DD290266A5 - Verfahren und anordnung zum getrennten reflektrometrischen erfassen der lichtanteile einzelner schichten eines koerpers - Google Patents
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Abstract
Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Anordnung zum getrennten reflektometrischen Erfassen der Lichtanteile einzelner Schichten eines Koerpers mit optisch zugaengiger Struktur. Sie finden Anwendung in der Medizin, insbesondere zum getrennten Erfassen der Lichtanteile der Okularmedien und des Fundus. Die Erfindung wird in der Technik fuer Werkstoffuntersuchungen, und fuer Messungen von Stoffen mit groszer Extinktion genutzt, wobei Messungen in tieferliegenden Strukturen erfolgen. Die Aufgabe der Erfindung, eine getrennte spektrale Erfassung der Anteile des Streulichtes, der Anteile des Fluoreszenzlichtes und der Anteile des Reflexionslichtes in verschiedenen Schichten, bei einer einmaligen Justierung und mit einer einzigen Meszanordnung zu ermoeglichen, wird durch die Anwendung verschiedener Blenden, Blendenteilung und Berechnung erreicht. In der Augenheilkunde koennen Veraenderungen in den Okularmedien (Linse, Glaskoerper, Kammerwasser) und am Fundus getrennt erfaszt werden. Fig. 7{Schicht; Streuung; Reflexion; Fluoreszenz; Licht; Struktur; Auge; Werkstoff; Struktur; Blendenteilung; Polarisation; Medizin; Messung; Okularmedien; Fundus}
Description
Hierzu 8 Seiten Zeichnungen
Anwendungsgebiet der Erfindung
Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Anordnung zum getrennten reflektormtrischen Erfassen der Lichtanteile einzelner Schichten eines Körpers mit optisch zugängiger Struktur.
Sie finden Anwendung in der Medizin, insbesondere zum getrennten Erfassen der Lichtanteile der Okularmedien und des Fundus.
Die Erfindung wird in der medizinischen Forschung zur Untersuchung von Krankheitsursachen eingesetzt.
Sie wird beispielsweise zur objektiven Diagnostik von pathologischen Veränderungen im Auge genutzt.
Die Erfindung ist in der Medizin zur Untersuchung des Blutes innerhalb der Gefäße, die sich beispielsweise unter streuenden Muokelschichten befinden, geeignet. Die Erfindung wird zur Untersuchung von Gewebestrukturen verwendet, die sich hinter streuenden Schichten befinden.
Die Erfindung wird in der Technik für Werkstoffuntersuchungen, und für Messungen, insbesondere von Stoffen mit großer Extinktion genutzt, wobei Messungen in tieferliegenden Strukturen von Körpern mit Schichtstruktur erfolgen.
-6- 290 26ο
Charakteristik des bekannten Standes der Technik
Bekannte Verfahren und Anordnungenzur Streuungsmessung (z.B. EP 0074428 A1) gehen von einer homogenen Verteilung der streuenden Teilchen Im gesamten Meßvolumen aus, so daß reflektometrische Streuungsmessungen aus dem Gesamtvolumen möglich sind, wenn der Beleuchtungsstrahlengang vom Meßstrahlengang getrennt ist, was dem Prinzip der Aperturblendenteilung entspricht.
Mit dieser Anordnung wird die Streuung aus dem oberflächennahen Bereich der Probe prinzipiell nicht erfaßt.
Auch eine gezielte Bestimmung des Streulichtes aus definierten Tiefen des zu untersuchenden Mediums sind nicht möglich.
In einer Anordnung zur Kataraktfrühdiagnose wird das gesamte Auge mit einer Laserstrahlung zur Fluoreszenzanregung beleuchtet. Durch das verwendete Schelmplflugprinzip sind selektive Fluoreszenzmessungen an der Linse möglich. Jedoch
führen der ebenfalls zur Fluoreszenz angeregte Glaskörper und der Augenhintergrund zu einer Überlagerung mit dem Fluoreszenzlicht. Eine Streuungsmessung in der Linse ist Infolge der Mehrfachreflexion des Fundusreflexionslichtes mit dieser Anordnung unzweckmäßig.
Line bekannte Lösung (Fink, F. u.a.: Picosecond Gated Picture Ranging for Seeing through Human Tissue. 5th International Conference on Laser and there Application, Oct. 28 to Nov. 1.1985 Dresden) nach der das Blutgefäßsystem hinter einer streuenden Muskelschicht dargestellt wird, beleuchtet den zu untersuchenden Körper mit ultrakurzen Lichtimpulsen. Mit einem Zeittor wird das von der Muskelschicht gestreute Licht gesperrt und nur das Licht, das gegenüber dem Streulicht zeitverzögert auf den Empfänger gelangt, wird registriert.
Dieses Prinzip zur Trennung der Lichtanteile aus verschiedenen Schichten eines Körpers gerät an die physikalisch-technischen Grenzen zur Erzeugung ultrakurzer Lichtimpulse und ultraschneller Schalter, wenn die Streuung in geometrisch dünnen Schichten gesperrt oder erfaßt werden soll.
Tritt in den Oberflächenschichten, deren Streueinfluß beseitigt werden soll, eine Fluoreszenz auf, deren Abklingzeit größer als die zur Trennung genutzte Laufzeitdifferenz des Lichtes ist, versagt das Prinzip des optischen Radars.
Ziel der Erfindung
Das Ziel der Erfindung ist es, ein Verfahren und eine Anordnung zum getrennten reflektometrischen Erfassen der Lichtanteile einzelner Schichten eines Körpers mit optisch zugängiger Struktur anzugeben, die es gestatten mit dem vergleichsweise geringem Aufwand einer einzigen Anordnung Streulicht, Reflexionslicht und Fluoreszenzlicht in verschiedenen Schichten eines Körpers zu erfassen.
In der Medizin, insbesondere in der Augenheilkunde sollen für die Forschung die Grundlagen zum Erfassen der Krankheitsursachen v/esentlich verbessert werden, um dadurch die diagnostischen Möglichkeiten effektiver zu gestalten, um eine bessere Prophylaxe und Therapie zu erreichen.
In derTechnik sollen insbesondere mit einer einfachen Anordnung Messungen und Untersuchungen von Stoffen mit Schichtstruktur mit einer hohen Genauigkeit und örtlichen Auflösung in der Tiefe erfolgen.
Darlegung des Wesens der.Erf Indung
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren und eine Anordnung zum getrennten reflektometrischen Erfassen der Lichtanteile einzelner Schichten eines Körpers mit optisch zugängiger Struktur zu schaffen, die eine getrennte spektrale Erfassung der Anteile des Streulichtes, der Anteile des Fluoreszenzlichtes und der Anteile des Reflexionslichtes in verschiedenen Schichten, bei einer einmaligen Justierung und mit einer einzigen Meßanordnung ermöglichen.
Insbesondere sollen in der Augenheilkunde Veränderungen in den Okularmedien (Linse, Glaskörper, Kammerwasser) und des Fundus getrennt erfaßt werden. Es soll der Einfluß der Okularmedien auf den spektralen Vei lauf des gemessenen Lichtes, insbesondere bei reflektometrischen Messungen, erfaßt werden.
Eine weitere Aufgabe in der Medizin besteht darin, Strukturen von Geweben zu erfassen, die sich hinter streuenden Schichten befinden.
In der Technik sollen einzelne Schichten eines Körpers mit Struktur (Schichtstruktur und/oder anisotropher Aufbau) zur Untersuchung von Eigenschaften des Körpers und/oder zur bildlichen Darstellung genauer und detaillierter in der Tiefe untersuchbar werden.
Die Aufgabe wird durch das Verfahren erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß in mindestens einem Meßzyklus nacheinander oder gleichzeitig in einer ersten Messung Licht aus allen Schichten einer n. Teilschichtfolge ermittelt wird, indem 3 η + 1.
Blendenbilder in Beleuchtungsstrahlengängen und 3n + 2. Blendenbilder in Meßstrahlengängen auf einer Oberfläche der n.
Teilschichtfolge mit identischer Geometrie abgebildet werden, in mindestens einer zweiten Messung Licht aus einem Teil der n.
Teilschichtfolge ermittelt wird, indem mitden3n + 1. Blendenbildern in den Beleuchtungsstrahlengängen und mit 3n + 3.
Blendenbildern in den Meßstrahlengängen je eine η + 1. Blendenteilung auf der Oberfläche der n. Teilschichtfolge realisiert werden und durch Berechnung Licht einzelner Schichten der n. Teilschichtfolge ermittelt wird, wobei für η eine natürliche Zahl größer/gleich „Null" zugelassen ist.
Die Aufgabe wird durch die Anordnung erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß in Beleuchtungsstrahlengängen 3 η + 1. Blenden und in Meßstrahlengängen 3n + 2. Blenden und/oder 3n + 3.Blendenangeordnetsind,wobeidie3n + 2. Blenden so gestaltet sind, daß ihre Bilder auf der Oberfläche der n. Teilschichtfolge identisch mit den Bildern der 3n + 1. Blenden sind, die 3 η + 3.
Blenden so gestaltet sind, daß ihre Bilder auf der Oberfläche der n. Teilschichtfolge mit den Bildern der 3 η + 1. Blenden je eine η + 1. Blendenteilungen realisieren und die lichtdurchlässigen Flächen der Bilder der 3 η + 1. Blenden undderBilderder3n + 3.
Blenden gleich groß sind, Strahlteiler in den Beleuchtungsstrahlengängen und Meßstrahlengängen angeordnet und dispersive Elemente wahlweise in die Beleuchtungsstrahlengänge und in die Meßstrahlengänge einschaltbar angeordnet sind, wobei für η eine natürliche Zahl größer gleich „Null" zugelassen ist.
Für η = 0 gilt die O. Teilschichtfolge, die der Körper selbst ist. Die Anordnung hat eine erste Blende, eine ;.weite Blende und eine dritte Blende, von denen Bilder erzeugt werden, welche die Blendenteilung auf der Oberfläche des Körpers realisieren.
FIr ρ = 1 wird eine (1.) Teilschichtfolge desKörpors bastimmt. Die Anordnung hat eine vierte Blende, eine fünfte Blende und eine sechste Blende, von denen Bilder erzeugt werden, welche die Blendenteilung auf der Oberfläche der (1.) Teilschichtfolge dos Körpers realisieren.
Für η - 2,3,... werden mit weiteren Blenden andere Blendenteilungen auf weiteren Oberflächen von Schichtfolgen realisiert, was eine örtlich und räumlich hochauflösende Untersuchung des Körpers ermöglicht.
Weiterhin gilt für Werte von n, die größer/gleich 1 sind, daß in dem mindestens einen Meßzyklus m-fach Blendenteilungon zwischen 3(m - 1) + 1. Blendenbildern mit 3(m - 1) + 3. Blendenbildern auf der Oberfläche derm - 1. Teilschichtfolge realisiertwerden. In der Anordnung sind 3(m - 1) + I.Blenden in den Beleuchtungsstrahlengängen und 3(m - 1) + 3. Blonden in den Meßstrahlengängen angeordnet, wobei die 3(m - 1) + 3. Blenden so gestaltet sind, daß ihre Bilder auf der Oberfläche dor m - 1. Teilschichtfolge mit den Bildern der 3(m - 1) + I.Blenden m-fach Blendenteilungen realisieren und vorteilhafterweise die lichtdurchlässigen Flächen der Bilder der 3{m - 1) + I.Blenden und der Bilder der 3(m - 1) + 3. Blenden gleichgroß sind und m wahlweise die Werte von 1 bi· η annimmt.
Für η = 0 ist ein Wert für m nicht definiert.
Für η = 1 kann m nur den Wert 1 annehmen.
Die Anordnung hat die erste Blende und eine dritte Blende, von denen Bilder erzeugt werden, welche auf der Oberfläche des Körpers (0.Teilschichtfolge) die (1.) Blendenteilung realisieren, weiterhin hat die Anordnung eine vierte Blende, eine fünfte Blende und oine sechste Blende, von denen Bilder erzeugt werden, welche die (2.) Blendenteilung auf der Oberfläche der (1.) Teilschichtfolge des Körpers realisieren.
Für η = 2 kann m den Wert 1 und/oder 2 annehmen. Drei Fälle sind möglich:
Die Variable m nimmt den Wert 1 an.
Dio Anordnung hat die erste Blende und eine dritte Blende, von denen Bilder erzeugt werden, welche auf der Oberfläche des Körpers (0.Teilschichtfolge) die (1.) Blendenteilung realisieren, weiterhin hat die Anordnung eine siebente Blende, eine achte Blende und eine neunte Blende, von denen Bilder erzeugt werden, welche eine (3.) Blendenteilung auf der Oberfläche einer weiteren (2.) Teilschichtfolge des Körpers realisieren.
Die Variable m nimmt den Wert 2 an.
Die Anordnung hat die vierte Blende und die sechste Blende, von denen Bilder erzeugt werden, welche auf der Oberfläche der (1.) Teilschichtfolge die (2.) Blendenteilung realisieren, weiterhin hat die Anordnung eine siebente Blende, eine achte Blende und eine neunte Blende, von denen Bildir erzeugt werden, welche eine (3.) Blendenteilung auf der Obc rfläche der weiteren (2.) Teilschichtfolge des Körpers realisieren.
Die Variable m nimmt den Wert 1 und den Wert 2 an.
Die Anordnung hat die erste Blende und eine dritte Blende, von denen Bilder erzeugt werden, welche auf der Oberfläche des Körpers (0. Teilschichtfolge) die (1.) Blendenteilung realisieren, weiterhin hat die Anordnung die vierte Blende und die sechste Blende, von denen Bilder erzeugt werden, welche auf der Oberfläche der (1.) Teilschichtfolge die (2.) Blendenteilung realisieren, weiterhin hat die Anordnung eine siebente Blende, eine achte Blende und eine neunte Blende, von denen Bilder erzeugt werden, welche eine (3.) Blendenteilung auf der Oberfläche der weiteren (2.) Teilschichtfolge des Körpers realisieren.
Für η = 3,4,... werden mit weiteren Blenden andere Blendenteilungen auf weiteren Oberflächen von Schichtfolgen realisiert, wobei für η = 3 die Variablem die Werte 1,2,3, für η « 4 die Variable m die Werte 1,2,3,4 annehmen kann, und so weiter, was eine weitere räumliche Auflösung der Untersuchung des Körpers ermöglicht.
Die angegebenen Blenden sind sowohl als jeweils einzelne Blende, als auch als Vielfach-Anordnung (v-fach), beispielsweise als Matrix vorgesehen.
Die Zahl der Beleuchtungsstrahlengänge und Meßstrahlengänge ist entsprechend der speziollen Anordnung wählbar und ist im einfachsten Fall jeweils eins.
In den Meßstrchlengängen sind die 3n + 2. Blenden und die 3n + 3.Blenden entweder wechselbar angeordnet oder in jeweils ersten Teilmeßstrahlengängen sind die3n + 2. Blenden und in jeweils zweiten Teilmeßstrahlengängen sind die 3 η + 3. Blenden angeordnet.
Die3(m - 1) + I.Blenden sind in den Beleuchtungsstrahlengängen und/oder die 3(m - 1) + 3.Blenden sind in den Meßstrahlengängen vorzugsweise wechselbar angeordnet.
Dabei sind in einer Vielfach-Anordnung vorteilhaft in jeweils einem Beleuchtungsstrahlengang eine definierte Blende und in jeweils einem Meßstrahlengang eine zugehörige Blende angeordnet, um an mehreren Orten in der Tiefe und/oder in der Ebene gleichzeitig Messungen durchzuführen.
Die Blenden sind senkrecht zur optischen Achse angeordnet. Ihre Blendenbilder realisieron Blendenteilungen und ermöglichen eine gleichzeitige Messung von Lichtanteilen an verschiedenen Orten der Ebene einer Schicht und/oder in unterschiedlichen Schichten des Körpers.
In den Beleuchtungsstrahlengängen und Meßstrahlengängen werden weiterhin durch unterschiedliche Konturen und/oder unterschiedliche Lagen der Blendenbilder zu der optischen Achse an verschiedenen Orten des Körpers durch ihre Bilder verschiedene Blendenteilungen realisiert und damit ebenfalls eine gleichzeitige Messung in verschiedenen Schichten des i'örpers ermöglicht.
F ür η = 0 sind in dem mindestens einen Beleuchtungsstrahlengang mindestens eine erste Blende angeordnet und in dem Mindestens einen Meßstrahlengang mindestens eine zweite Blende und mindestens eine dritte Blende wechselbar angeordnet oder in dem mindestens einen Beleuchtungsstrahlengang ist die mindestens eine erste Blende, in dem mindestens einen ersten Meßstrahlengang ist die mindestens eine zweite Blende und in dem mindestens einen zweiten Meßstrahlengang ist die mindestens eine dritte Blende fest angeordnet.
Dabei ist die mindestens eine zweite Blende so gestaltet, daß ihr Bild auf der Oberfläche des Körpers identisch mit dem Bild der mindestens einer ersten Blende ist, die mindestens eine dritte Blende ist so gestaltet, daß ihr Bild auf der Oberfläche des Körpers mit dem Bild der mindestens einen ersten Blende eine Blendenteilung realisiert.
Die lichtdurchlässigen Flächen des Bildes der mindestens einen ersten Blende und des Bildes der mindestens einen dritten Blende sind auf der Oberfläche des Körpers gleich groß. In dem mindestens Pinen Beleuchtungsstrahlengang und in dem mindestens einen Meßstrahlengang Ist mindestens ein Strahlteiler angeordnet. Für η β ο wird in dem mindestens einen Meßzyklus in der ersten Messung Licht aus alten Schichten des Körpers ormittolt, Indom mindostons ein erstes Blondonbild dos mindestens einen Beleuchtungsstrahlengangos und mindestens oin zweites Blondonbild des mindostons einen Meßstrahlenganges auf der Oberfläche des Körpers mit identischor Goometrlo abgebildet werclon. In der mindostons einen zweiten Messung wird Licht aus der Teilschichtfolge dos Körpers ermittelt, indem das mindestens eino erste Blondonbild dos mindestens einen Beleuchtungsstrahlenganges mit dem mindestens oinon dritten Blendenbild des mindostons oinon Moßstrahlenganges die mindestens eine Blondentoilung auf der Oberfläche dos Körpers roalisiort.
Durch Differenzbildung der Meßergebnisse wird der Lichtanteil aus dor mindestens oinon einzolnon Schicht des Körpers berechnet.
Für η " 1 und m = 1 ist die mindestens eino erste Blonde in dem mindestens einen Bolouchtungsstrahlengang und die mindestens eine dritte Blende in dem mindestens einen Meßstrahlongang angeordnet. In dem mindostons oinon Beleuchtungsstrahlengang ist mindestens eine vierte Blende angeordnet und in dom mindostons einen Meßstrahlengang sind mindestens eine fünfte Blende und mindestens eh ·» sechste Blendo wechselbar angoordnot oder in dom mindestens einen ersten Meßstrehlengang ist die mindestens eine fünfte Blonde und in dom mindestens oinon zweiten Meßstrahlongang ist die mindestens eine sechste Blende fest angeordnet.
Dabei ist die mindestens eine fünfte Blende so gestaltet, daß ihr Bild auf der Oberfläche der Teilschichtfolge identisch mit dom Bild der mindestens einen vierten Blende auf der Oberfläche der Toilschichtfolge ist, die mindostons olno sechste Blondo ist so gestaltet, daß ihr Bild auf der Oberfläche der Teilschichtfolge mit dom Bild der mindestens oinon vierten Blende auf dor Oberfläche der Teilschichtfolge eino Blendenteilung realisiert und dio lichtdurchlässigen Flächen dos Bilclos dor mindostons einen vierten Blonde und des Bildes der mindestens einen sechsten Blendo auf der Oborfläche der Teilschichtfolge gleich groß
Für η = 1 und m = 1 wird in dem mindestens einen Meßzyklus durch das mindestens eine erste Blendenbild in dem mindestens einen Beleuchtungsstrahlengang mit dem mindostons einen dritten Blendenbild in dom mindostons einen Meßstrahlengeng die mindestens eine Blendenteilung auf der Oberfläche dos Körpers realisiert.
In der ersten Messung wird Licht aus allen Schichten der Teilschichtfolge ermittelt, indem mindestens ein viertos Blondonbild des mindestens einen Beleuchtungsstrahlenganges und mindestens ein fünftes Blondenbild des mindestens einon Meßstrahlenganges auf der Oberfläche der T ilschichtfolge mit identischer Geometrie abgebildet werden. In mindestens der einen zweiten Messung wird Licht aus dem Teil der Teilschichtfolgo ermittelt, indom das nvndestons eine viorte Blendonbild mit dem mindestens einen sechston Blendenbild in dem mindestens einon Meßstrahlongang mindestens eine Blondenteüung auf der Oberflache der Teilschichtfolge realisiert. Durch Differenzbildung zwischen den Moßergebnissen wird der Lichtenteil aus der mindestens einen einzelnen Schicht der Teilschichtfolge errechnet.
Unter Lichtanteilen werden Streulicht, Fluoreszenzlicht und Roflexionslicht verstanden, doron Ursprung in der untersuchten Schicht liegt.
Die Blenden sind entlang der optischen Ach ι verschiebbar angeordnet und/oder die radialen Abstände der Konturen der Blenden von der optischen Achse, vorzugsweise der mindestens einen 3 η + 3. Blende sind veränderbar, um mit einer hohen räumlichen Auflösung Lichtanteile zu ermitteln.
Bei Untersuchungen von Körpern mit regulär reflektierender Oberfläche oder regulär reflektierender Schicht wird zur Beseitigung des regulär reflektierten Lichtanteils linear polarisiertes Licht im Beleuchtungsstrahlengang verwendet.
Dabei ist vorzugsweise die mindestens eine 3n + 1. Blende in dem mindestens einen Beleuchtungsstrahlengang so gestaltet, daß ihr Bild auf der regulär reflektierenden Oberfläche der n.Toilschichtfolge den Linien gleicher Depolarisation entspricht.
Weiterhin ist bei diesen Körpern vorzugsweise die mindestens eine 3(m - 1) +1. Blende in dem mindestens einen Beleuchtungsstrahlengang so gestaltet, daß ihr mindestens eines Bild auf der mindestens einen regulär reflektierenden Oberfläche der m - 1.Teilschichtfolge den Linien gleicher Depolarisation entspricht.
Für Körper mit kugelförmiger Gest< und regulär reflektierender Oberfläche sind vorzugsweise die mindestens eine 3n + I.Blende und/oder die mindestens eine 3(m - 1) + I.Blende so gestaltet, daß sie für Strahlen in einer Umgebung der optischen Achse und in einem Bereich mit den Azimuten 0 Grad und 90 Grad lichtdurchlässig, für Strahlen außerhalb des Bereiches lichtunddurchlässig sind. Die mindestens eine 3n + 3.Blendeund/oderdiemindestenseine3(m - 1) +3. Blende sind so gestaltet, daß sie für Strahlen in einer Umgebung der optischen Achse und in einem Bereich mit den Azimuten 0 Grad und 90 Grad lichtundurchlässig, für Strahlen außerhalb des Bereiches lichtdurchlässig sind. Daboi sind dio lichtdurchlässigen Flächen der Blenden, die die jeweilige Blendenteilung realisieren, gleich groß.
In dem mindestens einen Beleuchtungsstrahlengang und/oder in dem mindestens einen Meßstrahlengang sind dispersive Elemente, vorzugsweise Monochromatoren mit holographischem Gitter oder Filter verschiedener spektraler Durchlaßbereiche oder Polychromatoren, angeordnet.
Als Strahlteiler und Polarisator/Analysator-Anordnung wird bei rpiulär reflektierenden Oberflächen vorzugsweist ein Glan· Thompson-Prisma mit Zusatzprismen verwendet.
In dem mindestens einen Beleuchtungsstrahlengang wird kontinuierliches oder impulsförmiges Licht mindestens einer veränderbaren Wellenlänge oder mindestens eines veränderbaren Wellonlängenbereiches verwendet.
Vorzugsweise durch Abbildung einer kleinen Leuchtfleckgröße auf donTeil der n.Teilschichtfolge wird der spektrale Verlauf des Lichtes mindestens einer einzelnen Schicht der n.Teilschichtfolge ermittelt.
Zur Untersuchung des Körpers mit diffus reflektierender Oberfläche der n.Teilschichtfolge wird vorzugsweise natürliches Licht in dem mindestens einen Beleuchtungsstrahlengang verwendet.
Zur Untersuchung des Körpers mit regulär reflektierender Oberfläche der n.Teilschichtfolge werden Maßnahmen zur Beseitigung des regulär reflektierten Lichtes, vorzugsweise linear polarisiertes Licht und/oder das Prinzip der Aperturblendenteilung und/oder dispersive Elemente, angewendet.
Vor, während oder nach dem Meßzyklus wird das Licht in dem mindestens einen Beleuchtungsstrahlengang gemessen und die Ergebnisse werden zur quantitativen Bestimmung von Lichtanteilen verwendet.
Erstens worden In dom Moßzyklus glolcho Wellenlängen des Llchtos In dom mlndostons oinon Bolouchtungsstrahlongang und in dem mindestens einen Meßstrahlongang angewendet, In dor ersten Messung djs Licht aus nllon Schichten der n.Tollschlchtfolge, In der »weiten Messung das Licht aus dem Toll der n.Tollschlchtfolge ermittelt und durch Quotlontonblldung »wischen den Ergebnissen dor erston Messung und dem Licht In dem mlndostons olnon Boleuchtungsstrahlongany entsprechend der Formel
und durch Quotlontonblldung zwischen den Ergebnissen dor zweiten Mossung und dom Licht in dom mindostons olnon Boleuchtungsstrahlongang entsprechend der Formol
R1 °MI
0
und bei vorteilhafterweiso Annahme einer kugelförmigen Streulndikatrix nach dor Formel
die Reflexion dos mindestens oinen Teils der n.Teilschichtfolge bostimmt.
dom mindestens einen Beleuchtungsetrahlongang un J in dem mindestens olnon Moßstrahlongang angowendot, in dormindestens einen ersten Mussung der spektrale Verlauf dos Streulichtes aus nllon Schichton der n.Tcllschichlfolgo, in dormindestens oinen zweiten Messung der spektrale Vorlauf des Stroulichtes dos Toils dor n.Toilschichtfolgo ormittolt und durch
einon Meßstrahlongang angewendet, in dor mindostons oinen erston Messung dor spoktralo Verlauf dos Fluoroszonzlichtos ausallen Schichten der n.Teilschichtfolge, in dor mindostons oinen zweiton Messung dor spektrale Vorlauf dos Fluoroszonzlichtosdes Teils der n.Teilschichtfolge ermittelt und durch Differenzbildung zwischen den Ergebnissen dor orston Mossungon und don
n.Toilschichtfolge ermittolt.
η.Teilschichtfolge und aus dom mindostons in einem weiteren Meßzyklus gewonnenen spoktralon Vorlauf des Stroulichtos doreinzelnen Schicht der n. Teilschichtfolge durch Differenzbildung der spektrale Vorlauf dos Fluoroszonzlichtos dor oinzolnon
η.Teilschichtfolge und aus dem mindestens in einem woitoron Meßzyklus gewonnenen spoktralon Verlauf des
einzelnen Schicht der n. Teilschichtfolge ermittelt.
sind, insbesondere in Reflexion zu messen sind,
Die Erfindung wird an einem Beispiel eines mehrschichtigen Körpers und an einem Beispiel zur getrennten Erfassung der Lichtantoite des vorderen Augenabschnittes sowie einzelner Schichten dor Augenhintoigrundes eines menschlichen Augos beschrieben. Es zeigen:
mehrschichtigen Körpers Fig. 2: Schematischer Aufbau der erfindungsgemäßen Anordnung zur Mossung der Lichtanteile einer Schicht dor
Fig. 3: Aufbau der Anordnung zum gleichzeitigen Messen dor Lichtanteilo aus verschiedenen Schichton oines Körpers Fig.4: Anordnung von' irsten-BIcnden im Belouchtungsstrahlongang sowie v-zweiten- und v-dritton-Blondon im
Meßstrahlongang Fig. 5: Schematicher Aufbau der Messung der Lichtanteilo des vorderon Augenabschnittes bei gleichzeitiger Untersuchung
des Augenhintergrundes Fig. 6: Kombinationen zwischen Austrittspupille des Beleuchtungssystoms und den boi der ersten Mossung und der zweiton
Fig. 7: Aufbau der Anordnung zur Messung des Streu- und Fluoreszonzlichtos in einzelnen Schichton des Augenhintorgrundos Fig. 8: Schema zur Verdeutlichung der verwendeten Begriffe
oinor optisch zugflngigon Tollscblchtfolgo 24.
lichtdurchlässig sind.
worden abor außoraxlalo Boroicho lichtdurchlässig sind.
in dom Moßstrahlongang 11 von olnom Empfänger 16 Licht dos Körpore 0 gemessen, das infolgo Slrouung, Fluoroszoriz und
0M> ·> IO, - O0 χ (S + F)) x r χ [O0 - 0„ χ (F χ S)|/0o (2)
mit S - Stroulichtantoil und F - Fluorosionilichtantoil.
Aus dor Differonz von Gleichung (Hund (2) entsteht das Fluorosiom-und Stroulicht O0 χ (F (· S) oinor einzelnen Schicht. Untor dor Voraussetzung, daß dio Lichtschwächung in oinor oimolnon Schicht proportional zum Streu- und Fluoroszonzlicht in diosor Schicht ist, orgibt sich mit
Omi/0«,» fur dio Rofloxion r dor Toilschichtfolgo:
r = R,/|1 - (R, - R,))2. (3)
strouondon Schicht 25 dos Körpors 6 bofindot.
daß dio zu einem Meßzyklus gehörondo ersto Mossung dos Lichtos aus allen Schichton dos Körpors 6 (orsto Blondo 9, zwoito
dor Toilschichtfolgo 24 dos Körpors 6 (nrste Blondo 9, dritte Blondo 14) mit oinom zwoiton Toilompfiingoi 36 gloichzoitig inparallolon Strahlongängon orfolgen.
realisiert, daß Licht aus unterschiedlichen Tiofon dor Schicht 25 dos Körpors 6 ausgeblendet wird.
eine sechste Blonde 23 angeordnet sind.
eino Oberfläche der Toilschichtfolgo 24 als Bild 31 der vierton Blondo 3 abgebildet wird.
durch eine dritte Linse 15 und dia ersto Linso 4 ebenfalls auf dor Oberfläche dor Toilschichtfolgo 24 als Bild 32 dor fünften
identische Geometrie. Das Bild 31 der vierton Blondo 3 und das Bild 33 der sechsten Blonde ?3 realisieren auf dor Obotflncho dor
daß sie für axiale Strahlen lichtdurchlässig sind.
wird aber außoraxiale Boreicho lichtdurchlässig sind.
dritte Blondo 14 Im Meßstrahlongang 11 so positioniert, daß Ii. jlgo der Blendontoilung zwischon dom Bild 19 der orston
dom Toil 27 dor Toilschichtfolgo 24 entstoht.
vior Toilstrohlongängo auf.
dos Kör pore β erhalten.
vernachlässigbar sind.
vorschiodonon einzelnen Schichten oinos Körpers β mit Hilfe fluoreszierender Indikatoren.
können, sind gomaß Figur 1, Figur 2 oder Figur 3 im Belouchtungsstrahlengang 1 oin erstes dispersives Element 18 und im
naholiegond, daß dieses monochromatische Bdeuchtungslicht das Licht oinos Farbstofflasers ist.
veränderlicher Mittenwellenlänge im Beleuchtungsstrahlengang 1 und Im Moßstrahlengang 11 festgelegt, so wird durch das
ausgeführt, so wird oin spoktralor Vorlauf dos Stroulichtos und dos Fluoreszenzlichtes dor oinzohon Schicht 25 dos Körpers 6oder/und dor Schicht 26 dor Toilschichtfolgo 24 gemessen.
auch ermittelt, wenn die Beleuchtung des Körpers 6 mit oinom unveränderlichen Wellonlängonteroich erfolgt und in Verbindungmit der Anordnung des zweiten dispersion Elementes 22 im Meßstrahlengang 11 Wellenlängonbereiche veränderbarer
entsteht aus der Differunz dnr Moßorgebnisse dor orsten Messung und dor zweiten Messung, die bei jeder im
auch rechnerisch aus den Ergebnissen mehrere; Meßzyklsn bestimmt.
2. Moßzyklus dor spoktralo Vorlauf dos Fluoroszonzllchtos dor Schicht 25 dos Körpors 6 oder/und dor Schicht 26 dor
dor Schicht 26 der Teilschichtfolge 24 orhalton.
dor Toilschichtfolge 24 sowie die laterale Reflexion derTeilschichtfolge 24 odor/und dos Teils 27 dor Toilschichtfolge 24 wird auffolgende Arten realisiert:
dor optischon Achse (Koordinate ζ in Figur 1) geändert. Oioso Ausführung ist ein Objoktscannor.
die dritte Blondo 14 vorteilhaftorweisc in aufgotoilton Moßstrahlongängon 11 mohrfach (v-fach) in einer Ebone senkrecht zuroptischen Achse angeordnet (ebenso die vierte, fünfte und sechste Blonde, nicht dargostellt)
mehreren Orten dor Ebene.
fotoempfindlichen Schicht in Empfängern 16 realisiert.
optisch zugänglicher Schichtstruktur, wobei mindestens an der Oberfläche des Körpers 6 roguläro Reflexion auftritt, soll am
des Körpers 6 mit optisch zugänglicher Schichtstruktur.
aufgesetzten Zusatzprismen 7 entsteht linear polarisiertes Licht, mit dem das Auge 30 beleuchtet wird.
Hornhaut 8.
die in der Nähe von 45 Grad, 135 Grad, 225 Grad und 315 Grad zur Schwingungsobone des linear polariserten
polarisierten Beleuchtungslichtes liegen, sperrt das Bild 21 der dritten Blende 14 das aus dem Auge 30 tretende Licht. Durch dio
die dritte Blende 14 die Lichtanteile gesperrt, die durch Streuung oder Fluoreszenz in den vorderen Augeniibschnitten entstehen.
seine Polarisationsrichtung weitgehend bei. Es gelangt ohne Ablenkung im Glan-Thompson-Prisma 29 zurück in den
dem Auge 30, die senkrecht zur Schwingungsebene des Beleuchtungslichtes schwingt, im Glan-Thompson-Prisma 29 eine
allen Schichten des Auges, insbesondere auch das Streulicht und das Fluoreszenzlicht der vorderen Augenabschnitte gemessen.
in den vorderen Augenabschnitten entstehen, ohne Verfälschung durch Fundusreflexionslicht erhalten.
dos Auges 30 realisieren, wird das Streu· und Fluoreszonzllcht in Bereichen mit unterschiedlicher Ausdehnung in Richtung deroptischen Achse gotronnt bestimmt.
der dritten Blende 14 von der optischen Achso der bei der zweiten Messung ausgeblendete Bereich in Richtung der optischen
erreicht.
nach der Formel
r = R2/|1-(R1-R2)]' (3)
der Einfluß dor Streu- und Fluoreszonzlichtes dor vorderen Augenmedien so berücksichtigt, daß die reine Fundusreflexionerhalten wird.
ausgewählten Wellenlängen erfolgt, bei denen charakteristische Fundusstrukturen unter einem hohen Kontrast zur Umgebungerscheinen. Im Meßstrahlengang 11 sind dazu vorzugsweise die zweite Blende 13 und die dritte Blende 14 in parallelen
zwei Teilempfängern 35 und 36.
r = R,/[1-(R1-R2)]' (3)
für jeden abgetasteten Fundusort die spektrale Reflexion bestimmt. Aus den berechneten Reflexionen erfolgt eine nahezupunktweise Rekonstruktion des gesamten Augenhintergrundes 12 mit Methoden der Bildverarbeitung und Bildauswertung.
oben beschriebener Zuordnungen zwischen den ausgewählten Spektralbereichen im Beleuchtungsstrahlengang 1 und im
in einzelnen Schichten des Augenhintergrundes 12.
wird. Die fünfte Blende 17 und die sechste Blende 23 sind wechselbar in einem Meßstrahlengang 11 oder ständig in aufgeteilten
eine Blendentrennung.
entstehen, werden substanzspezifische spektrale Messungen und Strukturuntersuchungen in einzelnen Fundusschichtenrealisiert.
entsprechende Auswahl der mit dem ersten dispersiven Element 18 im Beleuchtungsstrahlengang 1 und mit dem zweitendispersiven Element 22 im Meßstrahlengang 11 ausgewählten Spektralbereiche in der oben beschriebenen Weise.
und Reflexionsmessungen im vorderen und in hinteren Augenabschnitt durchgeführt.
vorzugsweise bei zunehmender Streuung im vorderen Augenabschnitt (Katarakt).
Claims (31)
1. Verfahren zum getrennten reflektometrlachen Erfassen der Lichtanteile einzelner Schichten eines Körpers mit optisch zugängiger Struktur, zur Untersuchung von Eigenschaften des Körpers und/ oder zur bildlichen Darstellung, dadurch gekennzeichnet, daß in mindestens einem Moßzykliis nacheinander oder gleichzeitig in einer ersten Messung Licht aus ollen Schichten oinor n. Teilschichtfolge ermittelt wird, indem 3 η + 1, Blendenbikler η Beleuchtungsstrahlengängen und 3 η + 2. Blondenbilder in Meßstrahlongöngen auf einer Oberfläche dor η. Teilschichtfolge mit identischer Geometrie abgebildet werden, in mindestens einer zweiten Messung Licht aus oinem Teil der n. Teüschichtfolge ermittelt wird, indem mit den 3n + 1. Blondonbildorn in den Böleuchtungsstrahlengängen und mit 3n -»· 3. Blondenbildern in den Meßstrahlengängen je eine η + 1 Blendenteilung auf der Oberfläche der n. Teilschichtfolge realisiert werden und durch Berechnung Licht einzelner Schichten der n. Teilschichtfolge ermittelt wird, wobei für η eine natürliche Zahl größer/gleich „Null" zugelassen ist und die 0.Teilschichtfolge den Körper (6) selbst repräsentiert.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß in dem mindestens einen Meßzyklus m-foch Blendenteilungen zwischen 3(m - 1) + 1. Blendenbildern in den Beleuchtungsstrahlengängen (1)mit3(m - 1) + 3. Blendenbildern in den Meßstrahlengängen (11) auf der Oberfläche der m - 1. Teilschichtfolge realisiert werden, wobei m Werte von 1 bis η annimmt.
3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß in dem mindestens einen Meßzyklus nacheinander oder gleichzeitig in der ersten Messung Licht aus allen Schichten der n. Teilschichtfolge ermittelt wird, indem das 3 η + 1. Blendenbild des Beleuchtungsstrahlenganges (1) und das 3n + 2. Blendenbild des Meßstrahlenganges (11) auf der Oberfläche der n. Teilschichtfolge mit identischer Geometrie abgebildet werden, in der mindestens einen zweiten Messung Licht aus dem Teil der n. Teilschichtfolge ermittelt wird, indem das3n + 1. Blendenbild in dem Beleuchtungsstrahlengang (1) mit dem 3n + 3. Blendenbild in dem Meßstrahlengang (11) die η + 1. Blendenteilung auf der Oberfläche der n. Teilschichtfolge realisiert und durch Berechnung Licht der einzelnen Schicht der n. Teilschichtfolge ermittelt wird, wobei für η eine natürliche Zahl größer/gleich „Null" zugelassen ist und die 0.Teilschichtfolge den Körper (6) selbst repräsentiert.
4. Verfahren nach Ansprüchen 2 und 3, dadurch gekennzeichnet, daß in dem mindestens einen Meßzyklus die m-fache Blendenteilung zwischen dem 3(m - 1) + 1. Blendenbild indem Beleuchtungsstrahlengang (1) mit dem 3(m - 1) + 3. Blendenbild in dem mindestens einen Meßstrahlengang (11) auf der Oberfläche der m - 1. Teüschichtfolge realisiert wird, wobei m die Werte von 1... η annimmt.
5. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß in den Beleuchtungsstrahlengängen (1) und Müßstrahlengängen (11) durch unterschiedliche Konturen und/oder unterschiedliche Lagen auf der optischen Achse der 3 η + 1. Blendenbilder und/oder der 3n + 2. Blendenbilder und/oder der 3 η + 3. Blendenbilder verschiedene η + 1. Blendenteilungen realisiert werden und eine gleichzeitige Messung in verschiedenen Schichten verschiedener n. Teilschichtfolgen erfolgt.
6. Verfahren nach den Ansprüchen 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß in den Beleuchtungsstrahlengängen (1) und in den Meßstrahlengängen (11) nebeneinander senkrecht zur optischen Achse 3η + 1. Blendenbilder, 3n + 2. Blendenbilder, 3n + 3. Blendenbilder, 3(m - 1) + 1. Blendenbilder und 3(m - 1) + 3.
Blendenbilder realisiert werden und eine gleichzeitige Messung in verschiedenen Orten der Ebene der Schicht der n. Teilschichtfolge und/oder in verschiedenen Schichten verschiedener n. Teilschichtfolgen erfolgt.
7. Verfahren nach den Ansprüchen 1 oder3, dadurch gekennzeichnet, daß in dem mindestens einen Meßzyklus in der ersten Messung Licht aus allen Schichten des Körpers (6) ermittelt wird, indem mindestens ein Bild 19 einer ersten Blende (9) des mindestens einen Beleuchtungsstrahlenganges (1) und mindestens ein Bild (20) einer zweiten Blende (13) des mindestens einen Meßstrahlenganges (11) auf der Oberfläche des Körpers (6) mit identischer Geometrie abgebildet werden, in der mindestens einen zweiten Messung Licht aus der Teilschichtfolge (24) des Körpers (6) ermittelt wird, indem das mindestens eine Bild (19) der ersten
Blende (9) des mindestens einen Beleuchtungsstrahlenganges (1) mit dem mindestens einen Bild (21) einer dritten Blende (14) des mindestens einen Meßstrahlenganges (11) die mindestens eine Blendenteilung auf der Oberfläche des Körpers (6) realisiert und durch Berechnung Licht der mindestens einen einzelnen Schicht (25) des Körpers (6) ermittelt wird.
8. Verfahren nach den Ansprüchen 1 und 2 odor 3 und 4, dadurch gekennzeichnet, daß in dem mindestens oinen Meßzyklus das mindestens eine Bild (19) der ersten Blende (9) in dem mindestens einen Beleuchtungsstrahlengang (1) mit dem mindestens einen Blendenteiluno auf der Oberfläche des Körpers (6) realisiert und in der ersten Messung Licht aus allen Schichten der Teilschichtfolge (24) ermittelt wird, indem mindestens ein Bild (31) einer vierten Blende (3) des mindestens einen Beleuchtungsstrahlenganges (1) und mindestens ein Bild (32) einer fünften Blende (17) des mindestens einen Meßstrahlenganges (11) auf der Oberfläche der Teilschichtfolge (24) mit identischer Geometrie abgebildet werden, in mindestens der einen zweiten Messung Lhht aus dem Teil (27) der Teilschichtfolge (24) ermittelt wird, indem das mindestens eine Bild (31) der vierten Blende (3)mitdem mindestens einen Bild (33) einer sechsten Blende (23) in dem mindestens einen Meßstrahlengang (11) mindestens eine Blendenteilung auf der Oberfläche der Teilschichtfolge (74) realisiert und durch Berechnung Licht der mindestens einen einzelnen Schicht (26) der Teilschichtfolge (24) ermittelt wird.
9. Verfahren nach den Ansprüchen 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß in dem mindestens einen Beleuchtungsstrahlengang (1) kontinuierliches oder impulsförmiges Licht mindestens einer veränderbaren Wellenlänge oder mindestens eines veränderbaren Wellenlängenbereiches verwendet, vorzugsweise eine Abbildung einer kleinen Leuchtfleckgröße auf dem Teil der n. Teilschichtfolge erfolgt und der spektrale Verlauf des Lichtes mindestens einer einzelnen Schicht der n. Teilschichtfolge ermittelt wird.
10. Verfahren nach den Ansprüchen 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß zur Untersuchung des Körpers (0) mit diffus reflektierender Oberfläche der n. Teilschichtfolge vorzugsweise natürliches Licht in dem mindestens einen Beleuchtungsstrahlengang (1) verwendet wird.
11. Verfahren nach den Ansprüchen 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß zur Untersuchung des Körpers (6) mit regulär reflektierender Oberfläche der n. Teilschichtfolge Maßnahmen zur Beseitigung des regulär reflektierten Lichtes, vorzugsweise linear polarisiertes Licht und/oder das Prinzip der Aperturblendenteilung und/oder dispersive Elemente (18), (22), angewendet werden.
12. Verfahren nach den Ansprüchen 9 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß vor, während oder nach dem Meßzyklus das Licht in dem mindestens einen Beleuchtungsstrahlengang (1) gemessen und zur quantitativen Bestimmung von Lichtanteilen verwendet wird.
13. Verfahren nach den Ansprüchen 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß in dem Meßzyklus gleiche Wellenlängen des Lichtes in dem mindestens einen Beleuchtungsstrahlengang (1) und in dem mindestens einen Meßstrahlengang (11) angewendet, in der ersten Messung das Licht aus allen Schichten der n. Teilschichtfolge, in der zweiten Messung das Licht aus dem Teil der n. Teilschichtfolge ermittelt und durch Quotientenbildung zwischen den Ergebnissen der ersten Messung und dem Licht in dem mindestens einen Beleuchtungsstrahlengang (1) entsprechend der Formel ..
Ml
D « ! Ul I
1 0
und durch Quotientenbildung zwischen den Ergebnissen der zweiten Messung und dem Licht in dem mindestens einen Beleuchtungssirahlengang (1) entsprechend der Formol
0
M2
M2
2 0
und bei vorteilhafterweise Annahme einer kugelförmigen Streuindikatrix nach der Formel
Cl - 2<R - R )3
1 2
1 2
die Reflexion des mindestens einen Teils der n. Teilschichtfolge bestimmt wird.
14. Verfahren nach den Ansprüchen 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß in dem mindestens einen Meßzyklus durchstimmbares monochromatisches Licht gleicher Wellenlängen in dem mindestens einen Beleuchtungsstrahlengang (1) und in dem mindestens einen Meßstrahlengang (11) angewendet, in der mindestens einen ersten Messung der spektrale Verlauf des Streulichtes aus allen Schichten der n. Teilschichtfolge, in der mindestens einen zweiten Messung der spektrale Verlauf des Streulichtes des Teils der n. Teilschichtfolge ermittelt und durch Differenzbildung zwischen den Ergebnissen der ersten Messungen und den Ergebnissen der zweiten Messungen ein spektraler Verlauf des Streulichtes der einzelnen Schicht der n. Teilschichtfolge ermittelt wird.
15. Verfahren nach den Ansprüchen 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß in dem mindestens einen Meßzyklus konstante Wellenlängen des Lichtes in dem mindestens einen Beleuchtungsstrahlengang (1) und mit diesem Licht nicht überlappende Wellenlängenbereiche des Lichtes in dem mindestens einen Meßstrahlengang (11) angewendet, in der mindestens einen ersten Messung der spektrale Verlauf des Fluoreszenzlichtes aus allen Schichten der n. Teilschichtfolge, in der mindestens einen zweiten Messung der spektrale Verlauf des Fluoreszenzlichtes des Teils der n. Teilschichtfolge ermittelt und durch Differenzbildung zwischen den Ergebnissen der ersten Messungen und den Ergebnissen der zweiten Messungen mindestens ein spektraler Verlauf des Fluoreszenzlichtes der einzelnen Schicht der n. Teilschichtfolge ermittelt wird.
16. Verfahren nach den Ansprüchen 9 und 14, dadurch gekennzeichnet, daß aus dem in dem ersten Meßzyklus gewonnenen spektralen Verlauf des Lichtes der einzelnen Schicht der n. Teilschichtfolge und aus dem mindestens in einem weiteren Meßzyklus gewonnenen spektralen Verlauf des Streulichtes der einzelnen Schicht der n. Teilschichtfolge durch Differenzbildung der spektrale Verlauf des Fluoreszenzlichtes der einzelnen Schicht der n. Teilschichtfolge ermittelt wird.
17. Verfahren nach den Ansprüchen 9 und 15, dadurch gekennzeichnet, daß aus dem in dem ersten Meßzyklus gewonnenen spektralen Verlauf des Lichtes der einzelnen Schicht der n. Teilschichtfolge und aus dem mindestens in einem weiteren Meßzyklus gewonnenen spektralen Verlauf des Fluoreszenzlichtes der einzelnen Schicht dem. Teilschichtfolge durch Differenzbildung der spektrale Verlauf des Streulichtes der einzelnen Schicht der n. Teilschichtfolge ermittelt wird.
18. Anordnung zum getrennten reflektometrischen Erfassen des Lichtes einzelner Schichten eines Körpers mit optisch zugängiger Struktur, unter Verwendung einer Lichtquelle, mindestens eines Empfängers und einer Verarbeitungs- und Steuereinheit, dadurch gekennzeichnet, daß in Beleuchtungsstrahlengängen (1)3n + 1. Blenden und in Meßstrahlengängen (11) 3n + 2. Blenden und/o r3n + 3. Blenden angeordnet sind, wobei die 3η + 2. Blenden so gestaltet sind, daß ihre Bilder iiuf der Oberfläche der n. Teilschichtfolge identisch mit den Bildern der 3 η + 2. Blenden so gestaltet sind, daß ihre Bilder auf der Oberfläche der n. Teilschichtfolge identisch mit den Bildern der3n + I.Blenden sind,die3n + 3. Blenden so gestaltet sind, daß ihre Bilderauf der Oberfläche der n. Teilschichtfolge mit den Bildern der 3 η + 1. Blenden je eine η + 1. Blendenteilungen realisieren und die lichtdurchlässigen Flächen der Bilder der 3 η + 1. Blenden und der Bilder der 3n + 3. Blenden gleich groß sind, und Strahlteiler (10) in den Beleuchtungsstrahlengängen (1) und Meßstrahlengängen (11) angeordnet sind, wobei für η eine natürliche Zahl größer gleich „Null" zugelassen ist.
19. Anordnung nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, daß in den Meßstrahlengängen (11) die 3n + 2. Blenden und die 3n + 3. Blenden wechselbar angeordnet sind.
20. Anordnung nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, daß in jeweils einem ersten Meßstrahlengang (11) die 3n + 2. Blende und in jeweils einem zweiten Meßstrahlengang (11) die 3n + 3. Blende angeordnet ist.
21. Anordnung nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, daß 3(m - 1) + I.Blenden in den Beleuchtungsstrahlengängen (1) und 3(m - 1) + 3. Blenden in den Meßstrahlengängen (11) angeordnet sind, wobei die 3(m - 1) + 3. Blenden so gestaltet sind, daß ihre Bilder auf der Oberfläche der m - 1. Teilschichtfolge mit den Bildern der 3(m - 1) + 1. Blenden m-fach P.endenteilungen realisieren und vorteilhafterweise die lichtdurchlässigen Flächen der Bilder der 3(m - 1) + I.Blenden und der Bilder der 3(m - 1) + 3. Blenden gleich groß sind und m wahlweise die Werte von 1 bis η annimmt.
12. Anordnung nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, daß die 3(m - 1) + I.Blenden in den Beleuchtungsstrahlengängen (1) und/oder die 3(m - 1) + 3. Blenden in den Meßstrahlengängen (11) wechselbar angeordnet sind.
23. Anordnung nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, daß in jeweils einem Beleuchtungsstrahlengang (Deine verschiedene 3(m - 1) + 1. Blende und in jeweils einem Meßstrahlengang (11) eine verschiedene 3(m - 1) + 3. Blende angeordnet sind.
24. Anordnung nach den Ansprüchen 18 und 19, dadurch gekennzeichnet, daß in dem mindestens einen Beleuchtungsstrahlengang (1) mindestens eine erste Blende (9) angeordnet ist und in dem mindestens einen Meßstrahlengang (11) mindestens eine zweite Blende (13) und mindestens eine dritte Blende (14) wechselbar angeordnet sind, wobei die mindestens eine zweite Blende (13) so gestaltet ist, daß ihr Bild (20) auf der Oberfläche des Körpers (6) identisch mit dem Bild (19) der mindestens einen ersten Blende (9) ist, die mindestens eine dritte Blende (14) so gestaltet ist, daß ihr Bild (21) auf der Oberfläche des Körpers (6) mit dem Bild (19) der mindestens einen ersten Blende (9) eine Blendenteilung realisiert und die lichtdurchlässigen Flächen des Bildes (19) der mindestens einen ersten Blende (9) und des Bildes (21) der mindestens einen dritten Blende (14) auf der Oberfläche des Körpers (6) gleich groß sind, und mindestens ein Strahlteiler (10) in dem mindestens einen Beleuchtungsstrahlengang (1) und in dem mindestens einen Meßstrahlengang (11) angeordnet ist.
25. Anordnung nach den Ansprüchen 18 und 20, dadurch gekennzeichnet, daß in dem mindestens einen Beleuchtungsstrahlengang (1) die mindestens eine erste Blende (9), in dem mindestens einen ersten Meßstrahlengang (11) die mindestens eine zweite Blende (13) und in dem mindestens einen zweiten Meßstrahlengang (11) die mindestens eine dritte Blende (14) angeordnet sind, wobei die mindestens eine zweite Blende (13) so gestaltet ist, daß ihr Bild (20) auf der Oberfläche des Körpers (6) identisch mit dem Bild (19) der mindestens einen ersten Blende (9) ist, die mindestens eine dritte Blende (14) so gestaltet ist, daß ihr Bi d (21) auf der Oberfläche des Körpers (6) mit dem Bild (19) der mindestens einen ersten Blende (9) eine Blendenteilung realisiert und die lichtdurchlässigen Flächen des Bildes (19) der mindestens einen ersten Blende (9) und des Bildes (21) der mindestens einen dritten Blende (14) auf der Oberfläche des Körpers (6) gleich groß sind, und Strahlteiler (10) in dem mindestens einen Beleuchtungsstrahtengang (1) und dem mindestens einen Meßstrahlengang (11) angeordnet sind.
26. Anordnung nach den Ansprüchen 19 und 21, dadurch gekennzeichnet, daß die mindestens eine erste Blende (9) in dem mindestens einen Beleuchtungsstrahlengang (1) und die mindestens eine dritte Blende (14) in dem mindestens einen Meßstrahlengang (11) angeordnet sind, und in deri. mindestens einen Beleuchtungsstrahlengang (1) mindestens eine vierte Blende (3) angeordnet ist und in dem mindestens einen Meßstrahlengang (11) mindestens eine fünfte Blende (17) und mindestens eine sechste Blende (23) wechselbar angeordnet sind, wobei die mindestens eine fünfte Blende (17) so gestaltet ist, daß ihr Bild (32) auf der Oberfläche der Teilschichtfolge (24) identisch mit dem Bild (31) der mindestens einen vierten Blende (3) auf der Oberfläche der Teilschichtfolge (24) ist, die mindestens eine sechste Blende (23) so gestaltet ist, daß ihr Bild (33) auf der Oberfläche der Teilschichtfolge (24) mit dem Bild (31) der mindestens einen vierten Blende (31) auf der Oberfläche der Teilschichtfolge (24) eine Blendenteilung realisiert und die lichtdurchlässigen Flächen des Bildes (31) der mindestens einen vierten Blende (3) und des Bildes (33) der mindestens einen sechsten Blende (23)auf der Oberfläche derTeilschichtfolge (24) gleich groß sind, und mindestens ein Strahlteiler (10) in dem mindestens einen Beleuchtungsstrahlengang (1) und in dem mindestens einen Meßstrahlengang (11) angeordnet ist.
27. Anordnung nach den Ansprüchen 20 und 21, dadurch gekennzeichnet, daß die mindestens eine erste Blende (9) in dem mindestens einen Beleuchtungsstrahlengang (11) und die mindestens eine dritte Blende (14) in dem mindestens einen Meßstrahlengang (11) angeordnet ist, und in dem mindestens einen Beleuchtungsstrahlengang (1) die mindestens eine vierte Blende (3), in dem
mindestens einen ersten Meßstrahlengang (11) die mindestens eine fünfte Blende (17) und in dem mindestens einen zweiten Meßstrahlengang (11) die mindestens eine sechste Blende (23) angeordnet ist, wobei din r "idbolens eine fünfte Blende (17) so gestaltet ist, daß ihr Bild (32) auf der Oberfläche der Teilschichtfolge (24) identisch mit dem Bild (31) der mindestens einen vierten Blende (3) auf derOberfläche der Teilschichtfolge (24) ist, die mindestens eine sechste Blende (23) so gestaltet ist, daß ihr Bild (33) auf der Oberfläche der Teilschichtfolge (24) mit dem Bild (31) der mindestens einen vierten Blende (3) auf der Oberfläche der Teilschichtfolge (24) eine Blendenteilung realisiert und die lichtdurchlässigen Flächen des Bildes (31) der mindestens einen vierten Blende (3) und des Bildes (33) der mindestens einen sechsten Blende (23) auf der Oberfläche der Teilschichtfolge (24) gleich groß sind, und je ein Strahlteiler (10) in dem mindestens einen Beleuchtungsstrahlennang (1) und in dem mindestens einen Meßstrahlengang (11) angeordnet ist.
28. Anordnung nach den Ansprüchen 18 und 21, dadurch gekennzeichnet, daß die Blenden (3), (9), (13), (14), (17), (23) entlang der optischen Achse verschiebbar angeordnet sind und/oder die radialen Abstände der Konturen der Blenden (3), (9), (13), (14) (17), (23) von der optischen Achse, vorzugsweise der mindestens einen 3η + 3. Blende, veränderbar sind.
29. Anordnung nach den Ansprüchen 18 und 21, dadurch gekennzeichnet, daß die mindestens eine 3n + 1. Blende in dem mindestens einen Beleuchtungsstrahlengang (1) so gestaltet ist, daß ihr Bild auf der regulär reflektierenden Oberfläche der n. Teilschichtfolge und vorzugsweise die mindestens eine 3(m - 1) + I.Blende in dem mindestens einen Beleuchtungsstrahlengang (1)so gestaltet ist, daß ihr mindestens eine Bild auf der mindestens einen regulär reflektierenden Oberfläche der m - 1. Teilschichtfolge den Linien gleicher Depolarisator! entsprechen.
30. Anordnung nach Anspruch 29, dadurch gekennzeichnet, daß für den Körper (6) mit kugelförmiger Gestalt und regulär reflektierender Oberfläche vorzugsweise die mindestens eine 3 η + 1. Blende und/oder die mindestens eine 3(m - 1) + 1. Blende so gestaltet sind, daß sie für Strahlen in einer Umgebung der optischen Achse und in einem Bereich mit den Azimuten 0 Grad und 90 Grad lichtdurchlässig, für Strahlen außerhalb des Bereiches lichtundurchlässig sind, und die mindestens eine 3n + 3. Blende und/oder die mindestens eine 3(m - 1) + 3. Blende so gestaltet sind, daß sie für Strahlen in einer Umgebung der optischen Achse und in einem Bereich mit den Azimuten 0 Grad und 90 Grad lichtundurchlässig, für Strahlen außerhalb des Bereiches lichtdurchlässig sind und die lichtdurchlässige Fläche der Blendenbilder gleich groß sind.
31. Anordnung nach den Ansprüchen 18,25,26 und 27, dadurch gekennzeichnet, daß in dem mindestens einen Beleuchtungsstrahlengang (1) ein erstes dispersives Element (18) und/oder in dem mindestens einen Meßstrahlengang (11) ein zweites dispersives Element (21), vorzugsweise Monochromatoren mit holographischem Gitter oder Filter verschiedener spektraler Durchlaßbereiche oder Polychromatoren, wahlweise angeordnet sind.'
32. Anordnung nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, daß bei regulär reflektierenden Oberflächen als Strahlteiler (10) ein Polarisationsprisma, vorzugsweise ein Glan-Thompson-Prisma (29) mit Zusatzprismen (7), angeordnet ist.
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DD33517789A DD290266A5 (de) | 1989-12-04 | 1989-12-04 | Verfahren und anordnung zum getrennten reflektrometrischen erfassen der lichtanteile einzelner schichten eines koerpers |
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DD33517789A DD290266A5 (de) | 1989-12-04 | 1989-12-04 | Verfahren und anordnung zum getrennten reflektrometrischen erfassen der lichtanteile einzelner schichten eines koerpers |
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DD33517789A DD290266A5 (de) | 1989-12-04 | 1989-12-04 | Verfahren und anordnung zum getrennten reflektrometrischen erfassen der lichtanteile einzelner schichten eines koerpers |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2006021206A1 (de) | 2004-08-26 | 2006-03-02 | Friedrich-Schiller- Universität Jena | Verfahren und vorrichtung zur trennung und genauen bestimmung lokal wirksamer fluorophore eines objektes |
-
1989
- 1989-12-04 DD DD33517789A patent/DD290266A5/de active Search and Examination
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2006021206A1 (de) | 2004-08-26 | 2006-03-02 | Friedrich-Schiller- Universität Jena | Verfahren und vorrichtung zur trennung und genauen bestimmung lokal wirksamer fluorophore eines objektes |
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