DE06008391T1 - Hybrid-Turbomolekularvakuumpumpe - Google Patents

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DE06008391T1
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DE
Germany
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vacuum pump
stage
impeller
stages
molecular drag
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DE06008391T
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English (en)
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Marsbed Wellesley HABLANIAN
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Varian Inc
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Varian Inc
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D17/00—Radial-flow pumps, e.g. centrifugal pumps; Helico-centrifugal pumps
    • F04D17/08—Centrifugal pumps
    • F04D17/16—Centrifugal pumps for displacing without appreciable compression
    • F04D17/168—Pumps specially adapted to produce a vacuum
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00—Axial-flow pumps
    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F04D19/046—Combinations of two or more different types of pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D23/00—Other rotary non-positive-displacement pumps
    • F04D23/008—Regenerative pumps

Abstract

Vakuumpumpe, die aufweist:
ein Gehäuse mit einer Einlassöffnung und einer Auslassöffnung;
eine oder mehrere innerhalb des Gehäuses angeordnete Axialströmungsstufen, wobei jede der Axialströmungsstufen einen Stator und ein Laufrad umfasst, die jeweils geneigte Schaufeln aufweisen;
zumindest eine zusätzliche Vakuumpumpstufe, die keine Axialströmungsstufe ist, wobei die zusätzliche Vakuumpumpstufe innerhalb des Gehäuses angeordnet ist und einen Stator und ein Laufrad umfasst; und
einen Motor zum Drehen der Laufräder, so dass Gas von der Einlassöffnung zur Auslassöffnung gepumpt wird, wobei die Vakuumpumpe keine Molekular-Drag-Stufe mit einer rotierenden, zylinderförmigen Trommel oder einer rotierenden Scheibe mit einer flachen Pumpfläche aufweist.

Claims (17)

  1. Vakuumpumpe, die aufweist: ein Gehäuse mit einer Einlassöffnung und einer Auslassöffnung; eine oder mehrere innerhalb des Gehäuses angeordnete Axialströmungsstufen, wobei jede der Axialströmungsstufen einen Stator und ein Laufrad umfasst, die jeweils geneigte Schaufeln aufweisen; zumindest eine zusätzliche Vakuumpumpstufe, die keine Axialströmungsstufe ist, wobei die zusätzliche Vakuumpumpstufe innerhalb des Gehäuses angeordnet ist und einen Stator und ein Laufrad umfasst; und einen Motor zum Drehen der Laufräder, so dass Gas von der Einlassöffnung zur Auslassöffnung gepumpt wird, wobei die Vakuumpumpe keine Molekular-Drag-Stufe mit einer rotierenden, zylinderförmigen Trommel oder einer rotierenden Scheibe mit einer flachen Pumpfläche aufweist.
  2. Vakuumpumpe nach Anspruch 1, wobei die zusätzliche Vakuumpumpstufe eine modifizierte Molekular-Drag-Stufe aufweist, wobei das Laufrad eine Scheibe mit aufgerauter Pumpfläche umfasst.
  3. Vakuumpumpe nach Anspruch 1, wobei die zusätzliche Vakuumpumpstufe eine modifizierte Molekular-Drag-Stufe aufweist, wobei das Laufrad eine Scheibe mit gerillter Pumpfläche aufweist.
  4. Vakuumpumpe nach Anspruch 1, wobei die zusätzliche Vakuumpumpe eine Regenerationsstufe aufweist.
  5. Vakuumpumpe nach Anspruch 1, wobei die zusätzliche Vakuumpumpstufe zwei oder mehrere zusätzliche Vakuumpumpstufen umfasst.
  6. Vakuumpumpe nach Anspruch 5, wobei die zwei oder die mehreren zusätzlichen Vakuumpumpstufen eine modifizierte Molekular-Drag-Stufe und eine Regenerationsstufe umfassen, wobei das Laufrad der modifizierten Molekular-Drag-Stufe eine Scheibe mit aufgerauter oder gerillter Pumpfläche aufweist.
  7. Vakuumpumpe nach Anspruch 5, wobei die Laufräder von aufeinanderfolgenden Vakuumpumpstufen der zusätzlichen Vakuumpumpstufen für den Betrieb bei progressiv höheren Drücken ausgelegt sind.
  8. Vakuumpumpe nach Anspruch 1, wobei eine Drehachse der zusätzlichen Vakuumpumpstufe versetzt zu einem Zentrum des Stators der zusätzlichen Vakuumpumpstufe ist.
  9. Vakuumpumpe nach Anspruch 5, wobei die zwei oder die mehreren zusätzlichen Vakuumpumpstufen Regenerationsstufen aufweisen.
  10. Vakuumpumpe nach Anspruch 1, wobei die geneigten Schaufeln von Vakuumpumpstufen der aufeinanderfolgenden Axialströmungsstufen progressiv kleinere Winkel aufweisen.
  11. Vakuumpumpe, die aufweist: ein Gehäuse mit einer Einlassöffnung und einer Auslassöffnung; eine oder mehrere innerhalb des Gehäuses angeordnete Axialströmungsstufen, wobei jede der Axialströmungsstufen einen Stator und ein Laufrad aufweist, die jeweils geneigte Schaufeln aufweisen; zumindest eine modifizierte Molekular-Drag-Stufe, die innerhalb des Gehäuses angeordnet ist und einen Stator und ein Laufrad umfasst; und einen Motor, der die Laufräder dreht, so dass Gas von der Einlassöffnung zur Auslassöffnung gepumpt wird, wobei die Vakuumpumpe keine Molekular-Drag-Stufe mit einer rotierenden, zylinderförmigen Trommel oder einer rotierenden Scheibe mit einer flachen Pumpfläche aufweist.
  12. Vakuumpumpe nach Anspruch 11, wobei das Laufrad der modifizierten Molekular-Drag-Stufe eine Scheibe mit einer aufgerauten Pumpfläche aufweist.
  13. Vakuumpume nach Anspruch 11, wobei das Laufrad der modifizierten Molekular-Drag-Stufe eine Scheibe mit gerillter Pumpfläche aufweist.
  14. Vakuumpumpe nach Anspruch 11, wobei die zumindest eine modifizierte Molekular-Drag-Stufe zwei oder mehrere modifizierte Molekular-Drag-Stufen aufweist.
  15. Vakuumpumpe nach Anspruch 11, wobei eine Drehachse des Laufrads der modifizierten Molekular-Drag-Stufe versetzt zu einem Zentrum des Stators der modifizierten Molekular-Drag-Stufe ist.
  16. Vakuumpumpe, die aufweist: ein Gehäuse mit einer Einlassöffnung und einer Auslassöffnung; eine oder mehrere innerhalb des Gehäuses angeordnete Axialströmungsstufen, wobei jede der Axialströmungsstufen einen Stator und ein Laufrad aufweist, die jeweils geneigte Schaufeln aufweisen; zumindest eine Regenerationsstufe, die innerhalb des Gehäuses angeordnet ist und einen Stator und ein Laufrad umfasst; und einen Motor, der die Laufräder dreht, so dass Gas von der Einlassöffnung zur Auslassöffnung gepumpt wird, wobei die Vakuumpumpe keine Molekular-Drag-Stufe mit einer rotierenden, zylinderförmigen Trommel oder einer rotierenden Scheibe mit einer flachen Pumpfläche aufweist.
  17. Vakuumpumpe nach Anspruch 16, wobei die zumindest eine Regenerationsstufe zwei oder mehrere Regenerationsstufen aufweist.
DE06008391T 2005-05-12 2006-04-24 Hybrid-Turbomolekularvakuumpumpe Pending DE06008391T1 (de)

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US11/127,851 US7445422B2 (en) 2005-05-12 2005-05-12 Hybrid turbomolecular vacuum pumps
US127851 2005-05-12

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Family

ID=36809268

Family Applications (1)

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US (1) US7445422B2 (de)
EP (1) EP1724469A2 (de)
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JP2006316792A (ja) 2006-11-24

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