planen Oberseite der Moldkavität ohne Verwendung eines Stempels, die Oberseite der Filterchips abdichtet und nach dem Molden des Gehäusekörpers entfernt wird. - Erfindungsgemäß kann die Oberseite des Gehäusekörpers daher eben ausgebildet sein oder oberhalb des Filterchips eine leichte Kavität als Abdruck der auf die Oberseite des Filterchips gesetzten Abdichtung des Moldwerkzeuges aufweisen, wobei die Kavität für die Funktionalität jedoch nicht wesentlich ist. Vorteilhafterweise schließt die Oberseite des Filterchips bündig mit der Oberseite des Gehäusekörpers ab.
- Erfindungsgemäß definiert somit der Filterchip selbst den optischen Zugang und seine Apertur zu dem Gassensor mit dem mindestens einen Sen sorchip bzw. Thermopile-Chip. Der als Chip-Stapel ausgebildete Gassensor kann vorteilhafterweise in einer herkömmlichen Montage auf einem Diepad aufgenommen werden, dessen Position am Leadframe so gewählt ist, dass die Filterchipoberfläche in der gleichen Höhe wie die gemoldete Gehäuseoberfläche liegt.
- Die Gassensoren können mitsamt dem aufgeklebtem Filterchip bzw. mehreren Filterchips auf einem Leadframe-Streifen aus Metall befestigt, z. B. gelötet oder verklebt, und mit dem Gehäusekörper umspritzt werden, so dass die Gassensormodule nachfolgend direkt aus dem Leadframe-Streifen durch Vereinzelung gewonnen werden können.
- Es ergibt sich eine JEDEC (Joint Electron Device Engineering Council)-Norm kompatible Gehäuseform, z. B. auf SOIC (Small outline integrated circuit)-Basis, die ein sehr flaches und platzsparendes Gehäuse ermöglicht. Das fertige Gehäuse kann einfach und kostengünstig, vorzugsweise im Weltstandard, auf Leiterplatten bestückt werden.
- Sämtliche im Gassensormodul vorgesehenen Bondverbindungen, sowohl Drahtbonds als auch Chipklebeverbindungen, sind durch das Moldmaterial gut passiviert. Durch eine Anbindung des Diepads des Leadframes über einen Anschlusspin an die elektrische Masse wird ein guter EMV-Schutz gewährleistet. Das Gehäuse ist insbesondere automotiv-tauglich und robust.
- Es können erfindungsgemäß sehr kleine und demzufolge kostengünstige Filterchips verwendet werden. Erfindungsgemäß können hierbei sowohl zwei einkanalige Gassensoren, d. h. Sensorchips mit jeweils einer Messstruktur und einem Kappenchip, als auch zweikanalige Gassensoren aus einem Sensorchip mit zwei Messstrukturen und einem oder zwei Kappenchips sowie Filterchips verwendet werden; in beiden Fällen kann der eine Chip-Stapel bzw. können die beiden Chip-Stapel auf einem gemeinsamen Diepad befestigt und nachfolgend gemoldet werden.
- Da die Filterchips in der geeigneten Abmessung direkt auf dem Kappenchip befestigt werden, sind keine zusätzlichen Kleberänder oder Toleranzen bei Anbringung an einer Kappe bzw. eines Deckels zu berücksichtigen, so dass die Dimensionierung des Filterchips bzw. der Filterchips sehr klein und somit kostengünstig gewählt werden kann.
- Die Erfindung wird im Folgenden anhand der beiliegenden Zeichnungen an einigen Ausführungsformen näher erläutert. Es zeigen:
-
1 einen Querschnitt eines als Chip-Stapel ausgebildeten spektroskopischen Gassensors; -
2 einen Querschnitt durch ein Gassensormodul mit dem Gassensor der1 , einem Filterchip, einem Leadframe und einem Moldgehäuse; -
3a einen partiellen Längsschnitt durch das Gassensormodul aus2 ; -
3b einen der3a entsprechenden partiellen Längsschnitt durch ein Gassensormodul einer weiteren Ausführungsform; -
4a einen Horizontalschnitt durch ein Gassensormodul gemäß2 mit zwei einkanaligen Gassensoren; -
4b einen Längsschnitt durch das Gassensormodul der4a ; -
5 eine Draufsicht auf das Gassensormodul der4a ,4b ; im gemoldeten Zustand; -
6 einen Querschnitt durch ein Gassensormodul gemäß einer weiteren Ausführungsform mit einer auf dem Kappenchip aufgebrachten, strukturierten Blendenschicht; -
7 einen Horizontalschnitt durch das Gassensormodul aus6 ; -
8a einen Horizontalschnitt durch ein Gassensormodul gemäß einer weiteren Ausführungsform mit einem zweikanaligen Sensorchip; -
8b einen Längsschnitt durch das Gassensormodul der8a ; -
9 eine Draufsicht auf das Gassensormodul der8a ,8b ; im gemoldeten Zustand; -
10 einen Horizontalschnitt durch ein Gassensormodul einer weiteren Ausführungsform mit gegenüber den8 ,9 zusätzlich auf dem Kappenchip aufgebrachter, strukturierter Blendenschicht. - Ein Gassensor
1 ist gemäß1 als Chip-Stapel mit einem Sensorchip2 und einem auf dem Sensorchip2 in vakuumdichter Sealglasverbindung3 befestigten Kappenchip4 aufgebaut. Auf der Oberseite des Sensorchips2 ist in Oberflächen-Mikromechanik eine Membran5 ausgebildet, die mit einer Kaverne6 unterätzt ist. Zur Ausbildung der Kaverne6 können in der Membran5 hier nicht weiter relevante Perforationslöcher ausgebildet sein, durch die ein Ätzgas, z. B. CIF3, zugeführt wird. Auf der Membran5 ist eine Messstruktur7 ausgebildet, die eine Thermopile-Struktur9 mit mindestens zwei kontaktierten Leiterbahnen aus unterschiedlichen, elektrisch leitfä higen Materialien, z. B. polykristallinem Silizium und einem Metall, z. B. Aluminium, aufweist. Auf der Thermopile-Struktur9 ist eine Absorberschicht10 , z. B. mit einem Rutheniumoxid, aufgetragen. Der Kappenchip4 weist an seiner Unterseite eine Kaverne12 auf, die einen Sensorraum bildet, in dem die Absorberschicht10 und die Thermopile-Struktur9 aufgenommen sind. Die Kaverne12 enthält ein Vakuum und ist gegenüber einem Außenraum durch die Sealglas-Verbindungen3 vakuumdicht abgedichtet. Die Leiterbahnen der Thermopile-Struktur9 enden in Bondpads14 außerhalb der Kaverne12 . Infrarot-Strahlung kann somit durch den Kappen-Chip4 in die Kaverne12 eintreten und auf die Absorberschicht10 gelangen, in der sie unter Erwärmung absorbiert wird. Die Erwärmung der unter der Absorberschicht10 liegenden Thermopile-Struktur9 kann als Thermospannung an den Bondpads14 ausgelesen werden. Bei einer einkanaligen Ausbildung weist der Gassensor1 auf dem Sensorchip2 lediglich eine Messstruktur7 auf; bei einer zweikanaligen Ausbildung weist er zwei Messstrukturen7 mit jeweils einer Thermopile-Struktur9 und Absorberschicht10 auf. - Der mikromechanische Gassensor
1 aus1 ist erfindungsgemäß in einem Gassensor-Modul16 aufgenommen, von dem die2 bis10 unterschiedliche Ausführungsformen zeigen. Gemäß2 ,3a ist der Gassensor1 ist mittels einer Klebstoffschicht19 auf einen Diepad20 geklebt, der. Der Diepad20 und gebogene Anschlusspins21 sind Teile eines Leadframes22 . Innere Bereiche der Anschlusspins21 dienen hierbei als Bondpads24 , die mit den Bondpads14 des Gassensors1 über Drahtbonds26 kontaktiert sind, so dass die an der Thermopile-Struktur9 ermittelte Thermospannung über die Anschlusspins21 ausgelesen werden kann. Das Diepad20 mit dem aufgenommenen Gassensor1 ist in einen Gehäusekörper23 aus einem Moldmaterial, z. B. einem Kunststoff oder Mold-Compound, eingespritzt bzw. eingemoldet. Die Anschlusspins21 sind mit ihren Bondpads24 eingemoldet und ragen seitlich aus dem Gehäusekörper23 heraus. - Auf dem Kappenchip
4 ist über eine für IR-Strahlung transparente Kleb stoffschicht29 ein Filterchip30 direkt und ohne Zwischenraum aufgeklebt, wobei seine Oberseite31 an der Oberseite23a des Gehäusekörpers23 frei liegt. Gemäß der Ausführungsform der2 und3a liegt die Oberseite31 an einer in der Oberseite23a ausgebildeten flachen Kavität32 , die sich als Werkzeugabdruck bzw. Dichtungsabdruck eines Moldwerkzeuges ergibt, das beim Molden in die Moldform bzw. Moldkavität eingesetzt wird. Das Moldwerkzeug – z. B. mit einer einfachen Dichtung an der Oberseite der Moldkavität, welche an die Oberseite31 des Filterchips30 angelegt wird – stellt hierbei sicher, dass beim Einmolden des Gassensors1 kein Moldmaterial auf die Oberseite31 des Filterchips30 gelangt. Gemäß der Ausführungsform der3b kann der Gehäusekörper23 grundsätzlich auch mit einer glatten Oberseite23a ohne Kavität32 oder Dichtungsabdruck bei entsprechender Gestaltung des Moldwerkzeuges ausgebildet werden. - Bei der Ausführungsform der
4a ,4b ,5 sind auf dem strukturierten Diepad20 zwei einkanalige Gassensoren1a ,1b entsprechend dem Gassensor1 aus1 angebracht und gemäß der Ausführungsform der2 mit Anschlusspins21 kontaktiert. Der Diepad20 ist hierbei zum besseren Toleranzausgleich beim Molden geteilt. Die Gassensoren1a und1b sind vom Aufbau zunächst identisch und lediglich zur besseren Kontaktierung spiegelsymmetrisch angeordnet. Auf ihnen sind Filterchips30a ,30b zur Filterung von IR-Strahlung in unterschiedlichen Wellenlängenbereichen befestigt, wobei der Gassensor1a zur Messung der IR-Absorption in einem für z. B. CO2 relevanten Wellenlängenbereich und der Gassensor1b zur Messung in einem Referenzwellenlängenbereich dient. Alternativ zu der Ausbildung gemäß4a ,4b ,5 können die Filterchips30a ,30b auch ohne Kavität32 an die Oberseite23a des Gehäusekörpers23 angrenzen. - Das Moldmaterial des Gehäusekörpers
23 dient als optische Blende, die IR-Strahlung lediglich in die an die Gehäuseoberseite23a grenzende Oberseite31 der Filterchips30a , b durchlässt. Gemäß der Ausführungsform der6 ,7 kann ergänzend eine weitere optische Blende vorgesehen sein. Diese kann insbesondere als strukturierte Blendenschicht34 , z. B. aus Aluminium, mit einer Blendenöffnung35 auf der Oberseite des Kappenchips4 des Gassensors1 ausgebildet sein. Die Blendenschicht34 wird auf der Oberseite des Kappenchips4 ausgebildet, bevor der Filterchip30 mittels der Klebstoffschicht29 befestigt wird. - Anstatt zweier einkanaliger Gassensoren, wie es in der Ausführungsform der
4a ,4b bis7 gezeigt ist, kann gemäß8a ,8b ,9 und10 auch ein zweikanaliger Gassensor36 auf dem Diepad20 angebracht und in den Gehäusekörper23 eingemoldet sein. Der Aufbau des zweikanaligen Gassensors36 entspricht im Wesentlichen demjenigen des Gassensors1 aus1 ; hierbei sind in dem Sensorchip39 zwei Messstrukturen7 mit jeweils einer Membran5 entsprechend dem Aufbau der1 ausgebildet und in dem Kappenchip40 zwei Kavernen12 entsprechend1 ausgebildet. Die Filterchips30a ,30b sind auf dem Kappenchip40 oberhalb der Messstrukturen7 befestigt. Hierbei kann in der Oberseite23a des Gehäusekörpers23 wiederum eine flache Kavität32 ausgebildet sein, wie in8b gezeigt; alternativ hierzu ist auch eine ebene Ausbildung der Oberfläche23a entsprechend3b möglich. Die Messstrukturen7 und entsprechend die Filterchips30a ,30b können bei der Ausführungsform der8a ,8b ,9 enger zusammenliegen als bei der Ausführungsform der4a ,4b ,5 , so dass ein kompakterer Aufbau möglich ist. Weiterhin wird durch die Verwendung eines gemeinsamen Sensorchips und Kappenchips eine engere thermische Kopplung erreicht. - Auch bei Verwendung eines zweikanaligen Gassensors
36 kann entsprechend der Ausführungsform der6 ,7 zusätzlich zu dem Gehäusematerial eine optische Blendenschicht44 aus z. B. Aluminium mit einer Blendenöffnung45 auf dem Kappenchip40 aufgetragen sein; eine derartige Ausbildung ist in10 als Horizontalschnitt ohne die Filterchips gezeigt.
Claims (13)
- Gassensormodul, das mindestens aufweist: einen spektroskopischen Gassensor (
1 ,36 ) mit einem Sensorchip (2 ,39 ) und einem auf dem Sensorchip (2 ,39 ) vakuumdicht befestigten Kappenchip (4 ,40 ), wobei auf dem Sensorchip (2 ,39 ) eine infrarot-sensitive Messstruktur (7 ) ausgebildet ist, einen Leadframe (22 ) mit Anschlusspins (21 ) und Kontaktpads (24 ), die mit Kontaktpads (14 ) des Gassensors (1 ,36 ) kontaktiert sind, mindestens einen Filterchip (30 ,30a , b), der auf dem Kappenchip (4 ,40 ) oberhalb der Messstruktur (7 ) befestigt ist, und einen Gehäusekörper (23 ) aus einem gespritzten, für Infrarot-Strahlung zumindest weitgehend intransparenten Gehäusematerial, in den der Gassensor (1 ,36 ), der Leadframe (22 ) und der Filterchip (30 ,30a , b) eingespritzt sind, wobei die Anschlusspins (21 ) des Leadframes (22 ) aus dem Gehäusekörper (23 ) herausragen, wobei eine Oberseite (31 ) des Filterchips (30 ,30a , b) an der Oberseite (23a ) des Gehäusekörpers (23 ) frei liegt und die Seitenflächen (33 ) des Filterchips (30 ,30a , b) von dem Gehäusematerial bedeckt sind. - Gassensormodul nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die numerische Apertur des Gassensormoduls (
16 ) durch die laterale Größe der Filterchips (30 ,30a , b) bestimmt ist. - Gassensormodul nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Oberseite (
31 ) des Filterchips (30 ,30a , b) in einer Kavität (32 ) der Oberseite (23a ) des Gehäusekörpers (23 ) frei liegt. - Gassensormodul nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Oberseite (
23a ) des Gehäusekörpers (23 ) eben ausgebildet ist und die Oberseite (31 ) des Filterchips (30 ,30a , b) bündig mit der ebenen Oberseite (23a ) des Gehäusekörpers (23 ) abschließt. - Gassensormodul nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Leadframe (
22 ) einen in den Gehäusekörper (23 ) eingemoldeten Diepad (20 ) aufweist, auf dem der Gassensor (1 ,36 ) befestigt ist. - Gassensormodul nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Kontaktpads (
14 ) des Gassensors (1 ,36 ) und die Kontaktpads (24 ) des Leadframes (22 ) Bondpads (14 ,24 ) sind, die miteinander über in den Gehäusekörper (23 ) eingespritzte Drahtbonds (26 ) verbunden sind. - Gassensormodul nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass in dem Gehäusekörper (
23 ) zwei Gassensoren (1a ,1b ) für eine Messwellenlänge und eine Referenzwellenlänge eingespritzt sind und auf den Kappenchips (40a , b) der Gassensoren (1a ,1b ) Filterchips (30a ,30b ) für die beiden Wellenlängen vorgesehen sind, die mit ihren Seitenflächen (33 ) in den Gehäusekörper (23 ) eingespritzt sind und mit ihren Oberseiten (31 ) frei liegen. - Gassensormodul nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die beiden Gassensoren (
1a ,1b ) auf einem gemeinsamen Diepad (20 ) angebracht sind, das für ein Toleranzausgleich beim Spritzvorgang unterteilt ist. - Gassensormodul nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass ein zweikanaliger Gassensor (
36 ) mit einem Sensorchip (39 ) mit zwei Messstrukturen (7 ) und einem die Messstrukturen (7 ) abdeckenden Kappenchip (40 ) vorgesehen ist, wobei oberhalb der Messstrukturen (7 ) zwei Filterchips (30a ,30b ) für eine Messwellenlänge und eine Referenzwellenlänge vorgesehen sind, die mit ihren Seitenflächen (33 ) in den Gehäusekörper (23 ) eingespritzt sind und mit ihren Oberseiten (31 ) frei liegen. - Gassensormodul nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass auf dem mindestens einen Kappenchip (
4 ,40 ) eine strukturierte, für Infrarot-Strahlung zumindest weitgehend intransparente Blendenschicht (34 ,44 ) aufgebracht ist, die Blendenöffnungen (35 ,45 ) aufweist, oberhalb von denen die Filterchips (30a ,30b ) befestigt sind. - Gassensormodul nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Filterchip (
30 ,30a , b) auf der Oberseite des Kappenchips (4 ,40 ) mittels einer infrarot-transparenten Klebstoffschicht (29 ) zwischenraumfrei befestigt ist. - Verfahren zum Herstellen eines Gassensormoduls (
16 ), mit mindestens folgenden Schritten: Herstellen mindestens eines Gassensors (1 ,36 ) mit einem Sensorchip (2 ,36 ), der an seiner Oberseite eine infrarot-sensitive Messstruktur (7 ) aufweist, und einem auf dem Sensorchip (2 ,39 ) vakuumdicht befestigten, die mindestens eine Messstruktur (7 ) abdeckenden Kappenchip (4 ,40 ), Befestigen mindestens eines Filterchips (30 ,30a , b) zum Filtern von IR-Strahlung eines vorgegebenen Wellenlängenbereichs auf dem Kappenchip (4 ,40 ) mittels einer infrarot-transparenten Klebstoffschicht (29 ) oberhalb der Messstruktur (7 ), Befestigen des Gassensors (1 ,36 ) auf einem Leadframe (22 ) und Kontaktieren von Kontaktpads (14 ) des Gassensors (1 ,36 ) mit Kontaktpads (24 ) des Leadframes (22 ), Einspritzen des Gassensors (1 ,36 ), des Filterchips (30 ,30a , b) und des Leadframes (22 ) in einen Gehäusekörper (23 ) aus einem für Infrarot-Strahlung zumindest weitgehend intransparentem Gehäusematerial derartig, dass der Leadframe (22 ) teilweise eingemoldet ist, Anschlusspins (21 ) des Leadframes (22 ) aus dem Gehäusekörper (23 ) herausragen, Seitenflächen (33 ) des Filterchips (30 ,30a , b) in dem Gehäusekörper (23 ) aufgenommen sind und eine Oberseite (31 ) des Filterchips (30 ,30a , b) an der Oberseite (23a ) des Gehäusekörpers (23 ) frei liegt. - Verfahren nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass ein Moldwerkzeug abdichtend auf die Oberseite (
31 ) des mindestens einen Filterchips (30 ,30a , b) gelegt und nach dem Einspritzten des Gehäusekörpers (23 ) wieder entfernt wird.
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