DE10153708B4

DE10153708B4 - Mikrodosiervorrichtung

Info

Publication number: DE10153708B4
Application number: DE2001153708
Authority: DE
Inventors: Andreas Arp; Michael Döring; Wilhelm Meyer; Ulrich Dr. Pollmann
Original assignee: MICRODROP GESELLSCHAFT fur MIKRODOSIERSYSTEME MBH; Microdrop GmbH
Current assignee: Microdrop Technologies GmbH
Priority date: 2001-10-31
Filing date: 2001-10-31
Publication date: 2004-01-29
Anticipated expiration: 2021-11-01
Also published as: DE10153708A1

Abstract

Mikrodosiervorrichtung mit einem Düsenkörper (11), der einen Hohlraum (12) für ein Fluid begrenzt und mit einem Fluideinlaß (19) und einem Düsenauslaß (13) versehen ist, wobei zwischen Fluideinlaß (19) und Düsenauslaß (13) kein Dichtungslement vorhanden ist und das Fluid aus dem Hohlraum durch den Düsenauslaß mittels eines Aktuators (16) ausgetrieben wird, dadurch gekennzeichnet, daß der Aktuator einen Verdrängungskörper (15) umfaßt, der in den Hohlraum unter Belassung eines Zwischenraums zu den Innenwandungen des Hohlraums in das Fluid hineinragt.

Description

Die Erfindung betrifft eine Mikrodosiervorrichtung mit einem Düsenkörper, der einen Hohlraum für ein Fluid begrenzt und mit einem Fluideinlaß und einem Düsenauslaß versehen ist, wobei zwischen Fluideinlaß und Düsenauslaß kein Dichtungslement vorhanden ist und das Fluid aus dem Hohlraum durch den Düsenauslaß mittels eines Aktuators ausgetrieben wird.

Eine solche Mikrodosiervorrichtung ist beispielsweise aus der DE-Z "Flüssigkeiten mikrofein dosieren", Feinwerktechnik und Meßtechnik, 11/1991, Seiten 459– 463, bekannt. Hier umschließt eine Piezokeramik einen Glaskörper, so daß beim Aktivieren der Piezokeramik ein Impuls erzeugt wird, der die im Glaskörper vorhandene Flüssigkeit aus der Düse hinaustreibt. Damit können Tropfen mit sehr kleinem Durchmesser dosiert werden. Auch ist die ausgetriebene Flüssigkeitsmenge äußerst gering.

Bei der vorbekannten Dosiervorrichtung bilden der Düsenkörper, die Düse und die Piezokeramik eine Einheit. Dies hat zur Folge, daß bei einer Verstopfung der Düse auch die Piezokeramik ausgetauscht werden muß. Ferner ist das Totvolumen, also das Fluidvolumen, welches sich stets im, Düsenkörper befindet, relativ hoch. Dadurch wird es erforderlich, daß zumindest diese Menge der zu dosierenden Flüssigkeit vorhanden sein muß. Das Totvolumen bekannter Dosiereinrichtungen beträgt etwa 12 μl. Es sind jedoch Anwendungsfälle denkbar, bei welchen die zu dosierende Substanz nicht in einer solchen Menge ausreichend vorhanden ist oder nur mit besonders großem Aufwand herstellbar ist.

Aus der DE 38 33 093 A1 und der DE 199 07 931 A1 sind Dosiereinrichtungen bekannt, bei welchen das Fluid unter Druck in einem Düsenkörper gehalten wird. Durch Öffnen der Düse tritt das Fluid in der gewünschten Menge aus. Die DE-OS 21 17 348 beschreibt eine Dosiervorrichtung, bei welcher die Düse mit einem Düsenzapfen entgegen einer Federkraft geschlossen gehalten wird. Durch Erhöhung des Drucks im Düsenkörper wird die Federkraft überwunden und das Fluid kann austreten. Diese geschlossenen Systeme sind nicht in der Lage kleinste Fluidmengen zu dosieren.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Mikrodosiervorrichtung der eingangs geschilderten Art so auszubilden, daß ein geringes Totvolumen vorhanden ist.

Die Aufgabe wird bei einer Vorrichtung der eingangs genannten Art gemäß der Erfindung dadurch gelöst, daß der Aktuator einen Verdrängungskörper umfaßt, der in den Hohlraum unter Belassung eines Zwischenraums zu den Innenwandungen des Hohlraums in das Fluid hineinragt. Dadurch wird erreicht, daß ein großer Teil des Volumens des Düsenkörpers von dem Verdrängungskörper ausgefüllt wird, so daß der verbleibende Raum für das zu dosierende Fluid entsprechend geringer ausfällt. Das Totvolumen kann damit auf etwa 1 μl reduziert werden.

Es kann vorgesehen werden, daß der Aktuator den Verdrängungskörper selbst bildet. Hier muß jedoch beachtet werden, daß die zu dosierenden Flüssigkeiten häufig chemisch aggressiv sind, so daß beispielsweise ein Piezoaktuator nicht unmittelbar in Berührung mit einer derartigen Flüssigkeit gebracht werden kann.

Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist daher vorgesehen, daß der Verdrängungskörper mit dem Aktuator verbunden ist. Der Verdrängungskörper bildet somit ein separates Bauteil, das entsprechend der chemischen Zusammensetzung des Fluids chemisch resistent und chemisch inert ausgewählt werden kann. Es kann beispielsweise vorgesehen werden, daß der Verdrängungskörper aus Edelstahl oder einen Edelmetall oder auch aus Glas oder Kunststoff gefertigt ist.

Günstig ist es, wenn zwischen dem Aktuator und dem Verdrängungskörper ein Zwischenelement vorhanden ist. Dadurch wird erreicht, daß eine bezüglich der Übertragung des Impulses starre Verbindung zwischen dem Aktuator und dem Verdrängungskörper auch dann bewirkt werden kann, wenn sich die Materialien des Aktuators einerseits und des Verdrängungskörpers andererseits nicht unmittelbar verbinden lassen. Das Material des Zwischenelementes kann dann so gewählt werden, daß eine Kontaktverbindung zwischen dem Verdrängungskörper und dem Zwischenelement sowie zwischen dem Aktuator und dem Zwischenelement ohne weiteres möglich ist.

Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist dabei vorgesehen, daß das Zwischenelement als Federelement ausgebildet ist, das unter Vorspannung an dem Aktuator anliegt und an dem der Verdrängungskörper befestigt ist. Damit wird zum einen die für die Übertragung des Impulses auf das Federelement feste Verbindung zwischen diesem und dem Aktuator bewirkt. Zum anderen kann an dem Federelement, das beispielsweise ein Federblech sein kann, der Verdrängungskörper starr verbunden werden. Die Übertragung des Impulses zum Verdrängungskörper wird daher ebenfalls gewährleistet. Der Verdrängungskörper kann beispielsweise mit dem Federelement verklebt, verschweißt oder verlötet sein. Dies hat weiterhin den Vorteil, daß die Bewegung des Aktuators, beispielsweise eines Piezoelementes sowohl in die eine als auch in die andere Richtung an den Verdrängungskörper übertragen wird.

Wie im einzelnen der Düsenkörper ausgebildet wird, ist grundsätzlich beliebig. Es ist in der Regel erforderlich, daß der Düsenkörper eine Öffnung aufweist, durch die der Verdrängungskörper in den Hohlraum eintaucht. Für ein geschlossenes System ist dann vorgesehen, daß der Verdrängungskörper durch eine Dichtung geführt ist, die die Öffnung des Düsenkörpers verschließt. Damit wird eine geschlossene Mikrodosiervorrichtung geschaffen, die den Düsenauslaß als Öffnung aufweist.

Der Fluideinlaß kann mit einem Fluidvorrat in Verbindung stehen. Auch kann vorgesehen sein, daß über den Fluideinlaß oder einer anderen Öffnung zum Hohlraum ein Unterdruck erzeugt wird, damit die Mikrodosiervorrichtung als Mikropipette zum Umsetzen von Flüssigkeiten benutzt werden kann. Der Fluideinlaß mündet vorzugsweise mit Abstand zum Düsenauslaß in den Hohlraum. Damit werden gegenseitige Beeinflussungen vermieden. Insbesondere wird erreicht, daß durch die Betätigung des Verdrängungskörpers mittels des Aktuators tatsächlich das Fluid aus dem Düsenauslaß und nicht durch den Fluideinlaß ausgetrieben wird.

Für eine Verringerung des Totvolumens ist es grundsätzlich ausreichend, wenn ein Verdrängungskörper mit beliebiger Gestalt in den Hohlraum eintaucht. Gemäß einer bevorzugten Form der Erfindung ist vorgesehen, daß der Verdrängungskörper eine äußere Querschnittskontur aufweist, die im wesentlichen der inneren Querschnittskontur des Hohlraums entspricht und unter Belassung eines ringförmigen Spaltes in den Hohlraum eintaucht. Damit kann ein minimales Totvolumen erzeugt werden. Dabei können der Verdrängungskörper und der Hohlraum des Düsenkörpers im wesentlichen zylindrisch ausgebildet sein. Eine solche symmetrische Ausbildung hat zudem fertigungstechnische Vorteile.

Der Verdrängungskörper wird grundsätzlich eine bevorzugte Übertragungsrichtung des Impulses aufweisen. Bei einem länglichen zylindrischen Körper wird dies bevorzugt entlang der Längsachse erfolgen. Günstig ist es daher weiterhin, wenn der Düsenauslaß in Richtung der Längsachse des Verdrängungskörpers in den Hohlraum mündet. Damit liegt der Düsenauslaß in Richtung der bevorzugten Bewegung des Verdrängungskörpers aufgrund des aufgebrachten Impulses, so daß das Austreiben der Flüssigkeit aus dem Düsenkörper begünstigt wird. Es ist weiterhin günstig, wenn der Fluideinlaß senkrecht zur Strömungsrichtung des Fluids beziehungsweise senkrecht zur bevorzugten Übertragungsrichtung des Impulses durch den Verdrängungskörper in den Düsenkörper mündet. Damit wird ein weiterer Strömungswiderstand für das Fluid in Richtung auf den Fluideinlaß erzeugt, so daß das Ausstoßen aus dem Düsenauslaß weiter bevorzugt wird.

Demnach mündet der Fluideinlaß bevorzugt in den ringförmigen Spalt zwischen Verrängungskörper und Hohlrauminnenwandung. Damit kann insbesondere die Drosselwirkung der Anordnung zwischen Düsenauslaß und Fluideinlaß wesentlich erhöht werden. Die im Ringspalt vorhandene Flüssigkeit wirkt wie eine Drossel, deren Dämpfung vom Verhältnis des Innenradius zum Außenradius des Ringspaltes einerseits und von der Länge des Ringspaltes zwischen Fluideinlaß und dem stirnseitgen Ende des Verdrängungskörpers abhängt. Es ist offensichtlich, daß hier eine optimierte Entkopplung zwischen Fluideinlaß und Düsenauslaß bei der Impulsbeaufschlagung erzielt werden kann.

Zweckmäßig kann es weiterhin sein, wenn sich der Verdrängungskörper in Richtung auf den Düsenauslaß konisch verjüngt. Dadurch kann zum einen eine Ansammlung von Gasbläschen auf der dem Düsenauslaß zugekehrten Stirnseite des Verdrängungskörpers verhindert werden. Zum anderen kann sich der Verdrängungskörper somit teilweise in die sich in der Regel ebenfalls verjüngende Düse des Düsenkörpers erstrecken, so daß das Totvolumen weiter reduziert werden kann.

Insgesamt ist es mit einer derartigen Mikrodosiervorrichtung möglich, Fluide mit den unterschiedlichsten chemischen Eigenschaften zu dosieren. Insbesondere sind der Düsenkörper einerseits und der Aktuator andererseits voneinander getrennte Elemente, so daß ein Austausch des Düsenkörpers und/oder des Verdrängungskörpers möglich ist. Der Aktuator steht nicht in Kontakt mit dem Fluid, so daß auch chemisch aggressive Flüssigkeiten exakt dosiert werden können. Weiterhin ist ein äußerst geringes Totraumvolumen vorhanden, so daß die insgesamt für eine Dosierung erforderliche Menge der Flüssigkeit gering gehalten werden kann.

Vorstehend wurde die Erfindung anhand einer einzelnen Dosiervorrichtung beschrieben. Es ist selbstverständlich auch möglich, daß mehrere Düsenkörper vorhanden sind, in die mehrere Verdrängungskörper eintauchen, die über mehrere oder aber auch nur über einen Aktuator angetrieben werden. Insbesondere ist es möglich, daß in einem Düsenblock mehrere Hohlräume in einer Matrix, bestehend aus einer oder mehreren Reihen vorhanden sind. Die Verdrängungskörper können dann die Gestalt eines Kamms aufweisen, dessen Spitzen in die Hohlräume eintauchen. Dadurch lassen sich zudem geringe bis geringste Düsenabstände realisieren.

Die Erfindung wird im Folgenden anhand der schematischen Zeichnung näher erläutert, deren einzige Figur ein Prinzipbild der Mikrodosiervorrichtung zeigt.
Die in der Zeichnung dargestellte Mikrodosiervorrichtung weist einen Düsenkörper 11 auf, in dem ein Hohlraum 12 mit einem Düsenauslaß 13 vorhanden ist. Der Düsenkörper 11 kann beispielsweise aus Glas oder aus einem beliebigen anderen Werkstoff, beispielsweise Edelstahl, Kunststoff oder dergleichen bestehen. Ferner kann der Düsenkörper als einzelnes Röhrchen oder, wie gezeigt, als größerer Block ausgebildet sein. In einem solchen Block können auch mehrere Hohlräume angeordnet sein.
Auf der dem Düsenauslaß 13 gegenüberliegenden Seite besitzt der Hohlraum eine Öffnung 14, durch die ein Verdrängungskörper 15 in den Hohlraum hineinragt. Der Verdrängungskörper 15 kann die gleiche äußere Querschnittskontur aufweisen wie die innere Querschnittskontur des Hohlraums 12. In der Regel sind sowohl Hohlraum 12 als auch Verdrängungskörper 15 zylindrisch ausgebildet. Der Verdrängungskörper liegt hierbei nicht dichtend an den Innenwandungen des Hohlraums an, sondern verringert nur dessen Volumen. Zwischen dem Verdrängungskörper und der diesen umgebenden Innenwandung ist ein Zwischenraum vorhanden, der mit Fluid gefüllt ist. Dieser Zwischenraum erstreckt sich zumindest teilweise und vorzugsweise vollständig um den Verdrängungskörper herum.
Der Verdrängungskörper 15 steht auf seiner dem Düsenauslaß 13 abgekehrten Seite mit einem Aktuator 16 in Verbindung, der beispielsweise als Piezoaktuator ausgebildet sein kann. Beim Aktivieren des Piezoaktuators 16 wird ein Impuls erzeugt, der vom Piezoaktuator über den Verdrängungskörper 15 in das in dem Hohlraum 12 vorhandene Fluid übertragen wird. Aufgrund des Impulses wird eine bestimmte Menge Flüssigkeit in Form eines Tropfens 17 aus dem Düsenauslaß 13 hinausgetrieben.
Zwischen dem Verdrängungskörper 15 und dem Piezoaktuator 16 ist ein Zwischenelement 18 vorhanden, das als Federelement ausgebildet ist. Im einzelnen ist die Anordnung hier so getroffen, daß das Federelement als streifen- oder ringförmiges Federblech ausgebildet ist, durch das der Piezoaktuator 16 unter Vorspannung gehalten wird. Dadurch wird erreicht, daß das Federblech stets einen Kontakt zum Piezoaktuator unabhängig von dessen Bewegung besitzt. Es kann vorgesehen werde, daß der Aktuator durch Zugfedern 26 zwischen dem Federblech 18 und dem nicht näher gezeigten oberen Rahmenteil 27 der Dosiervorrichtung eingespannt ist. Es kann aber auch vorgesehen werden, daß sich das Federblech auf seitlichen Absätzen 25 an einem nicht näher gezeigten unteren Rahmenteil abstützt. Der obere Rahmenteil 27 mit dem Aktuator kann dann so abgesenkt werden, daß das Federblech die gewünschte Vorspannung erhält.
An dem Federblech ist auf dessen dem Piezokontakt abgekehrten Seite der Verdrängungskörper 15 verbunden. Vorzugsweise ist der Verdrängungskörper 15 mit dem Federelement verschweißt oder verklebt. Dadurch wird stets erreicht, daß der durch den Piezokontakt erzeugte Impuls im wesentlichen ohne Verluste auf den Verdrängungskörper und somit auf das Fluid übertragen werden kann.
Der Düsenkörper ist zudem mit einem Fluideinlaß 19 versehen, der in Verbindung mit einem nicht gezeigten Fluidvorrat steht. Hierdurch kann eine quasi kontinuierlich arbeitende Mikrodosiervorrichtung erzeugt werden. Sobald ein Tropfen 17 ausgestoßen wird, wird das fehlende Volumen durch den Fluideinlaß nachgeliefert. Bei der gezeigten Ausführungsform ist der Fluideinlaß 19 in einem möglichst großen Abstand zum Düsenauslaß 13 angeordnet. Vor allem ist vorgesehen, daß der Fluideinlaß senkrecht zur Strömungsrichtung 20 des Fluids beim Austreiben verläuft. Weiterhin mündet der Fluideinlaß in den Ringraum 21, der zwischen dem Verdrängungskörper 15 und der Innenwandung des Hohlraums 12 gebildet wird. Damit wird eine hohe Drosselwirkung erzeugt, so daß das Austreiben des Tropfens 17 mit hoher Präzision erfolgen kann. Dies ist günstig, da zwischen Fluideinlaß und Düsenauslaß kein Dichtungselement vorhanden ist.
Um ein für das Austreiben des Tropfens 17 erforderliches geschlossenes System zu bilden, ist es weiterhin vorgesehen, daß die Öffnung 14 des Hohlraums durch eine Dichtung 22 verschlossen wird, durch die sich der Verdrängungskörper 15 erstreckt. Diese Dichtung kann aus einem gummielastischen Material sein und dichtend an der zylindrischen Mantelfläche des Verdrängungskörpers 15 anliegen. Die Übertragung des Impulses auf das Fluid wird hierdurch nicht oder nur unwesentlich beeinträchtigt.
Wie aus der Zeichnung ersichtlich, wird durch den Verdrängungskörper 15 das Volumen des Hohlraums 12 deutlich reduziert. Dadurch besitzt die Mikrodosiervorrichtung ein äußerst geringes Totvolumen, so daß für die Mikrodosierung nur geringste Mengen des betreffenden Fluids vorhanden sein müssen. Dies ist insbesondere bei schwer handzuhabenden, selten vorkommenden oder nur sehr aufwendig herzustellenden Fluiden zweckmäßig.
Das stirnseitige Ende 23 des Verdrängungskörpers 15 ist bei der gezeigten Ausführungsform in einem relativ großen Abstand zum Düsenauslaß 13 angeordnet. Es kann auch vorgesehen werden, daß das stirnseitige Ende 23 sich in Richtung auf den Düsenauslaß 13 konisch verjüngt und beispielsweise an dessen Konturen angepaßt ist. Diese Ausführungsform einer sich konisch verjüngenden Spitze 24 des Verdrängungskörpers 15 ist in der Zeichnung punktiert dargestellt. Hierdurch läßt sich das Totvolumen weiter reduzieren. Ferner wird eine Ansammlung von Gasblasen unterhalb des Verdrängungskörpers vermindert.
Ferner ist aus der Zeichnung ersichtlich, daß der Piezoaktuator 16 einerseits und der Verdrängungskörper andererseits vollständig getrennte Elemente sind. Es ist daher möglich, den Verdrängungskörper und/oder den Düsenkörper unabhängig vom Piezoaktuator 16 auszutauschen. Dies kann beispielsweise bei einer Verstopfung der Düse oder aber bei einem Verschleiß des Verdrängungskörpers bei der Dosierung von sehr aggressiven Flüssigkeiten erforderlich werden.
Insgesamt ist es mit der Mikrodosiervorrichtung möglich, geringste Flüssigkeitsmengen mit hoher Genauigkeit zu dosieren. Aufgrund des geringen Totvolumens und der erhöhten Drosselwirkung zwischen Düsenauslaß und Fluideinlaß kann zudem eine hohe Wiederholrate der Dosierung erzeugt werden. Insbesondere ist es jedoch möglich, daß Fluide mit den unterschiedlichsten Viskositäten, Dichten und chemischen Eigenschaften mit einer derartigen Mikrodosiervorrichtung verarbeitbar sind. Insbesondere kann der Verdrängungskörper entsprechend der chemischen Eigenschaften des zu dosierenden Fluids ausgewählt werden.
Weiterhin können der Düsenkörper und/oder der Verdrängungskörper temperierbar und insbesondere beheizbar sein. Damit kann insbesondere die Viskosität der zu dosierenden Flüssigkeiten beeinflußt werden. Es können daher mit einer derartigen Mikrodosiervorrichtung auch hochviskose Flüssigkeiten gut dosiert werden.

Claims

Mikrodosiervorrichtung mit einem Düsenkörper (11), der einen Hohlraum (12) für ein Fluid begrenzt und mit einem Fluideinlaß (19) und einem Düsenauslaß (13) versehen ist, wobei zwischen Fluideinlaß (19) und Düsenauslaß (13) kein Dichtungslement vorhanden ist und das Fluid aus dem Hohlraum durch den Düsenauslaß mittels eines Aktuators (16) ausgetrieben wird, dadurch gekennzeichnet, daß der Aktuator einen Verdrängungskörper (15) umfaßt, der in den Hohlraum unter Belassung eines Zwischenraums zu den Innenwandungen des Hohlraums in das Fluid hineinragt.
Mikrodosiervorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Aktuator den Verdrängungskörper bildet.
Mikrodosiervorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Verdrängungskörper (15) mit dem Aktuator (16) verbunden ist.
Mikrodosiervorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Aktuator (16) ein Piezoaktuator ist.
Mikrodosiervorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen dem Aktuator (16) und dem Verdrängungskörper (15) ein Zwischenelement (18) vorhanden ist.
Mikrodosiervorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß das Zwischenelement als Federelement (18) ausgebildet ist, das unter Vorspannung an dem Aktuator (16) anliegt und an dem der Verdrängungskörper (15) befestigt ist.
Mikrodosiervorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß der Düsenkörper (11) eine Öffnung (14) aufweist, durch die der Verdrängungskörper (15) in den Hohlraum (12) eintaucht.
Mikrodosiervorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Verdrängungskörper (15) durch eine Dichtung (22) geführt ist, die die Öffnung (14) des Düsenkörpers verschließt.
Mikrodosiervorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß der Fluideinlaß mit einem Fluidvorrat in Verbindung steht.
Mikrodosiervorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß der Fluideinlaß (19) mit Abstand zum Düsenauslaß (13) in den Hohlraum mündet.
Mikrodosiervorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß der Fluideinlaß (19), senkrecht zur Strömungsrichtung (20) des Fluids in den Düsenkörper mündet.
Mikrodosiervorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß der Verdrängungskörper (15) eine äußere Querschnittskontur aufweist, die im wesentlichen der inneren Querschnittskontur des Hohlraums des Düsenkörpers entspricht, und unter Belassung eines ringförmigen Spaltes (21) in den Hohlraum (12) eintaucht. Mikrodosiervorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß der Verdrängungskörper (15) und der Hohlraum (12) des Düsenkörpers im wesentlichen zylindrisch ausgebildet sind.
Mikrodosiervorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß der Düsenauslaß (13) in Richtung der Längsachse des Verdrängungskörpers (15) liegt.
Mikrodosiervorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß sich der Verdrängungskörper in Richtung auf den Düsenauslaß konisch verjüngt.
Mikrodosiervorrichtung nach Anspruch 12 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß der Fluideinlaß (19) in den ringförmigen Spalt (21) mündet.
Mikrodosiervorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 16, dadurch gekennzeichnet, daß der Aktuator (16) und/oder der Verdrängungskörper (15) und/oder der Düsenkörper und/oder das Zwischenelement (18) getrennte Bauteile oder Baugruppen bilden.
Mikrodosiervorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 17, dadurch gekennzeichnet, daß der Verdrängungskörper (15) aus einem chemisch resistenten und/oder chemisch inerten Material besteht.
Mikrodosiervorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 18, dadurch gekennzeichnet, daß der Düsenkörper (11) und/oder der Verdrängungskörper (15) temperierbar und insbesondere beheizbar sind.