DE10162113A1

DE10162113A1 - Verfahren und Vorrichtung zum mobilen und synchronen Bestimmen von Struktur und chemischen Elementen aus durch Röntgenstrahlen generierten Fluoreszenz- und Beugungserscheinungen an kristallinen Prüflingen, Bauteilen oder dergleichen

Info

Publication number: DE10162113A1
Application number: DE10162113A
Authority: DE
Inventors: Bernd Kaempfe; Reinhard Arnhold; Wolf-Dieter Hannig
Original assignee: INTAX GmbH; Fraunhofer Gesellschaft zur Forderung der Angewandten Forschung eV
Current assignee: INTAX GmbH; Fraunhofer Gesellschaft zur Forderung der Angewandten Forschung eV
Priority date: 2001-03-09
Filing date: 2001-12-12
Publication date: 2002-09-19

Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zum mobilen und synchronen Bestimmen der Struktur und der chemischen Elemente von kristallinen Prüflingen, Bauteilen o. dgl. DOLLAR A Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren und eine Vorrichtung der eingangs genannten Art derart zu verbessern, dass die gleichzeitige Bestimmung von Strukturparametern, Gefügeparametern und chemischen Elementen die Flexibilität und Mobilität erhöht, einschränkende Bedingungen an Geometrie und Masse der Prüfteile weitgehend aufgehoben, die Messzeiten wesentlich verringert, die Robustheit der Einrichtungen bei gleichzeitiger Verringerung ihrer mechanischen Anfälligkeit erhöht und die Anwendung der Prozessanalytik vor Ort ermöglicht wird. DOLLAR A Gelöst wird diese Aufgabe dadurch, dass der Schnittpunkt aus primären Röntgenstrahlen und den zu detektierenden sekundären Röntgenstrahlen durch eine Translationsbewegung in der Strahlenebene auf der oder in die Prüflingsoberfläche unter sukzessiver Veränderung des Abstandes zwischen Röntgenquelle und Detektor(en), jedoch unter Beibehaltung eines oder mehrerer zwischen Primärstrahl und Sekundärstrahl eingeschlossenen(er) konstanten(er) Winkels (Winkel) von Messpunkt zu Messpunkt so justiert wird, dass an den jeweiligen Messpunkten ein Intensitätsmaximum der Sekundärstrahlung erreicht wird, dann die spektrale Verteilung der emittierten und abgebeugten Sekundärstrahlung für die einzelnen Messpunkte separat bestimmt wird und die den einzelnen ...

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum mobilen und synchronen Bestimmen der Struktur und den chemischen Elementen von kristallinen Prüflingen, Bauteilen o. dgl. bei dem parallelisierte primäre Röntgenstrahlen auf die Prüflingsoberfläche gerichtet, Fluoreszenzspektren und Beugungserscheinungen im Prüfling generiert und diese als sekundäre Strahlung von einem oder mehreren energiedispersiven Detektoren empfangen werden, wobei die spektrale Verteilung der emittierten und abgebeugten Strahlung bestimmt wird.

Die Erfindung betrifft ferner eine Vorrichtung zur Durchführung des obengenannten Verfahrens, mit einer Strahlenquelle zum Aussenden von Röntgenstrahlung zwecks Anregen eines Fluoreszenzspektrums und von Beugungserscheinungen im Prüfling, beispielsweise einer mit Ag-, Mo-, W- oder Rh-Anode ausgerüsteten, luftgekühlten Röntgenröhre, einer Hochspannungsversorgung für die Strahlenquelle, einem Blendensystem zum Parallelisieren der primären Strahlen, einem sekundären Blendensystem zur Aufnahme eines oder mehrerer Strahlenbündel der vom Prüfling emittierten und abgebeugten Strahlung, mindestens einem energiedispersiven Detektor zum Erfassen dieser Strahlung, die in einem gemeinsamen strahlenschutzsicheren mobilen Gehäuse angeordnet sind, das auf oder an dem Prüfling ansetzbar ist, und einer Auswerteeinheit zum Verarbeiten der emittierten und abgebeugten Strahlung.

Es ist bekannt (CARPENTER, D. A. et al. "Applications of a Laboratory X-Ray Microprobe Analysis" Advances in X-Ray Analysis, (1989), Vol. 32, 115), dass als Folge von Wechselwirkung zwischen Röntgenstrahlung und Materie Fluoreszenzstrahlung entsteht, deren Spektrum durch die chemische Zusammensetzung der strahlungsangeregten Materie bestimmt wird. Dieser Sachverhalt wird bei der Röntgenfluoreszenzanalyse genutzt. Die von einem Prüfling emittierte Fluoreszenzstrahlung wird mit geeigneten Detektoren aufgenommen. Aus der gemessenen spektralen Verteilung und der Intensitätsverteilung lassen sich Aussagen über die chemische Zusammensetzung, die Konzentrationen und Konzentrationsverteilungen, die Schichtdicken und Geometrien gewinnen.

Bei der Röntgenfluoreszenzanalyse wird der Prüfling bekanntlich mit Röntgenstrahlung angeregt, die aus der charakteristischen Strahlung eines Elementes, beispielsweise Mo, Rh, Ag oder W, und einem kontinuierlichen Spektrumsanteil (Bremsspektrum) besteht.

Des weiteren ist aus B. E. WARREN, X-Ray Diffraction, Dover Publications, New York 1990 bekannt, dass mit einer derartigen Strahlenquelle auch Röntgenbeugungsuntersuchungen durchführbar sind. Dabei entstehen die als LAUE-Diagramme bezeichneten Beugungsbilder dann, wenn das bestrahlte Prüflingsvolumen einkristallin und die BRAGG'sche Bedingung erfüllt ist.

Sowohl die beim LAUE-Verfahren abgebeugte Strahlung als auch die Fluoreszenzstrahlung bestehen aus rein monochromatischen Komponenten.

Im Gegensatz zur Fluoreszenzstrahlung tritt die abgebeugte Strahlung aber nur unter definierten Beugungswinkeln und in diskreten Raumrichtungen aus.

Die Röntgendiffraktometrie fächert in viele Verfahrensvarianten auf, die sich vorrangig bezüglich der Art des Prüflings (Ein- oder Vielkristall, Kompaktmaterial, Pulver), ihrer analytischen Aufgabenstellung, beispielsweise Kristallstrukturaufklärung und -analyse, Phasen-, Gefüge-, textur- und Spannungsbestimmung sowie der als Sonde genutzten Strahlungskomponenten des Röntgenspektrums unterscheiden. Beugungsanalysen werden hauptsächlich unter Nutzung einer monochromatischen Strahlung, vorrangig mittels winkeldispersiver Röntgendiffraktometer durchgeführt. Um das Beugungsbild nach dieser Weise zu ermitteln, wird der Prüfling durch Rotationsbewegung nacheinander unter definierte Winkelpositionen in die einzelnen Reflexionsstellungen gebracht, wodurch lange Messzeiten entstehen. Auf Grund der geforderten Präzision der Winkeleinstellung und der -reproduzierbarkeit sind derartige Diffraktometer mechanisch aufwendig, verhältnismäßig groß und schwer sowie mechanisch empfindlich. Außerdem sind diese bekannten Diffraktometer nur für relativ kleine Prüflinge geeignet und werden durchweg stationär betrieben.

Fehlende Mobilität, einschränkende Anforderungen an Geometrie und Masse des Prüflings sowie lange Messzeiten sind wesentliche Nachteile dieses Standes der Technik.

Es sind allerdings nach diesem Prinzip arbeitende sogenannte mobile Diffraktometer bekannt (H. CHRISTIAN, F. X. ALFINGER: "Mobile Diffraktometer-Einrichtungen" in V. HAUK, E. MACHERAUCH (Eds.), HTM-Beiheft Eigenspannungen und Lastspannungen, Carl Hanser Verlag, München Wien, 1982, pp 28-34), bei denen Größe und Geometrie des Prüflings kaum Einschränkungen unterliegen, weil seine Position während des Messvorganges unverändert bleibt. Trotzdem sind diese bekannten Diffraktometer relativ unhandlich, mechanisch sehr aufwendig und teuer, so dass ihr Einsatz Spezialaufgaben wie beispielsweise der Eigenspannungsermittlung an Konstruktionen oder in großen Bauteilen vorbehalten bleibt. Die durchweg langen Messzeiten verhindern außerdem auch eine Anwendung in der Prozessanalytik.

Bekannt sind auch röntgendiffraktometrische Filmverfahren, bei denen gleichzeitig größere Teile des gesamten Beugungsbildes registriert werden, wobei die Röntgenfilme zunehmend durch flächenhafte Detektoren mit elektronischer Speicherung der Beugungsbilder - sogenannte Bildplatten - ersetzt werden (A. KÄMPFE, B. KÄMPFE, S. GOLDENBOGEN, B. EIGENMANN, E. MACHERAUCH, D. LÖHE: "Two-dimensional detectors for X-ray stress analysis on polycrystalline materials", in T. Winkler, A. Schubert (Eds.), Material Mechanics, Fracture Mechanics, Micro Mechanics, Druckhaus Dresden, 1999, pp. 656 bis 666).

Durch die aufwendigeren Auslese- und Auswertealgorithmen für die zweidimensionalen Informationsträger sind diese bekannten Meßsysteme teuer und es werden Messzeitgewinne infolge synchroner Registrierung größerer Teile des gesamten Beugungsbildes kompensiert.

Des weiteren ist für eine Aufnahme hinreichend großer Anteile des gesamten Beugungsbildes in einem Messakt mit flächenhaften Detektionssystemen keine platzsparende Auslegung der Messeinrichtung möglich, wodurch eine prozessnahe Analytik eingeschränkt oder erschwert wird.

Es sind auch Verfahren bekannt, bei denen das Beugungsbild aus dem Bremsspektrum der Röntgenstrahlung generiert wird. Unter Nutzung des Bremsspektrums werden an einkristallinen Prüflingen oder Prüflingsbereichen die als LAUE-Diagramme bezeichneten Beugungsbilder aufgenommen. Ihr Informationsgehalt ist dahingehend eingeschränkt, dass sie nur von einkristallinen Prüflingen oder -bereichen erzeugt werden und im allgemeinen keine Aussagen über die Größe von Kristallgitterabständen zulassen.

Außerdem ist dieses bekannte Verfahren an die Nutzung flächenhafter Detektoren gebunden und damit zwangsläufig auch mit deren Nachteilen behaftet.

Die Beugungsbilder können auch unter einem konstanten Beugungswinkel aufgenommen werden. Dazu werden die vorgenannten Röntgendiffraktometer mit einem energiedispersiven Detektor unter konstantem Beugungswinkel betrieben, wodurch die bereits aufgeführten Nachteile der vorgenannten Röntgendiffraktometer nicht vermieden werden. Aus diesem Grund bleibt der Einsatz dieser bekannten Messtechnik der Lösung von Sonderaufgaben vorbehalten wie etwa der Bestimmung von Eigenspannungsgradienten in die Werkstücktiefe (Residual Stress Analysis in the Intermediate Zone Between Surface and Volume by Energy Disperse X-Ray Diffraction-Problems and Attempts at their Solution, Proc. ICRS, Oxford, July 2000, pp. 727-734).

Aus der DE 199 36 900 A1 ist außerdem ein Verfahren und eine Einrichtung zum Erkennen und Separieren von durch energiereiche Strahlen, insbesondere Röntgenstrahlen, generierten Fluoreszenz- und Beugungserscheinungen in kristallinen Prüflingen bekannt. Dieser bekannte Stand der Technik ist nur für einkristalline Prüflinge oder Prüflingsbereiche anwendbar und gestattet keine Bestimmung von Gitterparametern.

Bei diesem Stand der Technik liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren und eine Vorrichtung der eingangs genannten Art derart zu verbessern, dass die gleichzeitige Bestimmung von Strukturparametern, Gefügeparametern und chemischen Elementen die Flexibilität und Mobilität erhöht, einschränkende Bedingungen an Geometrie und Masse der Prüfteile weitgehend aufgehoben, die Messzeiten wesentlich verringert, die Robustheit der Einrichtungen bei gleichzeitiger Verringerung ihrer mechanischen Anfälligkeit erhöht und die Anwendung der Prozessanalytik vor Ort ermöglicht wird.

Diese Aufgabe wird durch ein Verfahren der eingangs genannten Gattung mit den kennzeichnenden Merkmalen des Anspruches 1 und durch eine Vorrichtung mit den kennzeichnenden Merkmalen des Anspruches 7 gelöst.

Vorteilhafte Ausgestaltungen des Verfahrens und der Vorrichtung sind den Unteransprüchen entnehmbar.

Das erfindungsgemäße Verfahren zeichnet sich dadurch aus, dass Struktur- und Gefügeparameter sowie chemische Elemente aus durch Röntgenstrahlung generierten Fluoreszenz- und Beugungserscheinungen weitgehend unabhängig von Geometrie und Masse der Prüflinge bzw. Prüfteile flexibel und mobil auf einfache Weise synchron bestimmt werden können, wobei die Messzeiten erheblich reduziert werden. Dadurch kann das erfindungsgemäße Verfahren für die Überwachung und Kontrolle von Technologien und Produktionsprozessen, beispielsweise Materialbeschichtungen und Halbzeugfabrikation, Messungen an gefährdeten und/oder schwer zugänglichen Stellen mit großen Vorteil gegenüber herkömmlichen Verfahren eingesetzt oder überhaupt erst angewendet werden.

Fluoreszenzlinien und Beugungsreflexe lassen sich auch an vielkristallinen Prüflingen eindeutig trennen, wodurch auch ein sicherer Nachweis von Spurenelementen und/oder Verunreinigungen in vielkristallinen Prüfteilen gelingt.

Mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung gelingt es, Untersuchungen zum kristallinen Zustand des Prüflingsvolumens wie Kristallparameter und -symmetrien, Mengenanteil einzelner kristalliner Phasen, Vorzugsanordnungen der Kristallite im Prüflingsvolumen (Texturen), Kristallitätsgrad, Störungen des Kristallgitters, Eigenspannungen und/oder deren zeitlicher und/oder lokaler Änderung vor Ort vorzunehmen, die bei Anwendung konventioneller Diffraktometer zu um Größenordnungen höhere Umweltbelastungen infolge der notwendigerweise höheren Leistungen der Strahlenquellen führen.

Die Erfindung soll nachstehend an einem Ausführungsbeispiel näher erläutert werden.

Es zeigt bzw. zeigen:

Fig. 1 eine schematische Darstellung der erfindungsgemäßen Vorrichtung,

Fig. 2 ein mit dem erfindungsgemäßen Verfahren bestimmtes Energiespektrum einer polykristallinen Wolframprobe,

Fig. 3 die Energiespektren einer polykristallinen Wolframprobe bei Änderung des Einfallswinkels α des Primärstrahles zur Prüflingsoberfläche und

Fig. 4 die durch Differenzbildung der Spektren gemäß Fig. 3 separierten LAUE-Peaks.

Die erfindungsgemäße Vorrichtung besteht im wesentlichen aus einer Röntgenröhre 2 mit einem primären Blendensystem 4 und einem oder mehreren energiedispersiven Röntgendetektor(en) 3 mit einem oder mehreren sekundären Blendensystem(en) 5. Diese Baugruppen sind in einem Gehäuse 6 angeordnet, das mit Hilfe einer Positioniereinrichtung 10 auf den Prüfling 1 aufgesetzt wird. Die Positioniereinrichtung 10 gestattet es, das Gehäuse 6 um eine Achse A, die durch die Schnittgerade der Ebene - aufgespannt durch die Strahlachse B des primären Blendensystems 4 und die Strahlachse C des sekundären Blendensystems 5 - mit der Oberfläche O des Prüflings 1 bestimmt wird, zu schwenken sowie um die Oberflächennormale ON des Prüflings 1 zu drehen.

Auf diese Weise kann die erfindungsgemäße Vorrichtung auch zur Eigenspannungs- und Texturanalyse verwendet werden. Im Gehäuse 6 befindet sich eine Translationseinrichtung 7, die es erlaubt, die Röntgenröhre 2 mit dem primären Blendensystem 5 zum Detektor 3 mit dem sekundären Blendensystem 4 zu verschieben, so dass der Schnittpunkt G der Strahlachsen B des primären Blendensystems 4 und der Strahlachse C des sekundären Blendensystems 5 in die Oberfläche des Prüflings 1 justiert werden kann, ohne das der Winkel dabei verändert wird.

Die Röntgenröhre 2 ist mit einer Hochspannungsversorgung 8 verbunden. Der Detektor 3, die Hochspannungsversorgung 8 und die Positioniereinrichtung 10 sind mit der Detektor- und Steuerelektronik 9 gekoppelt. Die Steuerung der gesamten erfindungsgemäßen Vorrichtung erfolgt über eine Auswerteeinheit 11, beispielsweise einen PC.

Zur Durchführung der Messung nach dem erfindungsgemäßen Verfahren wird die erfindungsgemäße Vorrichtung auf dem Prüfling 1 aufgesetzt. Mittels der Translationseinrichtung 7 wird der Schnittpunkt der Strahlachsen B und C - bestimmt durch das primäre Blendensystem 4 und das sekundäre Blendensystem 5 - so auf der Prüflingsoberfläche O fixiert, dass ein Intensitätsmaximum im Detektor 3 erreicht wird.

Das Energiespektrum der vom Prüfling 1 ausgehenden sekundären Strahlung wird vom Detektor 3 erfasst. Die Fig. 2 zeigt beispielsweise das Energiespektrum einer polykristallinen Wolframprobe. In der nachfolgenden Tabelle sind die registrierten Energiepeaks den verschiedenen Strahlungsanteilen wie Röntgenfluoreszenzlinien des Prüflings 1, von der Röntgenröhre 2 emittierte und am Prüfling 1 gestreute charakteristische Strahlung und Laue-Peaks der Röntgenbeugung des Prüflings 1 zugeordnet.

Zuordnung der Energiepeaks nach Fig. 2

Die Fig. 3 verdeutlicht, dass bei Änderung des Einfallwinkels α, beispielsweise von 20° auf 25°, die Lage der Energiemaxima der Röntgenfluoreszenzlinien des Prüflings 1 und der gestreuten charakteristischen Strahlung der Röntgenquelle erhalten bleibt, während sich die Lage der Maxima der LAUE-Peaks verschiebt (siehe 2 und 3).

In Fig. 4 sind die aus Fig. 3 berechneten Differenzspektren dargestellt, die nur noch die LAUE-Peaks enthalten. Im allgemeinen Fall können die Energiepeaks durch Entflechtung des Spektrums separiert werden.

Aufstellung der verwendeten Bezugszeichen

1

Prüfling

2

Röntgenröhre

3

Detektor

4

Primäres Blendensystem

5

Sekundäres Blendensystem

6

Gehäuse

7

Translationseinrichtung

8

Hochspannungsversorgung

9

Detektor- und Steuerelektronik

10

Positioniereinrichtung

11

Auswerteeinheit
A Achse des Gehäuses
B Strahlachse von

4

C Strahlachse von

5

G Schnittpunkt der Strahlachsen
O Oberfläche von

1

ON Oberflächennormale von

1

α Einfallswinkel
γ Winkel zwischen

4

und

5

Claims

1. Verfahren zum mobilen und synchronen Bestimmen der Struktur und der chemischen Elemente von kristallinen Prüflingen, Bauteilen o. dgl. bei dem parallelisierte primäre Röntgenstrahlen auf die Prüflingsoberfläche gerichtet, Fluoreszenzspektren und Beugungserscheinungen im Prüfling generiert und diese als sekundäre Strahlung von einem oder mehreren energiedispersiven Detektoren empfangen werden, wobei die spektrale Verteilung der emittierten und abgebeugten Strahlung bestimmt wird, dadurch gekennzeichnet, dass der Schnittpunkt aus primären Röntgenstrahlen und den zu detektierenden sekundären Röntgenstrahlen durch eine Translationsbewegung in der Strahlenebene auf der oder in die Prüflingsoberfläche unter sukzessiver Veränderung des Abstandes zwischen Röntgenquelle und Detektor(en), jedoch unter Beibehaltung eines oder mehrerer zwischen Primärstrahl und Sekundärstrahl eingeschlossenen(er) konstanten(er) Winkels (Winkel) von Messpunkt zu Messpunkt so justiert wird, dass an den jeweiligen Messpunkten ein Intensitätsmaximum der Sekundärstrahlung erreicht wird, dann die spektrale Verteilung der emittierten und abgebeugten Sekundärstrahlung für die einzelnen Messpunkte separat bestimmt wird und die den einzelnen Messpunkten zuordenbaren Spektren ausgewertet und/oder verglichen werden, wobei

a) der messwinkelinvariante Spektrenanteil separiert und nach an sich bekannten Methoden der Röntgenfluoreszenzanalyse den chemischen Elementen zugeordnet und/oder
b) aus den nur einzelnen Winkeln zuordenbaren Linien des Spektrums Struktur- und Gefügeparameter nach an sich bekannten Methoden der Röntgendiffraktometrie ermittelt werden.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Translationsbewegung durch eine Verschiebung des primären Blendensystems mit Röntgenröhre oder sekundären Blendensystems mit Detektor erzeugt wird, wobei die Prüflingsoberfläche linear oder flächenhaft zum Bestimmen der Ausdehnung und der Kennwerte chemisch und/oder strukturell homogener Bezirke abgescannt wird.

3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Translationsbewegung durch eine gegeneinander verlaufende Verschiebung des primären Blendensystems mit Röntgenröhre und sekundären Blendensystems mit Detektor erzeugt wird.

4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Prüflingsoberfläche von der durch primären und sekundären Blendensystem aufgespannten Strahlenebene unter einem definierten Winkel, vorzugsweise 90°, durchdrungen wird.

5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Parallelisierung der Primär- und Sekundärstrahlen durch mindestens eine Glaskapillaroptik erzeugt wird.

6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass für die Parallelisierung der Sekundärstrahlen ein Kollimator verwendet wird.

7. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 1, mit einer Strahlenquelle zum Aussenden von Röntgenstrahlung zwecks Anregen eines Fluoreszenzspektrums und von Beugungserscheinungen im Prüfling, beispielsweise einer mit Ag-, Mo-, W- oder Rh-Anode ausgerüsteten, luftgekühlten Röntgenröhre, einer Hochspannungsversorgung für die Strahlenquelle, einem Blendensystem zum Parallelisieren der primären Strahlen, einem sekundären Blendensystem zur Aufnahme eines oder mehrerer Strahlenbündel der vom Prüfling emittierten und abgebeugten Strahlung, mindestens einem energiedispersiven Detektor zum Erfassen dieser Strahlung, die in einem gemeinsamen strahlenschutzsicheren mobilen Gehäuse angeordnet sind, das auf oder an dem Prüfling ansetzbar ist, und einer Auswerteeinheit zum Verarbeiten dieser Strahlung, dadurch gekennzeichnet, dass das Blendensystem (4) für die primäre Strahlung mit der Röntgenröhre (2) und das Blendensystem (5) für die sekundäre Strahlung mit dem Detektor (3) in der Strahlenebene geradlinig verschiebbar angeordnet sind, ohne dass sich der von der primären und sekundären Strahlung eingeschlossene Winkel (γ) beim Verschieben ändert.

8. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass das Blendensystem (4) mit Röntgenröhre (2) und das Blendensystem (5) mit Detektor (3) gegeneinander verschiebbar ausgebildet sind.

9. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass jeweils ein Blendensystem mit Röntgenröhre bzw. Detektor fest, das andere verschiebbar ausgebildet ist.

10. Vorrichtung nach Anspruch 7 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass das primäre Blendensystem (4) mit der Strahlenquelle (2) fest verbunden ist.

11. Vorrichtung nach Anspruch 7 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass das sekundäre Blendensystem (5) mit dem mindestens einen Detektor (3) starr verbunden ist.

12. Vorrichtung nach Anspruch 7 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass eine dem Gehäuse (6) zugeordnete Einrichtung (10) zum Positionieren am oder auf dem Prüfling vorgesehen ist, durch die das Gehäuse (6) um eine durch die Schnittgerade der von dem primären und sekundären Blendensystems (4; 5) mit der Oberfläche (O) des Prüflings aufgespannten Ebene bestimmten Achse (A) schwenkbar und um die Oberflächennormale (ON) des Prüflings drehbar ist.

13. Vorrichtung nach Anspruch 7 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass das primäre Blendensystem (5) aus einer Glaskapillaroptik besteht.

14. Vorrichtung nach Anspruch 7 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass das sekundäre Blendensystem (5) aus jeweils einzelnen separaten Glaskapillaroptiken besteht.

15. Vorrichtung nach Anspruch 7 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass das sekundäre Blendensystem (5) aus Kollimatoren besteht, die nur spezielle Richtungen der sekundären Röntgenstrahlen, d. h. Sektoren von solchen Kreisflächen oder Kegelmänteln, erfassen, deren Symmetrieachse durch den primären Röntgenstrahl gebildet ist.

16. Vorrichtung nach Anspruch 7 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass das primäre und sekundäre Blendensystem (4; 5) miteinander einen konstanten Winkel (γ) einschließen und die Strahlenachsen sich in einem Punkt schneiden.

17. Vorrichtung nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, dass die Winkelstellung zwischen primären und sekundären Blendensystem (4; 5) auf unterschiedliche Messwinkel einstellbar ist.