DE10127508A1

DE10127508A1 - Verfahren zur Bestimmung der Doppelbrechung optischer Materialien mit hoher Ortsauflösung

Info

Publication number: DE10127508A1
Application number: DE2001127508
Authority: DE
Inventors: Hubert Holderer; Juergen Hartmaier
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 2001-06-06
Filing date: 2001-06-06
Publication date: 2003-01-09

Abstract

Die hier vorgestellte Erfindung zeigt ein Verfahren zur schnellen Messung der Doppelbrechung bei einer hohen Ortsauflösung und Genauigkeit. Die hohe Messgeschwindigkeit wird durch die parallele Erfassung einer Vielzahl von Messpunkten erreicht. Das Verfahren kann sowohl zur hochgenauen Messung von Einzelteilem als auch als Mittel zur laufenden Kontrolle in einer Fertigungsanlage angewendet werden. Das Messgerät kann nahezu an jede beliebige Prüflingsgeometrie angepasst werden (z. B. Platte, Linse, Rohr).

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Messverfahren, basierend auf dem Prinzip des Flachbettscanners, zur Bestimmung der Doppelbrechung, insbesondere für optische Materialien nach der im Oberbegriff von Anspruch 1 näher definierten Art und entsprechend den Merkmalen des Oberbegriffs des Patentanspruches 5 insbesondere für optische Elemente unterschiedlicher Geometrie. Dabei ist es unerheblich, ob die Doppelbrechung durch Spannungen (Spannungsdoppelbrechung) verursacht ist, oder ob die Doppelbrechung eine Materialeigenschaft des Prüflings ist (intrinsische Doppelbrechung).
Die Spannungsdoppelbrechung, wie die natürliche Doppelbrechung von Kristallen kann mit bestehenden Messprinzipien bestimmt werden. Bei den bisher verfügbaren Messgeräten wird monochromatisches Licht durch einen Polarisator geschickt. Dieser gibt eine definierte Polarisationsrichtung vor, die durch Drehen des Polarisators geändert werden kann. Das polarisierte Licht durchquert das zu prüfende optische Element und wird durch eine Detektionseinheit bestehend aus rotierender Lambda/4-Platte und Analysator mit Photoempfänger analysiert. Dabei können Polarisator, Analysator und Lambda/4 (λ/4)-Platte als photoelastische Modulatoren(PEM) ausgeführt sein, wobei über eine angelegte Spannung ein definierter Polarisationszustand eingestellt wird. Der zur Messung verwendete Spotdurchmesser liegt im Bereich von zehntel Millimetern bis Millimetern und gibt damit die Größe der Messstelle vor. Der durch eine solche Messung ermittelte Wert der Doppelbrechung ist der Mittelwert über die gesamte Messstelle. Während der Messung eines Prüflings wird anhand eines Messrasters von einer Messstelle zur nächsten in Schritten von weniger Millimetern verschoben und auf Bruchteile von Millimeter genau positioniert. Die so gewonnen Messdaten werden anhand des Jones-Formalismus analysiert und damit die Doppelbrechung in Betrag und Richtung für jede einzelne Messstelle errechnet. Damit kann der zweidimensionale Verlauf der Doppelbrechung dargestellt werden.
Die Auswirkungen von Scherspannungen und Druckspannungen in optischen Materialien werden damit für eine vorgegebene Wellenlänge erfasst. Im Fertigungsprozess von UV-Materialien wie z. B. Kalziumfluorid (CaF2) oder Quarz werden beidseitig polierte Planplatten vermessen, um so eine Aussage über den Spannungszustand des geschmolzenen Materials zu bekommen. Bei der Herstellung von optischen Materialien für größere Wellenlängen reicht eine weniger genaue Bestimmung der Doppelbrechung aus. Damit könnten hier auch gesägte oder geschliffene Proben vermessen werden.
Die vorhandenen Messsysteme haben aufgrund des Beleuchtungsspots und der mechanischen Positionierung eine sehr begrenzte Ortsauflösung. Die Probe kann nicht detailliert im µm-Raster untersucht werden und wichtige Informationen von Störstellen oder Inhomogenitäten können so verborgen bleiben. Wird das Messraster für die nach dem Stand der Technik bekannten Messsysteme wesentlich verfeinert, steigt die Messzeit um ein Vielfaches an, was für Untersuchungen vieler Messproben hinderlich ist. Der Spotdurchmesser ist aufgrund seiner Größe von mehren Millimetern die limitierende Größe für die Ortsauflösung.
Die bestehenden Messsysteme sind aufgrund ihres technischen Aufwands sehr teuer. Die Systeme können nicht mit geringen Aufwand auf eine andere Wellenlänge umgerüstet werden.
Es ist daher die Aufgabe der Erfindung, ein Messsystem zu schaffen, welches ein sehr feines Messraster im Mikrometerbereich zulässt, insbesondere für optische Elemente wie planparallel polierte Scheiben aus UV- Material wie CaF2, sowie Linsen welche in Fassung oder ungefasst poliert, und ohne Antireflektionsschicht sind. Weiter ist die Aufgabe der Erfindung, die Messzeit zur Bestimmung der Doppelbrechung für optische Elemente bei einer hohen Ortsauflösung minimal zu halten.
Erfindungsgemäß werden diese Aufgaben durch die kennzeichnenden Merkmale des Patentanspruches 1 und hinsichtlich der Messzeit und der Wellenlänge durch die kennzeichnenden Merkmale des Patentanspruches 4 bis 5 und 1 bis 22 gelöst.

Lösung der Aufgabe

Als Messsystem wird ein bildgebendes Verfahren zur Bestimmung der Doppelbrechung von optischen Materialien für Halbleiterobjektive und sonstige optische Komponenten verwendet. Der Aufbau dieses Messsystems gleicht einem Flachbettscanner oder einer Digitalkamera. Die Ortsauflösung hängt dabei von der Pixelanzahl ab und die Messgenauigkeit von der Auflösung in bit. Zur Verwendung eines Aufbaus mit einem CCD-Chip muss die Wellenfront mit einem Objektiv aufgeweitet werden.
Der Aufbau eines solchen Messsystems sieht folgendermaßen aus: Das von einer Lichtquelle (23) erzeugte unpolarisierte Licht (23a) passiert einen Polarisationsfilter (25) und wird dabei linear polarisiert (25a). Um die Doppelbrechung bei einer bestimmten Wellenlänge zu ermitteln, kann zwischen Lichtquelle (23) und Polarisationsfilter (25) ein Farbfilter (24) eingefügt werden, der nur noch Licht (24a) eines engen Wellenlängenbereiches durchlässt. Ein Objektiv (21) zwischen Polarisationsfilter (25) und Fenster (20) kann zur Strahlaufweitung notwendig sein, z. B. falls zur Erfassung ein CCD-Chip (22a) verwendet wird. Danach passiert das jetzt linear polarisierte Licht (25a) das Fenster (20) (entspricht der Glasplatte bei einem Flachbettscanner) und den Prüfling (10) der an den beiden durchstrahlten Flächen (11) und (12) poliert sein sollte. Raue Flächen am Prüfling (10) führen zu einer schlechteren Messgenauigkeit, da durch die Reflexionen in der Oberfläche Polarisationsänderungen entstehen, die nicht von dem Einfluss der Doppelbrechung auf die Polarisation unterscheidbar sind. Die Probe (10) selbst kann entweder eine planparallele Platte oder ein Prisma sein. Nach dem Durchtritt durch den Prüfling (10) tritt das bei einer spannungsfreien Probe linear polarisierte Licht (25a) durch eine λ/4-Platte (30), wird dabei in rechtszirkular polarisiertes Licht (30a) umgewandelt und wird an einem Spiegel mit metallischer Reflexionsschicht (31) aus Cr oder Al (oder anderen Metallen) reflektiert und dabei in linkszirkular polarisiertes Licht (31a) umgewandelt. Dieses linkszirkular polarisierte Licht (31a) wird beim Durchtritt durch die λ/4-Platte (30) wieder in linear polarisiertes Licht (30b) umgewandelt, welches um 90° zum ursprünglich linear polarisierten Licht (25a) gedreht ist. Danach passiert das Licht (30b) den Prüfling (10), das Fenster (20) und gegebenenfalls das Objektiv (21) und trifft auf den Polarisationsfilter (25). Hier wird das Licht (30b) nicht durchgelassen, wenn keine Doppelbrechung vorhanden ist, da das ankommende Licht (30b) in diesem Fall genau senkrecht zur Polarisationsrichtung des Polarisationsfilters (25) schwingt. Im Prüfling (10) wird jedoch die Polarisationsrichtung des durchgehenden Lichtes (25a) und (30b) proportional zu Betrag und Richtung der Doppelbrechung gedreht. Im Polarisationsfilter (25) wird dann der zu dessen Schwingungsrichtung parallel Anteil (25b) des ankommenden Lichtes (30b) durchgelassen. Dieser Lichtanteil wird mit der CCD- Zeile (22) oder dem CCD-Chip (22a) erfasst und der Intensität entsprechend als Helligkeit gespeichert. Die so bestimmte Intensität ist proportional zum Betrag der Doppelbrechung, abhängig von der eingestellten Polarisationsrichtung. Um den maximalen Betrag und die Richtung der Doppelbrechung zu bestimmen, muss der Prüfling (10) mit verschiedenen Polarisationsrichtungen gemessen werden. Dabei wird der Polarisationsfilter (25) um definierte Winkel (z. B. 0°, 15°, 30°, 45° und 60°) zum Prüfling (10) gedreht und jeweils eine Messung durchgeführt. Aus den so gewonnenen Intensitäten können sowohl Betrag als auch Richtung der Doppelbrechung als Mittelwert über eine einem beliebigen Pixel der Detektionseinheit entsprechende Fläche anhand der aus der Theorie bekannten Formeln mittels eines PC berechnet werden. Der Einfluss der anderen optischen Elemente, wie z. B. Fenster (20) und Objektiv (21) wird durch eine Kalibriermessung ohne Prüfling (10) ermittelt und kann von der gemessenen Doppelbrechung vektoriell subtrahiert werden.
Aufgrund der hohen Ortsauflösung ergeben sich bei großflächigen Prüflingen große Datenmengen, da hier mehrere Millionen Bildpunkte gemessen werden. Diese Datenmengen können durch geeignete Bildkompressionsverfahren verringert werden, um Speicherplatz einzusparen. Zur Auswertung kann die Messfläche auf dem Prüfling in Sektoren aufgeteilt werden. Dadurch ist es möglich, die Auswertung mittels Standard PCs (z. B. 700 Mhz Taktrate und 512 MB RAM) durchzuführen.
Ein Vorteil der Erfindung gegenüber den verfügbaren Geräten ist die hohe Ortsauflösung unterhalb 20 µm, verbunden mit einer hohen Messgenauigkeit aufgrund des zweimaligen Durchgangs durch den Prüfling (10). Weiter vorteilhaft ist die Zeitersparnis durch die parallel Erfassung vieler Messpunkte, was eine schnelle und genaue Messung eines grossen Prüflings mit einer hohen Ortsauflösung erlaubt. Ein weiterer Vorteil ist die Möglichkeit, Prüflinge mit geschliffenen Oberflächen zu messen. Durch die geringe Messzeit können auch Mehrfachmessungen und eine anschliessende Mittelung durchgeführt werden. Dies ist vor allem bei Prüflingen mit einer geringen Doppelbrechung vorteilhaft, da dadurch die Messgenauigkeit stark verbessert wird. Ein weiterer Vorteil der kurzen Messzeit ist die Möglichkeit zur Messung der Doppelbrechung bei verschiedenen Wellenlängen. Dazu muss nur der Farbfilter (24) ausgetauscht werden.
Der Einsatz dieses Messaufbaues in der Fertigung optischer Materialien erlaubt eine schnelle und einfache Prozesskontrolle, verbunden mit einer sehr hohen Ortsauflösung. Auch für Ausgangs- und Eingangskontrollen von optischen Materialien eignet sich dieser Messaufbau besonders.
Ein anderes Anwendungsgebiet ist die Produktion hochwertiger Kunststoffteile. Durch die schnelle Messung mit einer Wellenlänge, bei der der jeweilige Kunststofftransparent ist, kann z. B. die Spannungsverteilung in einer Kunststofffolie oder eines Kunststoffrohres während der Produktion überwacht werden. Damit können innere Spannungen, wie sie z. B. durch Lunker oder Einschlüsse entstehen, frühzeitig erkannt werden, was besonders für sicherheitsrelevante Bauteile, wie z. B. Rohre für die Chemieindustrie, wichtig ist.
Die Fig. 1 bis 3 zeigen unterschiedliche Ausführungsformen der beschriebenen Messtechnik:
Fig. 1 zeigt einen Scanneraufbau mit beweglicher Detektionseinheit.
Fig. 2 zeigt einen feststehenden Aufbau mit einem CCD-Chip als Detektor.
Fig. 3 zeigt einen Aufbau zur Prüfung eines endlosen Prüflings, wie er in der Kunststoffherstellung vorkommt.
Beschreibung der Figuren: Fig. 1 zeigt den scannenden Aufbau mit einem ruhenden Prüfling (10), dessen Oberflächen (11) und (12) eine möglichst geringe Rauhigkeit aufweisen sollten. Der Prüfling (10) wird auf einer bei der Messwellenlänge durchsichtigen Trägerplatte (20) gelagert. Über dem Prüfling sind λ/4-Platte (30) und Spiegel (31) angeordnet. Unterhalb der Trägerplatte (20) befindet sich die Detektionseinheit (29), deren Scanbewegung (28) mit einem Pfeil gekennzeichnet ist. Die Detektionseinheit (29) besteht aus Lichtquelle (23), Farbfilter (24), Polarisationsfilter (25), Linsenoptik (21) und einem CCD-Zeilendetektor (22). Das von der Lichtquelle (23) emittierte Licht (23a) trifft auf einen Farbfilter (24), der nur die gewünschte Messwellenlänge (24a) durchlässt. Danach trifft das Licht (24a) auf einen Polarisationsfilter (25). Dieser lässt nur eine Polarisationsrichtung des Lichtes durch (25a). Der Polarisationsfilter (25) kann stufenlos bis zu 180° gedreht werden, so dass die gewünschten Polarisationsrichtungen eingestellt werden können. Er kann entweder, wie in der Fig. 1 gezeigt, zwischen Farbfilter (24) und Optik (21) oder zwischen Optik (21) und Trägerplatte (20) angeordnet werden. Die Optik (21), hier vorzugsweise eine Zylinderlinse oder ein Prisma, lenkt den Lichtstrahl (25a) so um, dass er auf dem Rückweg auf den CCD-Zeilendetektor (22) triff. Danach passiert das Licht die Trägerplatte (20) und den Prüfling (10), wo es entsprechend dem Betrag und der Richtung der Spannungen im Prüfling (10) abgeschwächt wird. In der nachfolgenden λ/4- Platte (30) wird das linear polarisierte Licht in rechtszirkular polarisiertes Licht (30a) umgewandelt und trifft auf den Spiegel (31), wo es in linkszirkular polarisiertes Licht (31a) umgewandelt wird. Im zweiten Durchgang durch die λ/4-Platte wird das zirkulare Licht wieder in linear polarisiertes Licht (30b) mit einer um 90° zur ursprünglichen Richtung gedrehten Polarisationsrichtung gewandelt. Danach passiert es zum zweiten Mal den Prüfling (10). Wo es wiederum entsprechend dem Betrag und der Richtung der Spannungen im Prüfling (10) eine Polarisationsänderung erfährt die Trägerplatte (20) und die Optik (21) durchquert. Im Polarisationsfilter (25) wird alles Licht, das nicht parallel zur ursprünglichen Schwingungsrichtung ist, absorbiert. Bei einem Prüfling (10) ohne Spannungen wird hier alles Licht absorbiert. Danach trifft die übrig gebliebene Polarisationskomponente (25b) auf den CCD-Zeilendetektor. Eine Messung mit mehreren Polarisationsrichtungen wird so ausgeführt, dass für jede Polarisationsrichtung ein Scan durchgeführt und zwischen zwei Scans der Polarisationsfilter (25) um einen bestimmten Winkelbetrag gedreht wird. Damit kann jede Stelle des Prüflings (10) ein bestimmter Punkt im Scan zugeordnet werden und die Auflösung hängt nur noch von der Pixelgrösse der CCD-Zeile (22) und der Vergrösserung der Optik (21) ab. Eine Alternative zur hier dargestellten Vorgehensweise ist die Drehung des Prüflings bei feststehendem Polarisationsfilter (25). Hier müssen die gescannten Intensitätsverteilungen vor der Auswertung erst noch mathematisch aufeinandergedreht werden. Dabei kann die Ortsauflösung etwas schlechter werden. Fig. 2 zeigt den nahezu identischen Aufbau wie Fig. 1, jedoch mit dem Unterschied, dass hier statt der CCD-Zeile ein CCD-Flächendetektor (22) verwendet wird und dementsprechend kein Scannen nötig ist. Da die gesamte Fläche aufeinmal erfasst wird. Durch die notwendige Optik (21) zur Aufweitung des Messstrahls wird hier jedoch die Ortsauflösung entsprechend gröber. Fig. 3 zeigt eine Anordnung zur Messung der Doppelbrechung, wie sie für den Einsatz in einer Fertigungsanlage beispielsweise für Kunststoffrohre oder -folien verwendbar ist. Eine Anzahl Detektoreinheiten (40a) bis (40e), entsprechend der Anzahl der zu messenden Polarisationsrichtungen mit unterschiedlichen, festgelegten Polarisationsrichtungen wird vom hergestellten Teil (10) während der Fertigung durchlaufen. Bei der Herstellung von Rohren, ist es günstig, den Spiegel (31) und die λ/4-Platte (30) im Rohr festzuhalten und die Detektoreinheiten (40a) bis (40e) ausserhalb anzuordnen.
Anwendungsgebiete sind vor allem die Messung der durch mechanische Spannungen induzierten Doppelbrechung (Spannungsdoppelbrechung) und der natürlichen (intrinsischen) Doppelbrechung, die vor allem in kristallinen Materialien vorhanden ist.

Claims

1. Vorrichtung zur Messung der Doppelbrechung unter Verwendung eines bildgebenden Verfahrens, insbesondere durch parallele Detektierung mehrerer Messpunkte, bestehend aus Lichtquelle, Polarisationsfilter, λ/4-Platte, Reflektor und Detektor.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Detektor (22) eine CCD-Zeile ist.

3. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Detektor (22a) ein flächiger CCD-Chip ist.

4. Vorrichtung nach Anspruch 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass der Detektor (22 oder 22a) zur Detektion von Licht mit der Messwellenlänge geeignet ist.

5. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass ein Polarisationsfilter (25) zur Erzeugung linear polarisierten Lichts verwendet wird. Vorzugsweise ist der Polarisationsfilter (25) zwischen einer Einheit, bestehend aus Detektor (22) und Lichtquelle (23), und Fenster (20) angeordnet.

6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Richtung des Polarisationsfilters drehbar ist, vorzugsweise durch Drehen des Polarisationsfilters (25).

7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass eine Lichtquelle (23) verwendet wird, die bereits linear polarisiertes Licht erzeugt.

8. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass vor dem Detektor (22) ein Polarisationsfilter angeordnet ist, vorzugsweise mit der gleichen Polarisationsrichtung wie die Lichtquelle.

9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass ein Polarisationsfilter (25) als optische Schicht zur Erzeugung linear polarisierten Lichts verwendet wird.

10. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die polarisierende Schicht auf dem Fenster (20) aufgebracht ist.

11. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die polarisierende Schicht auf einem der übrigen optischen Bauteile zwischen Lichtquelle (23) und Prüfling (10), die auch vom zurückkehrenden Licht durchlaufen werden, aufgebracht ist.

12. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass je ein Polarisationsfilter zwischen Lichtquelle (23) und Prüfling (10) und zwischen Prüfling (10) und Detektor (22) verwendet wird.

13. Vorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass die Richtung mindestens eines Polarisationsfilters drehbar ist, vorzugsweise durch Drehen dieses Polarisationsfilters.

14. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass der Prüfling (10) drehbar gelagert ist.

15. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen einer Einheit, bestehend aus Detektor und Lichtquelle, und dem Prüfling ein Objektiv angeordnet ist.

16. Vorrichtung nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass das Objektiv entlang seiner optischen Achse verschiebbar ist, vorzugsweise zur automatischen Fokuseinstellung.

17. Vorrichtung nach Anspruch 15 oder 16, dadurch gekennzeichnet, dass das Objektiv in seiner optischen Wirkung so ausgelegt ist, dass eine gekrümmte Wellenfront erzeugt wird, insbesondere zur Messung der Doppelbrechung von Linsen oder anderen gekrümmten Prüflingen.

18. Vorrichtung nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass das Objektiv in seiner optischen Wirkung telezentrisch ist.

19. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 18, dadurch gekennzeichnet, dass zur Einengung der Messwellenlänge ein Farbfilter vorhanden ist, vorzugsweise zwischen Lichtquelle und Fenster.

20. Vorrichtung nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, dass der Farbfilter als Schicht auf einem der optischen Elemente aufgebracht ist, vorzugsweise zwischen Lichtquelle und Prüfling.

21. Vorrichtung nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, dass der Farbfilter ein selbst ständiges optisches Element ist.

22. Vorrichtung nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, dass der Farbfilter im Messstrahlengang austauschbar ist, vorzugsweise automatisch.

23. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 22, dadurch gekennzeichnet, dass der verwendete Reflektor ein Spiegel ist, vorzugsweise als Schicht auf einem Substrat.

24. Vorrichtung nach Anspruch 23, dadurch gekennzeichnet, dass die Spiegelschicht aus Metall besteht, vorzugsweise Al, Cr, Au oder Ag.

25. Vorrichtung nach Anspruch 24, dadurch gekennzeichnet, dass die Spiegelschicht mit einer Schutzschicht gegen mechanische Beschädigungen versehen ist, vorzugsweise SiO₂ Oder Al₂O₃.

26. Vorrichtung nach Anspruch 23, dadurch gekennzeichnet, dass der Reflektor so gekrümmt ist, dass der vom Prüfling kommende Lichtstrahl in sich selbst reflektiert wird.

27. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 26, dadurch gekennzeichnet, dass eine λ/4- Platte zwischen Prüfling und Reflektor angeordnet ist.

28. Vorrichtung nach Anspruch 27, dadurch gekennzeichnet, dass die λ/4-Platte aus einem bei der verwendeten Wellenlänge transparenten Kunststoff besteht.

29. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 28, dadurch gekennzeichnet, dass die λ/4- Platte als Schicht auf dem Reflektor aufgebracht ist.

30. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 28, dadurch gekennzeichnet, dass der Reflektor als Schicht auf der λ/4-Platte aufgebracht ist.

31. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 30, dadurch gekennzeichnet, dass der Prüfling auf einem bei der verwendeten Wellenlänge transparenten Fenster flächig aufgelegt wird.

32. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 31, dadurch gekennzeichnet, dass eine oder mehrere Oberflächen der durchstrahlten Bauteile mit einer reflexionsmindernden Beschichtung versehen sind, vorzugsweise zur Erhöhung der Transmission und zur Vermeidung von Falschlicht.

33. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 32, dadurch gekennzeichnet, dass das Material eines oder mehrerer durchstrahlter Bauteile im benutzten Wellenlängenbereich eine optimale Transmission aufweisen, vorzugsweise zur Erhöhung der Transmission.

34. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 33, dadurch gekennzeichnet, dass eine hohe Ortsauflösung während der Messung erreicht wird, vorzugsweise < 0.1 mm.

35. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 34, dadurch gekennzeichnet, dass sie durch Austausch weniger Bauteile leicht an einen anderen Prüfwellenlängenbereich angepasst werden kann, insbesondere im Bereich von ultraviolettem bis infrarotem Licht.

36. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 35, dadurch gekennzeichnet, dass die Messzeit sehr kurz ist und vorzugsweise nur wenige Minuten dauert.

37. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 36, dadurch gekennzeichnet, dass mehrere Messeinheiten mit unterschiedlichen Polarisationsrichtungen hintereinander aufgebaut sind und der Prüfling mit konstanter Geschwindigkeit darüber bewegt wird.

38. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 37, dadurch gekennzeichnet, dass damit die natürliche (intrinsische) Doppelbrechung eines Materials ermittelt wird.

39. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 37, dadurch gekennzeichnet, dass damit die durch Spannungen induzierte Doppelbrechung (Spannungsdoppelbrechung) eines Materials ermittelt wird.