DE10007062A1 - Dreh-Schwenkeinrichtung für den Tastkopf eines Koordinatenmeßgerätes - Google Patents

Dreh-Schwenkeinrichtung für den Tastkopf eines Koordinatenmeßgerätes

Info

Publication number
DE10007062A1
DE10007062A1 DE2000107062 DE10007062A DE10007062A1 DE 10007062 A1 DE10007062 A1 DE 10007062A1 DE 2000107062 DE2000107062 DE 2000107062 DE 10007062 A DE10007062 A DE 10007062A DE 10007062 A1 DE10007062 A1 DE 10007062A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
rotary
rotation
swivel
vector
probe
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE2000107062
Other languages
English (en)
Inventor
Werner Lotze
Karl-Hermann Breyer
Peter Ebersbach
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Carl Zeiss Industrielle Messtechnik GmbH
Original Assignee
Carl Zeiss AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Carl Zeiss AG filed Critical Carl Zeiss AG
Priority to DE20023553U priority Critical patent/DE20023553U1/de
Priority to DE2000107062 priority patent/DE10007062A1/de
Priority to JP2001560620A priority patent/JP2003526090A/ja
Priority to EP01953026A priority patent/EP1264156A1/de
Priority to PCT/EP2001/000531 priority patent/WO2001061273A1/de
Publication of DE10007062A1 publication Critical patent/DE10007062A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B21/00Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
    • G01B21/02Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness
    • G01B21/04Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness by measuring coordinates of points
    • G01B21/045Correction of measurements

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
  • A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)

Abstract

Es wird eine Dreh-Schwenkeinrichtung für Tastköpfe (4) von Koordinatenmeßgeräten vorgestellt, die mindestens zwei Drehgelenke (14, 15) zur winkelmäßigen Ausrichtung der Tastköpfe umfaßt und der eine Korrektureinheit (22) zugeordnet ist, in der wenigstens die Lage der Drehachsen (a¶A¶, a¶B¶) der Drehgelenke zueinander und die Winkelpositionsabweichungen der Drehgelenke korrigiert werden. Um die Korrektur handhabbar zu machen, werden diese Fehler mit einem gemeinsamen mathematischen Modell korrigiert.

Description

Die Erfindung betrifft eine Dreh-Schwenkeinrichtung für den Tastkopf eines Koordinatenmeßgerätes, mit wenigstens zwei Drehgelenken zur winkelmäßigen Ausrichtung der Tastköpfe.
Dreh-Schwenkeinrichtungen sind bereits seit längerem bekannt. Es gibt hierbei einerseits die sogenannten kontinuierlich verdrehbaren Dreh-Schwenkeinrichtungen, bei denen sich der Drehwinkel kontinuierlich über einen entsprechenden Motor verstellen läßt und der exakte Drehwinkel durch einen Encoder geliefert wird, sowie die sogenannten rastenden Dreh- Schwenkeinrichtungen, bei denen nur eine begrenzte Anzahl von Drehwinkeln eingestellt werden können. In einer von der Anmelderin vertriebenen rastenden Dreh- Schwenkeinrichtung mit der Typenbezeichnung "RDS" werden hierzu zwei zusammenwirkende Zahnkränze einer sogenannten Hirth-Verzahnung verwendet, die im verriegelten Zustand ineinandergreifen und hierdurch den jeweils eingestellten Drehwinkel verriegeln.
Eine kontinuierlich verdrehbare Dreh-Schwenkeinrichtung ist in der DE 37 40 070 A1 und dem hierzu korrespondierenden US-Patent 4,888,877 offenbart. Hierin ist eine Dreh- Schwenkeinrichtung gezeigt, welche zwei motorisch betriebene, kontinuierlich verschwenkbare Drehgelenke aufweist, deren Drehachsen senkrecht aufeinander stehen. Damit der Taststift nicht bei jeder Änderung des Drehwinkels der Drehgelenke neu kalibriert werden muß, sind bezüglich der unterschiedlichen Drehwinkel Korrekturwerte abgelegt, die die Lage der Drehachsen zueinander beschreiben. Außerdem können alternativ oder zusätzlich auch Korrekturwerte hinsichtlich Winkelpositionsabweichungen und der Laufabweichungen der Drehachsen vorgesehen sein, wobei hinsichtlich der Realisierung dieser letztgenannten Korrektur nicht genau beschrieben ist, wie diese besonders vorteilhaft eingesetzt werden kann.
Die Besonderheit der in der DE 37 40 070 A1 gezeigten Dreh-Schwenkeinheit ist hierbei darin zu sehen, daß für jeden der einzelnen Fehler ein separates Korrekturmodell erforderlich ist, so daß einerseits für mehrere Korrekturmodelle die Fehlerparameter bestimmt werden müssen, sowie bei der Korrektur der gemessenen Meßwerte mehrere Korrekturrechnungen durchgeführt werden müssen. Dies hat in der Vergangenheit dazu geführt, daß aufgrund der hohen Anforderungen an eine geringe Meßzeit nur die Lage der Drehachsen zueinander und die Winkelpositionsabweichungen der Drehgelenke korrigiert wurden. Diese Korrekturen waren jedoch nur für kontinuierlich verdrehbare Dreh-Schwenkeinrichtungen anwendbar, wie sie in der DE 37 40 070 A1 gezeigt sind. Für rastende Dreh-Schwenkeinrichtungen, bei denen die Dreh-Schwenkeinrichtung in einer Vielzahl von unterschiedlichen Stellungen eingerastet werden kann, waren die Korrekturmodelle nur unzureichend. Auch für kontinuierlich drehbare Dreh-Schwenkeinrichtungen ist es grundsätzlich wünschenswert die Meßgenauigkeit weiter zu verbessern.
Die Deutsche Offenlegungsschrift DE 40 01 433 A1 und das dazu korrespondierende US- Patent 5,138,563 zeigen ein Korrekturverfahren für Dreh-Schwenkeinrichtungen, bei denen Fehler korrigiert werden, die sich aufgrund der elastischen Verformung der Dreh- Schwenkeinrichtung und der Tastkonfiguration ergeben, insbesondere dann, wenn die Tastkonfiguration eine Tastkopfverlängerung umfaßt, von der der Tastkopf gehalten wird. Dazu wurde das in der oben bereits zitierten DE 37 40 070 A1 beschriebene Verfahren zur Korrektur der Lage der Drehachsen um einen Term (α, β) erweitert, der die Verformung angibt. Die Dreh-Schwenkeinrichtung mit der daran befestigten Tastkonfiguration wurde hierbei nach dem Modell eines Biegebalkens betrachtet, so daß zur Bestimmung des Terms (α, β) die maximale Durchbiegung der Dreh-Schwenkeinrichtung bestimmt wurde und in Abhängigkeit von der jeweiligen Winkelstellung der Drehgelenke dann auf die entsprechende Durchbiegung interpoliert wurde. Das Modell hat in der Vergangenheit hervorragende Dienste geleistet. Aufgrund der stetig höher werdenden Anforderungen an die Meßgenauigkeit von Koordinatenmeßgeräten, wurde der Versuch unternommen die in DE 40 01 433 A1 mit Bezugszeichen 5 bezeichnete Tastkopfverlängerung steifer zu gestalten. Hierbei stellte sich jedoch heraus, daß die Korrekturergebnisse nicht, wie erwartet, besser wurden, weil hierdurch die in der Dreh-Schwenkeinrichtung auftretenden Verformungen größer wurden, als die Verformungen in der Tastkopfverlängerung und deshalb das zugrundeliegende Modell eines Biegebalkens nicht mehr funktionierte.
Die Europäische Veröffentlichungsschrift EP 07 59 534 A2 zeigt ein Verfahren um kontinuierlich verdrehbare Dreh-Schwenkeinrichtungen oder rastende Dreh- Schwenkeinrichtungen zu korrigieren. Hierin wird vorgeschlagen die Dreh- Schwenkeinrichtung in zwei unterschiedliche Drehwinkel zu bringen und hier jeweils zu kalibrieren. Ein dritter, zwischen den Drehwinkeln liegender Drehwinkel wird dann korrigiert, indem zwischen den aufgenommenen Kalibrierdaten interpoliert wird. Hinsichtlich des Korrekturmodells wird hier nichts näher ausgeführt.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es hiervon ausgehend eine verbesserte Dreh- Schwenkeinrichtung anzugeben.
Die Aufgabe wird durch die Merkmale der unabhängigen Ansprüchen 1 und 6 gelöst.
Der Grundgedanke der Lösung gemäß unabhängigen Anspruch 1 sieht vor wenigstens die Lage der Drehachsen zueinander und die Winkelpositionsabweichungen in einem gemeinsamen mathematischen Modell zu korrigieren.
Es sei an dieser Stelle ausdrücklich erwähnt, daß die Bezeichnung gemeinsames mathematisches Modell so zu verstehen ist, daß die einzelnen Fehler nicht getrennt berechnet werden brauchen.
Hierdurch kann sowohl der Rechenaufwand zur Bestimmung der Fehlerparameter erheblich reduziert werden, sowie auch die Zeit, die benötigt wird um die Einzelfehler zu bestimmen.
Die Korrektureinheit ist hierbei ein Rechner oder ein Mikroprozessor, in dem die entsprechend aufgenommenen Korrekturwerte abgespeichert werden und der entsprechend dem gewählten mathematischen Modell die gemessenen Meßwerte korrigiert.
Besonders vorteilhaft läßt sich die lösungsgemäße Dreh-Schwenkeinrichtung weiterbilden, indem zusätzlich in dem gemeinsamen mathematischen Modell auch die Taumelfehler und/oder die radialen Laufabweichungen und/oder die Axialverschiebungen der Drehgelenke korrigiert werden.
Durch diese Maßnahme ergibt sich ein handhabbares Korrekturmodell, mit dem nunmehr auch insbesondere rastende Dreh-Schwenkeinrichtungen korrigiert werden können, was mit den bislang bekannten mathematischen Modellen noch nicht möglich war.
Zum Rasten der Drehstellungen sollte besonders vorteilhaft eine Hirth-Verzahnung verwendet werden, da hierdurch sich alle Drehwinkelstellungen der Dreh- Schwenkeinrichtung mit hoher Reproduzierbarkeit einstellen lassen.
Der Grundgedanke der Lösung gemäß unabhängigen Anspruch 6 ist darin zu sehen, daß nunmehr eine rastende Dreh-Schwenkeinrichtung geschaffen wird, bei der nicht mehr jede Drehstellung einzeln für jede Tastkonfiguration kalibriert werden muß.
Es sei an dieser Stelle nochmals ausdrücklich erwähnt, daß es sich bei der Dreh- Schwenkeinrichtung gemäß den Ansprüchen 1, 2 und 5 sowohl um eine rastende Dreh- Schwenkeinrichtung wie auch um eine kontinuierlich verdrehbare Dreh-Schwenkeinrichtung handeln kann.
Weitere Vorteile und Weiterbildungen der Erfindung ergeben sich aus der Figurenbeschreibung.
Fig. 1 zeigt eine perspektivische Darstellung der Dreh-Schwenkeinrichtung
Fig. 2 zeigt eine rein schematische Darstellung der Dreh-Schwenkeinrichtung gemäß Fig. 1
Fig. 3 zeigt die Rotation des Mittelpunktes (P) der Tastkugel (12) um ein ideales Drehgelenk (14) ohne Laufabweichungen
Fig. 4 zeigt die Rotation des Mittelpunktes (P) der Tastkugel (12) um ein reales Drehgelenk (14) mit Laufabweichungen
Fig. 5 zeigt eine schematische Darstellung der Fehler bei der Rotation des Mittelpunktes (P) der Tastkugel (12) um ein reales Drehgelenk (14) mit Laufabweichungen
Fig. 6 zeigt einen Meßaufbau, mit dem die Korrekturparameter für die Laufabweichungen des Drehgelenkes (14) bestimmt werden können
Fig. 7 zeigt einen Meßaufbau, mit dem die Korrekturparameter für die Laufabweichungen des Drehgelenkes (15) bestimmt werden können
Fig. 8 zeigt eine rein schematische Prinzipdarstellung der Dreh-Schwenkeinrichtung nach Fig. 1, wobei die Tastkonfiguration eine Tastkopfverlängerung (19) umfaßt und zur Berechnung der elastischen Verformung zwei finite elastische Elemente (17 und 18) eingefügt wurden
Fig. 9 zeigt eine rein schematische Prinzipdarstellung des elastischen Zentrums (K) eines finiten Elementes
Fig. 10 zeigt ebenfalls eine rein schematische Prinzipdarstellung des elastischen Zentrums (K) eines finiten Elementes mit der Verschiebung des Mittelpunktes (P) der Tastkugel (12)
Fig. 11 zeigt die in Fig. 1 gezeigte Dreh-Schwenkeinrichtung von vorne mit einem Sterntaster (21).
Fig. 1 zeigt eine Dreh-Schwenkeinrichtung, die hier als sogenannte rastende Dreh- Schwenkeinrichtung ausgeführt ist. Die Dreh-Schwenkeinrichtung ist hierbei an einem horizontal ausgerichteten Meßarm (8) eines Ständermeßgerätes befestigt und weist zwei Drehgelenke (14, 15) auf, die die Bauteile (1) und (2), sowie die Bauteile (2) und (3) drehbar miteinander verbinden, wobei die Drehgelenke (15, 14) die Drehachsen (aA) und (aB) definieren. Zum Festrasten der eingestellten Drehwinkel weist die Dreh-Schwenkeinrichtung sogenannte Hirth-Verzahnungen (6) und (7) auf. Dies sind paarweise zusammenwirkende Zahnkränze, die ineinander greifen. Um die Drehwinkel der Drehgelenke (14, 15) zu verändern, befindet sich im Inneren der Dreh-Schwenkeinrichtung ein pneumatischer Zylinder, über den das Bauteil (2) gegenüber dem Bauteil (1) sowie das Bauteil (3) gegenüber dem Bauteil (2) abgehoben werden kann. Außerdem ist für jedes der Drehgelenke ein Elektromotor vorgesehen, über den der Drehwinkel des jeweiligen Drehgelenkes (14, 15) verstellt werden kann. Nachdem der gewünschte Drehwinkel erreicht ist, werden die ausgehobenen Bauteile (1) und (2) bzw. (2) und (3) wieder von der Pneumatik zusammengezogen.
In der gezeigten Darstellung ist an die Aufnahme der Dreh-Schwenkeinrichtung ein Tastkopf (4) vom schaltenden Typ angesetzt. Am Tastkopf (4) ist wiederum ein Taststift (11) mit einer Tastkugel (12) auswechselbar gehalten, wobei der Tastkopf (4), bei der Berührung eines Werkstückes mit der Tastkugel (12), ein elektrisches Signal auslöst. Natürlich kann beispielsweise auch ein optischer Tastkopf oder ein messender Tastkopf verwendet werden. Der Tastkopf (4) ist mittels eines Adapterteils (5) an der Halteplatte (3) befestigt.
Die hierbei vom Koordinatenmeßgerät während einer Messung aufgenommenen Meßwerte werden in der hier nur rein schematisch dargestellten Korrektureinheit (22) gemäß einem mathematischen Modell korrigiert. Bei dieser besagten Korrektureinheit (22) handelt es sich üblicherweise um den Rechner des Koordinatenmeßgerätes. Natürlich kann alternativ auch ein eigens vorgesehener Mikroprozessor verwendet werden, der beispielsweise in der Steuerung des Koordinatenmeßgerätes oder sogar in der Dreh-Schwenkeinheit selber angeordnet ist.
1. Grundmodell
Um bei einer derartigen Dreh-Schwenkeinrichtung mit unterschiedlichen Drehwinkeln der Drehgelenke (14, 15) Messungen durchführen zu können muß für jeden Drehwinkel der genaue Ortsvektor () des Mittelpunktes (P) der Tastkugel (12) bezogen auf das Gerätekoordinatensystem (XG, YG, ZG) bekannt sein. Dieser Sachverhalt soll im Folgenden anhand von Fig. 2 erläutert werden. Fig. 2 zeigt lediglich eine rein schematische Darstellung der Dreh-Schwenkeinrichtung gemäß Fig. 1, in der für die gleichen Komponenten dieselben Bezugszeichen wie in Fig. 1 verwendet wurden.
Diesen Ortsvektor () der Tastkugel (12) im Gerätekoordinatensystem (XG, YG, ZG) kann man als Vektorgleichung wie folgt angeben:
Die Punkte (A) und (B) stellen die Schnittpunkte einer Geraden mit den Drehachsen (aA) und (aB) dar, wobei die Gerade entlang des kürzesten Abstandes der beiden Drehachsen (aA) und (aB) verläuft. Der Vektor () bedeutet hierbei den Ortsvektor des Mittelpunktes (P) der Tastkugel (12) bezogen auf das Gerätekoordinatensystem (XG, YG, ZG). Der Vektor () ist der Vektor vom Punkt (B) zum Mittelpunkt (P) der Tastkugel (12). Der Vektor (A) ist der Ortsvektor des Punktes (A) bezogen auf das Gerätekoordinatensystem (XC, YG, ZG). Der Vektor () ist der Abstandsvektor des Punktes (B) vom Punkt (A). Die Rotationsmatrix (RA) beschreibt die Rotation des Drehgelenkes (15) um die Drehachse (aA). Die Rotationsmatrix (RB) beschreibt die Rotation des Drehgelenkes (14) um die Achse (aB). Die Transformationsmatrix (TA) beschreibt die Transformation des Gerätekoordinatensystems (XG, YG, ZG) in das Gelenkkoordinatensystem (XA, YA, ZA) im Punkt (A). Die Transformationsmatrix (TB) beschreibt die Transformation des Gelenkkoordinatensystems (XA, YA, ZA) im Punkt (A) in das Gelenkkoordinatensystem (XB, YB, ZB) im Punkt (B).
Diese Gleichung 1 entspricht hierbei der in DE 37 40 070 A1 beschriebenen Gleichung und ist lediglich etwas anders mathematisch beschrieben.
Im Fall der idealen, fehlerfreien Drehgelenke ist deren Bewegung eine reine Rotation und es gilt für die Rotationsmatrizen (RA) und (RB) für die Drehung um die Z-Achse des jeweiligen Gelenkkoordinatensystems (XA, YA, ZA bzw. XB, YB, ZB).
In dieser Gleichung 2 bezeichnet (ϕ) hierbei den Drehwinkel um das jeweilige Drehgelenk (14, 15). Für die Rotationsmatrix (RA) ist es der Drehwinkel (ϕA) des Drehgelenkes (15), für die Rotationsmatrix (RB) ist es der Drehwinkel (ϕB) des Drehgelenkes (14)
Alle weiteren Vektoren und Matrizen sind auch im Fall idealer Drehgelenke unbekannt und müssen experimentell bestimmt werden, und zwar 9 Komponenten von Vektoren sowie 6 Raumwinkel der Transformationsmatrizen. Dazu kommen als weitere Unbekannte die Nullwinkel der beiden Winkelmeßsysteme. Demgemäß sind für die Kalibrierung der Dreh- Schwenkeinheit Messungen für mindestens 17 unabhängige Bedingungsgleichungen durchzuführen. Das ist auch dann noch der Fall, wenn die Korrektur der einzelnen Dreh­ gelenke bekannt ist.
2. Kinematische Korrektur
In nullter Näherung besitzt ein Drehgelenk nur einen einzigen kinematischen Freiheitsgrad, der mit der Rotationsmatrix nach Gleichung 2 als reine Rotation um die Drehachse beschreibbar ist, wie dies in Fig. 3 rein beispielhaft für die Rotation um die Achse (aB) gezeigt ist. Wie hier zu sehen ist, wird in diesem Falle der Tastkugelmittelpunkt (P) bei Rotation um einen Winkel (ϕB) um die Drehachse (aB) auf einen Punkt (P') so abgebildet, daß beide auf einem Kreis liegen, dessen Ebene lotrecht auf die betreffende Drehachse steht und dessen Mittelpunkt (M) auf der Drehachse (aB) liegt.
Ein reales Drehgelenk weist demgegenüber bedingt durch die Fertigungsungenauigkeiten Bewegungen in allen sechs Freiheitsgraden auf, wie dies gut anhand der rein schematischen Fig. 4 gesehen werden kann. Wie hieraus zu sehen, wird der Tastkugelmittelpunkt (P) bei Rotation um die Drehachse (aB) diesmal auf einem Punkt (P") abgebildet, der nicht auf dem besagten Kreis um die Drehachse (aB) liegt. Die sechs Freiheitsgrade in denen die Bewegungen stattfinden können entsprechen zugleich den sechs Fehlerkomponenten, die zu dem theoretischen Punkt (P') dazugerechnet werden müssen, um zum tatsächlichen Punkt (P") zu gelangen, wie dies Fig. 5 zeigt. Diese Fehlerkomponenten sind:
  • - Winkelpositionsabweichungen (δϕ = δz) des Rastsystems oder Winkelmeßsystems
  • - radiale Laufabweichungen (vx, vy) in x und y-Richtung,
  • - Axialverschiebungen vz
  • - Kippungen δx, δy um die x- und y-Achse als Taumelfehler.
Anstelle der Rotationsbewegung vollführt damit das geführte Teil eine allgemeine Starrkörperbewegung im Raum, die aus dem Verschiebungsvektor () und dem Vektor () der räumlichen Drehungen besteht.
Dementsprechend setzt sich bezogen auf die Dreh-Schwenkeinrichtung gemäß Fig. 2 die räumliche Verschiebung des Mittelpunktes (P) der Tastkugel (12) bei einer Drehung um eines der beiden Drehgelenke (14 oder 15) von (P) nach (P") aus sieben Komponenten zusammen, und zwar der nominellen Rotation um den Drehwinkel (ϕA oder ϕB) und den jeweils zu der betreffenden Drehung dazugehörigen sechs Fehlerkomponenten, d. h. je drei Verschiebungen (vx, vy, vz) und drei Drehungen (δx, δy, δϕ).
Unter den obigen Betrachtungen kann das oben genannte Grundmodell also wie folgt erweitert werden:
Die gegenüber dem Grundmodell nach Gleichung 1 erweiterten Komponenten haben hierbei nachfolgende Bedeutung. Der Vektor (A) bedeutet hierbei den Verschiebefehler, der durch das Drehgelenk (15) entsteht. Die Drehmatrix (DA) repräsentiert den Drehfehler der um das Drehgelenk (15) entsteht. Der Vektor (B) bedeutet den Verschiebefehler, der durch das Drehgelenk (14) entsteht. Die Drehmatrix (DB) repräsentiert den Drehfehler der um das Drehgelenk (14) entsteht.
Die Vektoren (A) und (B), die sich jeweils aus den Verschiebefehlern in x, y und z- Richtung zusammensetzen definieren sich folglich wie folgt:
Die räumlichen Drehmatrizen (DA) und (DB), die sich jeweils aus den Einzeldrehungen Dx, Dy und Dz um die Koordinatenachsen x, y und z mit den Eulerschen Winkeln δz, δy, δx zusammensetzen ergeben sich folglich wie folgt:
Die Ermittlung der Vektors (B) für die Verschiebefehler beim Drehgelenk (14) sowie der Drehmatrix (DB) für die Drehfehler des Drehgelenkes (14) kann relativ einfach erfolgen, wie dies im Zusammenhang mit Fig. 6 erläutert wird. Dazu wird die Dreh-Schwenkeinrichtung auf einem hochgenauen Koordinatenmeßgerät aufgespannt und an der Dreh- Schwenkeinrichtung ein Kugelprüfkörper (9) angebracht, der wenigstens drei Kugeln (16a, 16b, 16c) aufweist. Nunmehr wird das Drehgelenk (14) in jeden seiner möglichen Drehwinkel gebracht und die jeweilige Lage der Kugeln (16a, 16b, 16c) mit einem Zentriertaster, der ähnlich einem Fingerhut aufgebaut ist, vermessen. Es hat sich hierbei gezeigt, daß die Fehler erst dann ausreichend klein sind, wenn mit einer ausreichenden Meßkraft gemessen wird. Dies führt jedoch zu einer relativ großen Verbiegung des Kugelprüfkörpers (9). Deshalb kann besonders vorteilhaft die exakte Lage der Kugeln (16a, 16b, 16c) bestimmt werden, indem mit zwei unterschiedlichen Meßkräften gemessen wird und dann auf die Lage extrapoliert wird, die die Kugeln bei der Meßkraft 0 N aufweisen. Für jeden Drehwinkel des Drehgelenkes (14) wird dann aus der Lage der Kugeln (16a, 16b, 16c) eine Ebene aufgespannt, sowie der Flächenschwerpunkt aus den gemessenen Kugelpositionen bestimmt. Der Vektor (B) für die Verschiebefehler ergibt sich dann als Vektor vom Schwerpunkt im Referenzdrehwinkel der Dreh-Schwenkeinrichtung zum Schwerpunkt im aktuellen Drehwinkel. Die Fehlerwinkel für die Drehmatrix (DB) ergeben sich aus den Verdrehungen der berechneten Ebene im Referenzdrehwinkel zur berechneten Ebene in der aktuellen Drehstellung.
Vollkommen analog wird auch der Vektor (A) für die Verschiebefehler beim Drehgelenk (15) sowie der Drehmatrix (DA) für die Drehfehler des Drehgelenkes (15) ermittelt, wobei dann der Kugelprüfkörper (9) über ein Winkelstück (10) an der Dreh-Schwenkeinrichtung befestigt wird.
3. Korrektur elastischer Biegefehler
Unter realen Bedingungen kommt es, bedingt durch die Gewichtskräfte insbesondere der Tastkonfiguration, also des Tastkopfes (4), des Taststiftes (11) sowie insbesondere von Tastkopfverlängerungen (19) zu Verformungen sowohl der Dreh-Schwenkeinrichtung, wie auch der Tastkonfiguration selber (siehe Fig. 8).
Für die Berechnung dieser elastischen Verformung werden erfindungsgemäß finite elastische Elemente eingeführt, mit denen sich die Verformung elastischer Systeme unter äußerer statischer Belastung beschreiben läßt. Hierduch lassen sich auf dieser Grundlage überschaubare analytische Modellgleichungen für die Korrektur der Verformung ableiten, deren Koeffizienten sich mittels Bestfit-Rechnungen aus einer Anzahl von Stellungen sowie Verformungs- und Belastungszuständen bestimmen lassen. Das Ersatzmodell soll hierbei anhand von Fig. 8 bis 10 erläutert werden. Wie aus der rein schematischen Prinzipskizze gemäß Fig. 8 ersehen werden kann, sind die finiten Elemente (17) und (18) hier in dieser besonders vorteilhaften Ausgestaltung an den Stellen angesetzt, an denen die drehbar miteinander verbundenen Bauteile (1) und (2) oder (2) und (3) aneinanderstoßen, also an der Stelle, an der die Hirth-Verzahnungen (6, 7) sitzen (vgl. Fig. 1 und 2). Diese finiten Elemente (17, 18) können vereinfacht als Gummischeiben vorgestellt werden, die die Teile (1) und (2) oder (2) und (3) elastisch miteinander verbinden.
Das Modell geht hierbei von der Annahme aus, daß sich die Verformung als räumliche Verschiebung und Drehung zwischen den gelenkig miteinander verbundenen Bauteilen (1) und (2) bezüglich des Drehgelenkes (15) und den Bauteilen (2) und (3) bezüglich des Drehgelenkes (14) beschreiben läßt, während die anderen Komponenten, wie die Bauteile (1), (2) und (3) der Dreh-Schwenkeinrichtung, der Taststift (11), der Tastkopf (4) und die Tastkopfverlängerung (19) als vollkommen starr angenommen werden. Der Gesamtfehler kann dann aus einer Überlagerung der Korrekturen des starren Modells, wie oben in Gleichung 1 oder der Gleichung 3 beschrieben und der Korrektur der elastischen Biegefehler, wie hier beschrieben, berechnet werden. Beschreibt man den Verformungskorrekturvektor, um den sich das Gelenk (15) verformt als (A) und den Verformungskorrekturvektor, um den sich das Gelenk (14) verformt als (B), so ergibt bei Kombination mit Gleichung 3 folgende Gleichung:
Es versteht sich, daß Gleichung 6 besonders vorteilhaft ist, weil neben der Verformung gleichzeitig auch Winkelpositionsabweichungen, radiale Laufabweichungen, Axialverschiebungen und Taumelfehler der Drehgelenke (14) und (15) korrigiert werden, wie oben ausgeführt. Natürlich können die Verformungskorrekturvektoren (A) und (B) genauso gut mit Gleichung 1 kombiniert werden, beispielsweise dann, wenn eine kontinuierlich verdrehbare Dreh-Schwenkeinheit verwendet wird, deren Drehgelenke nur sehr geringe Fehler der bezeichneten Art haben. Gleichfalls können die Verformungskorrekturvektoren (A) und (B) auch völlig separat berechnet werden.
Damit läßt sich, wie Fig. 9 dies zeigt, ein finites Element mathematisch so behandeln, als ob im Zentrum (K) eines solchen finiten Elementes (17) oder (18) nur ein Kraftvektor () und ein Momentenvektor () angreifen würde, wobei der Kraftvektor () und der Momentenvektor () durch die äußere Belastung, also die Gewichtskräfte der Tastkonfiguration und ggf. durch die Meßkräfte erzeugt werden. Dieses Modell setzt voraus, daß das elastische Zentrum (K) des finiten Elementes mit seiner Lage und seiner Orientierung im Raum sowie mit seinen elastischen Parametern die elastischen Eigenschaften der verformten Bauteile enthält. Außerdem muß die Verformung linear abhängig von den Belastungen sein und proportional zu den im elastischen Zentrum (K) wirkenden Kräften und Momenten. Es muß weiterhin das Superpositionsprinzip gelten. Das finite Element reagiert auf den Kraftvektor () und den Momentenvektor () mit einem Verformungskorrekturvektor (), der sich aus einem Translationsvektor () und einem Rotationsvektor () zusammensetzt. Der Verformungskorrekturvektor () kann wie folgt bestimmt werden:
Wobei (N) die Nachgiebigkeitsmatrix ist, die als Hypermatrix die Nachgiebigkeitsmatrizen (N11) bis (N22) enthält. Übersichtlich geschrieben bedeutet dies für den Translationsvektor () und den Rotationsvektor () folgendes:
In dieser Gleichung bedeuten die Nachgiebigkeitsmatrizen (N11) bis (N22) folgendes:
N11 = Translation infolge des im elastischen Zentrum (K) wirkenden Kraftvektors ()
N12 = Translation infolge des im elastischen Zentrum (K) wirkenden Momentenvektors ()
N21 = Rotation infolge des im elastischen Zentrum (K) wirkenden Kraftvektors ()
N22 = Rotation infolge des im elastischen Zentrum (K) wirkenden Momentenvektors ()
Die Nachgiebigkeitsmatrix wird dabei in den Koordinaten (xK, yK, zK) des elastischen Zentrums (K) definiert und muß in das aktuelle Gerätekoordinatensystem (XG, YG, ZG) transformiert werden. Am realen System wirkt, wie dies an der rein schematischen Prinzipskizze gemäß Fig. 10 ersichtlich ist, als äußere Belastung das Eigengewicht der Tastkonfiguration, wie beispielsweise des Tastkopfes (4) nach der allseits bekannten Formel = m . im Schwerpunkt (S). Das Eigengewicht bewirkt demzufolge den Momentenvektor () aus dem Kraftvektor () und dem Abstandsvektor () zwischen dem elastischen Zentrum (K) und dem Schwerpunkt (S) nach der
Der Verformungskorrekturvektor () um den der Mittelpunkt (P) der Tastkugel (12) infolge der Verformung verschoben wird ergibt sich dann aus der Überlagerung von räumlicher Verschiebung gemäß dem Translationsvektor () und der Drehung gemäß dem Rotationsvektor () wie folgt:
wobei der Vektor () der Abstandsvektor zwischen dem elastischen Zentrum (K) und dem Mittelpunkt (P) der Tastkugel (12) ist. Wie sich dies zusammensetzt wird an Fig. 10 deutlich. Hierin ist der Vektor ( × ) als Vektor () dargestellt.
Wählt man hierbei das Koordinatensystem so, daß der Kraftvektor () im elastischen Zentrum (K) alleine eine Translation verursacht und der Momentenvektor () im elastischen Zentrum (K) alleine eine Rotation verursacht, so können die Untermatrizen (N12) und (N21) durch Nullmatrizen ersetzt werden. Bei großen Längen des Abstandsvektors () und damit auch des Abstandsvektors () und hoher translatorischer Steifigkeit des elastischen Ersatzelementes kann der Translationsvektor () und demzufolge auch die Nachgiebigkeitsmatrix (N11) vernachlässigt werden. Bei entsprechender Wahl des Koordinatensystems (XK, YK, ZK) der finiten elastischen Elemente werden die Koeffizienten außerhalb der Hauptdiagonalen der Nachgiebigkeitsmatrizen (Nij) Null. Mit diesen Vereinfachungen gilt nunmehr folgende Gleichung:
Die ursprünglich 36 Koeffizienten der Hypermatrix (N) sind damit auf drei rotatorische Nachgiebigkeitskoeffizienten reduziert worden und die verbleibende Matrix lautet dann:
In dieser Matrix N22 bedeuten (Φ1, Φ2) die Nachgiebigkeit für die Kippung um die x- und y- Achse (XK, YK) des Koordinatensystems der finiten Elemente und (Φ3) die Rotation um die z-Achse (ZK).
Die Verformungskorrekturverktoren (A) und (B) werden also gemäß Gleichung 12 separat für jedes der finiten Elemente (17, 18) berechnet. Wie bereits eingangs erwähnt ist die Wahl der Anzahl der finiten Elemente (17, 18) sowie deren Lage hier zwar bezogen auf die hier gezeigte Dreh-Schwenkeinrichtung besonders vorteilhaft. Prinzipiell sind sowohl Anzahl, wie auch Lage der finiten Elemente frei wählbar. Es reicht beispielsweise auch ein einziges finites Element. Auch die Lage ist variabel. Soll beispielsweise die elastische Verformung des horizontal ausgerichteten Meßarms eines Ständermeßgerätes und/oder der Anbindung der Dreh-Schwenkeinrichtung an den Meßarm erfaßt werden, so sollte das finite Element (18) weiter in Richtung auf den Meßarm zu verschoben werden.
Um bei einer neu an der Dreh-Schwenkeinrichtung aufgenommenen Tastkonfiguration die Parameter der Nachgiebigkeitsmatrix (N22) sowohl für das Gelenk (14) wie auch für das Gelenk (15) zu ermitteln wie auch den Vektor () vom Mittelpunkt (P) der Tastkugel (12) zum Punkt (B) zu ermitteln, müssen wenigstens 8 Kalibrierungen in unterschiedlichen Drehstellungen der Drehgelenke (14) und (15) am Kalibriernormal des Koordinatenmeßgerätes vorgenommen werden. Häufig müssen jedoch im Meßalltag Tastkonfigurationen, beispielsweise der Taststift oder die Tastkopfverlängerung ausgetauscht werden. Wird die selbe Tastkonfiguration zu einem späteren Zeitpunkt wieder verwendet, so müssen o. g. Parameter erneut bestimmt werden, was relativ zeitaufwendig ist. Geht man davon aus, daß bei einem erneuten Einwechseln ein und derselben Tastkonfiguration die elastischen Eigenschaften der Tastkonfiguration und damit die Parameter der Nachgiebigkeitsmatrix (N22) nahezu unverändert bleiben, so reicht es aus in diesem Falle nur den Vektor () zu bestimmen, sodaß prinzipiell nur eine einzige Kalibrierung am Kalibriernormal ausreichen würde.
Besonders vorteilhaft kann dieses Verfahren bei der Kalibrierung von Sterntaststiften eingesetzt werden. Fig. 11 zeigt diesbezüglich eine Prinzipskizze, bei der von der aus Fig. 1 gezeigten Dreh-Schwenkeinheit lediglich das Bauteil (3) zu sehen ist, an das sich eine Tastkopfverlängerung (19) mit Tastkopf (4) und einem Sterntaststift (21) anschließt. Geht man davon aus, daß bezüglich aller Tastkugeln (20a, 20b, 20c) des Sterntaststiftes (21) näherungsweise dieselben Biegeparameter vorliegen, so reicht es aus nur für eine der Tastkugeln (20a, 20b, 20c) die Parameter der Nachgiebigkeitsmatrix (N22) zu bestimmen. Für die anderen Tastkugeln (20a, 20b, 20c) braucht dann nur noch der Vektor () bestimmt zu werden.

Claims (7)

1. Dreh-Schwenkeinrichtung für Tastköpfe (4) von Koordinatenmeßgeräten, mit mindestens zwei Drehgelenken (14, 15) zur winkelmäßigen Ausrichtung der Tastköpfe, bei der der Dreh-Schwenkeinrichtung eine Korrektureinheit (22) zugeordnet ist, in der wenigstens die Lage der Drehachsen (aA, aB) der Drehgelenke (14, 15) zueinander und die Winkelpositionsabweichungen (δϕ = δz) der Drehgelenke korrigiert werden, dadurch gekennzeichnet, daß diese Fehler mit einem gemeinsamen mathematischen Modell korrigiert werden.
2. Dreh-Schwenkeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Korrektureinheit (22) so ausgestaltet ist, daß zusätzlich in dem gemeinsamen mathematischen Modell auch die Taumelfehler (δx, δy) der Drehgelenke und/oder die radialen Laufabweichungen (vx, vy) und/oder die Axialverschiebungen (vz) der Drehgelenke (14, 15) korrigiert werden.
3. Dreh-Schwenkeinrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß eine rastende Dreh-Schwenkeinrichtung verwendet wird.
4. Dreh-Schwenkeinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß in der Dreh-Schwenkeinrichtung zum Rasten der Drehstellungen eine Hirth- Verzahnung (6, 7) verwendet wird.
5. Dreh-Schwenkeinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß folgendes mathematisches Modell verwendet wird:
wobei hierin bedeuten:
Ortsvektor des Tastkugelmittelpunktes im Gerätekoordinatensystem (XG, YG, ZG)
Abstandsvektor vom Punkt (B) zum Mittelpunkt (P) der Tastkugel (12)
A Ortsvektor des Punktes (A) im Gerätekoordinatensystem (XG, YG, ZG)
Abstandsvektor zwischen dem Punkt (A) und dem Punkt (B)
RA Rotationsmatrix für die Rotation des Drehgelenkes (15)
RB Rotationsmatrix für die Rotation des Drehgelenkes (14)
TA Transformationsmatrix für die Raumlage des Systems im Punkt (A) bezogen auf das Gerätekoordinatensystem (XG, YG, ZG)
TB Transformationsmatrix für die für die Raumlage des Koordinatensystems im Punkt (B) bezogen auf das Koordinatensystem im Punkt (A)
A Vektor für den Verschiebefehler des Drehgelenkes (15)
B Vektor für den Verschiebefehler des Drehgelenkes (14)
DA Drehmatrix für den Drehfehler um das Drehgelenk (15)
DB Drehmatrix für den Drehfehler um das Drehgelenk (14)
6. Dreh-Schwenkeinrichtung für Tastköpfe (4) von Koordinatenmeßgeräten, mit mindestens zwei Drehgelenken (14, 15) zur winkelmäßigen Ausrichtung der Tastköpfe, wobei zum Rasten der Drehstellungen eine Hirth-Verzahnung (6, 7) verwendet wird, dadurch gekennzeichnet, daß der Dreh-Schwenkeinrichtung eine Korrektureinheit (22) zugeordnet ist, in der die gemessenen Meßwerte korrigiert werden.
7. Dreh-Schwenkeinrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Lage der Drehachsen (aA, aB) der Drehgelenke zueinander und/oder die Winkelpositionsabweichungen (δϕ = δz) der Drehgelenke und/oder die Taumelfehler (δx, δy) der Drehgelenke und/oder die radialen Laufabweichungen (vx, vy) und/oder die Axialverschiebungen (vz) der Drehgelenke (14, 15) korrigiert werden.
DE2000107062 2000-02-16 2000-02-16 Dreh-Schwenkeinrichtung für den Tastkopf eines Koordinatenmeßgerätes Withdrawn DE10007062A1 (de)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE20023553U DE20023553U1 (de) 2000-02-16 2000-02-16 Dreh-Schwenkeinrichtung für den Tastkopf eines Koordinatenmeßgerätes
DE2000107062 DE10007062A1 (de) 2000-02-16 2000-02-16 Dreh-Schwenkeinrichtung für den Tastkopf eines Koordinatenmeßgerätes
JP2001560620A JP2003526090A (ja) 2000-02-16 2001-01-18 座標測定装置のプローブヘッド用回転−旋回装置
EP01953026A EP1264156A1 (de) 2000-02-16 2001-01-18 Dreh-schwenkeinrichtung für den tastkopf eines koordinatenmessgerätes
PCT/EP2001/000531 WO2001061273A1 (de) 2000-02-16 2001-01-18 Dreh-schwenkeinrichtung für den tastkopf eines koordinatenmessgerätes

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE2000107062 DE10007062A1 (de) 2000-02-16 2000-02-16 Dreh-Schwenkeinrichtung für den Tastkopf eines Koordinatenmeßgerätes

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE10007062A1 true DE10007062A1 (de) 2001-08-23

Family

ID=7631201

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE2000107062 Withdrawn DE10007062A1 (de) 2000-02-16 2000-02-16 Dreh-Schwenkeinrichtung für den Tastkopf eines Koordinatenmeßgerätes

Country Status (4)

Country Link
EP (1) EP1264156A1 (de)
JP (1) JP2003526090A (de)
DE (1) DE10007062A1 (de)
WO (1) WO2001061273A1 (de)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10214489A1 (de) * 2002-03-26 2003-10-23 Zeiss Carl Verfahren zur Bestimmung und Korrektur von Führungsfehlern bei einem Koordinatenmeßgerät
DE10237501A1 (de) * 2002-08-16 2004-03-04 Carl Zeiss Koordinatenmeßmaschine und Korrekturverfahren dafür
DE102011008421A1 (de) * 2011-01-12 2012-07-12 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Verfahren und Anordnung zum Kalibrieren von messwertgebenden Sensoren eines taktilen Koordinatenmessgerätes
DE102017003641A1 (de) * 2017-04-13 2018-10-18 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Verfahren zur Messung von Koordinaten oder Eigenschaften einer Werkstückoberfläche
CN112344895A (zh) * 2020-12-10 2021-02-09 南昌航空大学 一种关节臂坐标测量机多参数模型及标定方法
DE102019220247A1 (de) * 2019-12-19 2021-06-24 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Verfahren und Anordnung zum optischen Kalibrieren von Drehachsen für Koordinatenmessungen

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10006753A1 (de) * 2000-02-15 2001-08-16 Zeiss Carl Dreh-Schwenkeinrichtung für den Tastkopf eines Koordinatenmeßgerätes
US6957496B2 (en) * 2002-02-14 2005-10-25 Faro Technologies, Inc. Method for improving measurement accuracy of a portable coordinate measurement machine
JP5658863B2 (ja) * 2005-04-26 2015-01-28 レニショウ パブリック リミテッド カンパニーRenishaw Public Limited Company プローブの較正
GB0512138D0 (en) * 2005-06-15 2005-07-20 Renishaw Plc Method of determining measurement probe orientation
JP5192196B2 (ja) * 2007-08-03 2013-05-08 株式会社ミツトヨ 表面形状測定装置
EP2943742B1 (de) * 2013-01-09 2019-07-10 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik GmbH Verfahren und anordnung zur ermittlung von fehlern eines drehpositionsermittlungssystems

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3740070A1 (de) * 1987-11-26 1989-06-08 Zeiss Carl Fa Dreh-schwenk-einrichtung fuer tastkoepfe von koordinatenmessgeraeten
GB9119304D0 (en) * 1991-09-10 1991-10-23 Renishaw Transducer Syst Method and apparatus for calibration of angular displacement
GB9517214D0 (en) * 1995-08-23 1995-10-25 Renishaw Plc Calibration of an articulating probe head for a coordinating positioning machine
DE19805676A1 (de) * 1998-02-12 1999-09-09 Voith Turbo Kg Hirth-verzahntes Maschinenelement
DE10006753A1 (de) * 2000-02-15 2001-08-16 Zeiss Carl Dreh-Schwenkeinrichtung für den Tastkopf eines Koordinatenmeßgerätes

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10214489A1 (de) * 2002-03-26 2003-10-23 Zeiss Carl Verfahren zur Bestimmung und Korrektur von Führungsfehlern bei einem Koordinatenmeßgerät
DE10237501A1 (de) * 2002-08-16 2004-03-04 Carl Zeiss Koordinatenmeßmaschine und Korrekturverfahren dafür
DE102011008421A1 (de) * 2011-01-12 2012-07-12 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Verfahren und Anordnung zum Kalibrieren von messwertgebenden Sensoren eines taktilen Koordinatenmessgerätes
DE102017003641A1 (de) * 2017-04-13 2018-10-18 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Verfahren zur Messung von Koordinaten oder Eigenschaften einer Werkstückoberfläche
DE102017003641B4 (de) * 2017-04-13 2019-10-17 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Verfahren zur Messung von Koordinaten oder Eigenschaften einer Werkstückoberfläche
DE102019220247A1 (de) * 2019-12-19 2021-06-24 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Verfahren und Anordnung zum optischen Kalibrieren von Drehachsen für Koordinatenmessungen
CN112344895A (zh) * 2020-12-10 2021-02-09 南昌航空大学 一种关节臂坐标测量机多参数模型及标定方法
CN112344895B (zh) * 2020-12-10 2022-04-22 南昌航空大学 一种关节臂坐标测量机多参数模型的建立及标定方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP2003526090A (ja) 2003-09-02
EP1264156A1 (de) 2002-12-11
WO2001061273A1 (de) 2001-08-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1126237B1 (de) Verfahren zur Korrektur einer Dreh-Schwenkeinrichtung für den Tastkopf eines Koordinatenmessgerätes
EP1342050B1 (de) Ermittlung von korrekturparametern einer dreh- schwenkeinheit mit messendem sensor ( koordinatenmessgerät ) über zwei parameterfelder
EP0438095B1 (de) Korrekturverfahren für Koordinatenmessgeräte
DE102018112820B4 (de) Teach-Positionskorrekturvorrichtung und Teach-Positionskorrekturverfahren
DE10016058A1 (de) Messvorrichtung und Verfahren zum Korrigieren von Fehlern bei einer Maschine
DE102015004483B4 (de) Robotersteuerung und Robotersystem zum Bewegen eines Roboters als Reaktion auf eine Kraft
DE69932791T2 (de) Vorrichtung und verfahren zur steuerung eines roboters
DE10339194B4 (de) Verfahren zur Ermittlung systematischer geometrischer Abweichungen in technischen Mehrkörpersystemen
EP1593930A1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Vermessung von Bauteilen
DE19858154B4 (de) Verfahren und Einrichtung zur Kalibrierung von bewegbaren Vorrichtungen mit mindestens einem teilweise unbestimmten Geometrieparameter
DE102017209178B4 (de) Verfahren zur Ermittlung der Raumlage eines bewegten Koordinatensystems, eines Messpunkts seines Sensors oder eines Arbeitspunktes eines Werkzeugs bei einem Roboter
DE10007062A1 (de) Dreh-Schwenkeinrichtung für den Tastkopf eines Koordinatenmeßgerätes
DE102015205567A1 (de) Kalibrierung einer an einem beweglichen Teil eines Koordinatenmessgeräts angebrachten Drehvorrichtung
DE4108939A1 (de) Verfahren zum kalibrieren von hochgenauen robotern
DE102020209486B3 (de) Aktuator
DE19921325A1 (de) Kalibriervorrichtung für einen parallelkinematischen Manipulator
EP3441200A1 (de) Referenzierverfahren und vorrichtung für industrieroboter
DE102011052386B4 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Kalibrieren einer Ursprungsposition eines Gelenkarmroboters
DE102020124136B4 (de) Verfahren und Anordnung zur Kalibrierung einer Parallelkinematik
DE10066470B4 (de) Dreh-Schwenkeinrichtung für den Tastkopf eines Koordinatenmeßgerätes
EP3589456B1 (de) Parallelkinematik
DE20023553U1 (de) Dreh-Schwenkeinrichtung für den Tastkopf eines Koordinatenmeßgerätes
EP3265756A1 (de) Anordnung zur ermittlung eines bewegungsfehlers einer drehvorrichtung
DE10016785A1 (de) Verfahren zur Kalibrierung
EP1405036B1 (de) Verfahren zum betreiben eines koordinatenmessgeräts mit einem dreh-schwenk-gelenk

Legal Events

Date Code Title Description
8127 New person/name/address of the applicant

Owner name: CARL ZEISS INDUSTRIELLE MESSTECHNIK GMBH, 73447 OB

8110 Request for examination paragraph 44
R119 Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee

Effective date: 20110901