DE10043754B4 - Hochdrucksensor - Google Patents

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Abstract

Hochdrucksensor zum Messen des Druckes eines Hochdruckfluids, mit
einem rohrförmigen Hohlkörper (2), der an einem Ende durch eine Stirnwand (3) verschlossen und am anderen Ende ortsfest abgestützt ist, wobei die Stirnwand (3) an ihrer Außenseite dem zu messenden Druck (p) des Hochdruckfluids ausgesetzt ist und
einem Messaufnehmer,
dadurch gekennzeichnet, dass
der Messaufnehmer ein nach akustischem, kapazitivem, induktivem, magnetischem oder optischem Messprinzip arbeitender Wegaufnehmer (10) ist, der in Abhängigkeit von einer Längenänderung der Umfangswand (4) des Hohlkörpers (2) ein Wegsignal erzeugt, das eine Auswerteschaltung (1) in ein Drucksignal umformt.

Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft einen Hochdrucksensor zum Messen des Drucks eines Hochdruckfluids.
  • Zum Messen sehr hoher Drücke zwischen etwa 2000 und 3000 bar Berstdruck, wie sie z. B. in der Verteilerschiene (common rail) der Kraftstoffeinspritzanlage einer Diesel-Brennkraftmaschine auftreten, sind Hochdrucksensoren bekanntgeworden, bei denen die Wölbung einer dem Fluiddruck ausgesetzten metallischen Membran mittels Dehnungsmeßstreifen erfaßt und hieraus z. B. in einer Brückenschaltung ein Drucksignal gebildet wird. Abgesehen davon, daß die Meßempfindlichkeit derartiger Hochdrucksensoren relativ begrenzt ist, erfüllen sie meist auch nicht die Anforderungen hinsichtlich der zu erreichenden Lastschaltspiele, die beispielsweise in der Größenordnung von 1010 liegen. Es sind ferner piezoelektrische Drucksensoren bekannt, bei denen ein piezoelektrischer Aufnehmer dem Druck unmittelbar ausgesetzt ist. Derartige piezoelektrische Drucksensoren werden bisher jedoch im allgemeinen nur für niedrigere Drücke eingesetzt. Bei Hochdrucksensoren mit integrierten Bauelementen aus Si, die sich in dem Hochdruckfluid (z. B. Öl) befinden, ist eine druckdichte Durchführung der Leitungen nach außen erforderlich, was häufig nicht mit vertretbarem Aufwand zu verwirklichen ist. Ferner sind auch Hochdrucksensoren mit sogenannten Keramikpilzen bekannt, die eine Membran besitzen, deren Durchbiegung gemessen wird. Hierbei wird die Wandung der Keramikpilze auf Zug beansprucht, was für Materialien wie Keramik ungeeignet ist.
  • Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Hochdrucksensor hoher Meßempfindlichkeit und einfacher Herstellbarkeit zu schaffen, bei dem das durch den Fluiddruck verformbare druckmessende Element keiner Zugspannung ausgesetzt ist.
  • Die US 3,672,223 beschreibt einen Druckmesswandler mit einem Wandlerelement, das einerseits auf dem Wandlergehäuse und andererseits auf einer zur Druckübertragung dienenden Platte abgestützt ist und das unter dem Einfluss einer mit dem Wandlergehäuse und der Druckübertragungsplatte verbundenen elastischen Rohrfeder unter axialer Vorspannung steht. Diese Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, dass die Rohrfeder als das Wandlerelement gegen den Messdruck abdichtende Rohrmembrane ausgebildet ist und dass diese in radialer Richtung auf einem zwischen ihr und dem Wandlerelement angeordneten Abstützorgan ruht. Das Wandlerelement ist direkt druckbeaufschlagt.
  • Mit der DE 1228825 B wird ein Verfahren zur elektrischen Widerstandsschweißung von piezoelektrischen Kraftmesselementen, insbesondere Druckgebern, beschrieben, die eine das Piezoelement und eine Isolierhülse enthaltende Vorspannhülse und ein an diese angeschweißtes Anschlussstück aufweisen.
  • Die DE 2052356 A offenbart ebenfalls einen Druckmesswertwandler, der mit einem Quarzresonator aufgebaut ist.
  • Diese Aufgabe wird durch die im Anspruch 1 definierte Erfindung gelöst.
  • Gemäß der Erfindung ist das druckmessende Element des Hochdrucksensors ein rohrförmiger Hohlkörper, der an einem Ende durch eine Stirnwand verschlossen und am anderen Ende ortsfest abgestützt ist. Die Stirnwand wird an ihrer Außenseite mit dem zu messenden Druck des Hochdruckfluids beaufschlagt, so daß der Hohlkörper durch das Hochdruckfluid in axialer Richtung auf Druck beansprucht wird. Die hierdurch bedingte Längenänderung des Hohlkörpers wird von einem Meßaufnehmer erfaßt und an eine elektronische Auswerteschaltung abgegeben, die dann ein Drucksignal ausgibt.
  • Ein wichtiger Vorteil der erfindungsgemäßen Lösung besteht darin, daß der rohrförmige Hohlkörper nicht auf Zug, sondern auf Druck beansprucht wird. Dies erlaubt eine praktisch lineare Umsetzung des Fluiddrucks in eine Wegänderung, die dann mittels geeigneter Meßaufnehmer zum Erzeugen des Drucksignals erfaßt werden kann. Ausbauchungen des rohrförmigen Hohlkörpers können hierbei nicht auftreten. Für den Hohlkörper lassen sich daher nicht nur metallische, sondern auch keramische oder glasartige oder kristalline Materialien verwenden.
  • Da ferner der Hohlkörper ein einfaches Bauteil ist und der Meßaufnehmer sowie die Auswerteschaltung in einfacher Weise ausgebildet werden können, ist der erfindungsgemäße Hochdrucksensor konstruktiv einfach und kostengünstig herstellbar. Auch ist er äußerst robust, so daß er eine entsprechend hohe Anzahl von Lastspielen aushält. Die hier in Betracht kommenden hohen Drücke von beispielsweise 2000 bis 3000 bar führen bei entsprechender Gestaltung des Hohlkörpers zu erheblichen Längenänderungen, die sich mit präzise arbeitenden Meßaufnehmern sehr genau erfassen lassen. Der erfindungsgemäß ausgebildete Hochdrucksensor hat daher auch eine hohe Meßempfindlichkeit. Ein weiterer Vorteil der Erfindung besteht darin, daß keine Leitungsdurchführungen durch das das Hochdruckfluid enthaltende Gehäuse erforderlich ist.
  • Gemäß einer Ausführungsform der Erfindung ist der Meßaufnehmer ein Wegaufnehmer, der unmittelbar die Längenänderung des rohrförmigen Hohlkörpers erfaßt. Er kann beispielsweise nach einem akustischen, kapazitiven, induktiven, magnetischen oder optoelektronischen Meßprinzip arbeiten. Eine weitere Möglichkeit besteht darin, daß der Wegaufnehmer ein Laufzeitbauteil in Form einer Leitschicht an der Innenseite des Hohlkörpers ist, das die Laufzeit einer Oberflächenwelle von einem Ende zum anderen Ende des Hohlkörpers erfaßt und in Abhängigkeit hiervon das Drucksignal erzeugt.
  • Gemäß einer anderen Ausführungsform der Erfindung ist der Innenraum des Hohlkörpers allseitig verschlossen und mit einem druckübertragenden Medium gefüllt, so daß sich bei Längenänderungen des Hohlkörpers der Druck des druckübertragenden Mediums ändert. Der zu messende hohe Druck des Hochdruckfluids wird somit in einen niedrigeren Druck des druckübertragenden Mediums umgewandelt, der dann von einem herkömmlichen Druckaufnehmer erfaßt und zum Erzeugen des eigentlichen Drucksignals verwendet wird.
  • Zweckmäßigerweise ragt der Hohlkörper in ein das Hochdruckfluid enthaltendes rohrförmiges Gehäuse, das den Hohlkörper mit einem kleinen Spalt umgibt. Das rohrförmige Gehäuse kann beispielsweise die Verteilerschiene (common rail) einer Kraftstoffeinspritzanlage einer Brennkraftmaschine oder ein mit dieser fluiddicht verbundenes Teil sein.
  • Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen definiert.
  • Anhand der Zeichnungen werden Ausführungsbeispiele der Erfindung näher erläutert. Es zeigt:
  • 1 einen schematischen Längsschnitt durch eine Ausführungsform eines Hochdrucksensors;
  • 2 eine der 1 entsprechende Ansicht eines geringfügig abgewandelten Hochdrucksensors;
  • 3 bis 7 schematische Längsschnitte durch den rohrförmigen Hohlkörper des Hochdrucksensors in den 1 und 2 in Verbindung mit unterschiedlichen Ausführungsformen eines Wegaufnehmers;
  • 8 eine schematische Längsschnittansicht durch eine weitere Ausführungsform eines Hochdrucksensors.
  • Es wird zunächst auf 1 Bezug genommen. Ein rohrförmiges Gehäuse 1 enthält ein Hochdruckfluid eines zu messenden Druckes p, der beispielsweise in der Größenordnung von 2000 bis 3000 bar liegt. Wie bereits erwähnt, kann das rohrförmige Gehäuse die Verteilerschiene einer Kraftstoffeinspritzanlage oder ein damit verbundenes Rohr sein. Der zu beschreibende Hochdrucksensor läßt sich dann zum Messen des Kraftstoffdrucks in der Verteilerschiene verwenden. Es versteht sich jedoch, daß die Anwendung hierauf nicht beschränkt ist.
  • Der Hochdrucksensor weist einen rohrförmigen Hohlkörper 2 auf, dessen Umfangswand 4 an dem (in 1) linken Ende durch eine Stirnwand 3 verschlossen und am rechten Ende bezüglich des rohrförmigen Gehäuses 1 ortsfest abgestützt ist. Genauer gesagt, hat der Hohlkörper 2 an seinem rechten Ende einen Flansch 5, der durch eine Mutter 6 gegen das Stirnende des rohrförmigen Gehäuses 1 festgespannt ist. Zwischen dem Flansch 5 und dem Stirnende des Gehäuses 1 ist eine Dichtung 7 angeordnet, so daß der das Hochdruckfluid enthaltende Innenraum des Gehäuses 1 fluiddicht verschlossen ist.
  • Wie in 1 zu sehen ist, ist die Anordnung so getroffen, daß die Stirnwand 3 des Hohlkörpers 2 an ihrer Außenseite dem zu messenden Druck p des Hochdruckfluids ausgesetzt ist. Hierdurch wird der Hohlkörper 2 ausschließlich auf Druck beansprucht, was entsprechende Längenänderungen des Hohlkörpers 2 zur Folge hat. Zwischen der Umfangswand 4 des Hohlkörpers 2 und der Umfangswand des rohrförmigen Gehäuses 1 ist ein Spalt 8 vorgesehen. Der Spalt 8 wird so gewählt, daß er im gesamten auftretenden Temperaturbereich (z. B. von –40°C bis 180°C) immer so weit offenbleibt, daß es zu keiner Berührung zwischen dem Hohlkörper 2 und dem rohrförmigen Gehäuse 1 kommt und keine Kapillarkräfte wirksam werden können.
  • Der Hohlkörper 2 und das rohrförmige Gehäuse 1 haben vorzugsweise einen kreisförmigen Querschnitt; sie können jedoch auch einen anderen Querschnitt haben.
  • Wie schematisch angedeutet, hat die Stirnwand 3 eine wesentlich größere Dicke als die Umfangswand 4, so daß die Stirnwand 3 eine hohe Steifigkeit im Vergleich zu der Umfangswand 4 hat. Es kommt daher zu einer im wesentlichen linearen Umsetzung des Fluiddrucks p in eine Wegänderung der Stirnwand 3 durch die Umfangswand 4, die ausschließlich unter einer Druckspannung steht. Der Hohlkörper 4 kann daher nicht nur aus Stahl, sondern beispielsweise auch aus keramischen oder glasartigen oder kristallinen Materialien (z. B. Quarz) bestehen. Die Anordnung wird hierbei so getroffen, daß die Umfangswand 4 des Hohlkörpers 2 im gesamten Meßbereich im linearen Teil der Hookschen Spannungs-Weg-Kennlinie bleibt. Der Hohlkörper 2 kann somit extrem hohen Fluiddrücken ausgesetzt werden.
  • Die Ausführungsform der 2 entspricht der in 1, abgesehen davon, daß die Dichtung 7 bei der Ausführungsform in 2 zwischen dem Flansch 5 des Hohlkörpers 2 und der Mutter 6 angeordnet ist. Bei der Ausführungsform der 2 braucht daher die innenliegende Anlagefläche der Mutter 6 nicht so plan wie bei dem Ausführungsbeispiel der 1 aus gebildet werden. Die Dichtung 7 besteht beispielsweise aus Weicheisen.
  • Die durch Änderungen des Drucks p bedingten Längenänderungen (Wegänderungen) des Hohlkörpers 2 werden mit Hilfe eines (in den 1 und 2 nicht gezeigten) Meßaufnehmers zum Erzeugen eines Drucksignals verwendet.
  • Die 3 bis 6 zeigen verschiedene Ausführungsformen eines Meßaufnehmers in Form eines Wegaufnehmers 10, der in Abhängigkeit von Längenänderungen des Hohlkörpers 2 ein Wegsignal erzeugt, das einer elektronischen Auswerteschaltung (nicht gezeigt) zum Erzeugen des eigentlichen Drucksignals zugeführt wird. Da derartige elektronische Auswerteschaltungen dem Fachmann bestens bekannt sind, werden sie nicht weiter beschrieben. Ferner ist in den 3 bis 6 der Einfachheit halber das rohrförmige Gehäuse 1 weggelassen.
  • Bei dem in 3 dargestellten Ausführungsbeispiel ist der Wegaufnehmer 10 ein Laufzeitbauteil 11 in Form einer Leitschicht an der Innenseite der Umfangswand 4 des Hohlkörpers 2. Die Leitschicht kann beispielsweise in der Weise hergestellt werden, daß der Hohlkörper 2 in ein entsprechendes Flüssigbad getaucht, geschleudert, belichtet und schließlich geätzt wird. Vorteilhafterweise wird das Laufzeitbauteil 11 in Form zweier gegenüberliegender Leitschichten 11a und 11b ausgebildet, die im Bereich der Stirnwand 3 miteinander verbunden werden. Es entsteht dann ein OFW-Bauteil, das sowohl die von dem Sender S durch die Leitschicht 11a hinlaufende Oberflächenwelle wie auch die durch die Leitschicht 11b zum Empfänger E zurücklaufende Oberflächenwelle zum Erzeugen des Wegsignals ausnutzt. Das Laufzeitbauteil 11 kann somit Teil eines Laufzeitoszillators bilden, wobei die Frequenz des entstehenden Laufzeitsignals umgekehrt proportional und die Periodendauer proportional zur Längenänderung des Hohlkörpers 2 ist. Dies läßt sich in einer herkömmlichen elektronischen Auswerteschaltung zum Erzeugen des Drucksignals verwenden.
  • Bei dem in 4 dargestellten Ausführungsbeispiel weist der Wegaufnehmer 10 einen zylindrischen Innenkörper 2 auf, der von dem (in 4) rechten Ende des Hohlkörpers 2 aus mit vorgegebenem Abstand in das Innere des Hohlkörpers 2 ragt. Da nur der Hohlkörper 2, nicht jedoch der Innenkörper 12 dem zu messenden Druck des Hochdruckfluids ausgesetzt ist, haben Längenänderungen des Hohlkörpers 2 eine Parallelverschiebung zwischen den sich gegenüberliegenden Umfangsflächen des Hohlkörpers 2 und des Innenkörpers 12 zur Folge. Sind die gegenüberliegenden Umfangsflächen mit Meßflächen versehen, zwischen den beispielsweise ein elektrischer, magnetischer oder optischer Fluß stattfindet, so hat die Parallelverschiebung zwischen den gegenüberliegenden Umfangsflächen des Hohlkörpers 2 und Innenkörpers 12 eine entsprechende Änderung des Flusses zur Folge, die dann zum Erzeugen des Wegsignals verwendet werden kann.
  • Bei dem in 4 gezeigten Ausführungsbeispiel ist der Wegaufnehmer 10 als kapazitiv arbeitender Wegaufnehmer ausgebildet. Der Wegaufnehmer 10 weist zwei ringförmige Elektroden 13, 14 auf, die in der Nähe der Stirnwand 3 an den einander gegenüberliegenden Umfangsflächen des Hohlkörpers 2 und des Innenkörpers 12 angebracht sind. Der Hohlkörper 2 und der Innenkörper 12 bestehen aus einem elektrisch isolierenden Material wie z. B. Keramik. Bei einer Längenänderung des Hohlkörpers 2 kommt es dann zu einer entsprechenden Kapazitätsänderung zwischen den Elektroden 13, 14, die zum Erzeugen des Wegsignals verwendet wird.
  • Um störende äußere Einflüsse auszuschalten, sind bei dem Ausführungsbeispiel der 4 zwei Vergleichselektroden 15, 16 im Bereich des rechten Endes des Hohlkörpers 2 und des Innenkörpers 12 vorgesehen, die eine Vergleichsmessung erlauben. Wie in 4 schematisch angedeutet, ist an der Außenseite des Innenkörpers 12 eine elektronische Auswerteschaltung 17 angeordnet, die über Zuleitungen 18 und 19 mit den Elektroden verbunden sind. Die Zuleitungen 18, 19 können, wie dargestellt, durch den Innenkörper 12 hindurchgeführt oder auch an der Oberfläche des aus elektrisch isoliertem Material bestehenden Hohlkörpers 2 entlanggeführt werden.
  • Bei dem in 5 gezeigten Ausführungsbeispiel ist der Wegaufnehmer 10 als magnetisch arbeitender Wegaufnehmer ausgebildet. Zu diesem Zweck bestehen der Hohlkörper 2 und der Innenkörper 12 aus einem ferromagnetischen Material. Die Meßflächen an den einander gegenüberliegenden Umfangsflächen des Hohlkörpers 2 und des Innenkörpers 12 sind so gestaltet, daß zwischen den Meßflächen ein Luftspalt 20 entsteht, der Teil eines durch den Hohlkörper 2 und den Innenkörper 12 verlaufenden Magnetkreises 22 bildet, wie in 5 durch gestrichelte Linien schematisch angedeutet ist. Der Magnetkreis 22 verläuft hierbei über einen sehr kleinen, jedoch großflächigen Luftspalt 21 zwischen den einander gegenüberliegenden Stirnseiten des Hohlkörpers 2 und des Innenkörpers 22 an ihrem rechten Ende. Längenänderungen des Hohlkörpers 2 haben eine Änderung des magnetischen Widerstandes im Luftspalt 20 zur Folge, dessen Wert mit Hilfe von Hallelementen (nicht gezeigt) oder einer Spule (nicht gezeigt) erfaßt und zum Erzeugen des Wegsignals verwendet werden kann.
  • Eine fertigungstechnisch einfachere Ausführungsform eines magnetisch arbeitenden Wegaufnehmers 10 ist in 6 schematisch angedeutet. Bei diesem Ausführungsbeispiel ist die Innenseite des Hohlkörpers 2 mit einer Dauermagnetschicht 23 versehen. Auf dem Innenkörper 12 wird eine Meßeinrichtung in Form eines magnetfelderzeugenden Bauelementes 24 und eines magnetfeldmessenden Bauelementes 25, z. B. einer Spule so angebracht, daß in dem Luftspalt 20 zwischen der Dauermagnetschicht 23 und der Meßeinrichtung des Innenkörpers 12 ein Magnetfluß entsteht. Die Dauermagnetschicht 23 kann in der Weise erzeugt werden, daß die innere Umfangsfläche des Hohlkörpers 2 mit einem magnetischen Material beschichtet wird, das nach der Montage durch einen Stromstoß in einen Dauermag neten verwandelt wird. Längenänderungen des Hohlkörpers 2 haben wiederum Änderungen des Magnetflusses zur Folge, die durch ein Hallelement (nicht gezeigt) oder ein GMR-Element (Giant Magnetic Resistor) zur Erzeugen des Wegsignals erfaßt werden.
  • Bei dem in 7 dargestellten Ausführungsbeispiel ist an der Stirnwand 3 des Hohlkörpers 2 ein stabförmiger Ansatz 26 angeformt, der Wegänderungen der Stirnwand 3 in die Ebene des (in 7) rechten Stirnendes des Hohlkörpers 2 überträgt. Diese Lösung hat den konstruktiven Vorteil, daß der Wegaufnehmer nicht mehr im Inneren des Hohlkörpers 2 untergebracht werden muß. Wegänderungen der Stirnwand 3 in Richtung des Pfeils x haben somit eine entsprechende Wegänderung der rechten Stirnfläche 27 des Ansatzes 26 zur Folge, die mittels einfacher herkömmlicher Wegaufnehmer (nicht gezeigt) erfaßt und zum Erzeugen des Wegsignals ausgenutzt werden kann.
  • In besonders einfacher Weise läßt sich die Bewegung der an die Stirnfläche 27 anschließenden Kante mit Hilfe des Lichtflusses eines elektrooptischen Aufnehmers (nicht gezeigt) erfassen. Es versteht sich jedoch, daß auch andere Wegaufnehmer wie z. B. akustisch, elektrisch oder magnetisch arbeitende Wegaufnehmer verwendet werden können.
  • Bei dem in 8 dargestellten Ausführungsbeispiel eines Hochdrucksensors werden Längenänderungen (Wegänderungen) des Hohlkörpers 2 nicht unmittelbar, sondern lediglich indirekt erfaßt. Zu diesem Zweck ist der Innenraum des Hohlkörpers 2 allseitig verschlossen und mit einem druckübertragenden Medium gefüllt. Der Meßaufnehmer ist als Druckaufnehmer 30 ausgebildet, der sich aus einer die rechte Seite des Hohlkörpers 2 verschließenden Scheibe 31 und einem im Innenraum des allseitig geschlossenen Hohlkörpers 2 angeordneten IC-Element 32 zusammensetzt. Die Scheibe 31 wird von der Mutter 6 zusammen mit dem Flansch 5 des Hohlkörpers 2 gegen das rohrförmige Gehäuse 1 festgespannt, wobei die Scheibe 31 auf ihrer Außen seite über eine Strömungsverbindung 33 mit dem Umgebungsdruck p0 beaufschlagt wird.
  • Änderungen des zu messenden Drucks p1 im Inneren des rohrförmigen Gehäuses 1 führen zu Längenänderungen und entsprechenden Volumenänderungen des Innenraums des Hohlkörpers 2, was entsprechende Änderungen des niedrigeren Drucks p2 im Innenraum des Hohlkörpers 2 zur Folge hat. Diese Änderungen des Drucks p2 werden von dem druckmessenden IC-Element 32 erfaßt und zum Erzeugen des den Druck p1 darstellenden Drucksignals verwendet.
  • Um gegebenenfalls vorhandene temperaturabhängige störende Einflüsse auszuschalten, sollte bei diesem Ausführungsbeispiel zusätzlich die Temperatur gemessen werden, um mit Hilfe von Kennlinienfeldern das von dem IC-Element abgegebene Drucksignal so zu korrigieren, daß ein den tatsächlichen Druck p1 darstellendes Drucksignal entsteht.

Claims (16)

  1. Hochdrucksensor zum Messen des Druckes eines Hochdruckfluids, mit einem rohrförmigen Hohlkörper (2), der an einem Ende durch eine Stirnwand (3) verschlossen und am anderen Ende ortsfest abgestützt ist, wobei die Stirnwand (3) an ihrer Außenseite dem zu messenden Druck (p) des Hochdruckfluids ausgesetzt ist und einem Messaufnehmer, dadurch gekennzeichnet, dass der Messaufnehmer ein nach akustischem, kapazitivem, induktivem, magnetischem oder optischem Messprinzip arbeitender Wegaufnehmer (10) ist, der in Abhängigkeit von einer Längenänderung der Umfangswand (4) des Hohlkörpers (2) ein Wegsignal erzeugt, das eine Auswerteschaltung (1) in ein Drucksignal umformt.
  2. Hochdrucksensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Wandstärke der Stirnwand (3) wesentlich größer als die Wandstärke der Umfangswand (4) des Hohlkörpers (2) ist.
  3. Hochdrucksensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Hohlkörper (2) in ein das Hochdruckfluid enthaltendes rohrförmiges Gehäuse (1) so ragt, dass zwischen der Umfangswand (4) des Hohlkörpers (2) und dem rohrförmigen Gehäuse (1) ein Spalt (8) vorhanden ist, und dass das ortsfest abgestützte Ende des Hohlkörpers (2) gegenüber dem Gehäuse (1) abgedichtet ist.
  4. Hochdrucksensor nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass der Spalt (8) so gewählt ist, dass im gesamten auftretenden Temperaturbereich keine Berührung zwischen dem Hohlkörper (2) und dem rohrförmigen Gehäuse (1) erfolgt.
  5. Hochdrucksensor nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, dass das ortsfest abgestützte Ende des Hohlkörpers (2) durch eine Mutter (6) gegen das rohrförmige Gehäuse (1) festgespannt ist.
  6. Hochdrucksensor nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass eine Dichtung (7) zwischen dem rohrförmigen Gehäuse (1) und dem Hohlkörper (2) oder zwischen dem Hohlkörper (2) und der Mutter (6) angeordnet ist.
  7. Hochdrucksensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Material und die Abmessungen des Hohlkörpers (2) so gewählt sind, dass die Druckbeanspruchung des Hohlkörpers (2) im gesamten Messbereich im linearen Teil der Hook'eschen Weg-Spannungs-Kennlinie bleibt.
  8. Hochdrucksensor nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass der Hohlkörper (2) aus Metall oder einem keramischen oder glasartigen oder kristallinen Material besteht.
  9. Hochdrucksensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Wegaufnehmer (10) ein Laufzeitbauteil (11) in Form einer Leitschicht (11a, b) an der Innenseite der Umfangswand (4) des Hohlkörpers (2) ist, das die Laufzeit einer Oberflächenwelle von einem Ende zum anderen Ende des Hohlkörpers (2) erfasst und in Abhängigkeit von Änderungen der Laufzeit das Wegsignal erzeugt.
  10. Hochdrucksensor nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass das Laufzeitbauteil (11) auf gegenüberliegenden Innenseiten der Umfangswand (4) des Hohlkörpers (2) je eine Leitschicht (11a, b) aufweist, die im Bereich der Stirnwand (3) miteinander verbunden sind, so dass sowohl ein vorlaufender wie auch rücklaufender Teil der Oberflächenwelle zum Erzeugen des Wegsignals wird.
  11. Hochdrucksensor nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass der Wegaufnehmer (10) einen zylindrischen Innenkörper (12) aufweist, der von dem ortsfest abgestützten Ende des Hohlkörpers (2) aus mit vorgegebenem Abstand in den Hohlkörper (2) ragt, so dass eine Längenänderung des Hohlkörpers (2) eine Parallelverschiebung zwischen den einander gegenüberliegenden Umfangsflächen des Hohlkörpers (2) und des Innenkörpers (12) bewirkt, die eine Änderung eines elektrischen, magnetischen oder optischen Flusses zwischen Messflächen an diesen Umfangsflächen bewirkt, die zur Erzeugung des Wegsignals benutzt wird.
  12. Hochdrucksensor nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass der Hohlkörper (2) und der Innenkörper (12) aus elektrisch isolierendem Material bestehen und der Wegaufnehmer (10) ein kapazitiv arbeitender Wegaufnehmer ist, dessen Messflächen von zwei Elektroden (13, 14) an den einander gegenüberliegenden Umfangsflächen des Hohlkörpers (2) und Innenkörpers (12) gebildet werden.
  13. Hochdrucksensor nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass der Wegaufnehmer (10) ein magnetisch arbeitender Wegaufnehmer ist, dessen Messflächen einen einen Magnetkreis (22) schließenden Luftspalt (20) bilden.
  14. Hochdrucksensor nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass der Hohlkörper (2) und der Innenkörper (12) aus ferromagnetischem Material bestehen, von dem die Messflächen des magnetisch arbeitenden Wegaufnehmers gebildet werden.
  15. Hochdrucksensor nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass die Innenseite des Hohlkörpers (2) mit einer Dauermagnetschicht (23) versehen ist, und der Innenkörper (12) ein magnetfelderzeugendes und ein magnetfeldmessendes Bauelement (24, 25) zum Erzeugen eines Magnetflusses trägt.
  16. Hochdrucksensor nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass an der Stirnwand (3) des Hohlkörpers (2) ein stabförmiger Ansatz (26) angeformt ist, der Wegänderungen der Stirnwand (3) in den Bereich des ortsfest abgestützten Endes des Hohlkörpers (2) überträgt, in dem der Wegaufnehmer (10) angeordnet ist.
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