DE10117265C2 - Vorrichtung und Verfahren zur genauen Winkelpositionierung eines Drehteils - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1 sowie ein Verfahren nach dem Oberbegriff des Anspruchs 9.

Unter einer Mikropositionierung versteht man übli­ cherweise die Bewegung eines Gegenstands mit einer mikroskopischen bzw. submikrometrischen Genauigkeit und die Beibehaltung der erreichten Position während einer bestimmten Dauer. Die Mikropositionierung spielt in den gegenwärtigen Technologien und wissen­ schaftlichen Forschungsarbeiten eine bedeutende Rol­ le. Dabei wachsen die Anforderungen an die Genauig­ keit der Positionierung mit der Steigerung des Minia­ turisierungsgrades der der Bearbeitung und Kontrolle unterliegenden Strukturen. Operationen mit einer Po­ sitionierungsgenauigkeit von weniger als 1 µm finden beispielsweise Anwendung bei mikrobiologischen, darunter auch mikromedizinischen Untersuchungen und Be­ handlungen, bei der Herstellung von Transistoren, op­ toelektronischen und mikroelektromechanischen Geräten sowie im Bereich der Materialbearbeitung.

Aus der EP 0 741 420 A2 ist eine Mehrachsen- Drehvorrichtung für ein kugelförmiges Drehteil be­ kannt, die zur Drehung um zwei orthogonale Achsen zwei Paare von Motoren sowie zwei Paare von Achsenbe­ stimmungseinheiten aufweist. Die Achsenbestimmungs­ einheiten eines Paares befinden sich jeweils auf ei­ ner Achse an in Bezug auf das Drehteil gegenüberlie­ genden Positionen und weisen ein Halteglied für das Drehteil auf, das mit diesem in und außer Eingriff gebracht werden kann. Das Halteglied kann in Drehung versetzt werden, um das mit ihm in Eingriff stehende Drehteils mittels Reibungskraft zu drehen. Wenn eine Drehung des Drehteils nicht beabsichtigt ist, wird das Halteglied außer Eingriff mit dem Drehteil ge­ bracht. Nachteilig bei dieser Konstruktion ist, daß die Halteglieder, welche ein unvermeidliches Spiel haben, die Achsenbestimmungseinheiten darstellen. Im Falle einer Mikropositionierung kann das Spiel die gewünschten Verschiebungen bei einer Drehbewegung um ein Vielfaches bis hin zum Hundertfachen übersteigen. Daher ist diese Drehvorrichtung praktisch nicht zu realisieren.

Eine Vorrichtung zur genauen Positionierung von Win­ kelstellungen für optische Geräte ist aus der US 6 170 795 B1 bekannt. Das optische Gerät befindet sich in einer Kugel oder wird durch die Kugel selbst ge­ bildet. Die Kugel ist auf drei Stützkugeln gelagert und eine Kraft, welche von oben auf die Kugel ein­ wirkt, geht durch deren Mittelpunkt hindurch. Die Größe der Kraft ist veränderbar und wird herabgesetzt, wenn die Winkelstellung der Kugel verändert werden soll. Nach Erreichen der gewünschten Winkel­ stellung wird die Kraft wieder erhöht, um die Lage der Kugel stabil zu halten. Zur Drehung der Kugel wird ein externes Werkzeug vorübergehend mechanisch derart mit der Kugel verbunden, dass die Linearbewe­ gung einer Mikrometerschraube in eine Drehbewegung der Kugel umgesetzt wird. Dies Vorrichtung hat den Nachteil, dass in der Bewegungsphase eine Aufhebung der kinematischen Kopplung erfolgt, dass eine externe Verstellvorrichtung verwendet wird und dass für jede Drehachse nur zwei Endlagen genau eingestellt werden können.

Aus der DE 196 04 001 A1 ist eine Einrichtung zur O­ rientierung eines gekühlten Objektkopfes in einem Kryostat-Mikrotom bekannt, bei dem der Objektkopf mit einem Kugelgelenk fest verbunden ist. Das Kugelgelenk weist eine schwenkbar zwischen zwei Kugelhalbschalen angeordnete Kugel auf. Zur Klemmung der Kugel zwi­ schen den beiden Kugelhalbschalen ist ein Spannhebel vorgesehen. Die Kugel ist zusätzlich mit einem Kreuz­ gelenk ausgestattet, wobei dieses Kreuzgelenk über getriebliche Mittel mit zwei senkrecht zueinander an­ geordneten Handhaben zur separaten X-Y-Orientierung des Objektkopfes verbunden ist.

Weiterhin offenbart die DE 197 15 226 A1 ein Verfah­ ren und eine Vorrichtung zur hochgenauen Mikropositi­ onierung, mit welchen Objekte translatorisch und/oder rotatorisch bewegt sowie hochaufgelöst positioniert werden sollen.

Um auf möglichst einfache und technologisch gut hand­ habbare Weise eine verschleißarme Bewegung zu schaf­ fen, die eine translatorische und/oder rotatorische Lageveränderung im Millimeter- bzw. Gradbereich und größer mit einer definierten, hochauflösenden Positi­ onierung in reproduzierbaren Bewegungsinkrementen im Nanometer- bzw. µgrad-Bereich gestattet, wird das zu bewegende Objekt in einer Ruhephase der Bewegung durch Führungselemente geführt und zum Zweck seiner Bewegung durch Piezostellelemente von diesen Füh­ rungselementen abgehoben, in frei wählbarer Richtung bewegt und nach der Bewegung des Objektes sowie zum Rücksetzen der Piezostellelemente wieder auf die Füh­ rungselemente abgesenkt.

Schließlich zeigt die JP 06160555 eine Vorrichtung zur Winkelpositionierung eines kugelförmigen Dreh­ teils, das von einem piezoelektrischen Vibrator ge­ tragen wird. Eine Blattfeder ist mit einer Öffnung versehen, durch die der obere Teil des Drehteils in der Weise hindurchragt, dass das Drehteil durch die Blattfeder gegen den Vibrator gedrückt wird. Der Rand der Öffnung ist mit einem reibungsmindernden Belag versehen, so dass das Drehteil bei Betätigung des Vibrators leicht gedreht werden kann.

Es ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Vorrichtung zur genauen Winkelpositionierung eines Drehteils um ein geometrisches Zentrum in mindestens einer Richtung, welches Drehteils zumindest teilweise eine Kugeloberfläche aufweist, die überall den glei­ chen Abstand zum geometrischen Zentrum besitzt, und bei der mindestens zwei mit der Kugeloberfläche zu­ sammenwirkende Halteglieder zur drehbaren Aufnahme und Halterung des Drehteils sowie mindestens ein ers­ ter, durch steuerbaren Reibeingriff mit der Kugel­ oberfläche wirkender Antrieb zur Drehung des Dreh­ teils vorgesehen sind, und ein Verfahren zur positi­ onsgenauen Drehung eines Drehteils unter Verwendung einer derartigen Vorrichtung anzugeben, durch die ei­ ne hochgenaue Einstellung der gewünschten Winkelposi­ tion mit außerordentlich kleinen Bewegungsschritten in einem großen Verstellbereich auf einfache Weise durchführbar ist und die erreichte Winkelstellung für eine beliebige Dauer stabil gehalten werden kann. Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch eine Vorrichtung mit den Merkmalen des Anspruchs 1 sowie durch ein Verfahren mit den Merkmalen des Anspruchs 9.

Dadurch, dass der erste Antrieb ein bewegliches Teil enthält, das eine translatorische, tangential zur Ku­ geloberfläche gerichtete Hin- und Herbewegung aus­ führt, dass ein zweiter steuerbarer, das bewegliche Teil des ersten Antrieb in und außer Reibeingriff mit der Kugeloberfläche bringender Antrieb vorgesehen ist, dass die mindestens zwei Halteglieder jeweils eine Öffnung aufwiesen, deren Ränder mit der Kugel­ oberfläche des Drehteils so in Eingriff stehen, dass dieses zwischen den Haltegliedern aufgenommen ist, und dass die mindestens zwei Halteglieder über eine Kopplungsvorrichtung miteinander verbunden sind, durch welche mittels eines dritten Antriebs der Ab­ stand zwischen den Haltegliedern zur dynamischen Ein­ stellung der auf das Drehteil ausgeübten Haltekraft veränderbar ist, kann eine Veränderung der Drehstel­ lung durch mehrere aufeinander folgende Drehschritte mit jeweils einstellbarer Größe erfolgen, so dass der Drehvorgang schnell und genau durchgeführt werden kann. Durch entsprechende Steuerung des dritten An­ triebs kann erreicht werden, dass einerseits die Ver­ stellkräfte gering gehalten werden können, anderer­ seits jedoch das Drehteil auch durch größere externe Drehmomente nicht aus seiner eingestellten Position herausbewegt wird.

Ein vorteilhaftes Verfahren zur Durchführung einer Winkelverstellung des Drehteils weist die folgenden Schritte auf:

• a) Herabsetzen der vom dritten Antrieb erzeugten Kraft auf einen Wert, der einerseits das Drehteil in seiner bestehenden Drehstellung hält, anderer­ seits jedoch eine Drehung des Drehteils bei einer nachfolgenden Betätigung des zweiten und ersten Antriebs zulässt,
• b) Betätigen des zweiten Antriebs, um das bewegliche Teil des ersten Antriebs in Reibeingriff mit der Kugeloberfläche des Drehteils zu bringen,
• c) Betätigen des ersten Antriebs, um durch die translatorische Bewegung von dessen beweglichem Teil das Drehteil um einen bestimmten Winkel zu drehen,
• d) Erhöhen der vom dritten Antrieb erzeugten Kraft bis auf einen gewünschten Wert,
• e) Betätigen des zweiten Antriebs, um den Reibein­ griff des beweglichen Teils des ersten Antriebs mit der Kugeloberfläche herabzusetzen oder aufzu­ heben, und
• f) Betätigen des ersten Antriebs, um dessen bewegli­ ches Teil in die Ausgangsposition für die trans­ latorische Bewegung zur Durchführung des nächsten Drehschritts zu bringen.

Die Erfindung wird im Folgenden anhand eines in den Figuren dargestellten Ausführungsbeispiels näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 einen senkrechten Schnitt durch eine Vorrich­ tung zur Winkelpositionierung eines Dreh­ teils, und

Fig. 2 eine schematische vergrößerte Darstellung ei­ nes Teils der Vorrichtung nach Fig. 1.

Die Figuren zeigen ein kugelförmiges Drehteils 1, das mit einer durch seinen Mittelpunkt gehenden Bohrung 2 versehen ist. Die Bohrung 2 kann zur Aufnahme eines optischen Elements, eines aus der Bohrung 2 herausra­ genden Stabes, an dessen freiem Ende ein Werkzeug be­ festigt ist oder dergleichen dienen. Der in der Bohrung 2 aufgenommene und in dieser gehaltene Gegen­ stand kann ein Drehmoment auf das Drehteil 1 ausüben, so daß Maßnahmen erforderlich sind, um eine Drehung des Drehteils 1 durch dieses Drehmoment zu unterbin­ den.

Das Drehteil 1 wird zwischen zwei zueinander paralle­ len scheibenförmigen Haltegliedern 3 und 4 gehalten, wobei das Drehteils 1 jeweils mit einer konisch ge­ formten Aufnahmefläche 5 bzw. 6, die durch den Rand einer Öffnung in dem jeweiligen Halteglied 3 bzw. 4 gebildet wird, in Eingriff ist. Die Konusachsen der beiden Aufnahmeflächen 5 und 6 gehen durch den Mit­ telpunkt des Drehteils 1 hindurch und fallen mit der Mittenachse der Bohrung 2 zusammen.

Die Halteglieder 3 und 4 sind jeweils durch einen Ring 7 bzw. 8 eingefaßt, und die Ringe 7 und 8 sind durch eine zylindrische Buchse 9 miteinander verbun­ den. An dem Halteglied 3 sind in Bezug auf das Dreh­ teil 1 auf gegenüber liegenden Seiten zwei Lagerböcke 10 und 11 befestigt, die jeweils einen ersten Antrieb 12 und einen zweiten Antrieb 13 tragen.

Die steuerbaren Antriebe 12 und 13 bestehen jeweils aus einem feststehenden Teil 14 bzw. 15 und einem be­ weglichen Teil 16 bzw. 17. Die Antriebe 12 und 13 können piezoelektrische, ferroelektrische, magneto­ striktive, elektromechanische, magnetomechanische, pneumatische oder hydraulische Antriebe sein; bevor­ zugt sind piezoelektrische Antriebe. Die beweglichen Teile 16 und 17 sind in ihrer Längsrichtung hin- und herverschiebbar, d. h. daß Teil 16 tangential zum Drehteil 1 und daß Teil 17 radial zum Drehteil 1 sind.

Ein dritter Antrieb wirkt in der Weise, daß er zwi­ schen den Haltegliedern 3 und 4 eine auf das Drehteil 1 wirkende Kraft erzeugt; die in Fig. 2 mit F_H be­ zeichnet ist. Diese Kraft F_H wirkt durch elastische Verformung vorzugsweise so auf die Halteglieder 3, 4 und das Drehteil 1 ein, daß sie kein oder nur ein ge­ ringes Drehmoment auf das Drehteil 1 ausübt. Auch der dritte Antrieb ist steuerbar, so daß die Kraft F_H veränderbar ist.

der dritte Antrieb ist vorzugsweise so ausgebildet, daß die zylindrische Buchse 9 selbst ein piezoelek­ trisches Element ist, das sich unter Einwirkung eines elektrischen Steuersignals zusammenziehen kann. Es kann jedoch auch ein separater Antrieb vorgesehen sein.

Je nach der Größe der Kraft F_H verändert sich auch das zum Drehen des Drehteils 1 erforderliche Moment; d. h. die Kraft F_H kann sich in einem Bereich verän­ dern, der sich von einer Drehbarkeit mit nur geringem Drehmoment bis zu einer Blockierung des Drehteils 1 bei den üblicherweise auftretenden Drehmomenten er­ streckt. Der dritte Antrieb kann beispielsweise so ausgebildet sein, daß er bei weitgehend starren Hal­ tegliedern 3 und 4 den Abstand zwischen den Ringen 7 und 8 verändert oder bei einem starren Halteglied 4 und einem flexibleren Halteglied 3 so auf das Hal­ teglied 3 einwirkt, daß dieses sich unterschiedlich stark biegt und so dessen Aufnahmefläche 5 eine sich entsprechend verändernde Kraft F_H auf das Drehteil 1 ausübt. Auch der dritte Antrieb ist bevorzugt ein piezoelektrischer, ferroelektrischer, magnetostrikti­ ver, elektromechanischer, magnetomechanischer, pneu­ matischer oder hydraulischer Antrieb, wobei hier ebenfalls ein piezoelektrischer Antrieb eine besonders vorteilhafte Lösung darstellt.

Das bewegbare Teil 16 des ersten Antriebs 12 trägt an seinem freien Ende auf der dem Drehteil 1 zugewandten Seite ein Reibkissen 18, um die Reibkraft zwischen dem ersten Antrieb 12 und dem Drehteil 1 zu erhöhen.

Das bewegliche Teil 17 des zweiten Antriebs 13 liegt mit seiner Stirnseite an der dem Reibkissen 18 abge­ wandten Längsseite des beweglichen Teils 16 an. Das bewegliche Teil 16 besitzt eine gewisse Flexibilität, so daß bei entsprechender Steuerung des zweiten An­ triebs 13 das Reibkissen 18 entweder einen Abstand von der Oberfläche des Drehteils 1 aufweist oder mit erheblicher Kraft gegen dieses gedrückt wird.

Der erste Antrieb 12 arbeitet auf piezoelektrischer Basis, wobei die Größe der Verschiebung des bewegli­ chen Teils 16 in seiner Längsrichtung von der Höhe der angelegten Spannung abhängt. Bei einer im Bereich von 1 V bis 1000 V veränderbaren Spannung kann der Bereich der linearen Verschiebung auf 5 nm bis 20 µm eingestellt werden. Bei einer gewünschten Drehung des Drehteils 1 können somit die anfänglichen Schritte sehr groß und die Endschritte kleiner eingestellt werden, so daß die Drehung relativ schnell und den­ noch sehr genau durchgeführt werden kann.

Bei einem Drehvorgang werden zweckmäßig die folgenden Schritte durchgeführt.

Zunächst erfolgt eine Ansteuerung des dritten An­ triebs in der Weise, daß die Haltekraft F_H auf einen Wert herabgesetzt wird, bei dem einerseits das Dreh­ teil 1 noch gegen das auf dieses einwirkende externe Momente in seiner Position gehalten wird, andererseits das Drehteil 1 jedoch durch den ersten Antrieb 12 gedreht werden kann. Zu diesem Zweck wird der zweite Antrieb 13 so aktiviert, daß sein bewegliches Teil 17 das Reibkissen 18 am beweglichen Teil 16 des ersten Antriebs 12 fest gegen das Drehteil 1 drückt, derart, daß durch eine anschließende Aktivierung des ersten Antriebs 12 dessen bewegliches Teil 16 aus dem feststehenden Teil 14 herausgefahren wird und das Drehteil 1 aufgrund der Reibungskraft zwischen diesem und dem Reibkissen 18, welche größer als die Halte­ kraft F_H zwischen den Halteglieder 3 bzw. 4 und dem Drehteil 1 ist, entsprechend gedreht wird. Die Schrittweite dieser Verschiebung liegt entsprechend der Höhe der an den Antrieb 12 angelegten Spannung vorzugsweise im Bereich von 5 nm und 20 µm; der er­ zielte Drehwinkel ergibt sich dann aus dieser Schrittweite und dem Durchmesser des Drehteils 1. Be­ steht ein Drehvorgang aus mehreren Schritten des er­ sten Antriebs 12, dann muß jeweils zwischen zwei Schritten das bewegliche Teil 16 in seiner Ausgangs­ position für den nachfolgenden Schritt zurückgeführt werden, ohne daß das Drehteil 1 wieder zurückgedreht wird. Hierzu ist daher erforderlich, daß während der Rückführung der zweite Antrieb 13 so aktiviert ist, daß die Reibkraft zwischen dem Drehteil 1 und dem Reibkissen 18 auf einen Wert reduziert wird, der niedriger ist als der Wert der Haltekraft F_H, oder der dritte Antrieb so aktiviert ist, daß die Halte­ kraft F_H auf einen Wert erhöht wird, der größer ist als der Wert der Reibkraft. Es können auch beide Maß­ nahmen, d. h. Reduzierung der Reibkraft und Erhöhung der Haltekraft F_H, kombiniert durchgeführt werden. Nach Beendigung des letzten Drehschrittes und Rück­ führung des beweglichen Teils 16 in die Ausgangsposi­ tion wird, falls dies nicht bereits vor der Rückfüh­ rung geschehen ist, die Haltekraft F_H durch den dritten Antrieb so erhöht, daß eine Änderung der Position des Drehteils 1 durch etwaige externe Momente mit Si­ cherheit ausgeschlossen ist.

Durch eine beliebige Anzahl von Wiederholungen der Drehschritt ist ein weiter Einstellbereich gegeben, der nur dadurch begrenzt ist, daß die Bohrung 2 im Drehteil 1 über die Öffnungen in den Haltegliedern 3 und 4 von außen zugänglich bleiben muß.

Das vorliegende Ausführungsbeispiel zeigt eine Vor­ richtung, die eine Drehung des Drehteils 1 nur um ei­ ne Achse ermöglicht. Durch Vorsehen weiterer entspre­ chender Paare von Antriebsvorrichtungen aus jeweils einem ersten und einem zweiten Antrieb sind Drehbewe­ gungen des Drehteils 1 in bis zu drei Freiheitsgraden möglich.

Claims (9)

1. Vorrichtung zur genauen Winkelpositionierung ei­ nes Drehteils (1) um ein geometrisches Zentrum in mindestens einer Richtung, welches Drehteil (1) zumindest teilweise eine Kugeloberfläche aufweist, die überall den gleichen Abstand zum geometrischen Zentrum besitzt, und bei der min­ destens zwei mit der Kugeloberfläche zusammen­ wirkende Halteglieder (3, 4) zur drehbaren Auf­ nahme und Halterung des Drehteils (1) sowie min­ destens ein erster, durch steuerbaren Reibein­ griff mit der Kugeloberfläche wirkender Antrieb (12) zur Drehung des Drehteils (1) vorgesehen sind, dadurch gekennzeichnet, dass der erste Antrieb (12) ein bewegliches Teil (16) enthält, das eine translatorische, tangen­ tial zur Kugeloberfläche gerichtete Hin- und Herbewegung ausführt, dass ein zweiter steuerba­ rer, das bewegliche Teil (16) des ersten An­ triebs (12) in und außer Reibeingriff mit der Kugeloberfläche bringender Antrieb (13) vorgese­ hen ist, dass die mindestens zwei Halteglieder (3, 4) jeweils eine Öffnung aufweisen, deren Ränder mit der Kugeloberfläche des Drehteils (1) so in Eingriff stehen, dass dieses zwischen den Haltegliedern (3, 4) aufgenommen ist, und dass die mindestens zwei Halteglieder (3, 4) über ei­ ne Kopplungsvorrichtung (9) miteinander verbun­ den sind, durch welche mittels eines dritten Antriebs der Abstand zwischen den Haltegliedern (3, 4) zur dynamischen Einstellung der auf das Drehteil (1) ausgeübten Haltekraft veränderbar ist.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekenn­ zeichnet, dass die Ränder der Öffnungen in den Hal­ tegliedern (3, 4) jeweils eine konisch geformte Aufnahmefläche (5, 6) bilden, deren Konusachse durch das geometrische Zentrum hindurchgeht.

3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch ge­ kennzeichnet, dass der erste (12) und der zweite (13) Antrieb jeweils ein piezoelektrischer, fer­ roelektrischer, magnetostriktiver, elektromecha­ nischer, magnetomechanischer, pneumatischer oder hydraulischer Antrieb ist.

4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass der dritte Antrieb ein piezoelektrischer, ferroelektrischer, magne­ tostriktiver, elektromechanischer, magnetomecha­ nischer, pneumatischer oder hydraulischer An­ trieb ist.

5. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Schrittgröße der Hin- und Herbewegung des beweglichen Teils (16) des ersten Antriebs (12) abhängig von der Größe eines an den ersten Antrieb (12) angelegten elektrischen Steuersignals ist.

6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass das bewegliche Teil (16) des ersten Antriebs (12) durch den zweiten Antrieb (13) elastisch verformbar ist.

7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Halteglieder (3, 4) scheibenförmig ausgebildet und parallel zueinander angeordnet sind.

8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass für jede Drehrich­ tung des Drehteils (1) zwei jeweils aus einem ersten (12) und einem zweiten (13) Antrieb be­ stehende, sich in Bezug auf das geometrische Zentrum gegenüberliegende Antriebsvorrichtungen vorgesehen sind.

9. Verfahren zur positionsgenauen Drehung eines Drehteils unter Verwendung einer Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, gekennzeichnet durch die folgenden Schritte:

• a) Herabsetzen der vom dritten Antrieb erzeugten Kraft auf einen Wert, der einerseits das Drehteil (1) in seiner bestehenden Drehstel­ lung hält, andererseits jedoch eine Drehung des Drehteils (1) bei einer nachfolgenden Be­ tätigung des zweiten (13) und des ersten (12) Antriebs zulässt,
• b) Betätigen des zweiten Antriebs (13), um das bewegliche Teil (14) des ersten Antriebs (12) in Reibeingriff mit der Kugeloberfläche des Drehteils (1) zu bringen,
• c) Betätigen des ersten Antriebs (12), um durch die translatorische Bewegung von dessen be­ weglichem Teil (14) das Drehteil (1) um einen bestimmten Winkel zu drehen,
• d) Erhöhen der vom dritten Antrieb erzeugten Kraft bis auf einen gewünschten Wert,
• e) Betätigen des zweiten Antriebs (13), um den Reibeingriff des beweglichen Teils (14) des ersten Antriebs (12) mit der Kugeloberfläche herabzusetzen oder aufzuheben, und
• f) Betätigen des ersten Antriebs (12), um dessen bewegliches Teil (14) in die Ausgangsposition für die translatorische Bewegung zur Durch­ führung des nächsten Drehschritts zu bringen.