DE10056387A1 - Kühlvorrichtung und Verfahren zu deren Herstellung sowie Vorrichtungzur Durchführung des Verfahrens - Google Patents

Kühlvorrichtung und Verfahren zu deren Herstellung sowie Vorrichtungzur Durchführung des Verfahrens

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Abstract

Bei einer Kühlvorrichtung für insbesondere elektronische Bauelemente mit einer Grundplatte und mit in Nuten derselben verankerten Kühlrippen ist jeweils nur eine Seitenwand (2b) jeder Nut (2) bleibend verformbar bzw. bleibend verformt, während die andere Seitenwand (2a) der betreffenden Nut (2) im wesentlichen unverformt bleibt und die definierte Lage der Kühlrippen (3) garantiert.

Description

Die Erfindung betrifft eine Kühlvorrichtung der im Oberbegriff des Patentanspruchs 1 genannten Gattung, mit der insbesondere elektronische und elektrische Bauelemente gekühlt werden, sowie ein Verfahren und eine Vorrichtung zu deren Herstellung.
Derartige Kühlvorrichtungen weisen eine Grundplatte auf, die insbesondere an der einen Seite mit den zu kühlenden elektrischen oder elektronischen und auch anderen Bauelementen auf thermisch gut leitfähige Art verbunden sind, während sich insbesondere an der anderen Oberfläche der Grundplatte eine Anzahl von Längsrillen bzw. in Längsrichtung verlaufenden Nuten befinden. In die Nuten sind mit deren Fußenden Kühl­ rippen unter Bildung von thermisch gut leitfähigen Kontakt­ flächen eingelassen. Hierdurch wird die in den Bauelementen entstehende Wärme über die Grundplatte zu den Kühlrippen und von diesen aufgrund der großen Gesamtoberfläche der Kühlrippen an die Atmosphäre zur Kühlung weitergeleitet. Die Kühlrippen sind insbesondere plattenartig bzw. als dünne Plättchen oder Lamellen ausgebildet.
Dabei ist es bekannt (DE-25 02 472 C2), die Kühlrippen an ihren Längsseiten mit Querrippen zu versehen und so mit den Fußenden in die Nuten der Grundplatte einzupressen, daß die Kühlrippen dort nicht nur eine gute mechanische Verankerung, sondern auch eine große die Wärme übertragende Kontaktfläche finden. Die Kühlrippen stehen dabei in Normalrichtung von der Grundplatte ab, so daß auch die Querrillen in dieser Normal­ richtung verlaufen. Dabei ist es auch bekannt, die Nuten in der Grundplatte mit sich in Längsrichtung erstreckenden Rillen zu versehen, wodurch ein besserer Widerstand gegen das Heraus­ ziehen von Kühlrippen aus den Nuten der Grundplatte gewähr­ leistet würde.
Darüber hinaus ist es bekannt (DE-35 18 310 C2), die Kühlrippen an den Seitenflächen des Fußendes mit Längsrillen zu versehen und die gute mechanische Verankerung mit der Grundplatte auf folgende Weise zu verwirklichen:
Nach dem Einsetzen der Kühlrippen in die Nuten wird zwischen alle benachbarten Kühlrippen jeweils ein Verformungswerkzeug in Form eines Prägestempels eingeführt. Die im Querschnitt spitze Prägefläche der Prägestempel dringt zwischen den eigentlichen Haltenuten für die Kühlrippen ein und spreizt das zwischen den Rippen befindliche Grundplattenmaterial so nach außen, daß es den Querschnitt der die Kühlrippen haltenden Nuten verkleinert.
Darüber hinaus ist es auch bekannt (EP-0 696 160 A2, EP 0 759 636 A2 und EP 0 902 469 A2), im Querschnitt U-förmige oder meanderförmig gewendelte Kühlrippen mit jeweils Fußenden der "U-Profile" in Nuten einzusetzen, ohne Grundplattenmaterial im Nutenbereich zu verformen. Dabei werden die U-förmigen Kühl­ rippen entweder in im Querschnitt schwalbenschwanzförmige Nuten eingeklemmt oder wird jeweils ein drahtförmiges Materialstück zwischen benachbarte Stege des Fußteils der U- förmigen Kühlrippen eingepreßt, so daß sich Material dieses Fußteils der U-förmigen Kühlrippen nach außen bleibend verformt und an die Seitenwände der Nut anlegt.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zu Grunde, eine Kühlvor­ richtung der eingangs genannten Gattung mit einfachen Mitteln dahingehend zu verbessern, daß insbesondere plattenförmige bzw. plättchenförmige Kühlrippen einen sicheren Halt unter Gewährleistung der vorgesehenen Position insbesondere in Normalrichtung zur Oberfläche der Grundplatte finden und hohe Auszugswerte erreichbar sind. Die Kühlrippen sollen auf einfache Weise nicht nur schnell und mit insgesamt wenig Produktions- und Montageaufwand mechanisch fest mit der Grund­ platte verbunden sein. Dabei soll sich ein guter Wärmeübergang von der Grundplatte auf die Kühlrippen ergeben.
Die Erfindung ist im Patentanspruch 1 hinsichtlich der Kühl­ vorrichtung, im Patentanspruch 11 hinsichtlich des Herstel­ lungsverfahrens derselben und im Patentanspruch 16 hinsicht­ lich einer bevorzugten Vorrichtung zum Herstellen gekennzeich­ net. In Unteransprüchen sind weitere Verbesserungen der Erfin­ dung beansprucht und in der folgenden Figurenbeschreibung sind anhand der Zeichnungen besonders bevorzugte Ausbildungsformen der Erfindung erläutert.
Gemäß der Erfindung werden - im Unterschied zum Stand der Technik nach DE 35 18 310 C2 - nicht beide die Seitenwände jeweils einer Nut begrenzenden Materialteile der Grundplatte bleibend verformt, sondern wird dafür gesorgt, daß jeweils eine Seitenwand jeder Nut beim Einsetzen und Befestigen der betreffenden Kühlrippe unverformt bleibt und die Montage­ stellung der betreffenden Kühlrippe festlegt, während nur Materialteile der anderen Seitenwand der betreffenden Nut so bleibend insbesondere in Richtung auf den Fußteil der eingesetzten Kühlrippe verformt werden, daß die Kühlrippe dort fest verankert wird und sich gleichzeitig eine möglichst große Kontaktfläche für einen günstigen Wärmeübergangswiderstand bildet.
Bei der Anwendung dieser Maßnahme bei der Herstellung gemäß dem im Patentanspruch 10 beanspruchten Verfahren muß das Verformungswerkzeug nicht in jeden Zwischenraum, sondern nur in jeden zweiten Zwischenraum zwischen benachbarten Nuten eingeführt und zur bleibenden Verformung von Grundplattenmaterial angewendet werden.
Mit anderen Worten: Die Oberfläche der Grundplatte, in der sich die Nuten befinden, wechselt jeweils ab zwischen einer beim Montieren der Kühlrippen unverformten und insbesondere ebenen Oberfläche und einer bleibend verformten und insbesondere nach innen in die Grundplatte hineingedrückten konkaven Oberfläche. Es hat sich gezeigt, daß die Erfindung trotz vereinfachter Montagemöglichkeit und daher schnellerer Herstellung die oben genannte Aufgabe löst. Dabei bietet sich ein weiterer Vorteil an, welcher die Kühlwirkung der Kühl­ vorrichtung verbessern hilft: Der Abstand zwischen Kühlrippen im Bereich der nicht bleibend verformten Oberflächen kann geringer gewählt werden, da einerseits dort kein Verformungs­ werkzeug angreift und andererseits die nicht verformten Seitenwände der Nuten die Ausrichtung und Lage der benachbar­ ten Kühlrippen besser definieren, so daß die Gefahr eines sich Aneinanderanlegens benachbarter Kühlrippen und einer schlechteren "Belüftung" der Zwischenräume zwischen den sich aneinanderlegenden Kühlrippen vermieden wird.
Es empfiehlt sich, wenn die Nuten im noch unverformten Zustand der Seitenwände einen im wesentlichen unsymmetrischen Querschnitt aufweisen, der sich vom Nutengrund in Richtung zu den benachbarten Oberflächen der Grundplatte unter einem Öffnungswinkel β zur Normalen auf die betreffende Oberfläche der Grundplatte öffnet. Dies ist gewissermaßen eine Umkehrung von schwalbenschwanzförmigen Profilen mit der Besonderheit, daß jede Nut an einer Übergangsstelle zwischen dem Nutengrund und einer Seitenwand einen Winkel von 90° bildet. Der Nutengrund sollte in der Breite dem Nennmaß des Fußendes der betreffenden Kühlrippe entsprechen.
Es empfiehlt sich, aus Aluminiumblech bestehende Kühlrippen zu verwenden.
Die Grundplatte sollte gleichfalls aus Aluminium bestehen und ist bevorzugt im Strangpressverfahren hergestellt; dabei sind die Nuten gleich mit stranggepreßt.
Der Öffnungswinkel β sollte zwischen 2 und 20° betragen.
Darüber hinaus kann es sich empfehlen, wenn zwischen der Verbindungsfläche zwischen Nachbarnuten im Bereich der verformten bzw. zu verformenden Seitenwände einerseits und den Oberflächen zwischen benachbarten unverformten Seitenwände von Nachbarnuten ein Abstand A in Normalrichtung gebildet wird. Mit anderen Worten: Die Verbindungsfläche ist jeweils gegen­ über den unverformten Oberflächen in die Grundplatte hinein zurückversetzt. Hierdurch wird der Hohlraum zwischen benachbarten Kühlrippen und dem bleibend verformten Grundplattenteil vergrößert und ein noch besserer Wärmeübergang von den Kühlrippen in die Umgebung erreicht.
Ferner empfiehlt es sich, die Verbindungsfläche zwischen verformten bzw. sich verformenden benachbarten Seitenwänden mit einer gleichfalls insbesondere rillenförmigen Vertiefung zu versehen, die sich parallel zur Nutenlängsrichtung erstreckt. Hierdurch wird der Angriff des Verformungswerkzeugs in einer definierten Linie in Längsrichtung garantiert. Noch wirksamer ist die Anwendung eines Prägestempels, mit dem eine Reihe insbesondere pyramidenförmiger Einpressungen bzw. Ein­ prägungen in das Grundmaterial zwischen den und parallel zu den Nuten hergestellt werden kann.
Um die Verankerung, d. h. mechanische Befestigung der Kühlrippen in den Nuten zu verbessern, ist es zweckmäßig, die bleibend verformbaren bzw. zu verformenden Seitenwände insbesondere an der Übergangsstelle zur Verbindungsfläche zwischen solchen benachbarten Seitenwänden mit einem im Querschnitt insbesondere abgerundeten Vorsprung bzw. Profilsteg zu versehen, der beim Verformen des betreffenden Grundplattenmaterials in Richtung zur anderen unverformten Seitenwand an die benachbarte Kühlrippenfläche oder insbesondere in eine sich in Längsrichtung erstreckende Längsrille im Fußbereich der Kühlrippe hineingeprägt wird. Die Längsrille sollte sich im Abstand vom Stirnende der Kühlrippe befinden, mit dem diese bevorzugt am Nutengrund anliegt. Hierdurch findet eine regelrechte "Verklammerung" zwischen Kühlrippe und Grundplatte statt.
Um das bleibende Verformen noch weiter zu erleichtern, empfiehlt es sich, wenn der Querschnitt der Grundplatte zwischen benachbarten verformten bzw. zu verformenden Stirnwänden von Nachbarnuten im Abstand von der betreffenden Verbindungsfläche dieser Seitenwände unter Bildung von Schwächungsrillen eingeschnürt ist. Hierdurch werden im Querschnitt rippen-, steg- oder lappenförmige Materialteile der Grundplatte zwischen der betreffenden Seitenwand und Verbindungsfläche gebildet, so daß das Verformungswerkzeug weniger Verformungsarbeit zu leisten hat, wenn diese stegförmigen Teile nach außen gedrückt werden.
Als Verformungswerkzeuge empfiehlt sich die Verwendung von insbesondere plattenförmigen Prägestempeln, die an deren verformenden Stirnenden insbesondere einen spitzen Prägequer­ schnitt aufweisen sollten.
Besondere Vorteile bietet die Anwendung von Prägerollen als Verformungswerkzeug. Diese Prägerollen sind als dünne Scheibchen ausgebildet und am Außenumfang zweckmäßigerweise mit einem konvexen Prägequerschnitt versehen.
Prägestempel bzw. Prägerollen können zu mehreren kammsegment­ artig nebeneinander in ein gemeinsames Präge- bzw. Verfor­ mungswerkzeug integriert werden. Dabei greift jeweils ein Prägestempel bzw. eine Prägerolle in den Zwischenraum zwischen benachbarten Kühlrippen in die Grundplattenoberfläche ein, während die jeweils benachbarten Zwischenräume von Prägerollen bzw. Prägestempeln im Unterschied zum Stand der Technik frei bleiben. Diese Ausbildung unterscheidet sich auch von dem gleichfalls bekannten Metallprofil-Herstellungsverfahren nach der EP 0 868 237 B1, bei der Grundplattenmaterial zu beiden Seiten eines in diesem zu verankerten Profilschenkelteils bleibend verformt wird.
Ausführungsbeispiele der Erfindung werden anhand der Zeichnungen im folgenden näher erläutert, dabei zeigen:
Fig. 1 eine Frontansicht auf eine erfindungsgemäße Kühlvor­ richtung in schematischer Darstellung der Zwischenräume zwischen benachbarten Kühlrippen;
Fig. 2 mit der vergrößerten Fig. 2a eine Ausbildung der Erfindung zu Beginn des bleibenden Verformungsvorgangs;
Fig. 3 und 4 mit den vergrößerten Darstellungen von Fig. 3a und 4a weitere bevorzugte Ausbildungen;
Fig. 5 eine der Fig. 1 schematisch entsprechende Frontansicht mit Fig. 5a einer entsprechend perspektivischen Ansicht auf eine erfindungsgemäße Kühlvorrichtung, bei der ein Prägestempel bestehend aus mehreren Stempeleinheiten verwendet wird;
Fig. 6 und 6a entsprechende Darstellungen bei Anwendung von Prägerollen zum bleibenden Verformen von Grundplattenmaterial­ teilen Fig. 7 einen schematischen Querschnittteil durch eine Grund­ platte einer erfindungsgemäßen Kühlvorrichtung im Bereich benachbarter Rippen und
Fig. 8 mit Fig. 8a, 8b und 8c eine bevorzugte Präge­ stempelausbildung und deren Prägefunktion.
Gemäß Fig. 1 ist eine Seite einer aus insbesondere Aluminium bestehenden Grundplatte mit einer Anzahl von Längsrillen bzw. sich in Längsrichtung hinziehenden Nuten (2) stranggepreßt, während sich an der entgegengesetzten Seite der Grundplatte (1) die zu kühlenden elektronischen und elektrischen Bauelemente (4) befinden. Die Kühlrippen (3) aus Aluminiumblech sind mit ihren Fußenden (3b) in die Nuten (2) so verankert, daß die Oberflächenteile der Grundplatte (1) zwischen benachbarten Rippen (3) jeweils in Form von einerseits unverformten Oberflächen (1a) und andererseits von bleibend verformten Verbindungsflächen (1b) zwischen Nachbarnuten abwechseln.
Bei der Ausbildungsform von Fig. 2/2a sind die Fußenden (3b) der Kühlrippen (3) in die Nuten (2) so eingesetzt, daß sich jeweils eine Seitenwand (2a) jeder Nut (2) in der Normal­ richtung N erstreckt, also einen Neigungswinkel α von 90° zur ebenen Oberfläche (1a) der Grundplatte (1) außerhalb der Nut bildet. Die entgegengesetzte Seitenwand (2b) ist dagegen unter einem Öffnungswinkel β von bevorzugt 10-15° zur Normalrichtung N geneigt. Hierdurch sind die Kühlrippen (3) leicht in die Nuten (2) bis zum Nutengrund (2c) einführbar. Nach dem Einführen wird ein Verformungswerkzeug (5) jeweils auf die Verbindungsfläche (1b) mit der im Querschnitt spitzen Prägefläche (5a) gedrückt, so daß sich diese Verbindungsfläche (1b) zwischen den schrägen Seitenwänden (2b) bleibend verformt und Grundplattenmaterial vom Übergang der Seitenwände (2b) zur Verbindungsfläche (1b) in Längsrillen (3a) der betreffenden Kühlrippen eingedrückt wird, ohne daß sich Grundplatten­ material an der entgegengesetzten Seitenwand (2a) verformt.
Bei der Ausführungsform von Fig. 3/3a weisen die zu verfor­ menden bzw. verformten Seitenwände (2b) an den Übergangs­ stellen zur Verbundungsfläche (1b) Vorsprünge bzw. Profilstege (1c) auf, die zweckmäßigerweise gerundet sind und beim Angriff des Verformungswerkzeugs (5) mit seiner hier im Querschnitt konvexen Prägefläche (5b) an die benachbarten Kühlrippen (3) und insbesondere in die dort befindlichen Längsrillen (3a) eingedrückt werden. Die geraden und unverformten Seitenwände (2a) bilden eine durchgehende Kontaktfläche K zwischen Grundplatte (1) und Kühlrippe (3).
Eine noch weitere Verbesserung ergibt sich aus dem Ausfüh­ rungsbeispiel von Fig. 4/4a. Hier wird das Grundplatten­ material zwischen benachbarten verformten bzw. zu verformenden Seitenwänden (2b) durch Bildung von Schwächungsrillen (ld) eingeschnürt. Die im Querschnitt steg- bzw. lappenförmigen Vorsprünge bzw. Profilstege (1c) werden dann beim Angriff des Verformungswerkzeugs (5) nicht nur nach unten bleibend ver­ formt, sondern auch zur Seite gespreizt, wodurch eine die Verankerung der Kühlrippen begünstigende Klemmwirkung zusätz­ lich erreicht wird. Durch Definition des "Knickpunktes" entsteht ein günstiges Verhältnis von erforderlichem Arbeitsweg zur erreichten Umformung von etwa 1 : 2. Mit anderen Worten: 0,1 mm Arbeitshub des Verformungswerkzeugs (5) führt zu ca. 0,2 mm Verformung nach beiden Seiten. Der mittlere im Querschnitt konvex gerundete Prägeflächenteil (5b) des Verformungswerkzeugs (5) wird dabei insbesondere durch die in Fig. 7 im Querschnitt gezeigte rinnenförmige Vertiefung (2d) in der Verbindungsfläche (1b) in Längsrichtung geführt.
Dies ist besonders dann zweckmäßig, wenn anstelle der in Fig. 5/5a gezeigte Prägestempeltechnik die in Fig. 6/6a gezeigte Prägerollentechnik Anwendung findet. Bei beiden Techniken wird eine entsprechende Anzahl einzelner Präge­ stempel bzw. Prägerollen (diese in Form dünner Scheibchen) zu je einem Prägestempelaggregat bzw. einer Prägerolleneinheit vereint, so daß die bleibende Verformung der betreffenden Grundplattenteile in einem einzigen Arbeitsschritt gemäß Fig. 5a durch Bewegen des Verformungswerkzeugs (5) in Pfeilrichtung und gemäß Fig. 6a durch Bewegen des sich drehenden Präge­ rollenwerkzeugs (5) in Längsrichtung L bewirkt. Dabei können sich zwischen den eigentlichen Prägerollen mit den im Querschnitt konvexen Prägeflächen (5b) weitere Distanzscheiben (5c) befinden, die jeweils benachbarte Prägerollen im definierten Abstand voneinander halten.
Gemäß Fig. 8 weisen die platten- bzw. schwertartigen Prägestempel (5) an dem zum Verformen dienenden Rand (5d) parallel zur Nutenlängsrichtung hintereinander angeordnete zackenartige Prägeelemente (5e) auf, welche pyramidenförmig ausgebildet sind und gemäß Fig. 8c entsprechende pyramidenförmige Vertiefungen (2e) in das Material der Grundplatte (1) zwischen den für die Kühlrippen (3) dienenden Nuten (2) einprägen. Gemäß Fig. 8a ist dabei jeweils ein Stapel von mit solchen Prägeelementen (5e) am unteren Rand (5d) versehene Prägestempel als Verformungswerkzeuge (5) und von plattenförmigen Elementen ohne prägende Werkzeuge am unteren Rand so zusammengesetzt, daß diese "Prägeeinheit" kammartig zwischen die in die Nuten (2) der Grundplatte (1) bereits eingesteckten Kühlrippen (3) eingreift. Durch entsprechenden Druck dieser "Prägeeinheit" auf die Oberfläche der Grundplatte (1) zwischen den Nuten (2) werden dann an denjenigen Oberflächenteilen, an denen die pyramidenförmigen Prägeelemente (5e) angeordnet sind, jeweils Reihen von pyramidenförmigen Vertiefungen (2e) eingepreßt bzw. eingeprägt. Dabei wird Grundplattenmaterial in den Pfeilrichtungen (Fig. 8c) auseinandergepreßt.
Diese bevorzugte Ausbildung von Prägestempeln bietet eine Reihe von Vorteilen: Es kann mit geringerer Prägekraft gearbeitet werden. Das Grundplattenmaterial wird nach allen Seiten verdrängt. Durch den verhältnismäßig kurzen Abstand der pyramidenförmigen bzw. zahnartigen Prägeelemente (5e) wird die Längsausdehnung reduziert; hieraus ergibt sich eine höhere seitliche Ausdehnung und dadurch wiederum eine bessere Verprägung bzw. mechanische Verankerung der Kühlrippen (3). Außerdem dringen beim Auftreffen der Prägestempel bzw. Prägeschwerter auf die Oberfläche der Grundplatte (1) die Prägeelemente (5e) leichter in die Grundplattenoberfläche ein, wodurch das Verformungswerkzeug bzw. das Prägeschwert besser fixiert und vor seitlichem Abrutschen gesichert wird. Auch lassen sich Profiltoleranzen hierdurch besser ausgleichen.

Claims (16)

1. Kühlvorrichtung für insbesondere elektronische Bauelemente, mit einer Grundplatte (1), die an einer Seite mit einer Anzahl in Längsrichtung verlaufenden Nuten (2) bzw. Längsrillen versehen ist, mit plättchen- oder plattenartigen Kühlrippen (3), deren Fußenden (3b) unter Bildung von wärmeübertragenden Kontaktflächen mit Nutenwänden in die Nuten (2) eingesetzt sind, und bei der Teile der Seitenwände (2a, 2b) der Nuten (2) der Grundplatte (1) in Richtung zu insbesondere den Fußenden (3b) von Kühlrippen (3) bleibend verformt sind, dadurch gekennzeichnet, daß nur jeweils eine Seitenwand (2b) der betreffenden Nut (2) bleibend verformbar bzw. verformt ist, während die andere Seitenwand (2a) der betreffenden Nut (2) im wesentlichen unverformt bleibt.
2. Kühlvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die unverformte bzw. unverformbare Seitenwand (2a) eine ebene, sich in Normalrichtung (N) auf die Oberfläche der Grundplatte (1) erstreckende Kontaktfläche (K) für die betreffende Kühlrippe (3) bildet.
3. Kühlvorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Nut (2) im unverformten Zustand der Seitenwände (2a, 2b) einen im wesentlichen unsymmetrischen Querschnitt aufweist, der sich vom Nutengrund (2c) in Richtung zu den benachbarten Oberflächen (1a) bzw. Verbindungsflächen (1b) der Grundplatte (1) unter einem Öffnungswinkel (β) zur Normalen (N) öffnet.
4. Kühlvorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Öffnungswinkel (β) zwischen 2° und 20° beträgt.
5. Kühlvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die bleibend zu verformende bzw. verformte Seitenwände (2b) benachbarter Nuten (2) verbindende Verbindungsfläche (1b) an der Grundplattenoberfläche gegenüber der unverformten Oberfläche (1a) der Grundplatte (1) zwischen nicht verformten Seitenwänden (2a) benachbarter Nuten (2) um einen Abstand (A) zurückversetzt ist.
6. Kühlvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die bleibend verformte bzw. verformbare Seitenwände (2b) verbindende Verbindungsfläche (1b) zwischen benachbarten Nuten (2) eine Vertiefung (2d) oder eine Reihe von Vertiefungen aufweist, die sich parallel zur Nutenlängsrichtung erstreckt.
7. Kühlvorrichtung nach Anspruch dadurch gekennzeichnet, daß die Vertiefungen (2d) der Reihe von Vertiefungen als pyramidenförmige Einpressungen in das Material der Grundplatte (1) ausgebildet sind.
8. Kühlvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die bleibend verformbaren bzw. zu verformenden Seitenwände (2b) insbesondere an den Übergangsstellen zur Verbindungs­ fläche (1b) einen im Querschnitt insbesondere abgerundeten Vorsprung bzw. Profilsteg (1c) aufweist, der in Richtung zur anderen, unverformten bzw. unverformbaren Seitenwand (2c) der betreffenden Nut (2) weist.
9. Kühlvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Kühlrippen (3) je mindestens eine sich in Längs­ richtung erstreckende Längsrille (3a) im Abstand von Stirn­ enden aufweisen, mit dem sie am Nutengrund (2c) bevorzugt anliegen.
10. Kühlvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Querschnitt der Grundplatte (1) zwischen benachbarten verformbaren bzw. zu verformenden Seitenwänden (2b) von benachbarten Nuten (2) im Abstand von der Verbindungsfläche (1b) unter Bildung von Schwächungsrillen (1d) eingeschnürt ist.
11. Verfahren zur Herstellung einer Kühlvorrichtung nach Anspruch 1, bei dem die Kühlrippen (3) in die Nuten (2) einge­ setzt und Nutenwandmatrial der Grundplatte (1) durch ein an der Grundplattenoberfläche (1b) zwischen Nuten (2) angreifendes Verformungswerkzeug bleibend verformt wird, dadurch gekennzeichnet, daß das Verformungswerkzeug (5) nur in jeden zweiten Zwischen­ raum zwischen benachbarten Nuten (2) in die Verbindungsfläche (1b) eingedrückt bzw. eingepreßt wird, die sich zwischen benachbarten zu verformenden Seitenwänden (2b) der Nuten (2) befindet.
12. Verfahren nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß Prägestempel als Verformungswerkzeuge verwendet werden.
13. Verfahren nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß Prägerollen als Verformungswerkzeuge verwendet werden.
14. Verfahren nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß Prägerollen angewendet werden, die am Außenumfang einen konvexen Prägequerschnitt (5b) aufweisen.
15. Verfahren nach Anspruch 12 oder 13, dadurch gekennzeichnet, daß Prägestempel bzw. Prägerollen angewendet werden, die einen spitzen Prägequerschnitt aufweisen.
16. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß der zum Verformen dienende Rand (5d) des schwertartigen Prägestempels mit spitzen, insbesondere pyramidenförmigen Prägeelementen (5e) versehen ist.
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