DE10127304C5 - Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der dreidimensionalen Kontur einer spiegelnden Oberfläche eines Objektes - Google Patents

Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der dreidimensionalen Kontur einer spiegelnden Oberfläche eines Objektes Download PDF

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Abstract

Verfahren zur Bestimmung einer dreidimensionalen Kontur einer spiegelnden Oberfläche eines Objektes (10), bei dem eine Reflexion eines bekannten Rasters (30) an der spiegelnden Oberfläche des Objektes (10) mittels eines abbildenden optischen Systems (22) auf einen Empfänger (50) abgebildet und das entstehende Bild ausgewertet wird,
wobei Raster (30, 40) in mindestens zwei unterschiedlichen Abständen von der spiegelnden Oberfläche des Objektes (10) eingesetzt werden,
wobei die relative Lage der Raster (30, 40) und des Empfängers (50) im Raum zueinander und die Abbildungseigenschaften des optischen Systems (20) bekannt sind,
wobei flächenhafte Vermessung der spiegelnden Oberfläche des Objektes (10) punktweise erfolgt,
wobei zunächst die Abbildung (Bildpunkt 52) eines Objektpunktes (52) in einer Bildebene des Empfängers (50) aufgesucht wird,
wobei durch diesen Bildpunkt (52) und das Projektionszentrum (25) des optischen Systems (22) von der Bildseite aus eine Gerade gelegt und in den Objektraum verlängert wird,
wobei die in dem...

Description

  • Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Bestimmung der dreidimensionalen Kontur einer spiegelnden Oberfläche eines Objektes, bei dem eine Reflexion eines bekannten Rasters an der spiegelnden Oberfläche des Objektes mittels eines abbildenden optischen Systems auf einen Empfänger abgebildet und das entstehende Bild ausgewertet wird.
  • Aus dem Stand der Technik sind viele, auch optische Verfahren zur Bestimmung der dreidimensionalen Konturen von Oberflächen von Objekten bekannt. Dabei stößt insbesondere die Anwendung optischer Verfahren bei reflektierenden, also spiegelnden Oberflächen auf Probleme, da direkte optische Betrachtungen und Abbildungen nicht eingesetzt werden können.
  • Bisher bekannte Verfahren zur optischen Messung reflektierender Oberflächen basieren entweder auf dem wellenoptischen Modell (Interferometrische Messverfahren) oder auf strahlenoptischen Ansätzen, bei denen allgemein die Reflexion einer bekannten Struktur an der zu vermessenden Oberfläche untersucht wird (Rasterreflexionsverfahren, Reflexions-Moiré-Verfahren, Videotopometer).
  • Die auf dem wellenoptischen Modell basierenden interferometrischen Formprüfverfahren ermöglichen den Vergleich eines reflektierenden Prüflings mit einer vorgegebenen Sollgeometrie, wobei sehr hohe Messauflösungen von wenigen Nanometern erzielt werden können. Allerdings sind diese Verfahren auf elementare Geometrien (Ebene, Kugelfläche, Zylinder) beschränkt, da die Sollgeometrie des Prüflings durch einen hochgenauen Referenzkörper, der Bestandteil des optischen Systems ist, repräsentiert wird. Ferner lassen sich nur vergleichsweise geringe Abweichungen von der Sollgeometrie in der Größenordnung einiger hundert Mikrometer noch quantitativ auswerten.
  • Rasterverfahren lassen sich entweder zur rein qualitativen Untersuchung des Messobjekts, insbesondere im Hinblick auf die Detektion von Oberflächende fekten sowie Abweichungen von einer Sollgeometrie, oder in Kombination mit ergänzenden Annahmen über die Objektgeometrie zur quantitativen Vermessung von einfachen reflektierenden Oberflächen einsetzen.
  • Für den Sonderfall abbildender optischer Flächen finden sich in der Literatur zum Beispiel bei Rainer Tutsch: „Formprüfung allgemeiner asphärischer Oberflächen durch Interferometrie mit synthetischen Hologrammen und Mehrwelleninterferometrie" (Dissertation Aachen 1994) Verfahren, wie das Foucaultsche Schneidenverfahren, der Ronchi Test, der Hartmann Test sowie die Moiré-Deflektometrie, bei denen in den Strahlengang des vom Prüfling reflektierten Lichts einer punktförmigen Beleuchtungsquelle Objekte oder rasterartige Strukturen eingebracht werden, und anhand der sich einstellenden Intensitätsmuster auf Oberflächenabweichungen des Prüflings geschlossen werden kann. Da diese Verfahren jedoch nur auf Oberflächen mit abbildenden Eigenschaften anwendbar sind, scheiden sie für die Messung allgemeiner technischer Freiformflächen aus.
  • Ein strahlenoptisches Verfahren, das ähnlich wie die interferometrischen Verfahren auf dem Vergleich des Prüflings mit einer Sollgeometrie basiert, ist in der DE 197 57 106 A1 beschrieben. Hierbei wird die Reflexion einer bekannten Rasterstruktur mit einer Kamera aufgezeichnet und ausgewertet. Die Rasterstruktur ist dabei derart gestaltet, dass sich bei Reflexion an der Sollgeometrie in der Bildebene der Kamera annähernd gerade und äquidistante Streifen ergeben und Abweichungen von der idealen Geometrie zu leicht auswertbaren Verzerrungen der Rasterabbildung führen.
  • Ein derartiges Messsystem erfordert somit einerseits die Vorgabe einer Sollgeometrie und gestattet weiterhin nur die Erkennung von Geometrieabweichungen, nicht jedoch die exakte quantitative Ermittlung der Geometrie, sofern diese von der Sollgeometrie abweicht. Folglich sind nach diesem Prinzip arbeitende Messsysteme nicht zur exakten und eindeutigen 3D Geometriebestimmung eines unbekannten Messobjektes geeignet.
  • Die Reflexions-Moiré-Verfahren ermöglichen die Bestimmung der lokalen Neigung eines zu vermessenden Bauteils. Da jedoch das sich einstellende Moiré-Muster ebenfalls von der Kontur abhängig ist, lassen sich die Moiré-Linien nicht als Konturen für alle Punkte gleicher Neigung deuten. Erst bei bestimmten Einschränkungen wie beispielsweise einer nahezu ebenen Prüflingsfläche lässt sich mit dem Raster-Moiré-Verfahren die Kontur eines Messobjektes bestimmen.
  • Eine nach dem Raster-Moiré-Verfahren arbeitende Messanordnung ist von Hisatoshi Fujiwara et al in: „Flatness measurement by reflection moiré technique", SPIE Vol. 2862, dargestellt. Hierbei wird das Reflexions-Moiré-Verfahren in Kombination mit dem Phasenshiftverfahren für die Ebenheitsmessung reflektierender Oberflächen eingesetzt. Der direkte quantitative Rückschluss von den sich einstellenden Moiré-Mustern auf die Ebenheitsabweichungen des Messobjekts ist jedoch nur möglich, weil die Höhenunterschiede sehr klein sind gegenüber der lateralen Ausdehnung der vermessenden Fläche. Diese Messanordnung ist also nicht einsetzbar für die Vermessung echter dreidimensionaler Strukturen.
  • Zur Vermessung des lokalen Radius reflektierender Oberflächen kommt ebenfalls die Videotopometrie zum Einsatz, bei welcher die Reflexion eines Körpers bekannter Abmessung genutzt wird, um die Objektoberfläche in Form von lokalem Radius und virtuellem Bild zu beschreiben. Jedoch lässt die Kenntnis des lokalen Radius in einzelnen Punkten im allgemeinen keine Rückschluss auf die globale Geometrie zu.
  • Für den Sonderfall konkaver Oberflächen lassen sich aus den Daten der Videotopometrie mittels des in DE 4440 573 A1 beschriebenen Verfahrens auch die absoluten Koordinaten im Raum ermitteln. Die Nachteile dieses Verfahrens jedoch liegen in der Beschränkung auf konkave Oberflächen und ferner darin, dass es sich bei der Videotopometrie um ein scannendes Verfahren handelt, das also nur die sequentielle und damit zeitaufwendige Vermessung der Objektoberfläche gestattet.
  • In der DE 196 43 018 A1 wird eine Verschiebung eines reflektierenden Objekts vorgeschlagen, und zwar im Rahmen eines Messverfahrens, bei dem ein Muster auf dem reflektierenden Objekt scharf abgebildet wird.
  • Durch die Beobachtung verschiedener, jedoch in einer Ebene angeordneten Rasterstrukturen lässt sich über den durch das Reflexionsprinzip gegebenen Zusammenhang theoretisch die gesamte Oberflächengeometrie in Form eines unterbestimmten Gleichungssystems darstellen. Die Unterbestimmtheit des Systems wird hierbei durch die Mehrdeutigkeit des durch das Reflexionsprinzip gegebenen Zusammenhangs bedingt. Diese Mehrdeutigkeit ist anschaulich so vorstellbar, dass sich für jeden einzelnen Objektpunkt viele Kombinationen von 3D-Koordinate und Neigung finden lassen, sodass sich in der Kameraebene stets die gleiche Beobachtung der Rasterstruktur einstellt. Diese Mehrdeutigkeit ist nur dadurch auflösbar, dass man bestimmte Modellannahmen der Oberfläche, beispielsweise hinreichende Glattheit oder gleichmäßige Krümmung, zugrundelegt.
  • Ein nach diesem Prinzip arbeitendes Messverfahren wird von Jürgen Beyerer und Denis Pérard in „Automatische Inspektion spiegelnder Freiformflächen anhand von Rasterreflexionen" in: Technisches Messen 64 (1997) 10, Seite 394 bis 400 c vorgestellt. Hierin wird unter Annahme einer ausreichenden Glattheit der vermessenen Oberfläche eine Modellfläche iterativ solange an die Beobachtungsdaten angepasst, bis die beobachteten Rasterreflexionen mit den für die Modellfläche zu erwartenden Reflexionen hinreichend gut übereinstimmen.
  • Da auch bei diesem Messprinzip bestimmte Modellannahmen des Messobjekts in die Messung mit einfließen, ist auch dieses Verfahren nicht geeignet, ein komplexes Messobjekt unbekannter Geometrie zuverlässig und eindeutig zu vermessen. Diese Einschränkung trifft ebenfalls für die eingangs erwähnten Interferenzverfahren zu. Auch bei diesen lassen die sich einstellenden Phasendifferenzen keinen eindeutigen Rückschluss auf die Objektgeometrie zu, sondern es ist immer eine ergänzende Modellannahme des Objekts erforderlich um zu einer quantitativen geometrischen Beschreibung des Messobjekts zu gelangen.
  • Zusammenfassend lässt sich festhalten, dass der derzeitige Stand der Technik kein optisches Messverfahren umfasst, welches ohne vorherige grundlegende Kenntnis der Messobjektgeometrie und daraus ableitbarer Modellannahmen eine eindeutige Vermessung reflektierender dreidimensionaler Oberflächen gestattet.
  • Es ist Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Verfahren und eine Vorrichtung der eingangs genannten Art bereitzustellen, bei dem/der ohne die Oberflächengeometrie betreffende zusätzliche Modellannahmen eine Vermessung reflektierender Oberflächen ermöglicht wird.
  • Diese Aufgabe wird bei einem gattungsgemäßen Verfahren dadurch gelöst, dass Raster in mindestens zwei unterschiedlichen Abständen von der spiegelnden Oberfläche des Objektes eingesetzt werden, wobei die relative Lage der Raster und der Bildebene im Raum zueinander und die Abbildungseigenschaften des optischen Systems bekannt sind.
  • Außerdem löst eine Vorrichtung zur Bestimmung einer dreidimensionalen Kontur einer spiegelnden Oberfläche eines Objekts diese Aufgabe, mit einem bekannten Raster, einem Empfänger, einem abbildenden optischen System, das eine Reflexion des bekannten Rasters an der spiegelnden Oberfläche des Objekts auf den Empfänger abbildet und dessen Abbildungseigenschaften bekannt sind, Auswertemitteln für das entstehende Bild, sowie Mitteln, um Raster in mindestens zwei unterschiedlichen Abständen von der spiegelnden Oberfläche des Objektes einzusetzen, wobei die relative Lage der Raster und des Empfängers im Raum zueinander bekannt sind.
  • Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren wird nicht die Oberfläche des zu vermessenden Objektes beobachtet, sondern unter Ausnutzung des Reflexionsprinzips die Spiegelbilder mehrerer bekannter Rasterstrukturen.
  • Die Beschaffenheit und die relative Lage der Rasterstrukturen im Raum sind ebenso wie die Abbildungseigenschaften des zur Beobachtung verwendeten optischen Systems und natürlich dessen Lage im Raum relativ zu den Raster strukturen bekannt, so dass sich aus den beobachteten Bildern der Rasterstrukturen Rückschlüsse auf die Geometrie des zu vermessenden Objektes gewinnen lassen.
  • Anders als beispielsweise in der DE 197 57 106 A1 ist es dabei nicht mehr erforderlich, Annahmen über die Geometrie der Oberfläche zu treffen. Stattdessen kann aus den nunmehr wenigstens zwei Abbildungen der Strukturen jede beliebige Oberflächenform vermessen werden, die überhaupt eine Abbildung durch Reflexion innerhalb des abbildenden optischen Systems erlaubt.
  • Die Messungen sind auch außerordentlich präzise und genau und die zu vermessenden Oberflächen der Objekte müssen nicht einmal stetig sein. Neben Kanten, Sprüngen und ähnlichen sonst strukturelle Probleme aufwerfenden Oberflächeneigenschaften sind sogar Löcher möglich, deren Lage und Abmessungen dadurch ebenfalls mitvermessen werden können.
  • Mit der Erfindung wird es auf diese Weise möglich, nicht nur eine Qualitätssicherung auch an komplizierten spiegelnden Oberflächen vorzunehmen, also die Einhaltung von Toleranzen bei Abweichungen von einer vorgegebenen Geometrie sicherzustellen, sondern darüber hinaus auch zuvor gänzlich unbekannte Oberflächen näher zu untersuchen, beispielsweise im Rahmen des sogenannten „Reverse engingeering". Es wird nicht nur möglich, die Existenz eines bestimmten Schadens oder einer Abweichung festzustellen, sondern darüber hinaus sogar auch bei erheblichen Abweichungen das Ausmaß. Zu denken ist dabei zum Beispiel an Untersuchungen an der Oberfläche von Scheinwerferspiegeln nach Unfällen oder Wärmebelastungen, an unregelmäßig oder kompliziert geformte spiegelnde Oberflächen im Flugzeugbau oder auch einfach nur die spiegelnde Oberseite einer Bedienfläche eines Mobiltelefons.
  • Soweit die relative Lage der einzelnen Strukturen und der Abbildungseigenschaften des optischen Systems nicht konstruktiv vorgegeben sind, können sie in einer vorherigen Kalibrierung des jeweils verwendeten Aufbaus bestimmt werden, beispielsweise durch Beobachtung der sich ergebenden Reflexionen an einer bekannten Referenzoberfläche.
  • In dem Empfänger ist insbesondere eine Bildebene vorgesehen, um die Strukturen der Raster abzubilden. Denkbar wären auch andere Formen als Ebenen, Ebenen sind jedoch sowohl mathematisch als auch praktisch von Vorteil.
  • Wenn die Eigenschaften des Meßsystems bekannt sind, kann unter Ausnutzung des photogrammetrischen Prinzips, also des Prinzips des räumlichen Sehens, von der Bildseite und der Rasterseite aus ein geometrischer Vorwärtsschnitt in den Objektraum vorgenommen und auf diese Weise die 3D-Koordinate eines durch die beobachteten Rasterpunkte und die Lage des Bildpunktes charakterisierten Objektpunktes auf der zu vermessenden Oberfläche bestimmt werden.
  • Auf der Bildseite entsteht dieser Vorwärtsschnitt dadurch, dass durch den beobachteten Bildpunkt und das durch die Abbildungseigenschaften des optischen Systems definierte Projektionszentrum – beim photogrammetrischen Prinzip wird die Abbildung üblicherweise in Form einer Zentralprojektion beschrieben – eine Gerade gelegt und in den Objektraum verlängert wird.
  • Auf der Rasterseite sind zunächst aus der bekannten Lage und Beschaffenheit der Rasterstrukturen, bei linienförmigen Gittern beispielsweise der Gitterkonstante, aus den beobachteten Punkten der Raster die Koordinaten dieser Punkte im Raum abzuleiten. Anschließend kann durch die ermittelten Rasterpunkte ebenso wie zuvor auf der Bildseite eine Gerade gelegt und in den Objektraum verlängert werden.
  • Der Schnittpunkt der beiden so konstruierten Geraden kennzeichnet den gesuchten Objektpunkt auf der Oberfläche des zu vermessenden reflektierenden Objekts. Wird diese Vorgehensweise auf eine Vielzahl von Punkten auf der Bildseite und der Rasterseite angewendet, so kann die Oberfläche des zu vermessenden Objekts vollständig dreidimensional vermessen werden.
  • Zur Bildaufzeichnung werden bevorzugt Kameras mit elektronischem Bildsensor, sogenannten CCD- oder CMOS-Sensoren, verwendet, welche die Bildinformation in Form einer Bildmatrix für die weitere Verarbeitung zur Verfügung stellen.
  • Die Rasterstrukturen bestehen vorzugsweise aus periodischen Linienrastern. Eine vorteilhafte Möglichkeit, bei Verwendung von periodischen Linienrastern die Raumkoordinate eines beobachteten Rasterpunktes mit hoher Ortsauflösung zu bestimmen, besteht darin, mit periodischen Linienrastern sinusförmigen Intensitätsverlaufs bei gleichzeitiger Verwendung von Phasenshiftverfahren zu arbeiten.
  • Im Folgenden wird anhand der Zeichnung eine bevorzugte Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens und einer erfindungsgemäßen Vorrichtung beschrieben. Es zeigen:
  • 1 in schematischer Darstellung eine bevorzugte Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung.
  • Es soll die Oberfläche eines reflektierenden Objekts 10 dreidimensional vermessen werden. Das Objekt ist in der Zeichnung nur schematisch und plattenähnlich dargestellt worden, kann aber auch eine wesentlich kompliziertere dreidimensionale Form aufweisen. Die Oberfläche kann dabei auch Unstetigkeiten aufweisen, also beispielsweise Löcher, Kanten oder Sprünge. Die Lage eines bestimmten Punktes der dreidimensionalen Oberfläche des Objekts 10 kann mittels eines (frei wählbaren) Objektkoordinatensystems 11 angegeben werden. Ein Objektpunkt 12 auf der Oberfläche des Objekts 10 ist in der 1 bereits angedeutet, auf den noch später Bezug genommen wird.
  • Zur dreidimensionalen Vermessung des Objekts 10 wird ein optisches System 20 verwendet, das unter anderem eine Lichtquelle 21 aufweist, die Licht durch zwei noch zu beschreibende Raster 30, 40 auf die reflektierende Oberfläche des Objekts 10 abgibt. Das reflektierte Licht läuft dann durch ein abbildendes optisches System 22, das ebenfalls rein schematisch als Objektiv dargestellt ist, zu einer Bildebene 50.
  • Zusammengefasst werden die durch Spiegelung an der Oberfläche des reflektierenden Objekts 1 entstehenden Reflexionen der beiden ebenen Raster 30 und 40 in der Bildebene 50 abgebildet.
  • Das der Bildaufzeichnung dienende Optische System 20 bildet eine Kamera mit optoelektronischem Bildsensor, welcher dann die Bildebene 50 darstellt.
  • Die beiden ebenen Raster 30 und 40 befinden sich in unterschiedlichem Abstand von der Oberfläche des Objektes 10. Auch ihre Darstellung ist schematisch zu verstehen. So ist in einer nicht dargestellten Ausführungsform es durchaus möglich, für das Raster 30 und das Raster 40 jeweils ein und das selbe Raster nacheinander zu verwenden. Es ist aber ebenso möglich, zwei verschiedene Raster zeitlich gleichzeitig oder auch nacheinander einzusetzen.
  • Die in der Figur wiedergegebene streifenförmige Ausbildung der Raster 30 und 40 kann zwar, muss aber nicht aus einer Ausbildung dieser Raster entstehen, sie kann auch durch eine entsprechende Projektion derartiger Muster durch die Lichtquelle 21 erzeugt werden.
  • Auch die Rasterinformationen aus den Rastern 30 und 40 können jeweils in Rasterkoordinatensystemen 31 beziehungsweise 41 als Koordinaten abgeleitet werden. Dadurch kann jeweils ein Rasterpunkt 32 beziehungsweise 42 zugeordnet werden.
  • Die Abbildungseigenschaften des abbildenden optischen Systems 20 mit der Bildebene 50 und des damit entstehenden Kamerasystems können durch eine photogrammetrische Kalibrierung bestimmt werden. Diese kann auf einem Bündelblockausgleich basieren. Dabei wird die optische Abbildung des Systems als Zentralprojektion durch einen Punkt 25 modelliert. Als Ergebnis der photogrammetrischen Kalibrierung erhält man daher Nebeninformationen über optische Verzerrungen des Gesamtsystems die Raumkoordinaten des Projektionszentrums 25 bezogen auf das Bildkoordinatensystem 51 und das frei wählbare Objektkoordinatensystem 11.
  • Die Rasterseite demgegenüber besteht aus zwei ebenen Flächen, auf welche von der Lichtquelle 21 periodische Linienraster projiziert werden, wodurch die zwei Rasterebenen 30 und 40 entstehen. Um in den Rasterebenen 30 und 40 Informationen für die beiden Koordinatenrichtungen X und Y zu erhalten, bezogen auf die lokalen Rasterkoordinatensysteme 31 und 41, werden in zeitlicher Abfolge horizontale und vertikale Linienraster projiziert. Die 1 zeigt zur klareren Erkennbarkeit nur jeweils eines dieser Linienraster.
  • Um nun aus den in den Rasterebenen 30 und 40 beobachteten Rasterinformationen die Koordinaten innerhalb der Rasterkoordinatensysteme 31 und 41 ableiten zu können, werden periodische Linienraster mit sinusförmigem Intensitätsverlauf projiziert und ein Phasenshiftverfahren auf diese angewendet. Die Mehrdeutigkeit der aus dem Phasenshiftverfahren resultierenden Informationen wird durch die zusätzliche Projektion von graycodierten Streifenmustern eliminiert.
  • Bei einer derartigen bevorzugten Kombination ermöglicht dieses Verfahren, für jeden beobachteten Rasterpunkt innerhalb der Rasterebenen 30 und 40 eine auf die Koordinatensysteme 31 und 41 bezogene Ortskoordinate zu berechnen.
  • Die relative Lage der Rasterkoordinatensysteme 31 und 41 sowie des Bildkoordinatensystems 51 lässt sich durch die Vermessung eines Referenzobjektes bekannter Oberflächengeometrie, vorzugsweise eines ebenen Spiegels, und bekannter Lage im Raum ermitteln. Somit ist die relative Lage der Rasterkoordinatensysteme 31 und 41 sowie des Bildkoordinatensystems 51 und des Objektkoordinatensystems 11 bekannt.
  • Dies führt dazu, dass die spiegelnde Oberfläche des Objektes 10, die Raster 30 und 40 sowie die Bildebene 50 so angeordnet sind, dass der Sensor in der Bildebene 50 ein durch die spiegelnde Oberfläche des Objektes 10 erzeugtes Spiegelbild der jeweiligen Struktur der Raster 30 und 40 aufnehmen kann, wobei die Struktur der Raster 30 und 40 in zwei unterschiedliche Positionen mit unterschiedlichem Abstand zur spiegelnden Oberfläche gebracht werden kann. In allen diesen Positionen erfolgt eine Abbildung des Spiegelbildes auf die Bildebene 50, ohne das abbildende optische System 22 oder die Bildebene 50 mit entsprechendem Sensor oder dergleichen zu verändern.
  • Bei einem derartig vollständig beschriebenen Messsystem kann die flächenhafte Vermessung der Oberfläche eines unbekannten Objektes 10 punktweise erfolgen, was anhand des ausgewählten Objektpunktes 12 hier beschrieben wird.
  • Zunächst wird die Abbildung des Objektpunktes 12 in der Bildebene 50 aufgesucht, das ist die bekannte Koordinate des Bildpunktes 52. Mittels dieser bekannten Koordinate und der ebenfalls bekannten Koordinate des Projektionszentrums 25 kann von der Bildseite aus eine Gerade durch den Bildpunkt 52 und des Projektionszentrums 25 gelegt und in den Objektraum verlängert werden.
  • Aus den im Bildpunkt 52 beobachteten, vom Objekt 10 reflektierten Rasterpunkten 32 und 42 können mittels des oben erwähnten Phasenshiftverfahrens die Koordinaten der Rasterpunkte 32 und 42 berechnet werden. Somit kann auch eine Gerade durch diese Rasterpunkte 32 und 42 gelegt und von der Rasterseite aus in den Objektraum verlängert werden.
  • Der Schnittpunkt der beiden Geraden von der Bildseite und der Rasterseite aus markiert die Position des gesuchten Objektpunktes 12 auf der Oberfläche des Objektes 10.
  • Bei der praktischen Auswertung der Messdaten ist zu beachten, dass sich die beiden Geraden in der Praxis aufgrund geringfügiger Messungenauigkeiten, Rundungs- und sonstiger Fehler nicht tatsächlich schneiden werden. Statt des zuvor beschriebenen geometrischen Vorwärtsschrittes wird daher ein Rückwärtsschritt angewendet. Hierbei wird zunächst für den Objektpunkt 12 eine geschätzte Koordinate angenommen und von diesem angenommenen Punkt einerseits eine Gerade durch das Projektionszentrum 25 in die Bildebene 50 verlängert und andererseits durch jeweils einen der Rasterpunkte 32 beziehungsweise 42 eine Gerade gelegt und mit der jeweils anderen Rasterebene 30 oder 40 geschnitten. Die Differenzen zwischen den so berechneten Schnittpunkten in der Bildebene 50 sowie in den Rasterebenen 30 und 40 und den tatsächlich beobachteten Koordinaten des Bildpunkten 52 und der Rasterpunkte 32 und 42 werden ausgewertet. Damit werden die angenommenen Koordinaten des Objektpunktes 12 korrigiert und auf diese Weise iterativ eine Koordinate für den Objektpunkt 12 berechnet, die bestmöglich mit den beobachteten Daten übereinstimmt.
  • Wird das beschriebene Verfahren nacheinander für alle beobachteten Punkte des Objektes 10 angewendet, kann dadurch die Oberfläche des Objektes 10 vollständig dreidimensional eingemessen werden, auch wenn diese Oberfläche kompliziert strukturiert ist, unstetige Passagen und sogar Löcher aufweist.
  • Sind von einem bestimmten Objekt 10 nicht nur eine Oberfläche, sondern beispielsweise auch eine rückseitige oder andere Oberflächen interessant, so wird das erfindungsgemäße Verfahren nochmals angewandt, nachdem die dann interessierende spiegelnde Oberfläche des Objekts 10 wieder ungefähr so angeordnet ist, dass die reflektierten Abbildungen der Raster 30 und 40 wieder durch das abbildende optische System 22 auf der Bildebene 50 abgebildet werden können. Diese Orientierung kann recht grob sein, aber es ist natürlich klar, dass die Rückseite eines Objekts 10 nicht gleichzeitig mit der Vorderseite des Objekts 10 vermessen werden kann. Im Regelfall aber sind ohnehin nur bestimmte Oberflächen eines Objekts 10 von Interesse.
  • Es ist möglich, das erfindungsgemäße Verfahren auch mit mehr als 2 Rastern 30, 40 in noch weiteren unterschiedlichen Abständen von dem zu vermessenden Objekt 10 durchzuführen. Mit der Zahl der Raster 30, 40 steigt auch die Anzahl der für die Berechnung zur Verfügung stehenden Daten, was für die Präzision der Vermessung von Vorteil ist, andererseits aber für die Verarbeitungszeit der Messwerte entsprechend verlängernd wirkt. Hier wird der Fachmann eine entsprechend optimale Anzahl abhängig von den zur Verfügung stehenden Datenverarbeitungsanlagen und dem zu lösenden Problem wählen.
  • 10
    Objekt
    11
    Objektkoordinatensystem
    12
    Objektpunkt
    20
    optisches System
    21
    Lichtquelle
    22
    abbildendes optisches System
    25
    Projektionszentrum
    30
    Raster
    31
    Rasterkoordinatensystem
    32
    Rasterpunkt
    40
    Raster
    41
    Rasterkoordinatensystem
    42
    Rasterpunkt
    50
    Bildebene
    51
    Bildkoordinatensystem
    52
    Bildpunkt

Claims (13)

  1. Verfahren zur Bestimmung einer dreidimensionalen Kontur einer spiegelnden Oberfläche eines Objektes (10), bei dem eine Reflexion eines bekannten Rasters (30) an der spiegelnden Oberfläche des Objektes (10) mittels eines abbildenden optischen Systems (22) auf einen Empfänger (50) abgebildet und das entstehende Bild ausgewertet wird, wobei Raster (30, 40) in mindestens zwei unterschiedlichen Abständen von der spiegelnden Oberfläche des Objektes (10) eingesetzt werden, wobei die relative Lage der Raster (30, 40) und des Empfängers (50) im Raum zueinander und die Abbildungseigenschaften des optischen Systems (20) bekannt sind, wobei flächenhafte Vermessung der spiegelnden Oberfläche des Objektes (10) punktweise erfolgt, wobei zunächst die Abbildung (Bildpunkt 52) eines Objektpunktes (52) in einer Bildebene des Empfängers (50) aufgesucht wird, wobei durch diesen Bildpunkt (52) und das Projektionszentrum (25) des optischen Systems (22) von der Bildseite aus eine Gerade gelegt und in den Objektraum verlängert wird, wobei die in dem Bildpunkt (52) beobachteten, – vom Objekt (10) reflektierten Rasterpunkte (32, 42) ermittelt und ihre Koordinaten berechnet werden, wobei eine Gerade durch die berechneten Rasterpunkte (32, 42) gelegt wird und von der Rasterseite aus in den Objektraum verlängert wird, und wobei der Schnittpunkt der beiden Geraden von der Bildseite und der Rasterseite aus bestimmt wird, der die Position des gesuchten Objektpunktes (12) auf der Oberfläche des Objektes (10) markiert.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass zur Aufnahme der Abbildungen ein optoelektronischer Bildaufnehmer verwendet wird.
  3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass zur Auswertung ein Bündeltriangulationsverfahren angewandt wird.
  4. Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass als Strukturen der Raster (30, 40) periodische Linienraster in jeweils zwei nichtparallelen Orientierungen verwendet werden.
  5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass jeder Rasterpunkt (32, 42) in der Ebene der Raster (30, 40) durch die lokale Phase der beiden nichtparallelen periodischen Linienraster beschrieben wird.
  6. Verfahren nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, dass zur Bestimmung der lokalen Phasen der nichtparallelen periodischen Linienraster in den mindestens zwei Ebenen der Raster (30, 40) ein Phasenschiebeverfahren angewandt wird.
  7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Mehrdeutigkeiten des Phasenschiebeverfahrens durch Anwendung einer Gray-Kodierung aufgehoben werden.
  8. Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die mindestens zwei in unterschiedlichem Abstand zur spiegelnden Oberfläche des Objektes (10) befindlichen Strukturen der Raster (30, 40) dadurch realisiert werden, dass das Objekt (10) und die Bilderfassungseinheit relativ zu einer feststehenden Rasterstruktur verschoben werden.
  9. Vorrichtung zur Bestimmung einer dreidimensionalen Kontur einer spiegelnden Oberfläche eines Objektes (10) mittels eines Verfahrens nach einem der vorstehenden Ansprüche, mit a. bekannten Rastern (30, 40), b. einem Empfänger (50) mit einer Bildebene, c. einem abbildenden optischen System (22), das eine Reflexion der bekannten Raster (30, 40) an der spiegelnden Oberfläche des Objektes (10) auf den Empfänger abbildet und dessen Abbildungseigenschaften bekannt sind, d. Auswertemittel für das entstehende Bild, durch die eine flächenhafte Vermessung der spiegelnden Oberfläche des Objektes (10) punktweise vornehmbar ist, mit den Schritten aus den vorstehenden Ansprüchen, e. Mitteln um die Raster (30, 40) in mindestens zwei unterschiedlichen Abständen von der spiegelnden Oberfläche des Objekts (10) einzusetzen, wobei die relative Lage des Raster (30, 40) und des Empfängers im Raum zueinander bekannt sind.
  10. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Struktur der Raster (30, 40) ein periodisches Linienraster ist.
  11. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass das Linienraster aus dunklen Linien auf hellem, diffus reflektierendem Grund besteht.
  12. Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass das Linienraster aus opaken Linien auf transparentem Grund besteht.
  13. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 10 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass das Linienraster von einem selbst leuchtenden Display erzeugt wird.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2101143A1 (de) 2008-03-10 2009-09-16 Technische Universität Carolo-Wilhelmina zu Braunschweig Verfahren und Vorrichtung zur Erfassung der Form transparenter refraktiver Objekte
DE102008036710A1 (de) 2008-08-07 2010-02-11 GOM - Gesellschaft für Optische Meßtechnik mbH Messsystem und Verfahren zum dreidimensionalen optischen Vermessen von Objekten

Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102005044912B4 (de) * 2005-09-16 2014-07-24 Friedrich-Schiller-Universität Jena Verfahren und Vorrichtung zur dreidimensionalen optischen Vermessung von spiegelnden Oberflächen
DE102006012432B3 (de) * 2006-03-17 2007-10-18 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Verfahren zur Erfassung der Oberflächenform einer teilspiegelnden Oberfläche
DE102006015792A1 (de) 2006-04-05 2007-10-18 Isra Surface Vision Gmbh Verfahren und System zur Formmessung einer reflektierenden Oberfläche
US7711182B2 (en) * 2006-08-01 2010-05-04 Mitsubishi Electric Research Laboratories, Inc. Method and system for sensing 3D shapes of objects with specular and hybrid specular-diffuse surfaces
EP2400261A1 (de) 2010-06-21 2011-12-28 Leica Geosystems AG Optisches Messverfahren und Messsystem zum Bestimmen von 3D-Koordinaten auf einer Messobjekt-Oberfläche
EP2511656A1 (de) 2011-04-14 2012-10-17 Hexagon Technology Center GmbH Vermessungssystem zur Bestimmung von 3D-Koordinaten einer Objektoberfläche
EP2527784A1 (de) 2011-05-19 2012-11-28 Hexagon Technology Center GmbH Optisches Messverfahren und Messsystem zum Bestimmen von 3D-Koordinaten auf einer Messobjekt-Oberfläche
DE102013216566A1 (de) * 2013-08-21 2015-02-26 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Vorrichtung und verfahren zur erfassung einer zumindest teilweise spiegelnden oberfläche
US9933251B2 (en) 2015-06-26 2018-04-03 Glasstech, Inc. Non-contact gaging system and method for contoured glass sheets
US9841276B2 (en) 2015-06-26 2017-12-12 Glasstech, Inc. System and method for developing three-dimensional surface information corresponding to a contoured glass sheet
US9470641B1 (en) 2015-06-26 2016-10-18 Glasstech, Inc. System and method for measuring reflected optical distortion in contoured glass sheets
US9851200B2 (en) 2015-06-26 2017-12-26 Glasstech, Inc. Non-contact gaging system and method for contoured panels having specular surfaces
US9952039B2 (en) 2015-06-26 2018-04-24 Glasstech, Inc. System and method for measuring reflected optical distortion in contoured panels having specular surfaces
US9952037B2 (en) 2015-06-26 2018-04-24 Glasstech, Inc. System and method for developing three-dimensional surface information corresponding to a contoured sheet
EP4015991A1 (de) * 2020-12-15 2022-06-22 Robotic Eyes GmbH Verfahren zur visualisierung eines plans in realmassen und zur konstruktion eines gegenstands
FR3130025B1 (fr) * 2021-12-02 2024-03-08 Wyse Light procédé de mesure par déflectométrie

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4210075A1 (de) * 1992-03-29 1993-09-30 Henning Dipl Ing Dr Ing Wolf Verfahren und Vorrichtung zur dreidimensionalen optischen Kontrolle der Geometrie spiegelnder Objekte
DE4440573A1 (de) * 1994-11-14 1996-05-15 Matallana Kielmann Michael Verfahren zur Bestimmung der Kurvator/absoluten Koordinaten von reflektierenden Oberfläche unter Verwendung eines Videoplaciodotopometers
DE19643018A1 (de) * 1996-10-18 1998-04-30 Innomess Ges Fuer Messtechnik Verfahren und Vorrichtung zum Messen des Verlaufs reflektierender Oberflächen
DE19757106A1 (de) * 1997-12-20 1999-06-24 Juergen Prof Dr Massig Topometer für spiegelnde Flächen
DE10014964A1 (de) * 2000-03-25 2001-01-18 Rainer Sesner Verfahren zum optischen Messen der Form spiegelnder Oberflächen

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4210075A1 (de) * 1992-03-29 1993-09-30 Henning Dipl Ing Dr Ing Wolf Verfahren und Vorrichtung zur dreidimensionalen optischen Kontrolle der Geometrie spiegelnder Objekte
DE4440573A1 (de) * 1994-11-14 1996-05-15 Matallana Kielmann Michael Verfahren zur Bestimmung der Kurvator/absoluten Koordinaten von reflektierenden Oberfläche unter Verwendung eines Videoplaciodotopometers
DE19643018A1 (de) * 1996-10-18 1998-04-30 Innomess Ges Fuer Messtechnik Verfahren und Vorrichtung zum Messen des Verlaufs reflektierender Oberflächen
DE19757106A1 (de) * 1997-12-20 1999-06-24 Juergen Prof Dr Massig Topometer für spiegelnde Flächen
DE10014964A1 (de) * 2000-03-25 2001-01-18 Rainer Sesner Verfahren zum optischen Messen der Form spiegelnder Oberflächen

Non-Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Erklärung Eides statt von Dr.-Ing. Gandyra *
Erklärung Eides statt von Rainer Seßner *
Hisathoshi Fujiwara et al.: "Flatness measurement by reflection moirE technique". In: SPIE Vol. 2862 *
Hisathoshi Fujiwara et al.: "Flatness measurement by reflection moiré technique". In: SPIE Vol. 2862
J. Beyerer, D. PErard: Automatische Inspektion spiegelnder Freiformflächen anhand von Rasterreflexionen. In: tm-Technisches Messen 64 (1997) 10, S. 394-400 *
J. Beyerer, D. Pérard: Automatische Inspektion spiegelnder Freiformflächen anhand von Rasterreflexionen. In: tm-Technisches Messen 64 (1997) 10, S. 394-400
Vortrag Rainer Seßner, am 03. Juli 2000 an der Universität Kaiserslautern *
Zulassungsarbeit von Rainer Seßner, vorgelegt im März 2000 der Friedrich-Alexander-Universität Er- langen-Nürnberg, spätestens am 03. Juli 2000 öffentlich zugänglich *

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2101143A1 (de) 2008-03-10 2009-09-16 Technische Universität Carolo-Wilhelmina zu Braunschweig Verfahren und Vorrichtung zur Erfassung der Form transparenter refraktiver Objekte
DE102008036710A1 (de) 2008-08-07 2010-02-11 GOM - Gesellschaft für Optische Meßtechnik mbH Messsystem und Verfahren zum dreidimensionalen optischen Vermessen von Objekten

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