DE10048873B4 - Method and device for producing a multilayer structure for a printed circuit board - Google Patents

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Abstract

Verfahren zur Herstellung einer Mehrschichtstruktur für eine Leiterplatine, bei dem eine Isolationsbeschichtung aus flüssigem, aushärtbarem Isolationsmaterial auf zumindest eine Seite einer Basisplatte (5) aufgewalzt wird, eine Folie (7) aus stromleitfähigem Material auf das noch nicht ausgehärtete, insbesondere flüssige, Isolationsmaterial unter Ausbildung einer Leitermaterialbeschichtung auf die jeweilige Isolationsbeschichtung aufgewalzt wird, das Isolationsmaterial der jeweiligen Isolationsbeschichtung unter daran Festlegen der Leitermaterialbeschichtung ausgehärtet wird, in der jeweiligen Leitermaterialbeschichtung eine Leiterstruktur ausgebildet wird, und die vorangehenden Schritte bis zum Erreichen einer gewünschten Anzahl von Schichten wiederholt werden, wobei die Basisplatte (5) zum Beschichten mit dem Isolationsmaterial an einer jeweiligen Beschichtungswalze (21) und zum Beschichten mit der Folie (7) an einer jeweiligen Folienauftragswalze (6) in vertikal hängender Position vorbeitransportiert wird.method for producing a multilayer structure for a printed circuit board, in which an insulating coating of liquid, hardenable Insulation material on at least one side of a base plate (5) is rolled, a film (7) of conductive material on the still not cured, in particular liquid, insulation material forming a conductor material coating on the respective Insulation coating is rolled, the insulation material of the respective insulation coating, thereby fixing the conductor material coating hardened is, in the respective conductor material coating a conductor structure is formed, and the previous steps to reach a desired one Number of layers are repeated, the base plate (5) for coating with the insulating material on a respective coating roller (21) and for coating with the film (7) on a respective film applicator roll (6) in vertically hanging Position is transported past.

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Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer Mehrschicht-Struktur für eine Leiterplatine sowie eine Vorrichtung zum Herstellen einer Mehrschicht-Struktur für eine Leiterplatine.The The invention relates to a method for producing a multi-layer structure for one Printed circuit board and an apparatus for producing a multi-layer structure for one Printed circuit board.

Bei der Herstellung von Mehrschicht-Strukturen für Leiterplatinen werden beispielsweise unter Verwendung eines Druckverfahrens auf eine Isolierstoffplatte elektrische Schaltungen ausgebildet. Zur Herstellung der einzelnen Schichten der Leiterplatine wird zumeist eine Kupferkaschierte, dünne Isolierstoffplatte aus beispielsweise Hartpapier auf Epoxitharz-Basis verwendet. Diese wird entsprechend den gewünschten Leitungszügen mit säurefestem Lack (Photoresist) bedruckt. Die nicht bedruckten Teile der Kupferschicht werden mit Säure geätzt.at For example, in the manufacture of multilayer printed circuit board structures using a printing process on an insulating sheet formed electrical circuits. For the production of the individual Layers of the printed circuit board is usually a Kupferkaschierte, thin insulating plate made of, for example, epoxy resin-based kraft paper. These will be according to the desired line trains with acid-fast Lacquer (photoresist) printed. The non-printed parts of the copper layer be with acid etched.

Es ist auch möglich, eine Isolierstoffplatte entsprechend den Leiterzügen mit einem leitfähigen Lack zu bedrucken und anschließend die Leiterzüge aus dem leitfähigen Lack galvanisch zu verstärken. Bei der Herstellung von Mehrschicht-Strukturen für eine Leiterplatine werden zur Zeit meist einzelne Innenlagen gefertigt, welche aus einem doppelseitig kupferkaschiertem Basismaterial bestehen. Die den gewünschten gedruckten Schaltungen entsprechenden Leiterbahnstrukturen werden aus dem Kupfermaterial mittels photochemischer Verfahren herausgeätzt.It is possible, too, an insulating plate corresponding to the conductor tracks with a conductive paint to print and then the ladder trains the conductive one Galvanically reinforce the lacquer. at the production of multi-layer structures for a printed circuit board currently mostly single inner layers made, which consists of a double-sided copper-clad Base material exist. The desired printed circuits corresponding interconnect structures are made of the copper material etched out by photochemical methods.

Anschließend müssen mehrere Innenlagen mit einer Zwischenlage aus beispielsweise Kunstharz mit entsprechenden Isoliereigenschaften zu einer Mehrschicht-Struktur verpreßt werden.Subsequently, several must Inner layers with an intermediate layer of, for example, synthetic resin with corresponding insulating properties to a multi-layer structure pressed become.

Beim Verpressen der einzelnen Innenlagen besteht jedoch die Gefahr, daß die einzelnen Lagen verrutschen. Daher ist bei dem vorgenannten Verfahren eine aufwendige Zentrierung der einzelnen Innenlagen erforderlich. Außerdem können während des Verpressens Lufteinschlüsse auftreten, welche zu Instabilitäten der Mehrschicht-Struktur der Leiterplatine führen können.At the However, pressing the individual inner layers there is a risk that the individual Shift layers. Therefore, in the aforementioned method, a complex centering of the individual inner layers required. In addition, during the Pressing air inclusions which leads to instabilities can lead the multi-layer structure of the printed circuit board.

Bei der Ausbildung der einzelnen Innenlagen ist es auch möglich, einen speziellen photoempfindlichen Lack gleichzeitig als Isolierschicht zu verwenden, und darauf durch chemisches Metallisieren die nächste Metallschicht aufzubringen, auf der wiederum der spezielle Photolack aufgebracht wird. Jedoch haben derartige photoempfindliche Lacke bislang schlechtere Isoliereigenschaften als ausschließlich für die Isolierung vorgesehenes Isoliermaterial. Um mit dem Isolier-Photolack die gleiche Isolierwirkung wie mit speziellem Isoliermaterial zu erreichen, müssen daher dickere Lackschichten aufgetragen werden, was zu unerwünscht größeren Schichtstrukturen führt. Außerdem besteht zwischen diesen speziellen Photolacken und der darauf aufgetragenen Metallschicht auch eine schlechte Haftung, so daß die Gefahr besteht, daß sich Leiterstrukturen von dem Isolier-Photolack ablösen, was zu Fehlern und zur Unbrauchbarkeit des Produkts führt. Diese insgesamt nachteiligen Eigenschaften des Isolier-Photolacks resultieren daraus, daß diese einen Kompromiß zwischen ausreichend guten Photo-, Isolier- und Hafteigenschaften darstellen.at The formation of the individual inner layers, it is also possible, a special photosensitive paint simultaneously as an insulating layer and then chemically metallize the next metal layer applied on the turn applied to the special photoresist becomes. However, such photosensitive paints have so far been inferior Insulating properties as intended solely for the insulation Insulating material. To with the insulating photoresist the same insulating effect as To achieve with special insulating material, therefore thicker paint layers to be applied, which is undesirable larger layer structures leads. Furthermore exists between these special photoresists and the ones applied to them Metal layer also poor adhesion, so that there is a risk that conductor structures from the insulating photoresist replace, which leads to errors and uselessness of the product. These Overall disadvantageous properties of the insulating photoresist result from this a compromise between represent sufficiently good photo, insulating and adhesive properties.

Die US 6,103,135 offenbart ein Verfahren zum Herstellen eines Mehrschicht-Laminats aus einer Mehrzahl von individuellen Laminaten, bei dem auf einen Basisfilm beidseitig ein Film aus Maskenmaterial aufgewalzt wird.The US 6,103,135 discloses a method for producing a multilayer laminate of a plurality of individual laminates, wherein a film of masking material is rolled on both sides of a base film.

Die US 4,087,300 offenbart ein Verfahren zum Herstellen eines Laminats mit einer Metallfolie und einem Harzsubstrat, die Metallfolie vorab mit einer Klebeschicht beschichtet wird und dann mit dem Substrat durch einen Walzenspalt geführt wird, um dadurch die Folien zusammenzulaminieren.The US 4,087,300 discloses a method for producing a laminate with a metal foil and a resin substrate, the metal foil is pre-coated with an adhesive layer and then passed with the substrate through a nip to thereby laminate the foils together.

Die US 5,638,597 offenbart ein Verfahren zum Herstellen einer flexiblen Leiterplatte, wobei ein Polyimidkernfilm bereitgestellt wird, auf den beidseitig zunächst je ein erster Klebefilm aufgebracht wird, auf welchen seinerseits dann eine Kupferschicht aufgebracht wird. Auf die jeweilige Kupferschicht wird wiederum ein Klebefilm aufgebracht, auf welchen wiederum eine Kupferschicht aufgebracht wird; auf letztere Kupferschicht wird ein Polyimidfilm aufgebracht, und dann werden die Schichten zusammenlaminiert.The US 5,638,597 discloses a method for producing a flexible printed circuit board, wherein a polyimide core film is provided, to which a first adhesive film is first applied on both sides, on which in turn a copper layer is then applied. In turn, an adhesive film is applied to the respective copper layer, on which in turn a copper layer is applied; On the latter copper layer, a polyimide film is applied, and then the layers are laminated together.

Die GB 1,076,294 offenbart eine Vorrichtung zum kontinuierlichen und automatischen verarbeiten von Bandmaterial, wie z.B. flexibles Blechmaterial, wobei das Bandmaterial vertikal durch die Prozessstationen, wie Reinigungs-, Beschichtungs-, Ätzstation etc., transportiert wird.The GB 1,076,294 discloses an apparatus for continuously and automatically processing strip material, such as flexible sheet material, wherein the strip material is transported vertically through the process stations, such as a cleaning, coating, etching station, etc.

Die DE 31 49 588 C2 offenbart ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Auftragen einer Beschichtung auf dünne, steife Platten mittels Auftragswalzen, deren Oberflächen mit elastisch deformierbaren Vertiefungen versehen sind, und zum Trocknen der aufgetragenen Beschichtungsmasse, wobei die Platten in lotrechter Stellung behandelt werden und eine Auftragsstation und eine anschließende Trocknungszone kontinuierlich durchlaufen.The DE 31 49 588 C2 discloses a method and apparatus for applying a coating to thin, rigid plates by means of applicator rollers having their surfaces provided with elastically deformable recesses and drying the applied coating composition, the plates being treated in a vertical position, and a coating station and a subsequent drying zone continuously run through.

Die DE 32 01 880 A1 offenbart ein Verfahren zum rückstandsfreien Entschichten von Leiterplatten.The DE 32 01 880 A1 discloses a method for residue-free stripping of printed circuit boards.

Die US 3,658,629 offenbart eine Laminiervorrichtung zum simultanen Aufbringen von Bahnmaterial auf gegenüberliegenden Seite eines Panels. Die Laminiervorrichtung weist ein Paar von im Abstand angeordneter Laminierwalzen und ein Zuführmittel zum Zuführen eines Panels zwischen die Walzen auf, wobei Vakuummittel vorgesehen sind zum Halten des Materials an der Oberfläche der Walzen.The US 3,658,629 discloses a laminating apparatus for simultaneously applying web material to the opposite side of a panel. The laminator has a pair of spaced laminating rollers and a feeder means for feeding a panel between the rollers, wherein vacuum means are provided for holding the material on the surface of the rollers.

Es ist eine Aufgabe der Erfindung, ein Verfahren zu schaffen, mit dem auf einfache Weise sehr dünne Mehrschichtstrukturen für Leiterplatinen mit hoher Genauigkeit und geringer Fehleranfälligkeit herstellbar sind. Es ist eine andere Aufgabe der Erfindung, eine Vorrichtung zum Herstellen einer Mehrschichtstruktur für eine Leiterplatine geschaffen, mit der auf schnelle und damit kostengünstige Weise eine Mehrschichtstruktur für eine Leiterplatine herstellbar ist.It An object of the invention is to provide a method with which in a simple way very thin Multilayer structures for Printed circuit boards with high accuracy and low error rate to produce are. It is another object of the invention to provide a device for producing a multilayer structure for a printed circuit board, with the on fast and thus cost-effective way a multi-layer structure for one PCB can be produced.

Die Erfindung stellt ein Verfahren mit den Merkmalen des Anspruchs 1 sowie eine Vorrichtung mit den Merkmalen des Anspruchs 8 bereit. Weitere Ausführungsformen der Erfindung sind in den jeweiligen abhängigen Ansprüchen beschrieben.The The invention provides a method having the features of claim 1 and an apparatus having the features of claim 8 ready. Further embodiments The invention are described in the respective dependent claims.

Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren zur Herstellung einer Mehrschicht-Struktur für eine Leiterplatine wird eine Basisplatte zumindest auf einer Seite mittels einer jeweiligen Beschichtungswalze mit einer Isolationsbeschichtung aus flüssigem, aushärtbarem Isolationsmaterial versehen. Anschließend wird mittels einer jeweiligen Folienauftragswalze eine Folie aus stromleitfähigem Material auf das noch flüssige Isolationsmaterial unter Ausbildung einer Leitermaterialbeschichtung auf der jeweiligen Isolationsbeschichtung aufgebracht. Das Isolationsmaterial der jeweiligen Isolationsbeschichtung wird dann unter daran Festlegen der Leitermaterialbeschichtung ausgehärtet. Daraufhin wird in der jeweiligen Leitermaterialbeschichtung eine Leiterstruktur ausgebildet. Sowohl während des Auftragens des Isolationsmaterials als auch während des Auftragens der Folie, wird die Basisplatte vertikal hängend transportiert. Insbesondere wird die Basisplatte entlang einer kontinuierlichen Transportbahn an der jeweiligen Beschichtungswalze und der jeweiligen Folienauftragswalze vorbeitransportiert.at the method according to the invention for producing a multilayer structure for a printed circuit board is a Base plate at least on one side by means of a respective coating roller with an insulating coating of liquid, hardenable Provided insulation material. Subsequently, by means of a respective Film applicator roller a foil of conductive material on the still liquid Insulating material to form a conductor material coating applied to the respective insulation coating. The insulation material the respective insulation coating is then set under it the conductor material coating cured. Thereupon in the respective conductor material coating formed a conductor pattern. Both during the application of the insulating material as well as during the Applying the film, the base plate is transported vertically hanging. In particular, the base plate is along a continuous Transport path to the respective coating roller and the respective Foil applicator roller transported past.

Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren wird eine gute Haftfestigkeit der Leitermaterialschicht auf der Isolationsschicht dadurch erzielt, daß erstere mit in die Isolationsschicht mit eingehärtet wird. Indem die Isolationsschicht vor allem zur Isolierung vorgesehen ist, können Materialien mit besten Isoliereigenschaften ausgewählt werden. Das Auftragen des flüssigen Isolationsmaterials sowie das Auftragen der Folie erfolgt jeweils in einfacher Weise mittels Walzen, wodurch zudem die Folie sicher und fest auf die Isolierbeschichtung aufpreßbar ist. Aufgrund der vertikalen Transportlage der Basisplatte, kann letztere ununterbrochen an einer Fördervorrichtung aufgehängt transportiert werden. Hierdurch entfällt ein aufwendiges Zuführen und Abnehmen zu bzw. von unterschiedlichen Transportvorrichtungen, wodurch die Herstellung der Struktur sehr kostengünstig verwirklichbar ist.at the method according to the invention is a good adhesion of the conductor material layer on the Isolation achieved in that the former with in the insulation layer hardened with becomes. By providing the insulation layer mainly for insulation is, can Materials with best insulating properties are selected. Applying the liquid Insulation material and the application of the film takes place in each case in a simple way by means of rollers, which also ensures the film safely and firmly on the insulating coating can be pressed. Due to the vertical Transport position of the base plate, the latter can be continuous at one conveyor suspended be transported. This eliminates a complicated feeding and Removal to or from different transport devices, thereby the production of the structure is very inexpensive feasible.

Die Basisplatte muß ausreichend stabil sein, damit sie sich während der Beschichtungsvorgänge nicht verbiegt oder damit sie nicht bricht. Bevorzugt ist hierzu eine glasfaserverstärkte Kunststoffplatte mit z.B. Epoxydharz als Kunststoffmaterial vorgesehen. Die Basisplatte ist ferner vorteilhafterweise eine bereits mit Leitermaterial kaschierte Platte. Diese erste Leitermaterialschicht kann zum Beispiel durch chemisches Metallisieren auf der Basisplatte aufgebracht sein, wobei anschließend darauf gemäß dem oben zuletzt beschriebenen Verfahrensschritt eine Leiterstruktur ausgebildet wird. Daran anschließend werden dann gemäß dem erfindungsgemäßen Verfahren weitere Schichten (Layer) auf der kupferkaschierten Basisplatte ausgebildet. Um unterschiedlich dicke Leiterschichten zu erzielen, kann auf die aufgetragene Folie beispielsweise in einem Zwischenschritt mittels eines chemischen Verfahrens weiteres Leitermaterial je nach gewünschter Schichtdicke aufgetragen werden.The Base plate must be sufficient be stable so that they are during the coating operations are not bends or does not break. Preferred is this one glass fiber reinforced Plastic plate with e.g. Epoxy resin provided as a plastic material. The base plate is also advantageously already one with conductor material laminated plate. This first conductor material layer can be, for example be applied by chemical metallization on the base plate, subsequently on it according to the above Last described method step formed a conductor pattern becomes. Then be then according to the method of the invention additional layers on the copper-clad base plate educated. To achieve different thicknesses of conductor layers, can be applied to the applied film, for example, in an intermediate step by means of a chemical process further conductor material depending on desired Layer thickness are applied.

Eine gewünschte Anzahl von Schichten aus Leiterschicht und Isolierschicht wird durch entsprechendes Wiederholen der oben beschriebenen Verfahrensschritte erzielt.A desired Number of layers of conductor layer and insulating layer is through corresponding repetition of the method steps described above achieved.

Als Isolationsmaterial wird bevorzugt Kunstharz, wie Epoxydharz, verwendet, womit gute Isoliereigenschaften erzielt werden, so daß die Isolierschichten dünn ausgebildet werden können.When Insulation material is preferably used synthetic resin, such as epoxy resin, with which good insulating properties are achieved, so that the insulating layers thinly formed can be.

Bevorzugt werden nach dem Ausbilden der jeweiligen oder der äußersten Leiterstruktur Verbindungslöcher zwischen dieser Leiterstruktur und wenigstens einer darunter liegenden Leiterstruktur in der Mehrschicht-Struktur ausgebildet, wobei die Verbindungslöcher unter Verbinden der jeweiligen Leiterstrukturen metallisiert werden.Prefers be after the formation of the respective or the outermost Ladder structure connection holes between this ladder structure and at least one underlying Conductor structure formed in the multi-layer structure, wherein the connecting holes metallized under connection of the respective conductor structures.

Zuletzt wird vorteilhafterweise noch auf der äußersten Leiterschicht eine Isolierschicht aufgebracht, um die gesamte Mehrschicht-Struktur nach außen hin abzuschirmen.Last is advantageously still on the outermost conductor layer one Insulating layer applied to the entire multi-layer structure outward shield out.

Die Leiterplatine wird bevorzugt nach dem Auftragen der Folie zum Aushärten des flüssigen Isolationsmaterials beheizt. Mit entsprechendem wärmeaushärtbarem Isolationsmaterial wird damit ein schnelleres Aushärten des Isolationsmaterials erreicht, so daß die Basisplatte schneller dem nachfolgenden Verfahrensschritt unterzogen werden kann, was insgesamt zu niedrigeren Produktionskosten führt.The Printed circuit board is preferably after the application of the film to cure the liquid Insulating material heated. With appropriate thermosetting Insulation material is thus a faster curing of the Insulation material achieved, so that the base plate faster the subsequent process step can be subjected to what overall leads to lower production costs.

Als Leitermaterialfolie wird bevorzugt eine Metallfolie, insbesondere eine Kupferfolie verwendet. Metall ist aufgrund seiner allseitig gleichmäßigen mechanischen Eigenschaften unempfindlich gegen unbeabsichtigte Belastungen, die z.B. durch von Montagetoleranzen verursachten Fehlstellungen der Beschichtungsapparate herrühren können. Damit ist Metall als Folienmaterial einfach zu handhaben. Zudem ist Metall, insbesondere das vorteilhafte Kupfer, ein guter Stromleiter.The conductor material film used is preferably a metal foil, in particular a copper foil. Metal is due to its all-round uniform me chanical properties are insensitive to unintentional loads, which can result, for example, from malpositions of the coating apparatus caused by assembly tolerances. This metal is easy to handle as a film material. In addition, metal, in particular the advantageous copper, a good conductor.

Die in der erfindungsgemäßen Vorrichtung eingesetzte Folien-Auftragsvorrichtung für die Herstellung einer Mehrschicht-Struktur einer Leiterplatte weist eine Folienauftragswalze zum Auftragen einer Folie auf eine Platte auf, welche Folienauftragswalze als Hohlwalze ausgebildet ist, die eine perforierte Umfangswand aufweist und die im Bereich zwischen einer ersten Umfangsstelle, welche der zum Auftragen der Folie vorgesehenen Kontaktstelle der Folienauftragswalze mit der Platte entspricht oder welche zu dieser Kontaktstelle benachbart ist, bis zu einer zweiten Umfangsstelle, welche sich ausgehend von der ersten Umfangsstelle entgegengesetzt der Drehrichtung der Folienauftragswalze befindet, evakuierbar ist.The used in the device according to the invention Film applicator for the Production of a multilayer structure of a circuit board has a film applicator roll for applying a film to a plate on which film applicator roll is formed as a hollow roller, the having a perforated peripheral wall and in the area between a first circumferential location, which provided for applying the film Contact point of the film applicator roll with the plate corresponds or which is adjacent to this contact point, up to a second one Peripheral point, which is starting from the first circumferential point opposite to the direction of rotation of the film applicator roll, is evacuable.

Die Hohlwalze weist hierbei zumindest zwischen der ersten Umfangsstelle und der zweiten Umfangsstelle ein sich in ihrer Längsrichtung erstreckendes zylindrisches Hohlsegment auf, welches evakuiert, d.h. mit einem Unterdruck versehen werden kann. Bei der erfindungsgemäßen Folien-Auftragsvorrichtung wird somit die zugeführte Folie von der Folienauftragswalze angesaugt, wodurch die Folie besonders glatt an der Walze anliegt und sehr genau und mit verminderter Gefahr gegenüber Wellenbildungen auf die Basisplatte abgewälzt werden kann.The Hollow roller has in this case at least between the first circumferential location and the second circumferential location is in its longitudinal direction extending cylindrical hollow segment, which evacuates, i.e. can be provided with a negative pressure. In the film applicator according to the invention is thus the supplied Film sucked from the film applicator roll, which makes the film especially smooth against the roller and very accurate and with reduced risk across from Wave formations can be passed on to the base plate.

Ferner stellt das Aufwalzen der Folie an sich eine unkomplizierte Auftragsweise dar, so daß die Konstruktion insgesamt kostengünstig realisierbar ist.Further The rolling of the film itself is an uncomplicated application so that the construction overall cost-effective is feasible.

Bevorzugt ist die zweite Umfangsstelle an jener Stelle angeordnet, an welcher der Folienauftragswalze die auf die Platte aufzutragende Folie zugeführt wird. Damit kann die Folie bereits an ihrer Zuführstelle an die Folienauftragswalze von letzterer sicher und knitter- oder rillenfrei angesaugt werden.Prefers the second circumferential location is located at the location at which the film applicator roll is fed to the film to be applied to the plate. Thus, the film can already at its feed to the film applicator roll be sucked by the latter safely and wrinkle-free or crease-free.

Obwohl die hohle Folienauftragswalze einfach insgesamt, und damit auch zwischen der ersten und der zweiten Umfangsstelle evakierbar sein kann, ist sie bevorzugt ausschließlich zwischen diesen beiden Umfangsstellen auf der der zu beschichtenden Platte zugewandten Seite evakuierbar, damit die Folie nicht versehentlich an einer unerwünschten Walzenstelle angesaugt wird, die in einem Abstand zu der gewünschten Folienlaufbahn liegt.Even though the hollow film applicator roll simply in total, and so too be evacuable between the first and the second circumferential location can, she is preferred exclusively between these two Peripheral points facing on the plate to be coated Page evacuable, so that the film is not accidentally on a undesirable Roller position is sucked, which is at a distance to the desired Film career lies.

Hierzu kann zum Beispiel eine sich durch die hohle Folienauftragswalze hindurcherstreckende, zylindrische Achse an der ersten bzw. der zweiten Umfangsstelle gegenüberliegenden Stellen gegen die Innenseite der Folienauftragswalze durch Dichtlippen abgedichtet sein, die sich in Längsrichtung der Hohlwalze erstrecken, so daß zwei von einander getrennte, kreisringabschnittsförmige Hohlräume gebildet werden, von denen der eine evakuierbar ist.For this For example, one may pass through the hollow film applicator roll extending therethrough, cylindrical axis at the first and the second circumferential location opposite Make sealed against the inside of the film applicator roll by sealing lips be in the longitudinal direction the hollow roller extend so that two are formed by separate, circular ring-shaped cavities, of which one is evacuable.

Bevorzugt ist in der Folienauftragswalze ein feststehender Formkörper aufgenommen, der sich ausgehend von der ersten Umfangsstelle der Folienauftragswalze oder hierzu benachbart in Drehrichtug der Folienauftragswalze entlang deren Umfangswand unter Abdichten derselben bis zur zweiten Umfangsstelle erstreckt. Damit wird auf einfache Weise erreicht, daß die Folie nur in jenem Bereich von der Walze angesaugt wird, der sich ausgehend von der ersten Umfangsstelle entgegengesetzt der Walzendrehrichtung bis zur zeiten Umfangsstelle erstreckt. Der Formkörper kann sich hierzu zum Beispiel derart nahe entlang der Innenwand des Hohlwalze erstrecken, daß in dem dadurch gebildeten engen Spalt kein ausreichender Unterdruck entstehen kann, um die Folie anzusaugen. Der Formkörper kann auch an seinen längsseitigen Stirnenden gegen die Hohlwalze abgedichtet sein, z.B. mittels einer Dichtlippe. Der Formkörper kann ferner vorteilhafterweise gleichzeitig als Gleitlager für die Hohlwalze dienen.Prefers if a fixed shaped body is received in the film applicator roll, starting from the first circumferential location of the film applicator roll or adjacent thereto in the direction of rotation of the film applicator roll along the peripheral wall thereof sealing the same to the second circumferential location extends. This is achieved in a simple manner that the film is sucked in only in that area of the roller, starting out from the first circumferential location opposite to the roller rotation direction extends to the time circumferential location. The molding can For this purpose, for example, so close to the inner wall of the hollow cylinder extend that in the narrow gap formed thereby no sufficient negative pressure can arise to suck the film. The molding can also on its longitudinal side Front ends sealed against the hollow roller, e.g. by means of a Sealing lip. The molded body can also advantageously simultaneously as a sliding bearing for the hollow cylinder serve.

Die Folienauftragswalze ist ferner bevorzugt von der ersten Umfangsstelle bis zu einer dritten Umfangsstelle, welche sich ausgehend von der ersten Umfangsstelle in Drehrichtung der Folienauftragswalze befindet, mit einem erhöhten Innendruck beaufschlagbar. Hierdurch wird die Folie beim Auftragen durch zusätzlichen (Luft-)Druck gegen die Platte gedrückt, wodurch der von der Walze an sich aufgebrachte Anpreßdruck noch verstärkt wird. Damit kann die Folie noch besser, d.h. wellen- und knitterfreier, und sicherer auf die Platte aufgebracht werden. Der Formkörper würde sich in diesem Falle von der dritten Walzen-Umfangsstelle aus erstrecken, die bevorzugt in Walzen-Drehrichtung gesehen zu der ersten Umfangsstelle der Folienauftragswalze benachbart angeordnet ist. Die Abdichtung zwischen dem Unterdruckbereich und dem Überdruckbereich kann z.B. mittels in Längsrichtung der Hohlwalze erstreckenden Dichtungslippen erfolgen.The Foil applicator roll is further preferred from the first circumferential location up to a third circumferential point, which starting from the first circumferential location in the direction of rotation of the film applicator roll, with an elevated Internal pressure acted upon. As a result, the film during application by additional (Air) pressure pressed against the plate, causing the roller applied contact pressure even stronger becomes. Thus, the film can still better, i. wave and wrinkle free, and be applied more securely to the plate. The molded body would become extend in this case from the third roller circumferential point, the preferred in the roll direction of rotation to the first circumferential location the film applicator roll is arranged adjacent. The seal between the negative pressure region and the overpressure region can e.g. by means of longitudinal the hollow roller extending sealing lips take place.

Die Folien-Auftragsvorrichtung weist nach einer Ausführungsform der Erfindung eine zweite Folienauftragswalze auf, die der ersten Folienauftragswalze entsprechend ausgebildet ist und die derselben gegenüberliegend angeordnet ist, so daß die Platte gleichzeitig auf beiden Seiten mit einer Folie beschichtbar ist.The Foil application device has according to an embodiment of the invention second film applicator roll, the first film applicator roll is formed according to and opposite to the same is arranged so that the plate simultaneously coatable on both sides with a foil.

Außerdem ist bevorzugt wenigstens ein Paar von Andrückwalzen vorgesehen, die der wenigstens einen Folienauftragswalze nachfolgend sowie einander gegenüberliegend angeordnet sind, und die dafür vorgesehen sind, um die wenigstens eine auf die Platte aufgetragene Folie an die Platte anzudrücken.In addition, at least one pair of pressure rollers is preferably provided, the following of the at least one film applicator roll and einan which are arranged opposite one another and which are intended to press the at least one film applied to the plate against the plate.

Der Begriff "nachfolgend" bezieht sich hierbei auf die Transportrichtung der zu beschichtenden Platte, d.h. jene Richtung, in die die Platte an der jeweiligen Folien-Auftragswalze vorbeitransportiert wird. Mit den zusätzlichen Andrückwalzen wird die Haftung und die genaue Auftragung der Folie auf die Platte noch besser gewährleistet.Of the Term "below" refers to this in the transport direction of the plate to be coated, i. those Direction in which the plate is transported past the respective film applicator roll. With the additional pressure rollers The adhesion and the exact application of the film to the plate even better guaranteed.

Die Folie ist bevorzugt eine Metallfolie, insbesondere eine Kupferfolie. Wie oben erläutert ist Metall aufgrund seiner homogenen mechanischen Eigenschaften sehr unkompliziert zu handhaben und daher als Folienmaterial bevozugt. Zudem ist Metall, und insbesondere Kupfer, ein guter Stromleiter, das somit als Leitermaterial bevorzugt ist.The Foil is preferably a metal foil, in particular a copper foil. As explained above is metal because of its homogeneous mechanical properties very uncomplicated to handle and therefore preferred as a film material. In addition, metal, and especially copper, is a good conductor, which is thus preferred as a conductor material.

Die erfindungsgemäße Vorrichtung zum Herstellen einer Mehrschicht-Struktur für eine Leiterplatine weist eine Platten-Beschichtungsvorrichtung zum Beschichten einer Platte mit flüssigem, aushärtbarem Beschichtungsmaterial auf, welche ihrerseits eine Beschichtungswalze zum Auftragen des Beschichtungsmaterials auf eine Seite der Platte aufweist. Die erfindungsgemäße Vorrichtung zum Herstellen einer Mehrschicht-Struktur hat ferner eine Folien-Auftragsvorrichtung, welche eine Folienauftragswalze zum Auftragen einer Folie auf die eine Seite der Platte aufweist, und eine Transportvorrichtung, von der die Platte an der Beschichtungswalze und an der Folienauftragswalze zum Auftragen des flüssigen Beschichtungsmaterials bzw. zum Auftragen der Folie mit der jeweiligen Walze in Kontakt stehend vorbeitransportierbar ist. Die Platten-Beschichtungsvorrichtung und die Folien-Auftragsvorrichtung sind als Vertikal-Beschichtungsvorrichtung bzw. als Vertikal-Folien-Auftragsvorrichtung mit vertikal angeordneter Beschichtungswalze bzw. vertikal angeordneter Folienauftragswalze ausgebildet. Die Transportvorrichtung ist derart ausgebildet, daß von ihr die Platte an deren oberen Randseite vertikal hängend ergriffen wird und in dieser vertikal hängenden Position zum Beschichten an der Beschichtungswalze bzw. zum Auftragen der Folie an der Folienauftragswalze vorbeigeführt wird.The inventive device for producing a multilayer structure for a printed circuit board a plate coater for coating a plate with liquid, hardenable Coating material, which in turn is a coating roller for applying the coating material to one side of the plate having. The device according to the invention for producing a multi-layer structure also has a film applicator, which is a film applicator roll for applying a foil to one side of the plate, and a transporting device from which the plate is attached to the coating roller and on the film applicator roll for applying the liquid coating material or for applying the film with the respective roller in contact standing is transported past. The plate coater and the film applicator are as a vertical coating device or as a vertical film applicator with vertically arranged coating roller or vertically arranged Foil form roller formed. The transport device is such trained that of She grabbed the plate hanging vertically at its upper edge is hanging and in this vertically Position for coating on the coating roller or for application the film is guided past the film applicator roll.

Mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung können Platten unterschiedlichsten Formats in schneller und genauer und damit fehlerfreier Weise sowohl mit flüssigem Beschichtungsmaterial als auch mit einer Folie beschichtet werden. Das maximale Plattenformat ist lediglich durch die Längen der Beschichtungswalze bzw. der Folienauftragswalze beschränkt, während davon ausgehend beliebige kleinere Platten ohne Anpassung der zugehörigen Transportvorrichtung beschichtbar sind. Denn die Platten können stets auf gleichem Höhenniveau gehalten an den Walzen vorbeitransportiert werden, wobei der sich entlang der Beschichtungswalze bzw. der Folienauftragswalze erstreckende Plattenteil in seiner Länge bis zur maximalen Länge der Beschichtungs- bzw. der Folienauftragswalze beliebig variierbar ist. Indem ferner die Platten von der Transportvorrichtung geführt an der Beschichtungswalze und an der Folienauftragswalze vorbeitransportiert werden, wird eine exaktere Beschichtung möglich als wenn der Transport z.B. mittels der Walzen selbst erfolgte.With the device according to the invention can Plates of different format in faster and more accurate and thus flawless way with both liquid coating material as well as being coated with a film. The maximum plate format is only by the lengths the coating roller or the film applicator roll limited, while of it starting any smaller plates without adjusting the associated transport device are coatable. Because the plates can always be at the same height level kept transported past the rollers, the along the coating roller or the film applicator roller extending Plate part in its length to to the maximum length the coating or the film applicator roll arbitrarily variable is. In addition, by the plates guided by the transport device to the Coating roller and transported past the film applicator roll become, a more exact coating possible than when the transport e.g. by means of the rollers themselves.

Bevorzugt weist die Platten-Beschichtungsvorrichtung eine zweite Beschichtungswalze auf, die der ersten Beschichtungswalze entsprechend ausgebildet ist und die derselben gegenüberliegend angeordnet ist, und die Folien-Auftragsvorrichtung weist bevorzugt eine zweite Folienauftragswalze auf, die der ersten Folienauftragswalze entsprechend ausgebildet ist und die derselben gegenüberliegend angeordnet ist, wodurch die Platte gleichmäßig auf beiden Seiten mit flüssigem Beschichtungsmaterial bzw. mit der Folie beschichtbar ist. Im Falle daß keine beidseitige Beschichtung vorgesehen ist, sind der Beschichtungswalze und der Folienauftragswalze vorteilhafterweise Gegenhalter, bevorzugt in Form von Gegenwalzen, gegenüberliegend angeordnet, um den für das Beschichten mit flüssigem Beschichtungsmaterial und das Auftragen der Folie erforderlichen Gegendruck zu erzeugen und um zu verhindern, daß die Platte verbogen wird oder bricht.Prefers The plate coater has a second coating roller formed on the first coating roller accordingly is and the opposite of the same is arranged, and the film applicator preferably has a second film applicator roll, the first Foil application roller is designed accordingly and the same opposite is arranged, making the plate evenly on both sides with liquid coating material or coatable with the film. In the case of no double-sided coating is provided, the coating roller and the film applicator roll advantageously counter-holders, preferably in the form of counter-rolls, opposite arranged for the Coating with liquid Coating material and the application of the film required To generate back pressure and to prevent the plate is bent or breaks.

Ferner ist die Folien-Auftragsvorrichtung bevorzugt mit einer Heizvorrichtung versehen, die der wenigstens einen Folienauftragswalze nachfolgend angeordnet ist und von welcher die Platte zum Aushährten des darauf aufgetragenen flüssigen Beschichtungsmaterials beheizbar ist.Further the film applicator is preferably with a heater provided, which arranged the at least one foil application roller below is and from which the plate to the serving of the applied thereon liquid Coating material is heated.

Ferner ist die Platten-Beschichtungsvorrichtung bevorzugt vor der Folien-Auftragsvorrichtung angeordnet und zum Auftragen von flüssigem Isolationsmaterial auf die Platte vorgesehen. Nach der Folien-Auftragsvorrichtung ist bevorzugt eine zweite Platten-Beschichtungsvorrichtung angeordnet, die der ersten Platten-Beschichtungsvorrichtung entsprechend ausgebildet ist und die zum Auftragen von flüssigem Photoresist auf die von der Folienautragsvorrichtung auf die Platte aufgetragene Folie vorgesehen ist.Further For example, the plate coater is preferably arranged in front of the foil applicator and for applying liquid Insulation material provided on the plate. After the film applicator a second plate coating device is preferably arranged, formed according to the first plate coating device is and for applying liquid Photoresist on the from the film applicator onto the plate applied film is provided.

Mit dieser Anordung können die Platten von derselben Transportvorrichtung geführt die zugehörigen Bearbeitungsstationen (Beschichtungsvorrichtungen und Folien-Auftragsvorrichtung) zur Durchführung der erfindungsgemäßen Verfahrensschritte wiederholt durchlaufen, ohne von der Transportvorrichtung abgenommen werden zu müssen. Hierbei sind. auch eine Belichtungsvorrichtung und eine Ätzvorrichtung, welche zum Ausbilden der Leiterstruktur im folienartigen Leitermaterial vorgesehen sind, derart ausgebildet, daß die Platten in der beschriebenen Weise von der Transportvorrichtung zu diesen Vorrichtungen hin und von diesen weg transportiert werden können, ohne daß die Platten von der Transportvorrichtung abgenommen werden müssen.With this arrangement, the plates guided by the same transport device can repeatedly pass through the associated processing stations (coating devices and film application device) for carrying out the method steps according to the invention without having to be removed from the transport device. Here are. also an exposure apparatus and an etching apparatus, which are provided for forming the conductor pattern in the sheet-like conductor material, the art formed that the plates can be transported in the manner described by the transport device to these devices and away from them, without the plates must be removed from the transport device.

Die Transportvorrichtung kann zum Beispiel als Transportwagen ausgebildet sein, der seitlich von der Vorrichtung zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens entlang einer Transportbahn bewegt wird. Der Transportwagen kann hierbei mit einem Tragarm versehen sein, an dem eine Greifvorrichtung zum Anhängen der zu transportierenden Platte angeordnet ist. Bevorzugt ist die Transportvorrichtung jedoch als komplett obenliegende Transportvorrichtung ausgebildet, die sich vorteilhafterweise oberhalb jener Anlagenkomponenten erstreckt, von denen die Platte bearbeitet wird, wie z. B. der Platten-Beschichtungsvorrichtungen, der Folien-Auftragsvorrichtungen, der Heiz- und Belichtungs- und Metallisierungsvorrichtungen. Die Transportvorrichtung erstreckt sich hierbei bevorzugt durchgehend von einer Plattenzuführeinrichtung aus zu einer Plattenentnahmeeinrichtung hin.The Transport device can be designed, for example, as a transport vehicle be the side of the device for the implementation of the inventive method is moved along a transport path. The dolly can be provided with a support arm, on which a gripping device to attach the plate to be transported is arranged. Preferably, the Transport device, however, as a completely overhead transport device formed, which advantageously above those plant components extends, of which the plate is processed, such. B. the plate coating devices, the film applicators, the heating and exposure and metallization devices. The transport device preferably extends continuously from here a plate feeder out to a disk removal device out.

Durch die oben liegende Anordnung der Transportvorrichtung können Überwachungs-, Wartungs-, und/oder Reinigungsarbeiten an der Platten-Beschichtungsvorrichtung behinderungsfrei von der Seite aus durchgeführt werden. Hierdurch werden Stillstandzeiten der Anlage verringert, wodurch die Produktivität der Anlage gesteigert wird.By the overhead arrangement of the transport device can monitor, Maintenance and / or cleaning work on the plate coater be performed without hindrance from the side. This will be Downtime of the plant is reduced, reducing the productivity of the plant is increased.

Um sicherer zu ermöglichen, daß die Platte möglichst unverwunden in Richtung zu den Walzen und zu weiteren Bearbeitungsstationen transportiert wird, ist die Transportvorrichtung bevorzugt derart ausgebildet, daß die Platte entlang ihrer gesamten oberen Randseite von der Transportvorrichtung ergriffen wird. Unter Ergreifen entlang der gesamten oberen Randseite ist jedoch nicht nur ein ununterbrochenes Erfassen, sondern auch ein in Abständen erfolgendes, punktuelles Erfassen entlang der gesamten oberen Randseite zu verstehen.Around to enable safer that the Plate as possible unbound in the direction of the rollers and to other processing stations is transported, the transport device is preferably designed such that the Plate along its entire upper edge side of the transport device is taken. Grasping along the entire upper edge side however, not only is it an uninterrupted detection, but also one at intervals successive, selective detection along the entire upper edge side to understand.

Um der Beschichtungsanlage schneller Platten zuführen bzw. von ihr entnehmen zu können, sind vorteilhafterweise eine automatische Plattenzuführ- und/oder eine automatische Plattenentnahmeeinrichtung vorgesehen, von welchen Platten der Transportvorrichtung zugeführt bzw. von dieser entnommen werden.Around feed or remove from the coating system faster plates to be able to are advantageously an automatic Plattenzuführ- and / or an automatic plate removal device is provided, of which Plates supplied to the transport device or be removed from this.

Nach einer vorteilhaften Ausführungsform weist die Plattenzuführeinrichtung einen Platteneinführschacht auf, durch den die Platte der Transportvorrichtung zugeführt wird. Der Platteneinführschacht ist nach oben hin trichterförmig verjüngt ausgebildet und mündet unmittelbar benachbart zu den Greifvorrichtungen der Transportvorrichtung aus. Durch das Hindurchführen der Platte durch den sich verjüngenden Schacht können etwaige Verwerfungen oder sonstige Unebenheiten der Platte an ihrer von der Transportvorrichtung zu ergreifenden Randseite begradigt werden, wodurch ein störungsfreier Übergang an die Transportvorrichtung gewährleistet ist. Hierdurch werden Transportstauungen und Ausschußware vermieden.To an advantageous embodiment the Plattenzuführeinrichtung a disk insertion shaft on, through which the plate of the transport device is supplied. The plate insertion shaft is funnel-shaped upwards rejuvenated trained and flows immediately adjacent to the gripping devices of the transport device out. By passing through the plate through the tapered Shaft can any distortions or other unevenness of the plate at its from the transport device to be taken edge side to be straightened thus ensuring a trouble-free transition is guaranteed to the transport device. As a result, transport congestion and rejects are avoided.

Die Transportvorrichtung kann derart ausgebildet sein, daß die jeweilige Platte beim Anhängen an die Transportvorrichtung von deren Greifvorrichtungen nach und nach im Sinne des Reißverschlußprinzips entlang der oberen Plattenrandseite ergriffen wird. Um jedoch den Produktionsvorgang insgesamt zu beschleunigen und damit die Produktivität zu erhöhen, ist die Plattenzuführeinrichtung und die Transportvorrichtung bevorzugt derart ausgebildet, daß die jeweilige Platte beim Anhängen an die Transportvorrichtung gleichzeitig entlang der gesamten Randseite der Platte von der Transportvorrichtung ergriffen wird. Entsprechendes ist bevorzugt für die Plattenentnahmevorrichtung hinsichtlich des Lösens der Platte von der Transportvorrichtung vorgesehen.The Transport device may be formed such that the respective Plate when attaching the transport device of the gripping devices gradually in the sense of the zipper principle along the upper edge of the plate is taken. However, to the Accelerate the overall production process and thus increase productivity the Plattenzuführeinrichtung and the transport device preferably designed such that the respective Plate when attaching to the transport device at the same time along the entire edge side the plate is gripped by the transport device. The same is preferred for the disk removal device with regard to the release of Plate provided by the transport device.

Als Transportvorrichtung kommen zum Beispiel in Schienen geführte Laufkatzen mit daran angebrachten Greifvorrichtungen in Frage. Eine bevorzugte Transportvorrichtung ist jedoch eine umlaufende Transportkette, an deren Kettengliedern die Greifvorrichtungen angebracht sind. Die Transportkette stellt ein kostengünstiges Transportmittel dar, welches zudem in einfacher Weise gesteuert von einem Ritzel antreibbar ist. Die Transportkette wird bevorzugt über zwei Kettenräder umgelenkt, während sie ansonsten in ihrer Längsrichtung frei beweglich gelagert ist. Das angetriebene Kettenrad und der Kettenantrieb, welcher bevorzugt als drehzahlgeregelter Elektromotor vorgesehen ist, sind bevorzugt in der Plattenentnahmeeinrichtung angeordnet. Das angetriebene Kettenrad ist hierbei feststehend installiert vorgesehen, während das andere Umlenk-Kettenrad zum Nachspannen der Kette als ortverstellbar in der Plattenzuführeinrichtung vorgesehen ist.When Transport device come for example in rails guided trolleys with attached gripping devices in question. A preferred Transport device is however a circulating transport chain, at the chain links the gripping devices are mounted. The transport chain is a cost-effective means of transport, which also driven in a simple manner driven by a pinion is. The transport chain is preferably deflected over two sprockets, while otherwise in their longitudinal direction is freely movable stored. The driven sprocket and the Chain drive, which preferably as a speed-controlled electric motor is provided, are preferably in the disk removal device arranged. The driven sprocket is here installed fixed installed, while the other deflection sprocket for tensioning the chain as location adjustable in the plate feeder is provided.

Die Greifvorrichtungen können als elektronisch gesteuerte Motorgreifer ausgebildet sein, die je nach Ansteuerung öffnen oder schließen. Bevorzugt sind als Greifvorrichtungen einfache mechanische Greifteile vorgesehen, die per Federkraft in Schließrichtung vorgespannt sind und per mechanischer Betätigung geöffnet werden können. Die gleichzeitige Öffnung mehrerer solcher mechanischer Greifteile kann zum Beispiel durch eine Leiste erfolgen, die gleichzeitig gegen mehrere an der Transportkette angeordnete Greifteile unter Öffnen derselben gedrückt wird. Um einen schnelleren Produktionsbetrieb zu gewährleisten, weist die Plattenzuführeinrichtung und/oder die Plattenentnahmeeinrichtung jedoch bevorzugt eine parallel zu der Transportkette angeordnete und mit deren Geschwindigkeit umlaufende Öffnerkette mit an deren Gliedern angebrachten Druckstempeln auf. Zum Öffnen der Greifteile wird die gesamte Öffnerkette mit ihren Druckstempeln gegen die Greifvorrichtungen gedrückt, wodurch die federvorgespannten Greifteile der Greifvorrichtungen über einen Mechanismus geöffnet werden. Dadurch können bei ständig umlaufender Transportkette aufeinanderfolgend Platten der Transportvorrichtung zugeführt bzw. von dieser entnommen werden, was die Produktionszeit für beschichtete Platten verringert. Das Andrücken der Öffnerkette kann zum Beispiel mittels eines Elektromotors oder mittels eines Pneumatikzylinders erfolgen.The gripping devices can be designed as electronically controlled motor gripper, which open or close depending on the control. Preferably, simple mechanical gripping parts are provided as gripping devices, which are biased by spring force in the closing direction and can be opened by mechanical actuation. The simultaneous opening of a plurality of such mechanical gripping parts can be done for example by a bar, which is simultaneously pressed against several arranged on the transport chain gripping parts under opening the same. However, in order to ensure a faster production operation, the plate feed device and / or the plate removal device preferably has a parallel to the transport chain angeord Nete and with their speed circulating opener chain with attached to their members on pressure stamps. To open the gripping parts, the entire opener chain is pressed with its pressure punches against the gripping devices, whereby the spring-biased gripping parts of the gripping devices are opened via a mechanism. As a result, successive plates of the transport device can be supplied or removed from the conveyor belt in a constantly circulating conveyor chain, which reduces the production time for coated plates. The pressing of the opener chain can be done for example by means of an electric motor or by means of a pneumatic cylinder.

Die Erfindung wird nachfolgend anhand bevorzugter Ausführungsformen unter Bezugnahme auf die Zeichnung näher erläutert.The Invention will be described below with reference to preferred embodiments explained in more detail with reference to the drawing.

In der Zeichnung zeigen:In show the drawing:

1 eine schematische Draufsicht einer Vorrichtung zur Herstellung einer Mehrschichtstruktur für eine Leiterplatine, mit einer Folien-Auftragsvorrichtung und zwei Beschichtungsvorrichtungen, 1 FIG. 2 shows a schematic plan view of an apparatus for producing a multilayer structure for a printed circuit board, with a film applicator device and two coating devices, FIG.

2 eine Vorderansicht einer der Beschichtungsvorrichtungen nach 1 mit darüber angeordneter, im Querschnitt gezeigter Transportvorrichtung, 2 a front view of one of the coating devices according to 1 with a transport device arranged above it, shown in cross-section,

3 und 4 jeweils eine Querschnittsansicht einer Transportvorrichtung der Vorrichtung nach 1 gemäß einer Ausführungsform der Erfindung, und 3 and 4 each a cross-sectional view of a transport device of the device according to 1 according to an embodiment of the invention, and

5 eine Draufsicht auf eine Beschichtungsvorrichtung nach einer anderen erfindungsgemäßen Ausführungsform. 5 a plan view of a coating apparatus according to another embodiment of the invention.

Wie aus 1 ersichtlich ist, weist eine bevorzugte Ausführungsform der Vorrichtung zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens eine Folien-Auftragsvorrichtung 1, eine Platten-Beschichtungsvorrichtung 2a und eine andere Platten-Beschichtungsvorrichtung 2b auf.How out 1 can be seen, a preferred embodiment of the apparatus for performing the method according to the invention comprises a film applicator 1 , a plate coater 2a and another plate coater 2 B on.

Ferner weist die Vorrichtung zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens eine Transportvorrichtung 4 auf, welche in 3 und 4 in einer Querschnittsansicht gezeigt ist und welche sich in der Transportrichtung (Pfeile A in 1) einer zu beschichtenden Platte 5 oberhalb der Platten-Beschichtungsvorrichtungen 2a, 2b und der Folien-Auftragsvorrichtung erstreckt (vgl. 2). Die Folien-Auftragsvorrichtung 1 und die beiden Platten-Beschichtungsvorrichtungen 2a, 2b sind je zum beidseitigen Beschichten der Platte 5 ausgebildet und weisen symmetrisch zur Plattentransportrichtung (Pfeil A) beidseitig der Platte 5 gleiche Bauelemente auf. Die Folien-Auftragsvorrichtung 1 und die Platten-Beschichtungsvorrichtungen 2a, 2b werden daher der Übersicht wegen nur bezüglich ihrer Komponenten auf einer Plattenseite beschrieben, wobei die Bezugszeichen aus Platzgründen mitunter abwechselnd an Vorrichtungs-Komponenten auf beiden Seiten der Platten 5 angeordnet sind. Die Folien-Auftragsvorrichtung 1 und die Platten-Beschichtungsvorrichtungen 2a, 2b können jedoch auch nur zum einseitigen Beschichten der Platten 5 vorgesehen sein, wobei die Vorrichtungs-Komponenten auf der nicht zu beschichtenden Plattenseite dann einfach entfallen. D.h. die auf der nicht zu beschichtenden Seite der Platte 5 angeordneten Komponenten der Folien-Auftragsvorrichtung 1 und der Platten-Beschichtungsvorrichtungen 2a, 2b nach 1 fallen weg.Furthermore, the device for carrying out the method according to the invention has a transport device 4 on which in 3 and 4 is shown in a cross-sectional view and which in the transport direction (arrows A in 1 ) of a plate to be coated 5 above the plate coaters 2a . 2 B and the film applicator extends (see. 2 ). The film applicator 1 and the two plate coaters 2a . 2 B are each for double-sided coating of the plate 5 formed and have symmetrical to the plate transport direction (arrow A) on both sides of the plate 5 same components. The film applicator 1 and the plate coaters 2a . 2 B Therefore, for the sake of clarity, they will be described only with respect to their components on one side of the plate, the reference numerals sometimes being used alternately on device components on both sides of the plates for reasons of space 5 are arranged. The film applicator 1 and the plate coaters 2a . 2 B However, they can only be used for one-sided coating of the plates 5 be provided, with the device components on the non-coated plate side then simply omitted. That is, on the not to be coated side of the plate 5 arranged components of the film applicator 1 and the plate coaters 2a . 2 B to 1 fall away.

Die Folien-Auftragsvorrichtung 1 weist bevorzugt eine Folienauftragswalze 6 auf, von welcher eine Folie 7 auf eine Seite der Platte 5 auftragen wird. Die Folienauftragswalze 6 ist als Hohlwalze ausgebildet, welche eine perforierte Umfangswand aufweist. In einem sich in Längsrichtung der Hohlwalze 6 erstreckenden Bereich 8 zwischen einer ersten Umfangsstelle 9 der Folienauftragswalze 6, welche der zum Auftragen der Folie 7 vorgesehenen Wälzkontaktstelle der Folienauftragswalze 6 mit der Platte 5 entspricht oder zu dieser Kontaktstelle benachbart ist, bis zu einer zweiten Umfangsstelle 10, welche sich ausgehend von der ersten Umfangsstelle 9 entgegengesetzt der Drehrichtung (Pfeil B) der Folienauftragswalze 6 befindet, ist die Folienauftragswalze 6 evakuierbar. Die Folie 7 wird von einer Folienwalze 11 aus abgerollt und der Folienauftragswalze 6 zugeführt. Um ein genaues Abrollen der Folie 7 von der Folienwalze 11 zu gewährleisten, ist benachbart zu dieser eine Folien-Führungswalze 12 angeordnet, welche mit der Folienwalze 11 in einem Wälzkontakt steht und gegen diese bewegbar und damit andrückbar ist (Pfeil C). Damit wird die Folie 7 durch einen Zwischenspalt 12' zwischen den beiden Walzen 11, 9 in glatter und gleichmäßiger Form von der Folienwalze 11 abgerollt.The film applicator 1 preferably has a film applicator roll 6 on, from which a foil 7 on one side of the plate 5 will apply. The foil applicator roll 6 is formed as a hollow roller having a perforated peripheral wall. In a longitudinal direction of the hollow cylinder 6 extending range 8th between a first circumferential location 9 the foil applicator roll 6 , which of the application of the film 7 provided Wälzkontaktstelle the film applicator roll 6 with the plate 5 corresponds to or adjacent to this contact point, up to a second circumferential location 10 extending from the first circumferential location 9 opposite to the direction of rotation (arrow B) of the film applicator roll 6 is, is the film applicator roll 6 evacuated. The foil 7 is from a foil roll 11 from unrolled and the foil applicator roll 6 fed. To accurately unroll the film 7 from the film roll 11 to ensure that is adjacent to this a film guide roller 12 arranged, which with the film roll 11 is in a rolling contact and against these movable and thus pressed (arrow C). This will make the film 7 through a gap 12 ' between the two rollers 11 . 9 in a smooth and uniform form of the film roll 11 unrolled.

Benachbart zu der zweiten Umfangsstelle 10 der Folienauftragswalze 6 ist eine Anlegewalze 13 angeordnet, mittels welcher die der Folienauftragswalze 6 zugeführte Folie 7 an die Folienauftragswalze 6 glatt angelegt wird. Die Anlegewalze 13 ist daher parallel zu der Folienauftragswalze 6 sowie mit dieser im Wälzkontakt stehend angeordnet.Adjacent to the second circumferential location 10 the foil applicator roll 6 is a turn-on roll 13 arranged, by means of which the film applicator roll 6 supplied foil 7 to the film applicator roll 6 is laid smooth. The application roller 13 is therefore parallel to the film applicator roll 6 and arranged with this standing in the rolling contact.

In der Folienauftragswalze 6 ist ein feststehender Formkörper 14 aufgenommen, der sich ausgehend von einer dritten Umfangsstelle 20, die in Drehrichtung (Pfeil B) der Folienauftragswalze 6 zu der ersten Umfangsstelle 9 benachbart ist, in Drehrichtung (Pfeil B) der Folienauftragswalze 6 entlang deren Umfangswand bis zur zweiten Umfangsstelle 10 der Folienauftragswalze 6 erstreckt. Hierbei liegt der Formkörper 14 derart eng an der perforierten Umfangswand der Folienauftragswalze 6 an, das diese Umfangswand vom Formkörper 14 abgedichtet ist. Damit ist die Folienauftragswalze 6 in dem von der Platte 5 abgewandten Umfangsbereich zwischen der ersten Umfangsstelle 9, welche jener Stelle entspricht, an welcher die Folie auf die Platte 5 aufgetragen wird, und der zweiten Umfangsstelle 10 umfangsseitig abgedichtet, so daß in diesem Umfangsbereich keine Sogwirkung vorliegt.In the foil applicator roll 6 is a fixed molding 14 taken up, starting from a third circumferential location 20 , in the direction of rotation (arrow B) of the film applicator roll 6 to the first circumferential location 9 is adjacent, in the direction of rotation (arrow B) of the film applicator roll 6 along its peripheral wall to the second circumferential location 10 the foil applicator roll 6 extends. This is the molded body 14 so close to the perforated peripheral wall of the film applicator roll 6 on, this peripheral wall of the molding 14 is sealed. This is the foil applicator roll 6 in the one from the plate 5 remote circumferential region between the first circumferential location 9 , which corresponds to that point at which the film on the plate 5 is applied, and the second circumferential location 10 sealed circumferentially, so that there is no suction effect in this peripheral region.

Eine von der Platten-Beschichtungsvorrichtung 2a mit flüssigem Isoliermaterial, wie flüssigem Harz, beschichtete Platte 5 wird mittels der in 1 nicht gezeigten Transportvorrichtung 4 der Folien-Auftragsvorrichtung 1 zugeführt. Dabei wird die mit dem Harz beschichtete Platte 5 entlang der Folienauftragswalze 6 transportiert. Ab der ersten Umfangsstelle 9 der Folienauftragswalze 6, ab welcher die Platte 5 mit der auf der Folienauftragswalze 6 befindlichen Folie 7 in Kontakt tritt, wird die Platte 5 mit der Folie 7 beschichtet. Der Folienauftragswalze 6 in der Folien-Auftragsvorrichtung 1 nachfolgend angeordnet ist eine Platten-Führungswalze 15. Von der Platten-Führungswalze 15 wird eine exakte Führung der von der Platten-Beschichtungsvorrichtung 2a mit flüssigem Harz beschichteten und von der Folien-Auftragsvorrichtung 1 mittels der Folienauftragswalze 6 mit einer Folie 7 beschichteten Platte 5 sichergestellt. Die mit der Folie 7 beschichtete Platte 5 wird einem ersten Paar von Andrückwalzen 16 zugeführt, welche einander gegenüberliegend entlang des Transportwegs (Pfeil A) der mit der Folie 7 beschichteten Platte 5 angeordnet sind. Mittels der Andrückwalzen 16 wird die mit der Folie 7 beschichtete Platte 5 von beiden Seiten unter Druck gesetzt, so daß die Folie 7 auf die Platte 5 gedrückt wird. Das Paar Andrückwalzen 16 ist bevorzugt auch dann vorgesehen, wenn die Platte 5 nur auf einer Seite beschichtet wird, wobei eine der Andrückwalzen 16 dann als reine Gegendruckwalze funktioniert, welche nicht zum unmittelbaren Glätten der Folie 7 eingesetzt ist.One from the plate coater 2a with liquid insulating material, such as liquid resin, coated plate 5 is determined by means of in 1 Not shown transport device 4 the film applicator 1 fed. In the process, the plate coated with the resin becomes 5 along the film applicator roll 6 transported. From the first circumferential point 9 the foil applicator roll 6 , from which the plate 5 with the on the film applicator roll 6 located foil 7 comes into contact, the plate is 5 with the foil 7 coated. The foil applicator roll 6 in the film applicator 1 arranged below is a plate guide roller 15 , From the plate guide roller 15 will provide an exact guidance of the plate coater 2a coated with liquid resin and by the film applicator 1 by means of the film applicator roll 6 with a foil 7 coated plate 5 ensured. The one with the foil 7 coated plate 5 becomes a first pair of pressure rollers 16 fed, which are opposite to each other along the transport path (arrow A) with the film 7 coated plate 5 are arranged. By means of the pressure rollers 16 will be the one with the foil 7 coated plate 5 Pressurized from both sides, leaving the film 7 on the plate 5 is pressed. The pair of pressure rollers 16 is preferably also provided when the plate 5 is only coated on one side, with one of the pressure rollers 16 then works as a pure counter pressure roller, which is not for immediate smoothing of the film 7 is used.

Zur Verbesserung der Haftung zwischen der Folie 7 und der Platte 5 kann die Folie 7 an ihrer die Platte 5 kontaktierenden Seite aufgerauht sein. Dies kann beispielsweise für den Fall einer Kupferfolie durch Oxidieren der einen Oberfläche der Kupferfolie, welche an die Platte 5 angelegt wird, erreicht sein. Die Folie 7 kann auch an beiden Seiten aufgerauht sein, so daß ein anschließend darauf aufgetragenes Isoliermaterial gut haftet.To improve the adhesion between the film 7 and the plate 5 can the film 7 at her the plate 5 be roughened contacting side. For example, in the case of a copper foil, this may be done by oxidizing the one surface of the copper foil which is attached to the plate 5 is created, be achieved. The foil 7 can also be roughened on both sides, so that a subsequently applied insulating material adheres well.

In Richtung des Transports der Platte 5 durch die Folien-Auftragsvorrichtung 1 ist dem ersten Paar Andrückwalzen 16 nachfolgend eine Heizvorrichtung 17 zumindest auf jener Seite der Platte 5 angeordnet, auf welcher die Platte 5 mit einer Folie 7 beschichtet worden ist. Mittels der Heizvorrichtung 17 ist es möglich, das mittels der Platten-Beschichtungsvorrichtung 2a auf die Platte 5 aufgetragene Harz, auf welches die Folie 7 aufgetragen wurde, zu erwärmen und dadurch die Viskosität des mittels der Platten-Beschichtungsvorrichtung 2a aufgetragenen Harzes auf einen gewünschten wert einzustellen.Towards the transport of the plate 5 through the film applicator 1 is the first pair of pressure rollers 16 below a heater 17 at least on that side of the plate 5 arranged on which the plate 5 with a foil 7 has been coated. By means of the heater 17 it is possible that by means of the plate coating apparatus 2a on the plate 5 applied resin, on which the film 7 was applied to heat and thereby the viscosity of the means of the plate coater 2a applied resin to a desired value.

In Richtung des Transports der Platte 5 durch die Folien-Auftragsvorrichtung 1 sind der Heizvorrichtung 17 nachfolgend ein oder mehrere Paare weiterer Andrückwalzen 16', 16'' angeordnet, die dem bereits weiter oben beschriebenen Paar Andrückwalzen 16 entsprechen. Mittels der weiteren Paare von Andrückwalzen 16', 16'' wird sowohl die Haftung zwischen der Folie 7 und der Platte 5 als auch die Glattheit der Folie 7 noch weiter verbessert, d.h. hinsichtlich letzterem werden Wellenbildungen vermindert. Hierbei wird ein sicheres Andrücken und Haften der Folie auch durch die mittels der Heizvorrichtung 17 eingestellte Viskosität des aufgetragenen Beschichtungsmaterials (hier Harzmaterials) erreicht. Nach den Andrückwalzen kann das Harz mittels einer nicht dargestellten, wie die Heizvorrichtung 17 aufgebauten Heizvorrichtung ausgehärtet werden.Towards the transport of the plate 5 through the film applicator 1 are the heater 17 below one or more pairs of further pressure rollers 16 ' . 16 '' arranged, the already described above pair of pressure rollers 16 correspond. By means of the other pairs of pressure rollers 16 ' . 16 '' will both the adhesion between the film 7 and the plate 5 as well as the smoothness of the film 7 even further improved, ie with regard to the latter, undulations are reduced. Here, a secure pressing and adhering the film is also by means of the heater 17 set viscosity of the applied coating material (here resin material) reached. After the pressure rollers, the resin can by means of a not shown, such as the heater 17 hardened built-up heater.

Die Folienauftragsvorrichtung 1 weist ferner eine Schneidvorrichtung 18 mit zwei Messern 19 auf. Das jeweilige Messer 19 ist zu der zugehörigen Folienauftragswalze 6 benachbart angeordnet und auf diese zu bzw. von dieser wegbewegbar (Pfeil D). Hierbei kann die Folie 6 gesteuert genau zu einem passenden Zeitpunkt abgeschnitten werden, so daß die zu beschichtende Platte 5 exakt bis zu ihrem in Transportrichtung gesehen hinteren Rand beschichtet wird. Eine entsprechende Schneidvorrichtung 18', 19' kann auch in Transportrichtung gesehen nach der Folien-Auftragsvorrichtung 1 angeordnet sein (durch gestrichelte Linien dargestellt), um ein am vorderen Rand der Platte 5 eventuell überstehendes Stück der Folie 5 bündig mit dem Plattenrand abzuschneiden. Mittels der Schneidevorrichtung 18 ist es jedoch auch möglich, die auf die Platte 5 aufzutragende Folie an einer anderen gewünschten Stelle abzuschneiden. So kann die auf die Platte 5 aufzutragende Folie 7 an mehreren Stellen abgeschnitten werden, um beispielsweise auf einer Platte 5 mehrere unabhängige Folienbereiche vorzusehen. Die Schneidvorrichtung 18 kann anstelle des Messers 19 z.B. auch ein Stanzwerkzeug aufweisen, mit dem die Folie nicht nur einfach durchgeschnitten wird, sondern mit dem zusätzlich zwischen dem abgetrennten Folienteil, der gerade auf die Platte 5 aufgetragen wird, und der verbleibenden Folie 7 ein größerer Abstand erzielt wird, so daß die verbleibende Folie 7 in einfacherer Weise bündig an den vorderen Rand der nachfolgend zu beschichtenden Platte 5 angelegt werden kann.The film applicator 1 also has a cutting device 18 with two knives 19 on. The respective knife 19 is to the associated film applicator roll 6 arranged adjacent and movable away to this and from this (arrow D). Here, the film 6 controlled to be cut off at a convenient time, so that the plate to be coated 5 is exactly coated to its rear edge seen in the transport direction. A corresponding cutting device 18 ' . 19 ' can also be seen in the transport direction after the film applicator 1 be arranged (shown by dashed lines) to one at the front edge of the plate 5 possibly protruding piece of the film 5 cut flush with the edge of the plate. By means of the cutting device 18 However, it is also possible on the plate 5 Cut off the film to be applied at another desired location. So that's on the plate 5 to be applied foil 7 be cut in several places, for example, on a plate 5 to provide several independent film areas. The cutting device 18 may instead of the knife 19 For example, also have a punch, with which the film is not only simply cut, but with the additional between the separated film part, the straight on the plate 5 is applied, and the remaining film 7 a greater distance is achieved, so that the remaining film 7 in a simpler manner flush with the front edge of the plate to be coated subsequently 5 can be created.

In Transportrichtung der Platte 5 gesehen ist der Folien-Auftragsvorrichtung 1 die andere (zweite) Platten-Beschichtungsvorrichtung 2b nachgeordnet, welche identisch zur ersten Platten-Beschichtungsvorrichtung 2a ausgebildet ist, welche in der Transportrichtung der Platte 5 gesehen vor der Folien-Auftragsvorrichtung 1 angeordnet ist. Mittels der zweiten Platten-Beschichtungsvorrichtung 2b wird ein flüssiges Photoresist oder flüssiger Photolack auf die mit der Folie 7 beschichtete Platte 5 aufgetragen. Anschließend wird die Platte 5 von der Transportvorrichtung 4 (siehe 3 und 4) zum Belichten und Ätzen zu entsprechenden Vorrichtungen transportiert, womit die Leiterstruktur auf der Platte 5 ausgebildet wird. Danach kann die Platte 5 von der Transportvorrichtung 4 wahlweise zu einer nicht dargestellten Bohr- und Metallisiervorrichtung transportiert werden, von der gegebenenfalls Verbindungslöcher zwischen den jeweiligen Leiterstrukturen hergestellt und zum Beispiel durch Auffüllen mit Kupfermaterial metallisiert werden. Danach wird die Platte 5 von der Transportvorrichtung 4 wieder zu der ersten Beschichtungsvorrichtung 2a transportiert, von der sie wieder mit flüssigem Isolationsmaterial beschichtet wird. Gemäß der gewünschten Anzahl von auszubildenden Schichten der Mehrschicht-Struktur einer Leiterplatine aus Isolierschicht und leitender Schicht wird die Platte 5 entsprechend wiederholt von der Transportvorrichtung 4 aufeinanderfolgend zu den oben beschriebenen Vorrichtungen transportiert.In transport direction of the plate 5 seen is the film applicator 1 the other (second) plate coater 2 B downstream, which are identical to the first plate coating contraption 2a is formed, which in the transport direction of the plate 5 seen before the film applicator 1 is arranged. By means of the second plate coating device 2 B A liquid photoresist or liquid photoresist is applied to the film 7 coated plate 5 applied. Subsequently, the plate 5 from the transport device 4 (please refer 3 and 4 ) are transported to corresponding devices for exposure and etching, whereby the conductor structure on the plate 5 is trained. After that, the plate can 5 from the transport device 4 optionally be transported to a drilling and metallizing apparatus, not shown, are made of the possibly connecting holes between the respective conductor structures and metallized, for example by filling with copper material. After that, the plate becomes 5 from the transport device 4 again to the first coating device 2a transported, from which it is again coated with liquid insulation material. According to the desired number of layers to be formed of the multilayer structure of an insulating layer-conductive layer circuit board, the plate becomes 5 accordingly repeated by the transport device 4 transported sequentially to the devices described above.

Bei der Vorrichtung zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens, welche nur auf einer Seite des Transportweges der Platte 5 eine Folien-Auftragsvorrichtung 1 aufweist, sind auf der bezüglich des Transportweges der Platte 5 gegenüberliegenden Seite bevorzugt Hilfswalzen angeordnet, die dem von der Folien-Auftragsvorrichtung 1 beim Auftragen der Folie 7 auf die Platte 5 aufgebrachten Druck entgegenwirken, so daß die Platte 5 nahezu unbelastet ist und nicht zerbrechen kann.In the apparatus for performing the method according to the invention, which only on one side of the transport path of the plate 5 a film applicator 1 are, are with respect to the transport path of the plate 5 On the opposite side, auxiliary rollers are preferably arranged, similar to those of the film applicator 1 when applying the film 7 on the plate 5 counteract applied pressure, so that the plate 5 is almost unloaded and can not break.

Die Folienauftragswalze 6 und die Andrückwalzen 16, 16', 16'' sind bevorzugt in Richtung zu ihren Kontaktstellen mit der Platte 5 bewegbar angeordnet, so daß sie mit varriierbarem Druck gegen die Platte 5 drückbar sind. Ebenso ist die Anlegewalze 13 bevorzugt in Richtung zu ihren Kontaktstellen mit der Folienauftragswalze 6 bewegbar angeordnet, so daß sie mit varrierbarem Druck gegen die Folienauftragswalze 6 drückbar ist.The foil applicator roll 6 and the pressure rollers 16 . 16 ' . 16 '' are preferred toward their contact points with the plate 5 movably arranged so that they with variable pressure against the plate 5 are depressible. Likewise, the application roller 13 preferably in the direction of their contact points with the film applicator roll 6 movably arranged so that they with varrierbarem pressure against the film applicator roll 6 is depressible.

Die Platte 5 tritt, von der Transportvorrichtung 4 transportiert, an den Folienauftragswalzen 6, welche nach der Ausführungsform gemäß 1 symmetrisch zu beiden Seiten des Transportwegs (Pfeil A) der Platte 5 angeordnet sind, in die Folien-Auftragsvorrichtung 1 ein.The plate 5 occurs, from the transport device 4 transported, on the film rollers 6 , which according to the embodiment according to 1 symmetrical to both sides of the transport path (arrow A) of the plate 5 are arranged in the film applicator 1 one.

Die beiden Folienauftragswalzen 6 sind jeweils in dem Längsbereich 8, der sich umfangsseitig von der ersten Umfangsstelle 9 aus, welche der Wälzkontaktstelle der Platte 5 mit der Folienauftragswalze 6 entspricht, entgegengesetzt der Walzendrehrichtung bis zur zweiten Umfangsstelle 10 erstreckt, welche der Wälzkontaktstelle der Folienauftragswalze 6 mit der Anlegewalze 13 entspricht, evakuierbar. Dadurch ist es möglich, die Folie 7 fest auf der Oberfläche der jeweiligen Folienauftragswalze 6 zu halten.The two film applicators 6 are each in the longitudinal area 8th extending circumferentially from the first circumferential location 9 from which of the Wälzkontaktstelle the plate 5 with the foil applicator roll 6 corresponds, opposite to the rolling direction of rotation to the second circumferential location 10 extending, which the Wälzkontaktstelle the film applicator roll 6 with the application roller 13 corresponds, evacuable. This makes it possible for the film 7 firmly on the surface of the respective film applicator roll 6 to keep.

Ein feststehender Formkörper 14 ist in jeder Folienauftragswalze 6 angeordnet. Der feststehende Formkörper 14 erstreckt sich ausgehend von der ersten Umfangsstelle 9 der Folienauftragswalze 6 in Walzendrehrichtung entlang der Umfangswand der Folienauftragswalze 6 bis zu der zweiten Umfangsstelle 10. Von dem feststehenden Formkörper 14 ist die Folienauftragswalze 6 zwischen der ersten Umfangsstelle 9 und der zweiten Umfangsstelle 10 umfangsseitig abgedichtet. Dadurch ist es möglich, den zwischen der ersten Umfangsstelle 9 und der zweiten Umfangsstelle 10 liegenden, der Platte 5 abgewandten Bereich der Folienauftragswalze 6 abzudichten, so daß dort keine Sogwirkung auftritt. Ferner kann die Folienauftragswalze 6 im Bereich zwischen der ersten Umfangsstelle 9 und der dritten Umfangsstelle 20, welche sich ausgehend von der ersten Umfangsstelle 9 in Drehrichtung (Pfeil B) der Folienauftragswalze 6 benachbart zur ersten Umfangsstelle 9 befindet, mit einem erhöhten Innendruck beaufschlagt werden.A fixed molding 14 is in every foil applicator roll 6 arranged. The fixed molding 14 extends from the first circumferential location 9 the foil applicator roll 6 in the roll rotation direction along the peripheral wall of the film applicator roll 6 up to the second circumferential location 10 , From the fixed molding 14 is the foil applicator roll 6 between the first circumferential location 9 and the second circumferential location 10 sealed on the circumference. This makes it possible between the first circumferential location 9 and the second circumferential location 10 lying, the plate 5 remote area of the film applicator roll 6 seal, so that there is no suction effect. Furthermore, the film applicator roll 6 in the area between the first circumferential location 9 and the third circumferential location 20 extending from the first circumferential location 9 in the direction of rotation (arrow B) of the film applicator roll 6 adjacent to the first circumferential location 9 is located, be subjected to an increased internal pressure.

Dadurch ist es möglich, die Folie 7 ab der ersten Kontaktstelle 9 der Platte 5 mit der Folie 7 durch den erhöhten Innendruck in der Folienauftragswalze 6 sicherer und gleichmäßiger an die Platte 5 anzulegen.This makes it possible for the film 7 from the first contact point 9 the plate 5 with the foil 7 by the increased internal pressure in the film applicator roll 6 safer and more even to the plate 5 to apply.

Den Folienauftragswalzen 6 nachfolgend angeordnet befinden sich die einander entsprechend ausgebildeten und entlang der Transportrichtung der Platte 5 zu dieser symmetrisch angeordneten Führungswalzen 15. Mittels der Führungswalzen 15 ist es möglich, eine exakte Führung der mit der Folie 7 beschichteten Platte 5 in der Folien-Auftragsvorrichtung 1 entlang der Transportrichtung der Platte 5 in derselben sicherzustellen.The foil applicator rollers 6 arranged below are the mutually trained and along the transport direction of the plate 5 to this symmetrically arranged guide rollers 15 , By means of the guide rollers 15 It is possible to have an exact guide with the foil 7 coated plate 5 in the film applicator 1 along the transport direction of the plate 5 to ensure in the same.

Nachfolgend den Führungswalzen 15 ist, wie oben erläutert, das erste Paar Andrückwalzen 16 angeordnet, von welchen die Folie 7 an die Platte 5 gedrückt wird, um den Kontakt der Folie 7 mit dem auf der Platte 5 aufgetragenen Harz zu verbessern sowie die Schichtdicke des Harzes zu vergleichmäßigen.Below the guide rollers 15 is, as explained above, the first pair of pressure rollers 16 arranged, of which the film 7 to the plate 5 is pressed to contact the foil 7 with that on the plate 5 To improve applied resin as well as to even out the layer thickness of the resin.

Die dem ersten Paar Andrückwalzen 16 nachfolgend und symmetrisch zu dem Transportweg angeordneten Heizvorrichtungen 17 können beispielsweise Infrarotstrahler sein. Mittels der Heizvorrichtungen 17 ist es möglich, die Viskosität des mittels der Platten-Beschichtungsvorrichtung 2a auf die Platte 5 aufgetragenen und unter der Folie 7, mit welcher die Platte 5 mittels den Folienauftragswalzen 6 beschichtet wurde, vorhandenen Harzes einzustellen. Beispielsweise kann dabei das Harz auch mittels der Heizvorrichtungen 17 getrocknet werden. Es ist jedoch auch möglich, das Harz zu verflüssigen, um durch nachfolgende Paare von Andrückwalzen 16', 16'' den Kontakt zwischen dem Harz und der Platte 5 und/oder den Kontakt zwischen der Folie 7 und dem Harz zu verbessern und/oder die Schichtdicke des Harzes, welches zwischen der Platte 5 und der Folie 7 vorliegt, zu vergleichmäßigen oder einzustellen.The first pair of pressure rollers 16 subsequently and symmetrically to the transport path arranged heaters 17 can be infrared radiators, for example. By means of heaters 17 it is possible to increase the viscosity of the plate by the coating apparatus 2a on the plate 5 applied and under the foil 7 with which the plate 5 by means of the film rollers 6 was coated to adjust existing resin. For example, while the resin by means of the heaters 17 be dried. However, it is also possible to liquefy the resin to pass through subsequent pairs of nip rollers 16 ' . 16 '' the contact between the resin and the plate 5 and / or the contact between the film 7 and the resin to improve and / or the layer thickness of the resin, which between the plate 5 and the foil 7 present, to be evened or adjusted.

Nachfolgend der mit eventuellen weiteren Paaren von Andrückrollen 16', 16'' versehenen Folien-Auftragsvorrichtung 1 kann, wie oben erläutet, eine Folien-Schneidevorrichtung 18' vorgesehen sein. Die Folien-Schneidevorrichtung 18' ist bevorzugt mit zwei symmetrisch zu beiden Seiten des Transportwegs der Platte 5 durch die Vorrichtung zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens angeordneten Schneidmessern 19' oder dergleichen Schneidgeräte versehen, welche jeweils mittels eines nicht dargestellten Antriebs in Richtung auf die Platte 5 zu bzw. von dieser weg bewegbar sind.Below with any further pairs of pressure rollers 16 ' . 16 '' provided film applicator 1 can, as explained above, a film-cutting device 18 ' be provided. The foil cutting device 18 ' is preferred with two symmetrical to both sides of the transport path of the plate 5 cutting blades arranged by the device for carrying out the method according to the invention 19 ' or the like cutting devices provided, each by means of a drive, not shown, in the direction of the plate 5 are movable to or from this away.

Sämtliche Walzen der Folienauftragsvorrichtung 1 sind zueinander parallel sowie vertikal angeordnet, wobei zur Durchführung des Beschichtungsvorgangs die Platte 5 an einer Randseite von der Transportvorrichtung 4 in vertikal hängender Position ergriffen an den vertikal angeordneten Folienauftragswalzen vorbeigeführt wird.All rolls of the film applicator 1 are arranged parallel to each other and vertically, wherein for carrying out the coating operation, the plate 5 on an edge side of the transport device 4 taken in vertical hanging position is guided past the vertically arranged film applicator rollers.

Nachfolgend werden die Platten-Beschichtungsvorrichtungen 2a und 2b sowie die Transportvorrichtung 4 erläutert. Die Platten-Beschichtungsvorrichtungen 2a und 2b sind einander entsprechend ausgebildet, so daß sie nur am Beispiel der ersten Platten-Beschichtungsvorrichtung 2a genauer erläutert werden, wobei aber auch an der Platten-Beschichtungsvorrichung 2b entsprechende Bezugszeichen vorgesehen sind.The following will be the plate coaters 2a and 2 B as well as the transport device 4 explained. The plate coaters 2a and 2 B are formed corresponding to each other, so that they only by the example of the first plate-coating device 2a be explained in more detail, but also on the Platten Beschichtungsvorrichung 2 B corresponding reference numerals are provided.

Die Platten-Beschichtungsvorrichtung 2a gemäß 1 und 2 ist als sogenannter Rolle-Coater ausgebildet. Sie ist ferner zum beidseitigen Beschichten der Platte 5 ausgebildet, wobei sie auf beiden Seiten der zu beschichtenden Platte 5 zu dieser symmetrisch angeordnete, einander entsprechende Komponenten aufweist. Daher wird die Platten-Beschichtungsvorrichtung 2a ferner nur bezüglich ihrer auf der einen Plattenseite angeordneten Komponenten erläutert.The plate coater 2a according to 1 and 2 is designed as a so-called roll coater. It is also for double-sided coating of the plate 5 formed, on both sides of the plate to be coated 5 has to this symmetrically arranged, corresponding components. Therefore, the plate coating apparatus becomes 2a further explained only with respect to their arranged on one side of the plate components.

Die jeweils auf der anderen Seite der Platte 5 angeordneten Komponenten der Platten-Beschichtungsvorrichtung 2a dienen gleichzeitig als Gegenhalter, so daß der beim Beschichten der Platte 5 auf diese ausgeübte Druck nicht zur Beschädigung der Platte 5 führt.The one on the other side of the plate 5 arranged components of the plate coating apparatus 2a at the same time serve as a counter-holder, so that when coating the plate 5 on this applied pressure does not damage the plate 5 leads.

Die Platten-Beschichtungsvorrichtung 2a – und damit auch die Platten-Beschichtungsvorrichtung 2b – weist eine drehgetriebene Beschichtungswalze 21 auf, die vertikal angeordnet ist und die sich an der Berührungsstelle mit der zu beschichtenden Platte 5 in deren Transportrichtung bewegt. Die Beschichtungswalze 21 (oder Auftragswalze) weist eine Umfangsschicht 22 aus einem weichen Kunststoff, insbesondere Gummi, auf. Diese Umfangsschicht 22 ist in mikroskopischer Größenordnung derart oberflächenstrukturiert, daß die Beschichtungswalze 21 das ihr von der nachfolgend erläuterten Zuführvorrichtung zugeführte, flüssige Beschichtungsmaterial 30 besser in Richtung zu der zu beschichtenden Platte 5 mitführen kann. Das flüssige Beschichtungsmaterial ist für die vor der Folien-Auftragsvorrichtung 1 angeordnete Platten-Beschichtungsvorrichtung 2a als flüssiges Isoliermaterial vorgesehen, wohingegen die andere Platten-Beschichtungsvorrichtung 2b zum Auftragen von flüssigem Photoresist, d.h. Photolack, vorgesehen ist.The plate coater 2a - And thus the plate coating device 2 B - Has a rotary-driven coating roller 21 which is arranged vertically and located at the point of contact with the plate to be coated 5 moved in the transport direction. The coating roller 21 (or applicator roll) has a peripheral layer 22 made of a soft plastic, especially rubber on. This peripheral layer 22 is surface-structured on a microscopic scale such that the coating roll 21 the liquid coating material supplied to it by the feeding device explained below 30 better towards the plate to be coated 5 can carry. The liquid coating material is for the before the film applicator 1 arranged plate coating device 2a provided as a liquid insulating material, whereas the other plate coating device 2 B for applying liquid photoresist, ie photoresist, is provided.

Der Kern der Beschichtungswalze 21 ist aus einem härteren Material als ihre Umfangsschicht 22, wobei zum Beispiel Stahl oder ein im Vergleich zur Umfangsschicht 22 härterer Kunststoff in Frage kommen. Die Beschichtungswalze 21 kann auch vollständig aus dem Umfangsschichtmaterial sein. Mit der Beschichtungswalze 21 liegen zwei komplett aus Stahl ausgebildete sowie ebenfalls vertikal angeordnete Walzen 23, 24 derart in Anlage, daß die beiden Stahlwalzen 23, 24 mit der Beschichtungswalze 21 abwälzen. Die in 1 untere Stahlwalze ist als Abstreifwalze 23, und die in 1 obere Stahlwalze ist als Mitlaufwalze 24 vorgesehen. Anstatt aus Stahl können die Abstreifwalze 23 und die Mitlaufwalze 24 auch aus einem anderen Material, z. B. Kunststoff, sein, das härter als das Material der Umfangsschicht 22 der Beschichtungswalze 21 ist. Die Drehachsen der drei genannten Walzen 21, 23, 24 sind derart angeordnet, daß die Verbindungslinien zwischen der Abstreifwalze 23 und der Beschichtungswalze 21 sowie der Mitlaufwalze 24 und der Beschichtungswalze 21 einen spitzen Winkel bilden, wobei aber die Abstreifwalze 23 und die Mitlaufwalze 24 nicht aneinander anliegen. Die Beschichtungswalze 21 hat im Gegensatz zu den beiden Stahlwalzen 23, 24 einen größeren Durchmesser.The core of the coating roller 21 is made of a harder material than its peripheral layer 22 for example steel or one compared to the peripheral layer 22 harder plastic come into question. The coating roller 21 can also be completely made of the peripheral layer material. With the coating roller 21 are two completely formed of steel and also vertically arranged rollers 23 . 24 in such a plant that the two steel rolls 23 . 24 with the coating roller 21 roll off. In the 1 lower steel roller is as a stripping roller 23 , and those in 1 Upper steel roller is as Mitlaufwalze 24 intended. Instead of steel, the stripper can 23 and the idler roller 24 also from another material, eg. As plastic, which is harder than the material of the peripheral layer 22 the coating roller 21 is. The axes of rotation of the three named rolls 21 . 23 . 24 are arranged such that the connecting lines between the stripping roller 23 and the coating roller 21 and the idler roller 24 and the coating roller 21 make an acute angle, but with the stripping roller 23 and the idler roller 24 do not touch each other. The coating roller 21 has in contrast to the two steel rollers 23 . 24 a larger diameter.

Zwischen den derart angeordneten Walzen der Platten-Beschichtungsvorrichtung 2a (bzw. der Plattenbeschichtungsvorrichtung 2b) wird ein Zwischenraum 25 ausgebildet, der seitlich von den drei Walzen 21, 23, 24 begrenzt ist.Between the thus arranged rolls of the plate coater 2a (or the plate coating device 2 B ) becomes a gap 25 formed, the side of the three rollers 21 . 23 . 24 is limited.

An beiden Stahlwalzen 23, 24 anliegend ist eine vertikal angeordnete Dichtungswalze 26 vorgesehen, welche mit den beiden Stahlwalzen 23, 24 abwälzt. Die vier Walzen 21, 23, 24, 26 des Rolle-Coaters sind somit parallel zueinander angeordnet. Der Durchmesser der Abstreifwalze 23 ist gleich dem Durchmesser der Mitlaufwalze 24, so daß die beiden Walzen 23, 24 derart in Anlage mit der Beschichtungswalze 21 und der Dichtungswalze 26 mitdrehen können, daß es zu keiner Relativbewegung zwischen den Walzen 21, 23, 24 und 26 kommt.At both steel rollers 23 . 24 abutting is a vertically arranged sealing roller 26 provided, which with the two steel rollers 23 . 24 rolls. The four rollers 21 . 23 . 24 . 26 of the roller coater are thus arranged parallel to each other. Of the Diameter of the stripping roller 23 is equal to the diameter of the idler roller 24 so that the two rollers 23 . 24 so in contact with the coating roller 21 and the seal roller 26 can turn, that there is no relative movement between the rollers 21 . 23 . 24 and 26 comes.

Die Dichtungswalze 26 weist eine Außenschicht 27 aus gegenüber dem Material der Abstreifwalze 23 und der Mitlaufwalze 24 weicherem Material auf. Insbesondere ist als Außenschicht 27 der Dichtungswalze 26 ein Gummimaterial vorgesehen, während der Kern der Dichtungswalze 26 ebenfalls aus Stahl sein kann. Die Dichtungswalze 26 kann jedoch auch komplett aus ihrem Außenschichtmaterial sein.The seal roller 26 has an outer layer 27 from the material of the stripper roller 23 and the idler roller 24 softer material. In particular, as the outer layer 27 the seal roller 26 provided a rubber material, while the core of the sealing roller 26 also be made of steel. The seal roller 26 but can also be completely out of their outer layer material.

Die Dichtungswalze 26 ist derart sowohl gegen die Abstreifwalze 23 als auch gegen die Mitlaufwalze 24 gepreßt, daß der Zwischenraum 25 zur Seite hin flüssigkeitsabgedichtet ist. Ferner ist die Mitlaufwalze 24 derart gegen die Beschichtungswalze 21 gedrückt, daß auch zwischen diesen beiden Walzen zur Seite hin keine Flüssigkeit nach außen dringen kann. Die vier Walzen 21, 23, 24, 26 sind an ihrer unteren Stirnseite durch eine Lagerplatte 28 gestützt, welche gleichzeitig gegen die Stirnenden der vier Walzen 21, 23, 24, 26 abgedichtet ist, so daß ein flüssigkeitsabgedichteter Aufnahmeraum 29 ausgebildet wird, in dem das auf die Platte 5 aufzutragende flüssige Beschichtungsmaterial 30 aufgenommen ist.The seal roller 26 is so both against the stripping roller 23 as well as against the idler roller 24 pressed that gap 25 is fluid-sealed to the side. Further, the follower roller 24 such against the coating roller 21 pressed, that even between these two rollers to the side no liquid can escape to the outside. The four rollers 21 . 23 . 24 . 26 are at their lower end by a bearing plate 28 supported, which simultaneously against the ends of the four rolls 21 . 23 . 24 . 26 is sealed, so that a liquid-sealed receiving space 29 is formed, in which the on the plate 5 to be applied liquid coating material 30 is included.

Gemäß der vorliegenden Ausführungsform sind die Beschichtungswalze 21 und die Dichtungswalze 26 mit ortsfesten Achsen vorgesehen, während die Abstreifwalze 23 und die Mitlaufwalze 24 in Richtung senkrecht zu der Verbindungslinie zwischen den Achsen der Dichtungswalze 26 und der Beschichtungswalze 21 verstellbar angeordnet sind. Damit kann die Mitlaufwalze 24 mit wahlweisem Anpreßdruck gegen die Dichtungswalze 26 und die Beschichtungswalze 21 gedrückt werden, um die erforderliche Flüssigkeitsabdichtung zu erreichen. Die Beschichtungswalze 21 und die Abstreifwalze 23 rotieren derart gegenläufig, daß sie sich an ihrer gegenseitigen Anlagelinie in Richtung nach außen von dem Aufnahmeraum 29 bewegen. Hierdurch kann die Beschichtungswalze 21 in einfacher Weise Beschichtungsmaterial 30 von dem Aufnahmeraum 29 heraus nach außen in Richtung zu der zu beschichtenden Platte 5 fördern. Das Beschichtungsmaterial 30 wird hierbei von der Oberfläche der Beschichtungswalze 21 im Aufnahmeraum 29 aufgenommen und von der Beschichungswalze 21 via deren Drehbewegung durch den Spalt zwischen der Abstreifwalze 23 und der Beschichtungswalze 21 nach außen gefördert und anschließend auf die Platte 5 übertragen.According to the present embodiment, the coating roller 21 and the seal roller 26 provided with fixed axes, while the stripping roller 23 and the idler roller 24 in the direction perpendicular to the line connecting the axes of the seal roller 26 and the coating roller 21 are arranged adjustable. Thus, the follower roller 24 with optional contact pressure against the seal roller 26 and the coating roller 21 be pressed to achieve the required liquid seal. The coating roller 21 and the stripper roller 23 rotate in opposite directions so that they are at their mutual investment line in the outward direction of the receiving space 29 move. This allows the coating roller 21 in a simple way coating material 30 from the recording room 29 out to the outside to the plate to be coated 5 promote. The coating material 30 in this case from the surface of the coating roller 21 in the recording room 29 picked up and from the coating roller 21 via its rotational movement through the gap between the stripper roller 23 and the coating roller 21 conveyed to the outside and then to the plate 5 transfer.

Durch Einstellen des Anpreßdrucks der Abstreifwalze 23 gegen die Beschichtungswalze 21 wird festgelegt, wieviel Beschichtungsmaterial von der Beschichtungswalze 21 aus dem Aufnahmeraum 29 hinausgefördert wird; hierbei gilt: je größer der Anpreßdruck, desto weniger kann die Beschichtungswalze 21 nach außen fördern und umso geringer wird die Schichtdicke. Die Abstreifwalze 23 ist, wie die Mitlaufwalze 24 und die Dichtungswalze 26, an ihrer Außenfläche glatt ausgebildet, so daß sie keine Flüssigkeit aus dem Aufnahmeraum 29 mit nach außen führt. Mit der Verstellung der Abstreifwalze 23 kann es auch zu einer Anpreßdruckänderung zwischen der Dichtungswalze 26 und der Abstreifwalze 23 kommen. Um eine hierdurch verursachte mangelnde Abdichtung zwischen der Dichtungswalze 26 und der Abstreifwalze 23 zu verhindern, ist die Dichtungswalze vorab entsprechend stark gegen die Abstreifwalze 23 gepreßt und/oder rotieren die Abstreifwalze 23 und die Dichtungswalze 26, wie auch in 1 gezeigt, derart gegenläufig, daß sie sich an ihrer Verbindungslinie in Richtung zu dem Aufnahmeraum 29 bewegen. Hierdurch wird eine Rückförderung der Flüssigkeit 30 in den Aufnahmeraum 29 begünstigt.By adjusting the contact pressure of the stripping roller 23 against the coating roller 21 It is determined how much coating material from the coating roller 21 from the recording room 29 is promoted; In this case: the greater the contact pressure, the less the coating roller can 21 promote the outside and the lower the layer thickness. The stripping roller 23 is like the idler roller 24 and the seal roller 26 , Smooth on its outer surface, so that they no liquid from the receiving space 29 with leads to the outside. With the adjustment of the stripping roller 23 It may also be a contact pressure change between the seal roller 26 and the stripper roller 23 come. To a resulting lack of sealing between the seal roller 26 and the stripper roller 23 To prevent the seal roller is in advance correspondingly strong against the stripping roller 23 pressed and / or rotate the stripper 23 and the seal roller 26 as well as in 1 shown in opposite directions so that they are at their connection line towards the receiving space 29 move. As a result, a return of the liquid 30 in the recording room 29 favored.

Aufgrund der glatten Außenflächen der Abstreifwalze 23, der Mitlaufwalze 24 und der Dichtungswalze 26 und dem berührungsstellenseitigen Nachgeben der im Vergleich zu den Stahlwalzen 23, 24 weicheren Dichtungswalze 26, wird zwischen diesen Walzen 26, 23, 24 eine ausreichende Abdichtung erzielt, so daß kein Beschichtungsmaterial 30 dazwischen nach außen gelangt. Sollte dennoch einmal Flüssigkeit nach außen dringen, so wird diese von der unten angeordneten Lagerplatte 28 aufgefangen, welche hierzu als Auffangbehälter ausgebildet ist. Die von der Lagerplatte 28 aufgefangene Flüssigkeit wird dann über eine Rücklaufleitung 35 (siehe 2) an einen nicht dargestellten Vorratsbehälter zurückgeführt.Due to the smooth outer surfaces of the stripping roller 23 , the co-roll 24 and the seal roller 26 and the contact point side yielding compared to the steel rolls 23 . 24 softer seal roller 26 , will be between these rollers 26 . 23 . 24 achieved a sufficient seal, so that no coating material 30 in between reaches the outside. If, however, liquid does penetrate to the outside, it will come from the bottom of the bearing plate 28 collected, which is designed for this purpose as a collecting container. The of the bearing plate 28 Trapped liquid is then returned via a return line 35 (please refer 2 ) returned to a reservoir, not shown.

Der Aufnahmeraum 29 ist über eine Verbindungsleitung 31 mit einer nicht dargestellten Pumpe verbunden, die aus dem Vorratsbehälter flüssiges Beschichtungsmaterial 30 über die Leitung 31 in den Aufnahmeraum 29 fördert, um die Materialausfuhr durch die Beschichtungswalze 21 auszugleichen. Die Verbindungsleitung 31 ist hierbei in der unteren Lagerplatte 28 angebracht, so daß nachgefördertes Beschichtungsmaterial von unten her in den Aufnahmeraum 29 gelangt. In dem Aufnahmeraum 29 ist ferner ein Überlauf in Form eines Überlaufrohrs 32 vorgesehen, welches sich vertikal und damit parallel zur Aufnahmeraumlängsrichtung erstreckt, nach oben hin offen ist und nach unten über eine andere Verbindungsleitung 33 mit dem Vorratsbehälter verbunden ist.The recording room 29 is via a connection line 31 connected to a pump, not shown, from the reservoir liquid coating material 30 over the line 31 in the recording room 29 promotes the material export through the coating roller 21 compensate. The connection line 31 is here in the lower bearing plate 28 attached, so nachgefördertes coating material from below into the receiving space 29 arrives. In the recording room 29 is also an overflow in the form of an overflow pipe 32 provided, which extends vertically and thus parallel to the receiving space longitudinal direction, is open at the top and down via another connecting line 33 is connected to the reservoir.

Die im Aufnahmeraum 29 aufgenommene Beschichtungsflüssigkeit 30 kann daher bis zum Erreichen des oberen Endes 34 des Überlaufrohrs 32 nach oben steigen, wodurch bei ständiger Nachförderung von Flüssigkeit aus dem Vorratsbehälter der Flüssigkeitspegel im Aufnahmeraum 29 genau auf das Höhenniveau des Endes 34 des Überlaufrohrs 32 eingestellt wird. Das Überlaufrohr 32 ist in seiner Länge bevorzugt variabel, so daß unterschiedliche Flüssigkeitspegel im Aufnahmeraum 29 einstellbar sind. Die Einstellung der Länge des Überlaufrohrs 32 kann dabei gestuft oder stufenlos erfolgen. Alternativ dazu können im Überlaufrohr 32 verschließbare Öffnungen vorgesehen sein, durch deren Öffnen entsprechend andere Flüssigkeitspegel eingestellt werden können. Die Transportvorrichtung 4 (in 1 nicht dargestellt) ist oberhalb der Platten-Beschichtungsvorrichtung 2a, 2b und damit oberhalb der Walzen 21, 23, 24, 26 angeordnet. Die Platte 5 wird von der Transportvorrichtung 4 randseitig ergriffen, wobei der für den optimalen Transport der Platte 5 erforderliche Seitenrand mit einer Breite von 6–12 mm vorgesehen ist.The in the recording room 29 absorbed coating liquid 30 can therefore reach the upper end 34 the overflow pipe 32 rise upwards, whereby with constant Nachförderung of liquid from the reservoir of the Liquid level in the receiving space 29 exactly to the height level of the end 34 the overflow pipe 32 is set. The overflow pipe 32 is preferably variable in length, so that different liquid levels in the receiving space 29 are adjustable. The adjustment of the length of the overflow pipe 32 can be stepped or stepless. Alternatively, in the overflow pipe 32 be provided closable openings through the opening according to other liquid levels can be adjusted. The transport device 4 (in 1 not shown) is above the plate coater 2a . 2 B and thus above the rollers 21 . 23 . 24 . 26 arranged. The plate 5 is from the transport device 4 seized on the edge, where for the optimal transport of the plate 5 required side edge is provided with a width of 6-12 mm.

Gemäß der in 3 und 4 gezeigten Ausführungsform ist die Transportvorrichtung 4 als umlaufende Transportkette 37 vorgesehen, die sich in Transportrichtung der Platte 5 über den Beschichtungsvorrichtungen 2a, 2b und der Folienauftragsvorrichtung 1 erstreckt. An den Kettengliedern 38 der Transportkette 37 sind seitlich Greifvorrichtungen 39 befestigt. Die jeweilige Greifvorrichtung 39 hat ein Greifteil 40 in Form einer Hakenklammer, welche z. B. aus einem hakenförmig gebogenen Blech oder Kunststoff ist. Das Greifteil 40 ist in einem dreiseitig geschlossenen, rechtwinklig abgebogenen Rahmenteil 41 zwischen dessen beiden freien, parallel verlaufenden Rahmenschenkeln 41' und 41'' angeordnet. Es erstreckt sich in seiner Längsrichtung zwischen den beiden Rahmenschenkeln 41', 41'' sowie durch diese hindurch. Die beiden Rahmenschenkel 41', 41'' des Winkelrahmens 41 sind über einen Steg 41''' miteinander verbunden, welcher an einem Schenkel 43' eines Befestigungswinkels 43 angebracht ist, welcher seinerseits mit seinem zweiten Schenkel 43'' durch den Kettengliedbolzen an einem der Kettenglieder 38 befestigt ist. Das Greifteil 40 ist mittels einer Feder 42 derart vorgespannt, daß es mit seinem in Richtung zu dem einen Rahmenschenkel 41'' des Rahmenteils 41 hin abgebogenen, einen Hakenende 40' gegen diesen Rahmenschenkel 41'' drückend vorgespannt ist. Das Greifteil 40 erstreckt sich in seiner Längsrichtung senkrecht zu der Transportkette 37; hierbei ist sein Hakenabschnitt mit dem Hakenende 40' der Transportkette 37 zugewandt, während sein anderes Ende 40'' von der Transportkette 37 abgewandt ist.According to the in 3 and 4 the embodiment shown is the transport device 4 as a circulating transport chain 37 provided, extending in the transport direction of the plate 5 over the coating devices 2a . 2 B and the film applicator 1 extends. At the chain links 38 the transport chain 37 are laterally gripping devices 39 attached. The respective gripping device 39 has a gripping part 40 in the form of a hook clamp, which z. B. from a hook-shaped bent sheet metal or plastic. The gripping part 40 is in a three-sided closed, right angle bent frame part 41 between the two free, parallel frame legs 41 ' and 41 '' arranged. It extends in its longitudinal direction between the two frame legs 41 ' . 41 '' and through them. The two frame legs 41 ' . 41 '' of the angle frame 41 are over a jetty 41 ''' connected to each other, which on one leg 43 ' a mounting bracket 43 is attached, which in turn with his second leg 43 '' through the chain link bolt on one of the chain links 38 is attached. The gripping part 40 is by means of a spring 42 biased so that it with its towards the one frame leg 41 '' of the frame part 41 bent down, a hook end 40 ' against this frame leg 41 '' is biased pushing. The gripping part 40 extends in its longitudinal direction perpendicular to the transport chain 37 ; Here is his hook section with the hook end 40 ' the transport chain 37 facing while his other end 40 '' from the transport chain 37 turned away.

Das Greifteil 40 wird durch Drücken an seinem von der Transportkette 37 abgewandten Ende 40'' in Richtung zu der Transportkette 37 in Öffnungsstellung gebracht; anschließend kann eine Platte 5 zwischen den einen Rahmenschenschenkel 41'' und das Hakenende 40' des Greifteils 40 geführt und nach anschließendem Loslassen des Greifteils 40 durch die Federkraft der Feder 42 zwischen dem Hakenende 40' und dem einen Rahmenschenkel 41'' klemmend an der Tranportkette 37 befestigt werden kann.The gripping part 40 is by pressing on his from the transport chain 37 opposite end 40 '' towards the transport chain 37 brought into the open position; then a plate 5 between the one frame leg 41 '' and the hook end 40 ' of the gripping part 40 guided and after subsequent release of the gripping part 40 by the spring force of the spring 42 between the hook end 40 ' and the one frame leg 41 '' clinging to the transport chain 37 can be attached.

4 zeigt ferner einen Querschnitt durch eine Plattenzuführeinrichtung 43, mittels welcher die Platten 5 der Transportvorrichtung 4 zuführbar sind. 4 further shows a cross section through a Plattenzuführeinrichtung 43 by means of which the plates 5 the transport device 4 can be fed.

Hiernach weist die Plattenzuführeinrichtung 43 einen in Transportkettenlängsrichtung langgestreckten Platteneinführschacht 45 auf, der unmittelbar unterhalb der Transportkette 37 angeordnet ist und sich nach oben in Richtung zu der Transportkette 37 hin trichterförmig verjüngt.Hereinafter, the Plattenzuführeinrichtung 43 an elongate in Transportkettenlängsrichtung Platteneinführschacht 45 on, immediately below the transport chain 37 is arranged and moving upwards towards the transport chain 37 tapered funnel-shaped.

Unmittelbar am Ausmündungsende 46 sind die Greifvorrichtungen 39 angeordnet, so daß die jeweilige Platte 5 von unten her durch den Einführungsschacht 45 direkt im Anschluß an diesen von den Greifvorrichtungen 39 erfaßt werden kann. Der Platteneinführungsschacht 45 ist durch zwei sich gegenüberliegend angeordnete, entsprechend der Trichterform abgebogene Platten 47, 48 ausgebildet. In der vorliegenden Ausführungsform verlaufen die beiden Kettenzüge 37', 37'' der Transportkette 37 übereinanderliegend.Immediately at the mouth end 46 are the gripping devices 39 arranged so that the respective plate 5 from below through the introduction shaft 45 directly following these from the gripping devices 39 can be detected. The plate insertion shaft 45 is by two oppositely arranged, bent according to the funnel shape plates 47 . 48 educated. In the present embodiment, the two chain trains run 37 ' . 37 '' the transport chain 37 one above the other.

Zum Öffnen der Greifvorrichtungen 39 ist eine Öffnungsvorrichtung 49 in Form einer Öffnerkette 50 vorgesehen, an deren Kettengliedern Druckstempel 51 in Form von Druckplatten mit jeweils zwei Winkeln 52 angebracht sind. Die Öffnerkette 50 ist parallel zu der Transportkette 37 verlaufend sowie mit horizontal nebeneinander angeordneten Kettenzügen 50', 50'' vorgesehen. Sie ist komplett, d.h. entlang ihrer gesamten Länge, in Richtung zu der Transportkette 37 derart verfahrbar (Doppelpfeil P), daß die Druckstempel 51 unter Öffnen der Greifvorrichtungen 39 gegen deren von der Transportkette 37 abgewandten Enden 40'' gedrückt werden. Die Länge der Öffnungsvorrichtung 49 und damit (etwa) die halbe Öffnerkettenlänge entsprechen der erwarteten Maximallänge einer zu transportierenden Platte 5. Somit können beim Zuführen einer Platte 5 an die Transportvorrichtung 4 von der Öffnungsvorrichtung 49 derart viele Greifvorrichtungen 39 geöffnet werden, daß die Platte 5 gleichzeitig entlang ihrer gesamten oberen Randseite 59 von den Greifvorrichtungen 39 ergriffen werden kann. Durch Wegfahren der Öffnungsvorrichtung 49 wird die der Transportvorrichtung 4 zugeführte Platte 5 in den Greifvorrichtungen 39, wie oben erläutert, eingeklemmt und fortan von der Transportkette 37 in Richtung zu der der Beschichtungsvorrichtung 2a transportiert. Die Öffnerkette 50 läuft bevorzugt mit der gleichen Geschwindigeit um wie die Transportkette 37, so daß der Transportvorrichtung 4 ohne Anhalten deren Transportkette 37 Platten zuführbar sind.To open the gripping devices 39 is an opening device 49 in the form of an opener chain 50 provided on the chain links plunger 51 in the form of printing plates with two angles each 52 are attached. The opener chain 50 is parallel to the transport chain 37 running as well as horizontally arranged chain hoists 50 ' . 50 '' intended. It is complete, ie along its entire length, towards the transport chain 37 moved so (double arrow P) that the plunger 51 under opening the gripping devices 39 against their from the transport chain 37 opposite ends 40 '' be pressed. The length of the opening device 49 and thus (approximately) half the opening chain length correspond to the expected maximum length of a plate to be transported 5 , Thus, when feeding a plate 5 to the transport device 4 from the opening device 49 so many gripping devices 39 open that plate 5 at the same time along its entire upper edge 59 from the gripping devices 39 can be taken. By driving away the opening device 49 becomes the transport device 4 supplied plate 5 in the gripping devices 39 , as explained above, clamped and from then on the transport chain 37 towards the coating device 2a transported. The opener chain 50 preferably runs at the same speed as the transport chain 37 , so that the transport device 4 without stopping their transport chain 37 Plates can be fed.

Der Platteneinführungsschacht 45 verjüngt sich auf eine Weite, die kleiner oder gleich dem Abstand zwischen dem einen Schenkel 41'' des Schenkelrahmens 41 und dem Hakenende 40' des geöffneten Greifteils 40 ist. Hierdurch wird erreicht, daß die der Transportvorrichtung 4 zugeführte Platte 5 stets behinderungsfrei in die Greifvorrichtungen 39 eingeführt werden kann. Falls die Platte 5 an ihrer oberen Randseite 59 Verwerfungen oder sonstige Wölbungen aufweist, werden diese durch die Trichterform des Platteneinführschachts 45 begradigt und können aufgrund der vorgenannten Weite des Einführschachts 45 nie größer sein als der vorstehend genannte Abstand zwischen den Klemmteilen (Schenkel 41'' und Hakenende 40') der Greifvorrichtungen 39.The plate insertion shaft 45 tapers to a width that is less than or equal to the distance between the one leg 41 '' of the thigh frame 41 and the hook end 40 ' of the open gripping part 40 is. This ensures that the transport device 4 supplied plate 5 always disability-free in the gripping devices 39 can be introduced. If the plate 5 at its upper edge side 59 Faulting or other bulges, these are due to the funnel shape of the Platteneinführschachts 45 straightened and can due to the aforementioned width of the insertion shaft 45 never be greater than the above-mentioned distance between the clamping parts (legs 41 '' and hook end 40 ' ) of the gripping devices 39 ,

3 zeigt einen Schnitt durch die Transportvorrichtung 4 im Bereich der Beschichtungsvorrichtung 2a, welche, wie z.B. aus 3 shows a section through the transport device 4 in the area of the coating device 2a , which, like, for example

2 ersichtlich ist, unterhalb der Transportvorrichtung 4 angeordnet ist. Wie aus 3 ersichtlich ist, laufen der obere 37' und untere 37'' Kettenzug der Transportkette 37 jeweils in einem Stützgehäuse 53, 54, von welchem insbesondere der untere Kettenzug 37'', an dem die Platten 5 hängen, über seine gesamte Transportlänge hinweg nach unten hin sowie gegen ein Verdrillen abgestützt ist. Hierdurch wird eine exaktere Führung der Platten 5 erzielt. Um eine bessere Abstützung gegen das Verdrillen der Kette 37 zu erzielen, ist die Transportkette 37 als Zweifach-Kette ausgebildet. Die Greifvorrichtungen 39 sind an einer Seite der Transportkette 37 mittels deren Bolzen seitlich befestigt. Die Transportkette 37 ist zwischen jenen beiden Kettenlaschen, die von den Greifvorrichtungen 39 abgewandt sind, oben und unten abgestützt und an jenen Kettenbolzen, die zwischen den beiden den Greifvorrichtungen 39 zugewandten Kettenlaschen angeordnet sind, unten abgestützt. Somit ist die Transportkette 37 entlang ihrer Kettenzüge 37', 37'' durch zwei in einem Abstand voneinander angeordnete, untere Gehäusearme 53', 53'' bzw. 54', 54'' und einen oberen Gehäusearm 53''' bzw. 54''' verdrillsicher geführt. Unterhalb der Transportkette 37 und der Greifvorrichtungen 39 ist eine Verkleidung oder Abdeckung 55 mit einem Schlitz 56 vorgesehen, durch welchen sich die von der Transportvorrichtung 4 transportierte Platte 5 erstreckt. Die Verkleidung 55 verhindert, daß Partikel von der Transportkette 37, wie zum Beispiel Schmierstoffe, nach unten auf die Platte 5 fallen können, wo sie zu Verunreinigungen der Beschichtung führen könnten. Gemäß der Ausführungsform nach 3 ist direkt über dem Schlitz 56 eine beidseitig der Platte 5 angeordnete Bürste 57 vorgesehen, welche mit der Platte 5 an deren oberen Randseite 59 in Anlage ist und so den Schlitz 56 zusätzlich gegen das Austreten von Partikeln abdichtet. Diese Bürste 57 ist insbesondere im Bereich der Beschichtungsvorrichtungen 2a, 2b und der Folien-Auftragsvorrichtung 1 angeordnet. 2 it can be seen below the transport device 4 is arranged. How out 3 it can be seen, the upper run 37 ' and lower 37 '' Chain hoist of the transport chain 37 each in a support housing 53 . 54 of which in particular the lower chain hoist 37 '' on which the plates 5 hang down over its entire transport length away and supported against twisting. As a result, a more accurate guidance of the plates 5 achieved. To better support against twisting the chain 37 to achieve is the transport chain 37 formed as a double chain. The gripping devices 39 are on one side of the transport chain 37 fastened laterally by means of their bolts. The transport chain 37 is between those two link plates, the gripping devices 39 facing away, supported at the top and bottom and those chain pins between the two gripping devices 39 facing chain links are arranged, bottom supported. Thus, the transport chain 37 along their chain hoists 37 ' . 37 '' by two spaced, lower housing arms 53 ' . 53 '' respectively. 54 ' . 54 '' and an upper housing arm 53 ''' respectively. 54 ''' twisted sure. Below the transport chain 37 and the gripping devices 39 is a panel or cover 55 with a slot 56 provided by which the of the transport device 4 transported plate 5 extends. The costume 55 prevents particles from the transport chain 37 , such as lubricants, down to the plate 5 fall where they could lead to contamination of the coating. According to the embodiment according to 3 is directly above the slot 56 one on both sides of the plate 5 arranged brush 57 provided, which with the plate 5 at the upper edge side 59 in attachment and so is the slot 56 additionally seals against the escape of particles. This brush 57 is especially in the field of coating devices 2a . 2 B and the film applicator 1 arranged.

In 5 ist eine Plattenbeschichtungsvorrichtung 2a, 2b nach einer anderen Ausführungsform der Erfindung abgebildet; hierbei sind jene Teile, die auch die vorausgehend beschriebenen Plattenbeschichtungsvorrichtungen 2a, 2b aufweisen, mit gleichen Bezugszeichen versehen. Die aus 5 ersichtliche Plattenbeschichtungsvorrichtung 2a, 2b ist zum einseitigen Beschichten vorgesehen. Der Unterschied zu den vorangehend beschriebenen Ausführungsformen besteht darin, daß der Beschichtungswalze 21 nunmehr keine andere Beschichtungswalze, sondern eine einfache Gegenwalze 36 gegenüberliegend angeordnet ist. Zwischen der Beschichtungswalze 21 und der Gegenwalze 36 ist ein Spalt ausgebildet, durch welchen die Platte 5 von der Transportvorrichtung 4 geführt transportiert wird.In 5 is a plate coater 2a . 2 B mapped according to another embodiment of the invention; Here are those parts which are also the previously described plate coating devices 2a . 2 B have, provided with the same reference numerals. From 5 apparent plate coater 2a . 2 B is intended for one-sided coating. The difference from the embodiments described above is that the coating roller 21 now no other coating roller, but a simple counter-roller 36 is arranged opposite. Between the coating roller 21 and the counter roll 36 a gap is formed through which the plate 5 from the transport device 4 is transported led.

Claims (18)

Verfahren zur Herstellung einer Mehrschichtstruktur für eine Leiterplatine, bei dem eine Isolationsbeschichtung aus flüssigem, aushärtbarem Isolationsmaterial auf zumindest eine Seite einer Basisplatte (5) aufgewalzt wird, eine Folie (7) aus stromleitfähigem Material auf das noch nicht ausgehärtete, insbesondere flüssige, Isolationsmaterial unter Ausbildung einer Leitermaterialbeschichtung auf die jeweilige Isolationsbeschichtung aufgewalzt wird, das Isolationsmaterial der jeweiligen Isolationsbeschichtung unter daran Festlegen der Leitermaterialbeschichtung ausgehärtet wird, in der jeweiligen Leitermaterialbeschichtung eine Leiterstruktur ausgebildet wird, und die vorangehenden Schritte bis zum Erreichen einer gewünschten Anzahl von Schichten wiederholt werden, wobei die Basisplatte (5) zum Beschichten mit dem Isolationsmaterial an einer jeweiligen Beschichtungswalze (21) und zum Beschichten mit der Folie (7) an einer jeweiligen Folienauftragswalze (6) in vertikal hängender Position vorbeitransportiert wird.Method for producing a multilayer structure for a printed circuit board, in which an insulating coating of liquid, curable insulating material is applied to at least one side of a base plate ( 5 ), a film ( 7 ) is rolled from current conductive material to the not yet cured, in particular liquid, insulating material to form a conductor material coating on the respective insulation coating, the insulation material of the respective insulation coating is set under it setting the conductor material coating, in the respective conductor material coating a conductor pattern is formed, and the preceding Repeated steps until reaching a desired number of layers, the base plate ( 5 ) for coating with the insulating material on a respective coating roller ( 21 ) and for coating with the film ( 7 ) on a respective film applicator roll ( 6 ) is transported past in a vertically suspended position. Verfahren nach Anspruch 1, wobei die Basisplatte (5) entlang einer kontinuierlichen Transportbahn an der jeweiligen Beschichtungswalze (21) und der jeweiligen Folienauftragswalze (6) vorbeitransportiert wird.Method according to claim 1, wherein the base plate ( 5 ) along a continuous transport path at the respective coating roller ( 21 ) and the respective film applicator roll ( 6 ) is transported past. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, wobei das Isolationsmaterial Kunstharz ist.The method of claim 1 or 2, wherein the insulating material Resin is. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei nach dem Ausbilden der jeweiligen oder der äußersten Leiterstruktur Verbindungslöcher zwischen dieser Leiterstruktur und wenigstens einer darunter liegenden Leiterstruktur in der Schichtstruktur ausgebildet werden, wobei die Verbindungslöcher metallisiert werden und dadurch die jeweiligen Leiterstrukturen elektrisch verbunden werden.Method according to one of claims 1 to 3, wherein after the formation of the respective or the outermost conductor structure connecting holes between said conductor structure and at least one underlying conductor structure in the layer structure are formed, wherein the connection holes are metallized and thereby the respective conductors structures are electrically connected. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, wobei nach dem Ausbilden der äußersten Leiterstruktur diese Leiterstruktur mit einer Isolationsbeschichtung versehen wird.Method according to one of claims 1 to 4, wherein after the Forming the outermost Ladder structure this conductor structure with an insulation coating is provided. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, wobei die Platte (5) nach dem Auftragen der Folie (7) zum Aushärten des flüssigen Isolationsmaterials beheizt wird.Method according to one of claims 1 to 5, wherein the plate ( 5 ) after application of the film ( 7 ) is heated to cure the liquid insulating material. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, wobei als Leitermaterialfolie (7) eine Metallfolie, insbesondere eine Kupferfolie, vorgesehen ist.Method according to one of claims 1 to 6, wherein as a conductor material film ( 7 ) A metal foil, in particular a copper foil, is provided. Vorrichtung zum Herstellen einer Mehrschichtstruktur für eine Leiterplatine, mit – einer Platten-Beschichtungsvorrichtung (2a) zum Beschichten einer Platte (5) mit flüssigem, aushärtbarem Beschichtungsmaterial (30), welche eine Beschichtungswalze (21) zum Auftragen des Beschichtungsmaterials (30) auf eine Seite der Platte aufweist, – einer Folien-Auftragsvorrichtung (1), welche eine Folienauftragswalze (6) zum Auftragen einer Folie (7) auf die Platte (5) aufweist, wobei die Folienauftragswalze (6) • als Hohlwalze ausgebildet ist, • eine perforierte Umfangswand aufweist und • derart evakuierbar ist, daß ausschließlich in einem Umfangsbereich zwischen einer ersten Mantellinie (9), welche durch die zum Auftragen der Folie (7) vorgesehene Kontaktstelle der Folienauftragswalze (6) mit der Platte (5) oder zu dieser Kontaktstelle benachbart verläuft, bis zu einer zweiten Mantellinie (10), welche sich ausgehend von der ersten Mantellinie entgegengesetzt der Drehrichtung der Folienauftragswalze (6) befindet, eine Sogwirkung über die perforierte Umfangswand der Folienauftragswalze (6) nach außen hin auftritt, und – einer Transportvorrichtung (4), von der die Platte (5) an der Beschichtungswalze (21) zum Auftragen des flüssigen Beschichtungsmaterials mit der Walze (21) in Kontakt stehend vorbeitransportierbar ist und von der die Platte (5) an der Folienauftragswalze (6) zum Auftragen der Folie (7) mit der Walze (110) in Kontakt stehend vorbeitransportierbar ist, – wobei die Platten-Beschichtungsvorrichtung (2a) als Vertikal-Beschichtungsvorrichtung mit vertikal angeordneter Beschichtungswalze (21) und die Folien-Auftragsvorrichtung (1) als Vertikal-Folien-Auftragsvorrichtung mit vertikal angeordneter Folienauftragswalze (6) ausgebildet sind, und – wobei die Transportvorrichtung (4) derart ausgebildet ist, daß von ihr die Platte (5) an deren oberen Randseite (59) vertikal hängend ergriffen wird und in dieser vertikal hängenden Position zum Beschichten an der Beschichtungswalze (21) und zum Auftragen der Folie an der Folienauftragswalze (6) vorbeigeführt wird.Device for producing a multilayer structure for a printed circuit board, comprising - a plate coating device ( 2a ) for coating a plate ( 5 ) with liquid, curable coating material ( 30 ), which is a coating roller ( 21 ) for applying the coating material ( 30 ) on one side of the plate, - a film applicator device ( 1 ), which a film applicator roll ( 6 ) for applying a film ( 7 ) on the plate ( 5 ), wherein the film applicator roll ( 6 ) • is designed as a hollow roller, • has a perforated peripheral wall and • can be evacuated so that only in a peripheral region between a first surface line ( 9 ), which by the application of the film ( 7 ) provided contact point of the film applicator roll ( 6 ) with the plate ( 5 ) or adjacent to this contact point, up to a second generatrix ( 10 ), which, starting from the first generatrix opposite to the direction of rotation of the film applicator roll ( 6 ), a suction effect on the perforated peripheral wall of the film applicator roll ( 6 ) occurs to the outside, and - a transport device ( 4 ) from which the plate ( 5 ) on the coating roller ( 21 ) for applying the liquid coating material to the roller ( 21 ) is conveyed in contact and from which the plate ( 5 ) on the film applicator roll ( 6 ) for applying the film ( 7 ) with the roller ( 110 ) is conveyed in contact, - wherein the plate coating device ( 2a ) as vertical coating device with vertically arranged coating roller ( 21 ) and the film applicator device ( 1 ) as a vertical film applicator with vertically arranged film applicator roll ( 6 ), and - wherein the transport device ( 4 ) is formed such that from her the plate ( 5 ) at the upper edge side ( 59 ) is vertically suspended and in this vertically hanging position for coating on the coating roller ( 21 ) and for applying the film to the film applicator roll ( 6 ) is passed. Vorrichtung nach Anspruch 8, wobei die zweite Mantellinie (10) durch jene Stelle verläuft, an welcher der Folienauftragswalze (6) die auf die Platte (5) aufzutragende Folie (7) zugeführt wird.Apparatus according to claim 8, wherein the second generatrix ( 10 ) passes through the point at which the film applicator roll ( 6 ) on the plate ( 5 ) film to be applied ( 7 ) is supplied. Vorrichtung (1) nach Anspruch 8 oder 9, wobei in der Folienauftragswalze (6) ein langgestreckter, feststehender Formkörper (14) aufgenommen ist, der sich mit seiner Längsrichtung längs der Folienauftragswalze (6) erstreckt und mittels dessen jener Umfangsbereich der Folienauftragswalze (6) abgedichtet ist, der sich auf der von der Platte (5) abgewandten Walzenseite ausgehend von der ersten Mantellinie der Folienauftragswalze (6) oder hierzu benachbart entlang deren Umfangswand bis zur zweiten Mantellinie (10) erstreckt.Contraption ( 1 ) according to claim 8 or 9, wherein in the film applicator roll ( 6 ) an elongate, fixed molding ( 14 ), which extends with its longitudinal direction along the film applicator roll ( 6 ) and by means of which that peripheral region of the film applicator roll ( 6 ), which is located on that of the plate ( 5 ) facing away from the side of the first generatrix of the film applicator roll ( 6 ) or adjacent thereto along its peripheral wall to the second generatrix ( 10 ). Vorrichtung (1) nach einem der Ansprüche 8 bis 10, wobei die Folienauftragswalze (6) derart mit erhöhtem Innendruck beaufschlagbar ist, daß entlang eines Umfangsbereichs ausgehend von der ersten Mantellinie (9) in Drehrichtung der Folienauftragswalze (6) bis zu einer dritten Mantellinie (20) durch ihre perforierte Umfangswand nach außen hin eine Überdruckwirkung auftritt.Contraption ( 1 ) according to any one of claims 8 to 10, wherein the film applicator roll ( 6 ) can be acted upon with increased internal pressure such that along a peripheral region starting from the first generating line ( 9 ) in the direction of rotation of the film applicator roll ( 6 ) up to a third generatrix ( 20 ) by its perforated peripheral wall to the outside a positive pressure effect occurs. Vorrichtung (1) nach einem der Ansprüche 8 bis 11, welche ferner eine zweite Folienauftragswalze (6) aufweist, die der ersten Folienauftragswalze (6) entsprechend ausgebildet ist und die derselben gegenüberliegend angeordnet ist, so daß die Platte (5) gleichzeitig auf beiden Seiten mit einer Folie (5) beschichtbar ist.Contraption ( 1 ) according to one of claims 8 to 11, which further comprises a second film applicator roll ( 6 ), which the first film applicator roll ( 6 ) is formed accordingly and the same is arranged opposite, so that the plate ( 5 ) simultaneously on both sides with a foil ( 5 ) is coatable. Vorrichtung (1) nach einem der Ansprüche 8 bis 12, wobei wenigstens ein Paar von Andrückwalzen (16) vorgesehen ist, die der wenigstens einen Folienauftragswalze (6) nachfolgend sowie einander gegenüberliegend angeordnet sind und die dafür vorgesehen sind, um die wenigstens eine auf die Platte (5) aufgetragene Folie (7) an die Platte (5) anzudrücken.Contraption ( 1 ) according to one of claims 8 to 12, wherein at least one pair of pressure rollers ( 16 ) is provided, which of the at least one film applicator roll ( 6 ) are arranged below and opposite each other and which are provided to the at least one on the plate ( 5 ) applied film ( 7 ) to the plate ( 5 ). Vorrichtung nach einem der Ansprüche 8 bis 13, wobei die Platten-Beschichtungsvorrichtung (2a) eine zweite Beschichtungswalze (21) aufweist, die der ersten Beschichtungswalze (21) entsprechend ausgebildet ist und die derselben gegenüberliegend angeordnet ist.Device according to one of claims 8 to 13, wherein the plate coating device ( 2a ) a second coating roller ( 21 ), the first coating roller ( 21 ) is formed accordingly and the same is arranged opposite. Vorrichtung nach Anspruch 8 oder 14, wobei die Folien-Auftragsvorrichtung (1) eine Heizvorrichtung (17) aufweist, die der wenigstens einen Folienauftragswalze (6) nachfolgend angeordnet ist und von welcher die Platte (5) zum Aushärten des darauf aufgetragenen flüssigen Beschichtungsmaterials (30) beheizbar ist.Apparatus according to claim 8 or 14, wherein the film applicator device ( 1 ) a heating device ( 17 ), which of the at least one film applicator roll ( 6 ) is arranged below and from which the plate ( 5 ) for curing the liquid coating material ( 30 ) is heated. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 8 bis 15, wobei die Platten-Beschichtungsvorrichtung (2a) vor der Folien-Auftragsvorrichtung (1) angeordnet ist und zum Auftragen von flüssigem Isolationsmaterial auf die Platte (5) vorgesehen ist, und wobei nach der Folien-Auftragsvorrichtung (1) eine zweite Platten-Beschichtungsvorrichtung (2b) angeordnet ist, die der ersten Platten-Beschichtungsvorrichtung (2a) entsprechend ausgebildet ist und die zum Auftragen von flüssigem Fotoresist auf die von der Folien-Auftragsvorrichtung (1) auf die Platte (5) aufgetragene Folie (7) vorgesehen ist.Device according to one of claims 8 to 15, wherein the plate coating device ( 2a ) before the film applicator ( 1 ) and for applying liquid insulating material to the plate ( 5 ), and wherein after the film applicator device ( 1 ) a second plate coating device ( 2 B ), which is the first plate coating device ( 2a ) and that for applying liquid photoresist on the of the film applicator ( 1 ) on the plate ( 5 ) applied film ( 7 ) is provided. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 8 bis 16, wobei die aufzutragende Folie (7) eine Metallfolie ist.Device according to one of claims 8 to 16, wherein the film to be applied ( 7 ) is a metal foil. Vorrichtung nach Anspruch 17, wobei die aufzutragende Folie (7) eine Kupferfolie ist.Apparatus according to claim 17, wherein the film to be applied ( 7 ) is a copper foil.
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