DE10051641A1 - Bestrahlungsanordnung - Google Patents

Abstract

Bestrahlungsanordnung (1), insbesondere für thermische Bearbeitungsprozesse, mit einer Mehrzahl von im wesentlichen nebeneinander parallel zueinander angeordneten Strahlungsquellen für elektromagnetische Strahlung, deren wesentlicher Wirkanteil im Bereich des nahen Infrarot, insbesondere im Wellenlängenbereich zwischen 0,8 mum und 1,5 mum, liegt, mit jeweils mindestens einer langgestreckten Halogenlampe (3), die einen röhrenförmigen, an den Enden mit Anschlüssen versehenen Glaskörper mit mindestens einer Glühwendel hat, und jeweils einem langgestreckten Reflektor (5), in dem mindestens ein Kühlfluid-Strömungskanal mit einem Einlaß und einem Auslaß am oder nahe den Enden des Reflektors vorgesehen ist, mit zwei langgestreckten, an oder nahe den Enden der Reflektoren im wesentlichen senkrecht zu deren Längserstreckung verlaufenden Kühlfluid-Verteilern (8), die an oder nahe einem Ende einen Kühlfluid-Anschluß (9) und über ihre Längserstreckung verteilt eine Mehrzahl von Kühlfluid-Ein- bzw. -Auslässen haben, die mit den Ein- bzw. Auslässen der Reflektoren verbunden sind.

Description

Die Erfindung betrifft eine Bestrahlungsanordnung nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1.

Aus früheren Patentanmeldungen der Anmelderin, so etwa der DE 197 36 462 A1, WO 99/42774 oder P 10024731.8 (unveröffent­ licht), sind Verfahren zur Behandlung von Oberflächen, Bearbei­ tung von Materialien und Herstellung von Verbundwerkstoffen un­ ter Einsatz von elektromagnetischer Strahlung bekannt, deren wesentlicher Wirkanteil im Bereich des nahen Infrarot, insbe­ sondere im Wellenlängenbereich zwischen 0,8 µm und 1,5 µm, liegt. Bei einer Reihe dieser Anwendungen ist die Realisierung einer relativ breiten Bestrahlungszone im Interesse einer hohen Produktivität des jeweiligen Verfahrens mit hoher Leistungs­ dichte wesentlich.

Es ist daher der Einsatz einer langgestreckten Halogenlampe, die einen röhrenförmigen, an den Enden gesockelten Glaskörper mit mindestens einer Glühwendel hat, mit einem langgestreckten Reflektor als Strahlungsquelle für thermische Bearbeitungspro­ zesse bekannt. Auch Parallelanordnungen mehrerer solcher Strah­ lungsquellen sind bekannt.

Bei bekannten Strahlungsquellen bzw. Bestrahlungsvorrichtungen mit langgestreckten, beidseitig gesockelten Lampen - beispielsweise für medizinische oder lichttechnische Anwendungen - haben die Lampen Anschlüsse bzw. Sockel, die koaxial zum Glaskörper an dessen Enden angeordnet sind; vgl. etwa die US 4,287,554 oder DE 33 17 812 A1. Diese Druckschriften beschreiben im übri­ gen Bestrahlungsanordnungen mit mehreren Strahlungsquellen, die parallel nebeneinander angeordnet sind.

Mit einer solchen Strahlungsquelle läßt sich eine breite und erforderlichenfalls außerdem langgestreckte Bestrahlungszone mit über ihre Breite annähernd konstanter Strahlungsflußdichte realisieren, die wiederum über die entsprechende Breite des Ar­ beitsbereiches einheitliche Prozeßbedingungen schafft.

Bei der praktischen Anwendung solcher Strahlungsquellen und Be­ strahlungsanordnungen zur Erzeugung von Strahlungszonen mit Energiedichten oberhalb (teilweise weit oberhalb) von 100 kW/m² haben sich aber Probleme hinsichtlich einer ausreichenden Le­ bensdauer der Lampen und der Formbeständigkeit der Reflektor­ anordnungen ergeben, die nach Erkenntnissen der Erfinder mit einer dauerhaften thermischen Überlastung in Zusammenhang ge­ bracht werden können und eine aktive Kühlung der Reflektoren erfordern.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, eine verbesser­ te Bestrahlungsanordnung der gattungsgemäßen Art anzugeben, die die Erzeugung einer großflächigen Bestrahlungszone mit sehr ho­ her Strahlungsflußdichte erlaubt, wobei eine ausreichend lange Lebensdauer bei reproduzierbaren Bestrahlungsparametern und ei­ ne rationelle Herstellung und Betriebsweise gewährleistet sein sollen.

Diese Aufgabe wird durch eine Bestrahlungsanordnung mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst.

Die Erfindung schließt den wesentlichen Gedanken ein, der eine Bestrahlungsanordnung bildenden Mehrzahl von Strahlungsquellen - speziell den mit Kühlfluid-Strömungskanälen versehenen Re­ flektoren - an den Enden jeweils einen Kühlfluid-Verteiler zu­ zuordnen. Jeder Kühlfluid-Verteiler hat einen Kühlfluidanschluß (insbesondere Wasseranschluß für eine Wasserkühlung der Reflek­ toren) und eine Mehrzahl von mit den Strömungskanälen in den Reflektoren verbundenen Ein- bzw. Auslässen. Die Ein- bzw. Aus­ lässe sind über die Längserstreckung des jeweiligen Kühlfluid- Verteilers in Abstimmung auf die Breite der Reflektoren und die Lage der Kühlfluid-Strömungskanäle in diesen angeordnet.

In einer für die flexible und rationelle Realisierung unter­ schiedlicher Bestrahlungsanordnungen besonders geeigneten Aus­ führung sind sowohl die Reflektoren als auch die Kühlfluid-Ver­ teiler als massive Profile, insbesondere Strangpreßprofile, aus einem relativ kostengünstigen Material mit hoher Wärmeleitfä­ higkeit ausgeführt. Hierfür wird bevorzugt eine Aluminiumlegie­ rung eingesetzt. In die Profile sind die erwähnten Kühlfluid- Strömungskanäle seitens des Profilherstellers bereits einge­ formt. Für unterschiedlich lange und/oder unterschiedlich brei­ te Bestrahlungsanordnungen werden diese Profile entsprechend der gewünschten Strahlungsfeldgeometrie (in Abstimmung auf die jeweils eingesetzten Halogenlampen) abgelängt.

Die Außenkontur der Reflektoren hat bevorzugt einen rechtecki­ gen - und zwar insbesondere flach rechteckigen - Querschnitt. Es versteht sich dabei, daß die eigentliche, der Halogenlampe bzw. den Halogenlampen zugewandte Reflektoroberfläche nicht plan sein muß, sondern (je nach konkret gewünschten Bestrah­ lungsparametern) im Querschnitt die Form eines Ellipsen- oder Parabelabschnittes oder auch eine Trapezform haben kann. Beson­ ders bevorzugt ist eine annähernde W-Form der Reflektor-Wirk­ fläche, wie sie beispielsweise in der DE 199 09 542 der Anmel­ derin beschrieben ist.

Die bevorzugte Ausführung der Reflektoren und Kühlfluid-Vertei­ ler als im wesentlichen rechteckige Profilteile ermöglicht die einfache Fixierung der Reflektoren an den Kühlfluid-Verteilern, insbesondere durch Verschrauben oder Verklammern, in einer Wei­ se, daß die Kühlfluid-Reflektoren gewissermaßen als Tragbalken für die Reflektoren dienen können. Eine solche Anordnung wird besonders bevorzugt dadurch realisiert, daß die Ein- und Aus­ lässe der Reflektoren an deren Rückseite angeordnet und die Kühlfluid-Verteiler plan auf die Rückseiten der Reflektoren aufgesetzt sind. Die Ein- und Auslässe beider Komponenten sind zur Realisierung einer derartigen Modulbauweise sinnvollerweise so angeordnet, daß sie dann miteinander ausgerichtet übereinan­ der liegen. Dies ermöglicht den Verzicht auf zusätzliche Ver­ bindungsstücken, wobei die Abdichtung der Fluidkanalöffnungen miteinander in einfacher und billiger Weise über O-Ringe erfol­ gen kann.

In einer bevorzugten Reflektorausführung hat jeder Reflektor (mindestens) zwei Strömungskanäle und dementsprechend die dop­ pelte Anzahl an Ein- und Auslaßöffnungen. Hierauf ist dann auch die Anordnung von Ein- bzw. Auslässen im Kühlfluid-Verteiler abgestimmt.

Für viele Anwendungen bevorzugt ist die Realisierung eines ge­ schlossenen Reflektorfeldes. Hierzu ist eine lückenlose Neben­ einander-Anreihung der Reflektoren erforderlich, die bei der Bestimmung der Abstände zwischen den Ein- bzw. Auslässen im Kühlfluid-Verteiler zu berücksichtigen ist.

Die Realisierung unterschiedlich langer Strahlungsfelder er­ folgt durch entsprechendes Ablängen der Kühlfluid-Verteiler, ebenso wie die Realisierung unterschiedlich breiter Strahlungs­ felder durch entsprechendes Ablängen der Reflektorelemente er­ folgt. Die Öffnungen der Kühlfluid-Strömungskanäle an den Stirnseiten der jeweiligen Elemente werden durch Stopfen ver­ schlossen.

Für eine Vielzahl praktischer Anwendungen bevorzugt ist weiter­ hin eine Ausführung der Bestrahlungsanordnung mit einer Gegen­ reflektorfläche und/oder Seitenreflektorflächen. Diese werden - im Prinzip analog zur Ausführung der den Halogenlampen direkt zugeordneten Reflektorfläche - bevorzugt aus einzelnen Reflek­ tormodulen aufgebaut, die zur Abführung der absorbierten Wärme ebenfalls mit Kühlfluid-Strömungskanälen versehen sind. Auch für diese Gegen- bzw. Seitenreflektoren ist eine Ausführung als Profilteil, insbesondere aus einem hochgradig wärmeleitfähigem Material, mit eingeformten Strömungskanälen sinnvoll. Hinsicht­ lich des Vorsehens und der Anordnung von Ein- und Auslässen, der bevorzugten Querschnittsgestaltung und der bevorzugten Kom­ bination mit entsprechenden Kühlfluid-Verteilern gelten weitge­ hend analog die obigen Ausführungen bezüglich der (Haupt-)Re­ flektoren. Allerdings werden die Gegen- bzw. Seitenreflektoren für viele Anwendungen einen streng rechteckigen Querschnitt, d. h. eine plane Reflektor-Wirkfläche, haben.

Vorteile und Zweckmäßigkeiten der Erfindung ergeben sich im üb­ rigen aus den Unteransprüchen sowie der nachfolgenden Beschrei­ bung bevorzugter Ausführungsbeispiele anhand der Figuren. Von diesen zeigen:

Fig. 1 eine schematische perspektivische Darstellung einer NIR-Bestrahlungsanordnung gemäß einer ersten Ausführungsform der Erfindung,

Fig. 2 eine schematische perspektivische Darstellung einer NIR-Bestrahlungsanordnung gemäß einer zweiten Ausführungsform der Erfindung,

Fig. 3 eine teilweise geschnittene Seitenansicht ei­ nes aus zwei Reflektoren bestehenden Haupt- Reflektorfeldes gemäß einer Ausführung der Erfindung und

Fig. 4A und 4B zwei teilweise geschnittene Seitenansichten (in Quer- und Längsrichtung) eines aus zwei Gegenreflektoren bestehenden Gegenreflektor­ feldes gemäß einer Ausführung der Erfindung.

Fig. 1 zeigt in einer schematischen perspektivischen Darstel­ lung die wesentlichen Elemente einer NIR-Bestrahlungsanordnung 1, die insbesondere zur thermischen Bearbeitung eines relativ voluminösen Bearbeitungsgegenstandes (Werkstücks) geeignet ist. Sie umfaßt eine Strahleranordnung 2 aus insgesamt neun langge­ streckt röhrenförmigen Halogen-Glühfadenlampen 3, die zur pri­ mären Emission von Infrarotstrahlung im Bereich zwischen 0,8 µm und 1,5 µm Wellenlänge betrieben werden, und ein diesen zuge­ ordnetes Haupt-Reflektorfeld 4, das aus drei gleichartigen Re­ flektoren 5 aufgebaut ist. Weiterhin umfaßt die NIR-Bestrah­ lungsanordnung 1 ein gegenüber dem Haupt-Reflektorfeld und pa­ rallel zu diesem angeordnetes Gegenreflektorfeld 6 aus drei gleichartigen Gegenreflektoren 7.

Auf den Rückseiten der Reflektoren 5 und Gegenreflektoren 7 sind jeweils zwei Kühlwasser-Verteilerbalken 8 mit quadrati­ schem Querschnitt angebracht, die jeweils einen Wasseranschluß 9 haben. Diese Kühlwasser-Verteilerbalken 8 sind auf eine in Fig. 3 bis 4B gezeigte und weiter unten genauer beschriebene Weise mit einem Kühlwasserkanal versehen und haben Kühlwasser- Ein- bzw. -Auslässe, die mit entsprechenden Ein- bzw. Auslässen von in den Reflektorelementen angeordneten Kühlwasserkanälen verbunden sind. Sie dienen als Verteiler für eine Wasserkühlung der einzelnen Reflektorelemente der Reflektorfelder 4 und 6.

Fig. 2 zeigt eine weitere NIR-Bestrahlungsanordnung 21, die ei­ nen schmaleren Bearbeitungsraum hat und daher insbesondere zur thermischen Bearbeitung eines flächigen oder doch zumindest re­ lativ flachen Bearbeitungsgegenstandes mittels NIR-Strahlung geeignet ist. Soweit diese Anordnung mit Fig. 1 weitgehend übereinstimmende Komponenten umfaßt, sind an Fig. 1 angelehnte Bezugsziffern benutzt und wird auf eine nochmalige genauere Be­ schreibung nachfolgend verzichtet.

Derartige Übereinstimmungen bestehen insbesondere hinsichtlich des Vorhandenseins einer NIR-Strahleranordnung 22 aus neun Ha­ logen-Glühfadenlampen 23 vor einem aus drei Reflektoren 25 auf­ gebauten Haupt-Reflektorfeld 24, dem ein aus drei Gegenreflek­ toren 27 aufgebautes Gegenreflektorfeld 26 parallel gegenüber­ liegt. Weiterhin sind auch hier dem Haupt- und Gegenreflektor­ feld 24, 26 jeweils zwei Kühlwasser-Verteilerbalken 28 zugeord­ net, d. h. auf die Rückseiten der entsprechenden Reflektorele­ mente aufgeschraubt. Allerdings befinden sich hier die Wasser­ anschlüsse 29 nicht an den Stirnseiten, sondern an den Rücksei­ ten der Kühlwasser-Verteilerbalken 28.

Die NIR-Bestrahlungsanordnung 21 gemäß Fig. 2 unterscheidet sich von der einfacheren Anordnung nach Fig. 1 durch das zu­ sätzliche Vorhandensein von je einem Seitenreflektor 30 an der Ober- und Unterseite der Anordnung, wodurch ein (bis auf schma­ le Be- und Entlüftungsschlitze 31a, 31b) geschlossener Strah­ lungsraum gebildet wird. Auch die Seitenreflektoren 30 sind an Kühlwasser-Verteilerbalken 38 angebracht, die - entsprechend der Geometrie der NIR-Bestrahlungsanordnung - deutlich kürzer als die dem Haupt- und Gegenreflektorfeld zugeordneten Vertei­ lerbalken sind und Wasseranschlüsse 29 an ihren Stirnseiten ha­ ben. Alle Kühlwasser-Verteilerbalken 29, 38, bilden - wie Fig. 2 deutlich zeigt - zwei rechteckige Rahmen, in denen sämt­ liche Reflektorelemente stabil gehalten sind.

Die Wirkflächen der Reflektoren 5 und 25 aus Fig. 1 und 2 haben eine annähernd W-förmige Querschnittsgestalt, während die Ober­ flächen der Gegenreflektoren 7 bzw. 27 und der Seitenreflekto­ ren 30 plan sind. Alle Reflektorelemente sind aus einer Alumi­ niumlegierung stranggepreßt und haben polierte Reflexionsflä­ chen.

In Fig. 3 bis 4B sind der innere Aufbau der Reflektorelemente und der Kühlwasser-Verteilerbalken sowie deren Verbindung mit­ einander gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung näher dargestellt. Die Bezugsziffern für die einzelnen Kompo­ nenten sind in Anlehnung an Fig. 1 und 2 gewählt.

Fig. 3 zeigt ein Haupt-Reflektorfeld 34 mit zwei Reflektoren 35 zur Aufnahme von jeweils sechs (also insgesamt zwölf) langge­ streckten Halogenlampen. Jeder der Reflektoren 35 hat sechs im Querschnitt annähernd W-förmige Reflexionsbereiche 35a und fünf langgestreckte, im Querschnitt kreisförmige Kühlwasserkanäle 35b, die jeweils hinter dem Grenzbereich zwischen zwei Re­ flexionsbereichen 35a angeordnet sind. Die Kühlwasserkanäle 35b sind mäanderförmig miteinander verbunden, und die beiden äuße­ ren Kanalabschnitte sind jeweils mit vergrößertem Durchmesser ausgeführt. Diese haben jeweils einen auf die Rückseite münden­ den Ein- bzw. Auslaß 35c.

Auf den Reflektoren 35, deren Rückseite plan ausgeführt ist, und die in ihrer Außenkontur insgesamt einen annähernd rechtec­ kigen Querschnitt haben, sind rückseitig zwei Kühlwasser-Ver­ teilerbalken (gemäß Fig. 1 oder 2) angeordnet, von denen in Fig. 3 einer zu erkennen ist. Der Kühlwasser-Verteilerbalken 38 hat einen geradlinig durchgehenden Verteiler-Kühlwasserkanal 38a und zwei Verteiler-Ein- bzw. Auslässe 38b, die so angeord­ net sind, daß sie im auf den Reflektoren 35 angebrachten Zu­ stand des Verteilerbalkens 38 mit den Ein-/Auslässen 35c der Reflektoren ausgerichtet sind. Da sie auch den gleichen Durchmesser wie diese haben, ist in einfacher Weise eine Abdichtung mittels O-Ringen 38c möglich.

Von den Enden des Verteiler-Kühlwasserkanals 38a wird im in­ stallierten Zustand des gesamten Reflektorfeldes jeweils einer einen Kühlwasser-Ein- bzw. -Auslaß für das Hauptreflektorfeld bilden, während der andere mit einem (in Fig. 1 und 2 gezeig­ ten, aber nicht mit einer eigenen Bezugsziffer versehenen) Stopfen verschlossen sein wird. In analoger Weise ist ein seit­ licher Verschluß der in die stranggepreßten Reflektorprofile durchgehend eingeformten Kühlwasserkanäle 35b ausgeführt.

Fig. 4A und 4B zeigen ein Gegenreflektorfeld 46 aus zwei Gegen­ reflektoren 47 mit einem aufgesetzten Kühlwasser-Verteilerbal­ ken 42. Analog zum Aufbau des Kühlwasser-Verteilerbalkens 38 aus Fig. 3 hat auch der Kühlwasser-Verteilerbalken 48 einen ge­ radlinig durchgehenden Verteiler-Kühlwasserkanal 48a, der in Fig. 4A in einem beidseitig durch Verschlußstopfen 48d ver­ schlossenen Zustand gezeigt ist.

Die Gegenreflektoren 47 haben jeweils eine hochglanzpolierte plane Reflexionsfläche 47a und zwei Kühlwasserkanäle 47b, die jeweils zwei Ein-/Auslässe 47c auf der Rückseite haben. Die Ab­ messungen der Gegenreflektoren 47 und die Anordnung der Kühl­ wasserkanäle 47b und der Ein-/Auslässe 47c in diesen sind der­ art auf die Ausführung der Kühlwasser-Verteilerbalken 48 - ins­ besondere die Anordnung der Ein-/Auslässe 48b in diesen - abge­ stimmt, das im montierten Zustand der Anordnung die Ein- bzw. Auslässe beider Komponenten miteinander fluchten und wiederum durch O-Ringe 48c gegeneinander abgedichtet werden können. Die durchgehenden Kühlwasserkanäle 47b sind (wie oben bereits im Hinblick auf die Reflektoren des Hauptreflektorfeldes erwähnt) durch Verschlußstopfen 49 verschlossen. Daher strömt über die Kühlwasser-Verteilerbalken 48 zugeführtes bzw. abgeleitetes Kühlwasser aus dem Verteiler-Kühlwasserkanal 48a des einen Verteilers über dessen Auslaß 48b und den angrenzenden Einlaß 47c in den Kühlwasserkanal 47b des Gegenreflektors. Aus diesem strömt es über dessen Auslaß und den benachbarten Einlaß im an­ deren Verteilerbalken in dessen Verteiler-Kühlwasserkanal und wird von dort (für mehrere Reflektorelemente gemeinsam) abge­ leitet.

Zur lückenlosen Aneinanderreihung der Gegenreflektoren zur Bil­ dung ausgedehnterer Gegenreflektorfelder sind an deren Seiten­ flächen Schwalbenschwanznuten 47d zum Einsetzen entsprechender (nicht dargestellter) Verbinderprofile vorgesehen. In Fig. 4B ist zu erkennen, daß die Verbindung zwischen den Gegenreflekto­ ren 47 und den Kühlwasser-Verteilerbalken 48 jeweils durch Schraubbolzen 50 hergestellt wird, die in entsprechend ausge­ bildete Montagebohrungen 48e der Verteilerbalken 48 bzw. 47e der Gegenreflektoren eingesetzt werden.

Die Ausführung der Erfindung ist nicht auf diese Beispiele so­ wie die oben hervorgehobenen Aspekte beschränkt, sondern im Rahmen der Ansprüche ebenso in einer Vielzahl von Abwandlungen möglich, die im Rahmen fachgemäßen Handelns liegen.

Bezugszeichenliste

1

;

21

NIR-Bestrahlungsanordnung

2

;

22

Strahleranordnung

3

;

23

Halogen-Glühfadenlampe

4

;

24

;

34

Haupt-Reflektorfeld

5

;

25

;

35

Reflektor

6

;

26

;

46

Gegenreflektorfeld

7

;

27

;

47

Gegenreflektor

8

;

28

;

38

;

48

Kühlwasser-Verteilerbalken

9

;

29

Wasseranschluß

30

Seitenreflektor

31

a Belüftungsschlitz

31

b Entlüftungsschlitz

35

a;

47

a Reflexionsbereich

35

b;

47

b Kühlwasserkanal

35

c;

47

c Ein-/Auslaß

38

a;

48

a Verteiler-Kühlwasserkanal

38

b;

48

b Verteiler-Ein- bzw. -Auslaß

38

c;

48

c O-Ring

47

d Schwalbenschwanznut

47

e,

48

e Montagebohrung

48

d;

49

Verschlußstopfen

50

Schraubbolzen

Claims (8)

1. Bestrahlungsanordnung (1; 21), insbesondere für thermi­ sche Bearbeitungsprozesse, mit einer Mehrzahl von im we­ sentlichen nebeneinander und parallel zueinander ange­ ordneten Strahlungsquellen für elektromagnetische Strah­ lung, deren wesentlicher Wirkanteil im Bereich des nahen Infrarot, insbesondere im Wellenlängenbereich zwischen 0,8 µm und 1,5 µm, liegt, mit jeweils mindestens einer langgestreckten Halogenlampe (3; 23), die einen röhren­ förmigen, an den Enden mit Anschlüssen versehenen Glas­ körper mit mindestens einer Glühwendel hat, und jeweils einem langgestreckten Reflektor (5; 25; 35), in dem min­ destens ein Kühlfluid-Strömungskanal (35b) mit einem Einlaß und einem Auslaß (35c) am oder nahe den Enden des Reflektors vorgesehen ist, gekennzeichnet durch mindestens zwei langgestreckte, insbesondere an oder na­ he den Enden der Reflektoren im wesentlichen senkrecht zu deren Längserstreckung verlaufende Kühlfluid-Vertei­ ler (8; 28; 38), die an oder nahe einem Ende einen Kühl­ fluid-Anschluß (9; 29) und über ihre Längserstreckung verteilt eine Mehrzahl von Kühlfluid-Ein- bzw. -Ausläs­ sen (38b) haben, die mit den Ein- bzw. Auslässen der Re­ flektoren verbunden sind.

2. Bestrahlungsanordnung nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch
eine Mehrzahl von bezüglich der Halogenlampen (3; 23) und eines Bearbeitungsgegenstandes den Reflektoren (5; 25; 35) gegenüberliegenden bzw. seitlich von diesen an­ geordneten Gegen- und/oder Seitenreflektoren (7; 27; 30; 47), die mindestens je einen Kühlfluid-Strömungskanal (47b) mit einem Einlaß und einem Auslaß (47c) an oder nahe den Enden aufweisen,
wobei den Gegen- bzw. Seitenreflektoren ebenfalls Kühl­ fluid-Verteiler (8; 28; 48) zugeordnet sind, deren Ein- bzw. Auslässe (48b) mit den Ein- bzw. Auslässen der Ge­ gen- bzw. Seitenreflektoren verbunden sind.

3. Bestrahlungsanordnung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Reflektoren (5; 25; 35) und/oder Gegen- bzw. Seiten­ reflektoren (7; 27; 30; 47) und die Kühlfluid-Verteiler (8; 28; 38; 48) als massive Profile, insbesondere Strangpreßprofile aus einem Material mit hoher Wärme­ leitfähigkeit, insbesondere Aluminium oder einer Alumi­ niumlegierung, ausgeführt sind, in die Kühlfluid-Strö­ mungskanäle (35b, 38a; 47b, 48a) eingeformt sind.

4. Bestrahlungsanordnung nach einem der vorangehenden An­ sprüche, insbesondere Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Querschnitt der Außenkontur der Reflektoren (5; 25; 35) und/oder Gegen- bzw. Seitenreflektoren (7; 27; 30; 47) im wesentlichen flach rechteckig und der Querschnitt der Kühlfluid-Verteiler (8; 28; 38; 48) rechteckig, ins­ besondere quadratisch, ist.

5. Bestrahlungsanordnung nach einem der vorangehenden An­ sprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Reflektoren (5; 25; 35) und/oder Gegen- bzw. Seiten­ reflektoren (7; 27; 30; 47) an den Kühlfluid-Verteilern (8; 28; 38; 48) fixiert, insbesondere mit diesen ver­ schraubt oder verklammert, sind, derart, daß die Kühl­ fluid-Verteiler Tragbalken für die Reflektoren und/oder Gegen- bzw. Seitenreflektoren bilden.

6. Bestrahlungsanordnung nach einem der vorangehenden An­ sprüche, insbesondere nach Anspruch 4 und 5, dadurch gekennzeichnet, daß
die Ein- und Auslässe der Reflektoren (5; 25; 35) und/ oder Gegen- bzw. Seitenreflektoren (7; 27; 30; 47) an deren Rückseiten angeordnet sind,
die Kühlfluid-Verteiler (8; 28; 38; 48) plan auf die Rückseiten der Reflektoren und/oder Gegen- bzw. Seiten­ reflektoren aufgesetzt und ihre Ein- bzw. Auslässe (38b; 48b) derart angeordnet sind, daß sie über den Ein- bzw. Auslässen (35c; 47c) der Reflektoren und/oder Gegen- bzw. Seitenreflektoren liegen und
die Ein- bzw. Auslässe der Kühlfluid-Verteiler und der Reflektoren und/oder Gegen- bzw. Seitenreflektoren mit­ einander über O-Ringe (38c; 48c) abgedichtet sind.

7. Bestrahlungsanordnung nach einem der vorangehenden An­ sprüche, dadurch gekennzeichnet, daß jeder Reflektor (5; 25; 35) und/oder Gegen- bzw. Seiten­ reflektor (7, 27; 30; 47) zwei oder mehr Kühlfluid-Strö­ mungskanäle und jeder Kühlfluid-Verteiler (8; 28; 38; 48) eine entsprechende Anzahl von Ein-/Auslässen auf ei­ nem der Reflektorbreite entsprechenden Längenabschnitt hat.

8. Bestrahlungsanordnung nach einem der vorangehenden An­ sprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Reflektoren (5; 25; 35) und/oder Gegen- bzw. Seiten­ reflektoren (7; 27; 30; 47) an den Kühlfluid-Verteilern (8, 28; 38; 48) unter Ausbildung eines geschlossenen Haupt-Reflektorfeldes (4; 24; 34) und/oder Gegen- bzw. Seitenreflektorfeldes (6; 26; 46) lückenlos nebeneinan­ der gereiht sind.