DE10051904A1 - Strahlungsquelle und Bestrahlungsanordnung - Google Patents
Strahlungsquelle und BestrahlungsanordnungInfo
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Abstract
Strahlungsquelle (101) für elektromagnetische Strahlung, deren wesentlicher Wirkanteil im Bereich des nahen Infrarot, insbesondere im Wellenlängenbereich zwischen 0,8 mum und 1,5 mum, liegt, zur Ausbildung einer langgestreckten Bestrahlungszone, mit einer langgestreckten Halogenlampe (101), die einen röhrenförmigen, an den Enden gesockelten Glaskörper mit mindestens einer Glühwendel hat, und einem langgestreckten Reflektor (102), wobei die Enden der Halogenlampe bzw. Kontakt-Halterungen in wärmeleitendem Kontakt mit dem Reflektor angeordnet sind und/oder den Enden Kühlmittel (107, 108) zur Wärmeabführung zugeordnet sind, derart, daß ein steiler T-Gradient zwischen dem mittleren Bereich des Glaskörpers und dessen Enden, insbesondere ein T-Abfall von einer Glaskörpertemperatur oberhalb von 600 DEG C auf eine Enden-Temperatur unterhalb von 300 DEG C, speziell unterhalb von 200 DEG C, erzeugt wird.
Description
Die Erfindung betrifft eine Strahlungsquelle nach dem Oberbe
griff des Anspruchs 1 sowie eine mit einer solchen Strahlungs
quelle aufgebaute Bestrahlungsanordnung.
Aus früheren Patentanmeldungen der Anmelderin, so etwa der
DE 197 36 462 A1, WO 99/42774 oder P 10024731.8 (unveröffent
licht), sind Verfahren zur Behandlung von Oberflächen, Bearbei
tung von Materialien und Herstellung von Verbundwerkstoffen un
ter Einsatz von elektromagnetischer Strahlung bekannt, deren
wesentlicher Wirkanteil im Bereich des nahen Infrarot, insbe
sondere im Wellenlängenbereich zwischen 0,8 µm und 1,5 µm,
liegt. Bei einer Reihe dieser Anwendungen ist die Realisierung
einer relativ breiten Bestrahlungszone im Interesse einer hohen
Produktivität des jeweiligen Verfahrens mit hoher Leistungs
dichte wesentlich. Es ist daher der Einsatz einer langgestreck
ten Halogenlampe, die einen röhrenförmigen, an den Enden gesoc
kelten Glaskörper mit mindestens einer Glühwendel hat, mit ei
nem langgestreckten Reflektor als Strahlungsquelle bekannt.
Bei bekannten Strahlungsquellen bzw. Bestrahlungsvorrichtungen
mit langgestreckten, beidseitig gesockelten Lampen - beispiels
weise für medizinische oder lichttechnische Anwendungen - haben
die Lampen Anschlüsse bzw. Sockel, die koaxial zum Glaskörper
an dessen Enden angeordnet sind; vgl. etwa die US 4,287,554
oder DE 33 17 812 A1. Diese Druckschriften beschreiben im übri
gen Bestrahlungsanordnungen mit mehreren Strahlungsquellen, die
parallel nebeneinander angeordnet sind.
Mit einer solchen Strahlungsquelle läßt sich eine breite Be
strahlungszone mit über ihre Breite annähernd konstanter Strah
lungsflußdichte realisieren, die wiederum über die entsprechen
de Breite des Arbeitsbereiches einheitliche Prozeßbedingungen
schafft.
Bei der praktischen Anwendung solcher Strahlungsquellen und Be
strahlungsanordnungen zur Erzeugung von Strahlungszonen mit
Energiedichten oberhalb und teilweise weit oberhalb von
100 kW/m2 haben sich aber Probleme hinsichtlich einer ausrei
chenden Lebensdauer der Lampen und der Formbeständigkeit der
Reflektoranordnungen ergeben, die nach Erkenntnissen der Erfin
der mit einer dauerhaften thermischen Überlastung in Zusammen
hang gebracht werden können.
Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, eine verbesser
te Strahlungsquelle der gattungsgemäßen Art anzugeben, die die
Erzeugung einer Bestrahlungszone mit sehr hoher Strahlungsfluß
dichte erlaubt, wobei eine ausreichend lange Lebensdauer bei
reproduzierbaren Bestrahlungsparametern gewährleistet sein
soll.
Diese Aufgabe wird durch eine Strahlungsquelle mit den Merkma
len des Anspruchs 1 gelöst.
Die Enden der Halogenlampe sind erfindungsgemäß zweckmäßiger
weise in wärmeleitendem Kontakt mit dem Reflektor angeordnet
und/oder den Enden sind Kühlmittel zur Wärmeabführung zugeord
net. Hierdurch wird ein steiler Temperatur(T)-Gradient zwischen
den mittleren und den gebogenen Bereichen des Glaskörpers und
dem jeweils benachbarten Ende und Abschlußbereich realisierbar.
Hierdurch wird insbesondere ein Temperaturabfall von einer
oberhalb von 600°C liegenden Temperatur des Glaskörpers auf ei
ne Enden-Temperatur deutlich unterhalb von 300°C, speziell un
terhalb von 200°C, erzeugt und der thermischen Empfindlichkeit
der Lampenenden Rechnung getragen.
Die erwähnten Kühlmittel umfassen in einer ersten speziellen
Ausführung Wärmeabstrahlungsflächen ("Flags") an den Enden der
Lampe. Zusätzlich oder alternativ hierzu sind Steckkontakt-Soc
kel mit speziellen Wärmeleitmitteln zur Wärmeabführung an den
(in der Regel im wesentlichen vollständig metallischen und da
her die Wärme sehr gut ableitenden) Reflektor vorgesehen.
Die erwähnten Flags sind insbesondere wärmeleitend fest mit den
Anschlußstiften der Lampe verbunden, beispielsweise ver
schweißt. Ihr Einsatz ist besonders vorteilhaft bei einer Aus
führung der Strahlungsquelle mit einer vor der Halogenlampe
liegenden Schutzscheibe aus weitgehend NIR-durchlässigem Mate
rial (Quarzglas, Glas o. ä.), bei der zwischen der Halogenlampe
und dieser Schutzscheibe ein Kühlgasstrom zur Abführung der in
der Schutzscheibe absorbierten Wärme entlanggeführt wird. Die
ser Luftstrom wird in einer an einem Lampenende angeordneten
Kühlfluid-Zuführungseinrichtung eingespeist, streicht im we
sentlichen laminar an der Schutzscheibe entlang und wird am an
deren Lampenende (insbesondere nach hinten) abgezogen. Wenn die
Flags schräg in diesen Luftstrom gestellt werden, werden sie
von ihm umspült, und die Wärmeabfuhr wird - trotz des Umstan
des, daß der Kühlfluidstrom zumindest an dem einen Lampenende
nicht mehr "kalt" ist - beschleunigt.
Bei geeigneter Auslegung dieser Anordnung ist zumindest für Ap
plikationen mit mittlerer Lampenleistung eine zusätzliche akti
ve Kühlung der Lampenenden verzichtbar, und der konstruktive
Aufwand für die Lampenendenkühlung kann relativ gering gehalten
werden.
Noch effizienter, wenn auch verfahrenstechnisch aufwendiger,
ist der Einsatz eines unter Druck stehenden Kühlfluids zur Ab
führung der Wärme von den Lampenenden. Hierzu umfassen die
Kühlmittel Kühlfluid-Strömungskanäle zur Zuleitung des Kühl
fluids zu den Enden bzw. endnahen Bereichen der Halogenlampe
und/oder den diesen benachbarten Bereichen des zugeordneten Re
flektors.
Speziell ist im Reflektor mindestens ein Preßluft-Strömungska
nal mit auf die Enden der Halogenlampe gerichteten Austritts
öffnungen ("Düsen") vorgesehen, über den kalte Druckluft - oder
auch ein anderes Kühlgas - in diese Bereiche zugeführt wird. In
einer bevorzugten Ausführungsform dieses Gedankens ist eine
Mehrzahl von Preßluft-Strömungskanälen im Reflektor vorgesehen,
die jeweils derart angeordnete und ausgebildete Austrittsöff
nungen aufweisen, daß die zugeführte Druckluft (Preßluft) um
die Enden bzw. endnahen Bereiche des Glaskörpers verwirbelt
wird. Diese turbulente Strömung gewährleistet eine zuverlässige
Abführung der Wärme von allen zu kühlenden Oberflächenberei
chen.
Eine weitere bevorzugte Ausführung hat Wasserkanäle im Reflek
tor, die sockelnahe Bereiche desselben durchqueren. Durch diese
Wasserkanäle wird Kühlwasser geleitet, das einerseits zur Küh
lung des (der Strahlung der Glühwendel direkt ausgesetzten) Re
flektors und andererseits - mittelbar über die Wärmeleitung
zwischen Reflektor und Lampenenden - auch zur Kühlung der Lam
penenden dient.
Eine besonders vorteilhafte Art und Weise der Wärmeabführung
ermöglichen Reflektoren, die als massive Strangpreßprofile aus
einem Material mit hoher Wärmeleitfähigkeit, insbesondere Alu
minium oder einer Aluminiumlegierung, ausgeführt sind. In der
artige Reflektoren sind nämlich die Kühlfluid-Strömungskanäle
(sowohl in der Ausführung als Preßluftkanäle als auch in der
Ausführung als Wasserkanäle) besonders leicht einarbeitbar, und
die massive Ausführung des Reflektors verleiht diesem eine hohe
Wärmekapazität und trägt damit zur Vergleichmäßigung der Wärme
abstrahlung durch die Strahlungsquelle auch bei geringfügigen
Inhomogenitäten des primären Strahlungsprofils der Glühwendel
bzw. bei geringfügigen Schwankungen der Versorgungsspannung
bei.
Ein derartiges Reflektorprofil mit besonders vorteilhaften Re
flexionseigenschaften, die zu einer langen Lebensdauer der Ha
logenlampe beitragen, sowie mit einer besonders leichten Hand
habbarkeit in einem modular aufgebauten Bestrahlungssystem hat
eine im Querschnitt im wesentlichen rechteckige Außenkontur und
eine im Querschnitt im wesentlichen W-förmige Reflektorfläche,
wobei insbesondere zwei oder drei Kühlfluid-Strömungskanäle im
Fußbereich zwischen dem "W" und der rechteckigen Außenkontur
eingearbeitet sind.
Bei einer für viele Anwendungen geeigneten Ausführung, in der
die Strahlungsquelle nicht in einer Reihung mit anderen einge
setzt wird, sind benachbart zu den Enden der Halogenlampe be
vorzugt Endreflektoren angeordnet. Diese stehen unter einem
rechten oder auch stumpfen Winkel von dem über die Längserstre
ckung der Halogenlampe verlaufenden, zu deren Längsachse paral
lelen Hauptreflektor in Art von Seitenwangen ab. Ihre Länge ist
zweckmäßigerweise so gewählt, daß sie bis über die Verlängerung
der Längsachse der Halogenlampe hinausreichen.
Auch die Endreflektoren weisen bevorzugt Kühleinrichtungen auf,
und zwar insbesondere mindestens einen Preßluftkanal, der sich
in den Endreflektor hinein erstreckt und dort mindestens eine
Austrittsöffnung - bevorzugt mehrere Austrittsöffnungen - hat.
Eine besonders vorteilhafte turbulente Umströmung der Lampenen
den mit Kühlluft oder -gas wird in einer weitergebildeten Aus
führung erreicht, bei der sowohl im Hauptreflektor als auch in
den Endreflektoren Austrittsöffnungen vorgesehen sind. Diese
sind unter derart vorbestimmten Winkeln zueinander ausgerich
tet, daß die sockelnähsten Bereiche des Glaskörpers am stärk
sten mit Kühlluft beaufschlagt werden und eine effiziente Ver
wirbelung in diesen Bereichen bewirkt wird.
Gemäß einer weiteren bevorzugten Ausführung der Erfindung sind
die Lampenenden - bezogen auf das, zu bearbeitende Material bzw.
Halbfabrikat - hinter den Glaskörper mit einer Glühwendel ver
legt, über die NIR-Strahlung abgegeben wird. Die Ausführung
schließt auch den Gedanken ein, diese Nach-Hinten-Verlegung der
Enden durch eine Umbiegung des Glaskörpers im sockelnahen Be
reich zu verwirklichen.
Eine weitere vorteilhafte Variante besteht darin, die Glühwen
del oder (bei Vorhandensein mehrerer Glühwendeln in dem Glas
körper) mindestens eine Glühwendel in dem erwähnten endnahen
Bereich verdickt auszuführen, damit dort relativ mehr Strah
lungsenergie im NIR-Bereich imitiert wird. Hierdurch wird dem
trotz des Nach-Hinten-Verlegens der Enden zu erwartenden Abfall
der Strahlungsflußdichte an den umgebogenen Enden des Glaskör
pers entgegengewirkt. Der Grad der Verdickung der Glühwendel
ist in Abhängigkeit von der konkreten Gestalt bzw. dem Radius
der Umbiegung des Glaskörpers zu bestimmen - was im konstrukti
ven Ermessen des Fachmanns liegt und wozu im übrigen Ver
gleichsversuche mit verschiedenen Mustern hinreichende Anhalts
punkte geben können.
In einer wegen ihrer Einfachheit bevorzugten Ausführung ist
mindestens ein Ende der Halogenlampe im Bezug auf deren Längs
erstreckung über einen Krümmungsradius im wesentlichen rechtec
kig umgebogen. Hierbei verlaufen also die Lampenanschlüsse
grundsätzlich im rechten Winkel zur Längserstreckung des Glas
körpers und der Glühwendel, womit sich auf einfache Weise eine
Reihung der Lampenanschlüsse von hintereinander angeordneten
Halogenlampen realisieren läßt.
In einer hierzu alternativen Ausführung weist mindestens ein
Ende der Halogenlampe einen Bereich C-förmiger Biegung auf,
derart, daß der äußerste Punkt des diesem Ende zugeordneten
Sockels gegenüber dem äußersten Punkt des Glaskörpers an diesem
Ende geringfügig nach Innen versetzt ist. Es ist auch die Aus
führung von Halogenlampen möglich, deren Glaskörper an einem
Ende diese letztgenannte Geometrie aufweist, während am anderen
Ende die oben erwähnte rechtwinklige Umbiegung realisiert ist.
Die letztgenannte Ausführung ermöglicht (wenn auch mit etwas
höherem Konstruktionsaufwand bezüglich der Halogenlampe) in
noch verbesserter Weise die "nahtlose" Aneinanderreihung von
Strahlungsquellen zur Realisierung eines sehr breiten Bestrah
lungsfeldes mit nahezu völlig konstanter Strahlungsflußdichte,
da hierbei für die Stromzuführung zu den Lampensockeln mehr
Platz zur Verfügung steht.
Eine bevorzugte Bestrahlungsanordnung unter Einsatz der erfin
dungsgemäßen Lösung umfaßt eine Mehrzahl von Strahlungsquellen
der vorgeschlagenen Art, von denen mindestens zwei auf einer
Linie hintereinander angeordnet sind. Hierbei ist die Strah
lungsflußdichte über die gesamte Längserstreckung der aneinan
dergereihten Strahlungsquellen zwischen den voneinander abge
wandten äußersten Punkten der ersten und letzten gereihten
Strahlungsquelle im wesentlichen konstant. Eine vorteilhafte
Realisierung eines Gesamt-Kühlsystems ergibt sich hierbei in
einer zweckmäßigen Ausführung, bei der die Kühlfluid-Strömungs
kanäle der aneinandergereihten Strahlungsquellen miteinander
ausgerichtet und zu durchgehenden Strömungskanälen verbunden
sind. Diese haben jeweils einen Anschluß zur Kühlfluid-Zufüh
rung an einer ersten der gereihten Strahlungsquellen.
Eine derartige Bestrahlungsanordnung ist insbesondere zur NIR-
Trocknung von Lacken oder Kunststoffbeschichtungen - speziell
Pulverlacken -, zur Herstellung von Kunststofflaminaten oder
zur thermischen Behandlung (speziell Trocknung und/oder Vernet
zung) von Dünnschichtstrukturen, speziell auf thermisch emp
findlichen Substraten im Bereich des Halbleiter- und Display
technologie, sowie bei weiteren Anwendungen einsetzbar, bei de
nen die Realisierung breiter Bestrahlungszonen mit nahezu ideal
konstanter Strahlungsflußdichte eine hohe Produktivität des
Verfahrens ergibt.
Vorteile und Zweckmäßigkeiten der Erfindung ergeben sich im üb
rigen aus den Unteransprüchen sowie der nachfolgenden Beschrei
bung bevorzugter Ausführungsbeispiele anhand der Figuren. Von
diesen zeigen:
Fig. 1 einen Ausschnitt aus einer Bestrahlungsanord
nung mit einer Strahlungsquelle gemäß einer
ersten Ausführungsform der Erfindung in Art
einer Längsschnittdarstellung,
Fig. 2 einen Ausschnitt aus einer Bestrahlungsanord
nung mit einer Strahlungsquelle gemäß einer
zweiten Ausführungsform der Erfindung in Art
einer Längsschnittdarstellung,
Fig. 3 einen Ausschnitt aus einer Bestrahlungsanord
nung mit einer Strahlungsquelle gemäß einer
dritten Ausführungsform der Erfindung in Art
einer Längsschnittdarstellung,
Fig. 4 eine Detaildarstellung zur Ausführung des
Lampenanschlusses bei der Bestrahlungsanord
nung nach Fig. 3,
Fig. 5 eine perspektivische Darstellung der in
Fig. 3 in einem Ausschnitt gezeigten Bestrah
lungsanordnung, von der Rückseite gesehen,
Fig. 6A und 6B eine Vorderansicht bzw. eine Querschnittsdar
stellung eines Endreflektors bzw. "Kopfteils"
der Bestrahlungsanordnung nach Fig. 5 und
Fig. 7 eine Prinzipskizze in Art einer Seitenansicht
zur Erläuterung einer Strahlungsquelle gemäß
einer vierten Ausführungsform der Erfindung.
Fig. 1 zeigt einen Ausschnitt aus einer NIR-Bestrahlungsanord
nung 10 für technologische Zwecke mit einer Mehrzahl von in
Längsrichtung und in Ausrichtung miteinander aneinandergereih
ten Halogen-Glühfadenlampen 11 mit jeweils einem zugeordneten,
langgestreckten Reflektor 12, der aus einem Al-Strangpreßprofil
gefertigt ist.
Der grundsätzliche Aufbau des Reflektors ist an sich aus der
EP 0 999 724 A2 der Anmelderin bekannt und wird daher hier
nicht weiter erläutert. Nachfolgend wird lediglich auf speziel
le Kühleinrichtungen Bezug genommen werden, die im Inneren oder
in der Nähe des Reflektors angeordnet sind.
Wie aus der Figur zu ersehen ist, hat die Halogen-Glühfadenlam
pe 11 einen röhrenförmigen, an den beiden Enden jeweils einen
Sockel 13 aufweisenden Glaskörper 14, in dessen Zentrum eine
langgestreckte Glühwendel 15 verläuft. Sie wird bei erhöhter
Spannung und daher mit erhöhter Betriebstemperatur oberhalb von
2500 K, insbesondere oberhalb von 2900 K, betrieben und liefert
daher Strahlung, deren wesentlicher Strahlungsanteil im Bereich
des nahen Infrarot, speziell im Wellenlängenbereich zwischen
0,8 µm und 1,5 µm, liegt. Der Glaskörper 14 ist nahe seiner En
den annähernd rechtwinklig umgebogen derart, daß ein in etwa im
rechten Winkel zu seinem Verlauf im mittleren Teil sich er
streckender Endabschnitt schließlich in den jeweiligen Sockel
13 mündet. Es ist auch zu erkennen, daß die Glühwendel 15 sich
zu dem Bereich des "Abwinklung" hin zunehmend verdickt bzw. ih
re Spiralstruktur dichter ausgeführt ist.
Durch die Umbiegung des Glaskörpers 14 zum Reflektor und dem
jeweiligen Sockel hin in Verbindung mit der verdickten bzw.
verdichteten Ausführung der Glühwendel 15 wird erreicht, daß
die Halogen-Glühfadenlampe 11 bis in ihre seitlichen Endberei
che hin eine im wesentlichen konstante Strahlungsflußdichte der
NIR-Strahlung liefert. Der vorgeschlagene Aufbau ermöglicht al
so eine Aneinanderreihung mehrerer Strahlungsquellen zur Bil
dung einer linear ausgedehnten Bestrahlungsanordnung ohne we
sentliche Einbrüche in der Strahlungsflußdichte an den Stoß
stellen.
Im Inneren des Reflektors 12 ist ein Kühlwasserkanal 16 zur
Kühlung des Reflektors mit Kühlwasser W vorgesehen. Nahe der
Reflektoroberfläche verläuft ein Preßluftröhrchen 17 mit Luft
düsen 18 nahe der in die Sockel mündenden Enden des Glaskörpers
14, durch die dieser Bereich des Glaskörpers mit kalter Preß
luft A beaufschlagt wird. Durch diese Kühlung der Lampenenden
wird - in Kombination mit dem Wärmeableitungsvermögen des mas
siven Metallreflektors - ein steiler T-Gradient verwirklicht.
Dieser sichert, daß trotz Glaskörpertemperaturen oberhalb von
600°C eine für die Lebensdauer der Strahlungsquelle wichtige
Sockel-Temperatur um oder unterhalb von 200°C erreichbar wird.
Fig. 2 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel einer Bestrah
lungsanordnung 20, bei der zu Fig. 1 funktionsgleiche Komponen
ten auch mit an Fig. 1 angelehnten Bezugsziffern bezeichnet
sind.
Es ist zu erkennen, daß der Reflektor 22 hier nur bis unterhalb
der Mittenachse des Glaskörpers 24 bzw. der Glühwendel 25
reicht und - anders als bei der Anordnung 10 nach Fig. 1 - ei
nen durch die aneinandergereihten Reflektoren 22 durchgehenden
Kühlwasserkanal 26 aufweist.
Hinsichtlich der Halogen-Glühfadenlampe 21 besteht ein wesent
licher Unterschied in der geometrisch modifizierten Ausbildung
der Umbiegung im Bereich der Lampenenden. Diese ist hier näm
lich im wesentlichen C-förmig ausgeführt, womit erreicht wird,
daß die Sockel 23 gegenüber den äußersten Punkten des Glaskör
pers 24 etwas nach innen versetzt sind. Dies ermöglicht zum ei
nen das noch dichtere Aneinanderstoßen der Halogenlampen 21 und
zum anderen das Vorsehen von relativ großflächigen Kühlflächen
(Flags) 29 an den Lampensockeln 23. Zudem sind im Bereich des
Durchführungen der Lampenenden durch den Reflektorkörper span
nungsausgleichende und wärmeleitende Buchsen 30 vorgesehen, die
für eine gute Wärmeübertragung an den Reflektorkörper sorgen.
Durch diese Maßnahmen zusammen wird - bei Verzicht auf Einrich
tungen zu einer aktiven Druckluftkühlung - ebenfalls ein rela
tiv steiler T-Gradient im Bereich der Lampenenden erreicht.
Fig. 3 zeigt einen Ausschnitt aus einer weiteren NIR-Bestrah
lungsanordnung 100, von der Fig. 5 eine Gesamtansicht in pers
pektivischer Darstellung und die Fig. 4 sowie 6A und 6B De
taildarstellungen der Lampenanschlüsse bzw. spezieller Endre
flektoren geben. Auch hierbei sind für funktionsgleiche Kompo
nenten an Fig. 1 und 2 angelehnte Bezugsziffern verwendet.
Die Bestrahlungsanordnung 100 unterscheidet sich von den vorbe
schriebenen Anordnungen zunächst durch den Einsatz konventio
neller, röhrenförmiger Halogen-Glühfadenlampen 101 mit einem
zylindrischen Glaskörper 104 mit einem Verschlußbereich
(Quetschbereich) 103 und linearem Glühfaden 105, die mit einem
am besten in Fig. 4 zu erkennenden Anschlußaufbau in einem iso
lierenden Trägerkörper 110 bzw. Steckkontakthalter 111 gehal
tert ist. Auch hier ist weiterhin ein Reflektor 102 von aus der
o. g. Druckschrift grundsätzlich bekannter Formgebung der re
flektierenden Oberfläche vorhanden, der aus einem Al-Strang
preßprofil gefertigt ist. Im Bereich des Lampenendes der Glüh
fadenlampe 101 ist ein abgewinkeltes Preßluftrohr 107 mit einer
auf die Lampenhalterung gerichteten Luftdüse 108 angeordnet.
Über das Preßluftröhrchen 107 und die Luftdüse 108 wird dem Be
reich der Lampenhalterung in ähnlicher Weise und mit ähnlichem
Effekt wie bei der oben beschriebenen Anordnung Kühlluft zuge
führt, die um die Halterung verwirbelt wird und diese daher
gleichmäßig und effizient kühlt.
Wie Fig. 4 zeigt, ist die als Emitter der NIR-Strahlung dienen
de Halogenlampe 101 am Ende über eine Anschlußlitze 112 und ei
nen annähernd zylindrischen Steckkontakt 113 angeschlossen. Der
Steckkontakt 113 hat im mittleren Bereich eine Quetsch- bzw.
Crimp-Stelle 113a, über die er mit der Litze 112 verbunden ist,
und einen im Durchmesser verringerten und in einen Kegelstumpf
auslaufenden Endbereich 113b, wobei zwischen diesem Endbereich
und seinem Hauptteil eine kreisringförmige Kontaktfläche 113c
gebildet ist.
In der perspektivischen Darstellung von Fig. 5 ist zu erkennen,
daß die NIR-Bestrahlungsanordnung 100 einen modularen Aufbau
hat, der neben einem als Reflektor für eine Mehrzahl von Halo
genlampen dienenden Reflektorbaustein 102 zwei Seitenwand-Bau
steine 114, zwei Kopfteile bzw. Endreflektor-Bausteine 115 und
vier Eckstücke 116 umfaßt. Weiter ist zu erkennen, in welcher
Weise der Reflektor-Baustein 102 die bereits in Fig. 3 gezeig
ten Isolatoren 110 und Steckkontakthalter 111 trägt, und wie
die Halogenlampen 101 in der Bestrahlungsanordnung positioniert
sind. Weiterhin ist skizziert, daß die Teile über geeignete
Montagebohrungen 117 in den Eckstücken 116 (die natürlich je
wells ein - nicht dargestelltes - Gegenstück in den Seitenwand-
Bausteinen 114 und Kopfteilen 115 haben) miteinander ver
schraubbar sind. Schließlich ist auch ein Teilstück eines alle
Komponenten durchziehenden Kühlwasserkanals 106 mit einem Kühl
wassereinlaß 106a in einem der Seitenteile 114 und einem Kühl
wasserkanal-Dichtungsbereich 106b an einem der Eckstücken 116
gezeigt.
Die Bestrahlungsanordnung 100 ist in der gezeigten Ausführung
für den Einsatz von sechs nebeneinander liegenden Halogen-Glüh
fadenlampen 101 mit der in Fig. 4 gezeigten Halterung und Kon
taktierung ausgebildet. Hierin kann das in Fig. 3 gezeigte
Preßluftröhrchen 107 in einer Ausführung eingesetzt werden, die
an jedem Lampenende mindestens eine Luftdüse 108 aufweist.
Alternativ hierzu sind die Endreflektor-Bausteine 115 auf die
in Fig. 6A und 68 gezeigte Weise mit einer integrierten Kühl
luftzuführung versehen. Diese umfaßt einen abgewinkelten Kühl
luft-Zuführungskanal 107a' und einen mit diesem verbundenen,
sich horizontal in Längsrichtung des Kopfteiles 115 erstrecken
den Kühlluft-Verteilungskanal 107b'. Diesem sind sechs Luftdü
sen 108 zugeordnet, die gegenüber der benachbarten Innenfläche
des Kopfteils 115 geneigt ausgerichtet sind. Weiterhin wird
auch das Kopfteil von einem Abschnitt des Kühlwasserkanals 106
durchsetzt. Das Kopfteil 115 ist im Beispiel ebenso wie die üb
rigen Module, insbesondere der Reflektor-Baustein 102, aus mas
sivem Aluminium gefertigt, welches gute Reflexions- und Wärme
leitungseigenschaften miteinander verbindet.
In Fig. 7 ist skizzenartig eine NIR-Bestrahlungsanordnung 200
gemäß einer weiteren Ausführungsform der Erfindung dargestellt,
bei der ein sogenanntes "internes Luftmesser" vorgesehen ist.
Hinsichtlich der Lampen- und Reflektorgeometrie entspricht die
se Ausführung weitgehend den in Fig. 1 bis 5 dargestellten und
oben beschriebenen Ausführungen, so daß hier an die vorstehend
beschriebenen Ausführungen angelehnte Bezugsziffern verwendet
und die entsprechenden Komponenten nicht nochmals beschrieben
werden.
Eine wesentliche Besonderheit der vorliegenden Ausführung be
steht im Vorhandensein einer Quarzglasscheibe 218 auf der dem
Reflektor 202 abgewandten Seite der Halogenlampe 201. Diese
Quarzglasscheibe schützt bei bestimmten Prozessen den Emitter
(die Halogenlampe) vor Einwirkungen von dem zu bearbeitenden
Material. Sie ist weitgehend durchlässig für die NIR-Strahlung
der Halogenlampe, absorbiert aber gleichwohl soviel Strahlung,
daß sie sich im Normalbetrieb mit hoher Leistung stark erwärmt.
Daher ist außerdem an einem Ende der Halogenlampen-Reflektor-
Baugruppe eine Zuführungseinrichtung 208 für kalte Druckluft A
zur Erzeugung des "internen Luftmessers" vorgesehen. Diese ist
so ausgebildet, daß aus einer flachen Austrittsöffnung um einen
gebogenen Oberflächenbereich herum ein laminarer Druckluftstrom
in den Zwischenraum zwischen die Halogenlampe 201 und die
Quarzglasscheibe 218 eingespeist wird. Dieser Druckluftstrom
tritt am gegenüberliegenden Ende der Strahlerbaugruppe zwischen
der Stirnseite des Reflektors 202 und dem dort angeordneten
Kopfteil 215 annähernd rechtwinklig zu seiner Strömungsrichtung
längs der Quarzglasplatte 218 wieder aus der Anordnung aus und
führt die Wärme von der Quarzglasscheibe ab.
Zur verbesserten Kühlung der Lampenenden sind hier mit der An
schlußlitze 212 Kühlflächen (Flags) 209 wärmeleitend fest ver
bunden, z. B. verschweißt. Diese sind derart schräg zur Längs
achse der Halogenlampe angebracht, daß sie in den Druckluft
strom A vorstehen und von diesem umspült und aktiv gekühlt wer
den. Der primär die Quarzglasscheibe 218 kühlende Druckluft
strom dient also hier zugleich als aktive Lampenendenkühlung.
Die Ausführung der Erfindung ist nicht auf die oben beschriebe
nen Beispiele und hervorgehobenen Aspekte beschränkt, sondern
im Rahmen der Ansprüche ebenso in einer Vielzahl von Abwandlun
gen möglich, die im Rahmen fachgemäßen Handelns liegen.
10
;
20
;
100
;
200
NIR-Bestrahlungsanordnung
11
;
21
;
101
;
201
Halogen-Glühfadenlampe
12
;
22
;
102
;
202
Reflektor (Reflektor-Baustein)
13
;
23
;
103
;
203
Anschluß
14
;
24
;
104
Glaskörper
15
;
25
;
105
Glühwendel
16
;
26
;
106
Kühlwasserkanal
17
;
107
Preßluftröhrchen
18
;
108
Luftdüse
29
;
209
Kühlfläche (Flag)
30
Buchse
103
Quetschbereich
106
a Kühlwassereinlaß
106
b Kühlwasserkanal-Dichtungsbereich
107
a' Kühlluft-Zuführungskanal
107
b' Kühlluft-Verteilungskanal
110
isolierender Trägerkörper
111
Steckkontakthalter
112
Anschlußlitze
113
Steckkontakt
113
a Quetsch- und Crimp-Stelle
113
b Endbereich
113
c Kontaktfläche
114
Seitenwand-Baustein
115
Kopfteil (Endreflektor-Baustein)
116
Endstück
117
Montagebohrung
208
Luftmesser-Erzeugungseinrichtung
218
Quarzglasscheibe
A Preßluft
W Kühlwasser
A Preßluft
W Kühlwasser
Claims (17)
1. Strahlungsquelle (11; 21; 101) für elektromagnetische
Strahlung, deren wesentlicher Wirkanteil im Bereich des
nahen Infrarot, insbesondere im Wellenlängenbereich zwi
schen 0,8 µm und 1,5 µm, liegt, zur Ausbildung einer
langgestreckten Bestrahlungszone, mit einer langge
streckten Halogenlampe (11; 21; 101), die einen röhren
förmigen, an den Enden mit Anschlüssen (13; 23; 112)
versehenen Glaskörper (14; 24; 104) mit mindestens einer
Glühwendel (15; 25; 105) hat, und einem langgestrecktem
Reflektor (12; 22; 102)
dadurch gekennzeichnet, daß
die Enden des Glaskörpers bzw. Kontakt-Halterungen (113)
der Halogenlampe in wärmeleitendem Kontakt mit dem Re
flektor angeordnet sind und/oder den Enden Kühlmittel
(17, 18; 29; 107, 108; 107a' bis 108), zur Wärmeabfüh
rung zugeordnet sind derart, daß ein steiler T-Gradient
zwischen dem mittleren Bereich des Glaskörpers und des
sen Enden, insbesondere ein T-Abfall von einer Glaskör
pertemperatur oberhalb von 600°C auf eine Enden-Tempera
tur unterhalb von 300°C, speziell unterhalb von 200°C,
erzeugt wird.
2. Strahlungsquelle nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß
die Kühlmittel Kühlfluid-Strömungskanäle (17, 18; 107,
108; 107a' bis 108) zur Zuleitung eines unter Druck ste
henden Kühlfluids zu den Enden bzw. endnahen Bereichen
der Halogenlampe (11; 21; 101) und/oder den diesen be
nachbarten Bereichen des Reflektors (12; 22; 102) umfas
sen.
3. Strahlungsquelle nach Anspruch 2,
gekennzeichnet durch
mindestens einen Preßluft-Strömungskanal (17; 107;
107a', 107b') im Reflektor (12; 102) mit auf die Enden
bzw. endnahen Bereiche der Halogenlampe (11; 101) ge
richteten Austrittsöffnungen (18; 108).
4. Strahlungsquelle nach Anspruch 3,
gekennzeichnet durch
eine Mehrzahl von Preßluft-Strömungskanälen (17; 107;
107a', 107b') im Reflektor (12; 102), die jeweils auf
die Enden bzw. endnahen Bereiche der Halogenlampe (11;
101) gerichtete Austrittsöffnungen (18; 108) aufweisen,
wobei die Austrittsöffnungen derart angeordnet und aus
gebildet sind, daß zugeführte Preßluft um die Enden bzw.
endnahen Bereiche des Glaskörpers verwirbelt wird.
5. Strahlungsquelle nach einem der vorangehenden Ansprüche,
gekennzeichnet durch
Wasserkanäle (16; 26; 106) im Reflektor (12; 22; 102),
die den Lampenenden benachbarte Bereiche desselben
durchqueren.
6. Strahlungsquelle nach einem der vorangehenden Ansprüche,
gekennzeichnet durch
Steckkontakt-Sockel (23), denen Wärmeleitmittel (30) zur
Wärmeabführung an den Reflektor (22) zugeordnet sind.
7. Strahlungsquelle nach einem der vorangehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß
die Kühlmittel Wärmeabstrahlungsflächen (29; 209) an den
Enden der Halogenlampe (21; 201) umfassen, die insbeson
dere mit deren Anschlüssen (23) wärmeleitend verbunden
sind.
8. Strahlungsquelle nach einem der vorangehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß
auf der dem Reflektor (202) abgewandten Seite der Halo
genlampe (201) eine für die ausgesandte Strahlung weit
gehend durchlässige Schutzscheibe (218) und
an einem Ende der Strahlungsquelle eine Kühlgas-Zufüh
rungseinrichtung (208), insbesondere Preßluft-Zufüh
rungseinrichtung, zur Zuführung eines zwischen der Halo
genlampe und der Schutzscheibe entlangstreichenden Kühl
fluids (A) zur Wärmeabführung von der Schutzscheibe und
aus dem Bereich zwischen Halogenlampe und Schutzscheibe
angeordnet sind.
9. Strahlungsquelle nach Anspruch 7 und 8,
dadurch gekennzeichnet, daß
die Anordnung der Wärmeabstrahlungsflächen (209) und die
Ausbildung der Kühlgas-Zuführungseinrichtung (208) der
art aufeinander abgestimmt sind, daß die Wärmeabstrah
lungsflächen durch den Kühlfluidstrom (A), insbesondere
Preßluftstrom, beaufschlagt werden.
10. Strahlungsquelle nach einem der vorangehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß
die Enden (13; 23; 103) der Halogenlampe (11; 21; 101)
im Bereich der Reflektorfläche (12; 22; 102) oder, bezo
gen auf die Position der Halogenlampe, hinter dieser an
geordnet und die Enden der Halogenlampe zum Reflektor
hin umgebogen sind.
11. Strahlungsquelle nach einem der vorangehenden Ansprüche,
gekennzeichnet durch
benachbart zu den Enden der Halogenlampe (101) angeord
nete Endreflektoren (115), die sich unter einem stumpfen
oder rechten Winkel von einem über den größten Teil der
Längserstreckung der Halogenlampe verlaufenden und zu
deren Längsachse parallelen Hauptreflektor (102) aus in
Richtung zur Längsachse hin erstrecken, insbesondere von
dieser durchstoßen werden.
12. Strahlungsquelle nach Anspruch 11 und einem der Ansprü
che 4 bis 10,
dadurch gekennzeichnet, daß
mindestens ein Preßluftkanal (107a', 107b') sich in je
den Endreflektor (115) erstreckt und dieser mindestens
eine Austrittsöffnung (108), bevorzugt mehrere Aus
trittsöffnungen, aufweist.
13. Strahlungsquelle nach Anspruch 13,
dadurch gekennzeichnet, daß
in den Endreflektoren (115) und im Hauptreflektor (102)
mindestens ein Preßluftkanal (107a') und mindestens je
eine Austrittsöffnung vorgesehen sind, wobei die Aus
trittsöffnung bzw. Austrittsöffnungen im Hauptreflektor
und den Endreflektoren verschiedene Anströmrichtungen
der Preßluft an den Sockel (103) bzw. Glaskörper (104)
der Halogenlampe (100) bestimmen.
14. Strahlungsquelle nach einem der vorangehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß
der Reflektor (12; 22; 102) als massives Strangpreßpro
fil aus einem Material mit hoher Wärmeleitfähigkeit,
insbesondere Aluminium oder einer Aluminiumlegierung,
ausgeführt ist.
15. Strahlungsquelle nach Anspruch 14 und einem der Ansprü
che 2 bis 13,
dadurch gekennzeichnet, daß
in das Strangpreßprofil Kühlfluid-Strömungskanäle (16;
26; 106) eingepreßt sind.
16. Strahlungsquelle nach Anspruch 14 oder 15,
dadurch gekennzeichnet, daß
der Querschnitt der Außenkontur des Strangpreßprofils im
wesentlichen rechteckig und der Querschnitt der Reflek
torfläche im wesentlichen W-förmig ist, wobei insbeson
dere zwei oder drei Kühlfluid-Strömungskanäle im Fußbe
reich des "W" eingepreßt sind.
17. Bestrahlungsanordnung (10, 20) mit einer Mehrzahl von
Strahlungsquellen (11; 21) nach einem der Ansprüche 1
bis 16, wobei mindestens zwei der Strahlungsquellen auf.
einer Linie hintereinander angeordnet sind,
dadurch gekennzeichnet, daß
Kühlfluid-Strömungskanäle (26) der aneinandergereihten
Strahlungsquellen (21) miteinander ausgerichtet und zu
durchgehenden Strömungskanälen verbunden sind, die je
weils einen Anschluß zur Kühlfluid-Zuführung an einer
ersten der gereihten Strahlungsquellen haben.
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