DD290266A5 - METHOD AND ARRANGEMENT FOR SEPARATED REFLECTROCOMETRIC DETECTION OF THE LIGHT SHARES OF INDIVIDUAL LAYERS OF A BODY - Google Patents

METHOD AND ARRANGEMENT FOR SEPARATED REFLECTROCOMETRIC DETECTION OF THE LIGHT SHARES OF INDIVIDUAL LAYERS OF A BODY Download PDF

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DD290266A5
DD290266A5 DD33517789A DD33517789A DD290266A5 DD 290266 A5 DD290266 A5 DD 290266A5 DD 33517789 A DD33517789 A DD 33517789A DD 33517789 A DD33517789 A DD 33517789A DD 290266 A5 DD290266 A5 DD 290266A5
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aperture
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DD33517789A
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Dietrich Schweitzer
Dietmar Steinmetz
Hartmut Roth
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Friedrich-Schiller-Universitaet,De
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Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Anordnung zum getrennten reflektometrischen Erfassen der Lichtanteile einzelner Schichten eines Koerpers mit optisch zugaengiger Struktur. Sie finden Anwendung in der Medizin, insbesondere zum getrennten Erfassen der Lichtanteile der Okularmedien und des Fundus. Die Erfindung wird in der Technik fuer Werkstoffuntersuchungen, und fuer Messungen von Stoffen mit groszer Extinktion genutzt, wobei Messungen in tieferliegenden Strukturen erfolgen. Die Aufgabe der Erfindung, eine getrennte spektrale Erfassung der Anteile des Streulichtes, der Anteile des Fluoreszenzlichtes und der Anteile des Reflexionslichtes in verschiedenen Schichten, bei einer einmaligen Justierung und mit einer einzigen Meszanordnung zu ermoeglichen, wird durch die Anwendung verschiedener Blenden, Blendenteilung und Berechnung erreicht. In der Augenheilkunde koennen Veraenderungen in den Okularmedien (Linse, Glaskoerper, Kammerwasser) und am Fundus getrennt erfaszt werden. Fig. 7{Schicht; Streuung; Reflexion; Fluoreszenz; Licht; Struktur; Auge; Werkstoff; Struktur; Blendenteilung; Polarisation; Medizin; Messung; Okularmedien; Fundus}The invention relates to a method and an arrangement for the separate reflectometric detection of the light components of individual layers of a body with optically accessible structure. They are used in medicine, in particular for separately detecting the light components of the eyepiece media and the fundus. The invention is used in the art for materials testing, and for measurements of high extinction substances, taking measurements in deeper structures. The object of the invention to enable a separate spectral detection of the components of the scattered light, the proportions of the fluorescent light and the components of the reflection light in different layers, with a single adjustment and with a single Meszanordnung, is achieved by the use of different apertures, aperture separation and calculation , In ophthalmology, changes in the ocular media (lens, vitreous body, aqueous humor) and the fundus can be detected separately. Fig. 7 {layer; Scattering; Reflection; Fluorescence; Light; Structure; Eye; Material; Structure; Aperture pitch; Polarization; Medicine; Measurement; Okularmedien; fundus}

Description

Hierzu 8 Seiten ZeichnungenFor this 8 pages drawings

Anwendungsgebiet der ErfindungField of application of the invention

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Anordnung zum getrennten reflektormtrischen Erfassen der Lichtanteile einzelner Schichten eines Körpers mit optisch zugängiger Struktur.The invention relates to a method and an arrangement for the separate reflective-current detection of the light components of individual layers of a body with optically accessible structure.

Sie finden Anwendung in der Medizin, insbesondere zum getrennten Erfassen der Lichtanteile der Okularmedien und des Fundus.They are used in medicine, in particular for separately detecting the light components of the eyepiece media and the fundus.

Die Erfindung wird in der medizinischen Forschung zur Untersuchung von Krankheitsursachen eingesetzt.The invention is used in medical research to study causes of disease.

Sie wird beispielsweise zur objektiven Diagnostik von pathologischen Veränderungen im Auge genutzt.It is used, for example, for the objective diagnosis of pathological changes in the eye.

Die Erfindung ist in der Medizin zur Untersuchung des Blutes innerhalb der Gefäße, die sich beispielsweise unter streuenden Muokelschichten befinden, geeignet. Die Erfindung wird zur Untersuchung von Gewebestrukturen verwendet, die sich hinter streuenden Schichten befinden.The invention is suitable in medicine for the examination of the blood within the vessels, which are, for example, under scattering Muokelschichten. The invention is used to study tissue structures located behind scattering layers.

Die Erfindung wird in der Technik für Werkstoffuntersuchungen, und für Messungen, insbesondere von Stoffen mit großer Extinktion genutzt, wobei Messungen in tieferliegenden Strukturen von Körpern mit Schichtstruktur erfolgen.The invention is used in the art for material studies, and for measurements, especially of substances with high extinction, wherein measurements are made in deeper structures of bodies with layer structure.

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Charakteristik des bekannten Standes der TechnikCharacteristic of the known state of the art

Bekannte Verfahren und Anordnungenzur Streuungsmessung (z.B. EP 0074428 A1) gehen von einer homogenen Verteilung der streuenden Teilchen Im gesamten Meßvolumen aus, so daß reflektometrische Streuungsmessungen aus dem Gesamtvolumen möglich sind, wenn der Beleuchtungsstrahlengang vom Meßstrahlengang getrennt ist, was dem Prinzip der Aperturblendenteilung entspricht.Known scattering measurement methods and arrangements (e.g., EP 0074428 A1) assume homogeneous distribution of the scattering particles throughout the measurement volume so that reflectometric scattering measurements from the total volume are possible when the illumination beam path is separated from the measurement beam path, which corresponds to the principle of aperture divider.

Mit dieser Anordnung wird die Streuung aus dem oberflächennahen Bereich der Probe prinzipiell nicht erfaßt.With this arrangement, the scattering from the near-surface region of the sample is not detected in principle.

Auch eine gezielte Bestimmung des Streulichtes aus definierten Tiefen des zu untersuchenden Mediums sind nicht möglich.Even a targeted determination of the scattered light from defined depths of the medium to be examined are not possible.

In einer Anordnung zur Kataraktfrühdiagnose wird das gesamte Auge mit einer Laserstrahlung zur Fluoreszenzanregung beleuchtet. Durch das verwendete Schelmplflugprinzip sind selektive Fluoreszenzmessungen an der Linse möglich. JedochIn an arrangement for cataract early diagnosis, the entire eye is illuminated with a laser radiation for fluorescence excitation. Selective fluorescence measurements on the lens are possible due to the rogue flying principle used. however

führen der ebenfalls zur Fluoreszenz angeregte Glaskörper und der Augenhintergrund zu einer Überlagerung mit dem Fluoreszenzlicht. Eine Streuungsmessung in der Linse ist Infolge der Mehrfachreflexion des Fundusreflexionslichtes mit dieser Anordnung unzweckmäßig.lead the also stimulated to fluorescence glass body and the ocular fundus to a superposition with the fluorescent light. A scattering measurement in the lens is impractical due to the multiple reflection of the fundus reflection light with this arrangement.

Line bekannte Lösung (Fink, F. u.a.: Picosecond Gated Picture Ranging for Seeing through Human Tissue. 5th International Conference on Laser and there Application, Oct. 28 to Nov. 1.1985 Dresden) nach der das Blutgefäßsystem hinter einer streuenden Muskelschicht dargestellt wird, beleuchtet den zu untersuchenden Körper mit ultrakurzen Lichtimpulsen. Mit einem Zeittor wird das von der Muskelschicht gestreute Licht gesperrt und nur das Licht, das gegenüber dem Streulicht zeitverzögert auf den Empfänger gelangt, wird registriert.Line known solution (Fink, F. et al .: Picosecond Gated Picture Ranging for Seeing through Human Tissue 5th International Conference on Laser and there Application, Oct. 28 to Nov. 1.1985 Dresden) after the blood vessel system is shown behind a scattering muscle layer illuminated the body to be examined with ultrashort light pulses. With a time gate, the light scattered by the muscle layer is blocked and only the light that reaches the receiver with a time delay relative to the scattered light is registered.

Dieses Prinzip zur Trennung der Lichtanteile aus verschiedenen Schichten eines Körpers gerät an die physikalisch-technischen Grenzen zur Erzeugung ultrakurzer Lichtimpulse und ultraschneller Schalter, wenn die Streuung in geometrisch dünnen Schichten gesperrt oder erfaßt werden soll.This principle for separating the light components from different layers of a body comes to the physical-technical limits for generating ultra-short light pulses and ultra-fast switch, if the scattering in geometrically thin layers to be locked or detected.

Tritt in den Oberflächenschichten, deren Streueinfluß beseitigt werden soll, eine Fluoreszenz auf, deren Abklingzeit größer als die zur Trennung genutzte Laufzeitdifferenz des Lichtes ist, versagt das Prinzip des optischen Radars.If fluorescence occurs in the surface layers whose scattering influence is to be eliminated and whose decay time is greater than the transit time difference of the light used for the separation, the principle of the optical radar fails.

Ziel der ErfindungObject of the invention

Das Ziel der Erfindung ist es, ein Verfahren und eine Anordnung zum getrennten reflektometrischen Erfassen der Lichtanteile einzelner Schichten eines Körpers mit optisch zugängiger Struktur anzugeben, die es gestatten mit dem vergleichsweise geringem Aufwand einer einzigen Anordnung Streulicht, Reflexionslicht und Fluoreszenzlicht in verschiedenen Schichten eines Körpers zu erfassen.The object of the invention is to provide a method and an arrangement for the separate reflectometric detection of the light components of individual layers of a body with optically accessible structure, which allow with the comparatively little effort of a single arrangement scattered light, reflection light and fluorescent light in different layers of a body to capture.

In der Medizin, insbesondere in der Augenheilkunde sollen für die Forschung die Grundlagen zum Erfassen der Krankheitsursachen v/esentlich verbessert werden, um dadurch die diagnostischen Möglichkeiten effektiver zu gestalten, um eine bessere Prophylaxe und Therapie zu erreichen.In medicine, in particular in ophthalmology, the fundamentals for the detection of the causes of the disease are to be improved in order to thereby make the diagnostic possibilities more effective in order to achieve a better prophylaxis and therapy.

In derTechnik sollen insbesondere mit einer einfachen Anordnung Messungen und Untersuchungen von Stoffen mit Schichtstruktur mit einer hohen Genauigkeit und örtlichen Auflösung in der Tiefe erfolgen.In the field of technology, in particular with a simple arrangement, measurements and investigations of substances having a layer structure with a high accuracy and local resolution at depth are to be carried out.

Darlegung des Wesens der.Erf IndungExplanation of the essence of the invention

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren und eine Anordnung zum getrennten reflektometrischen Erfassen der Lichtanteile einzelner Schichten eines Körpers mit optisch zugängiger Struktur zu schaffen, die eine getrennte spektrale Erfassung der Anteile des Streulichtes, der Anteile des Fluoreszenzlichtes und der Anteile des Reflexionslichtes in verschiedenen Schichten, bei einer einmaligen Justierung und mit einer einzigen Meßanordnung ermöglichen.The invention has for its object to provide a method and an arrangement for separate reflectometric detection of the light components of individual layers of a body with optically accessible structure, the separate spectral detection of the components of the scattered light, the proportions of the fluorescent light and the proportions of the reflection light in different Layers allow a one-time adjustment and with a single measuring arrangement.

Insbesondere sollen in der Augenheilkunde Veränderungen in den Okularmedien (Linse, Glaskörper, Kammerwasser) und des Fundus getrennt erfaßt werden. Es soll der Einfluß der Okularmedien auf den spektralen Vei lauf des gemessenen Lichtes, insbesondere bei reflektometrischen Messungen, erfaßt werden.In particular, in ophthalmology changes in the ocular media (lens, vitreous humor, aqueous humor) and the fundus should be recorded separately. It is the influence of the eyepiece media on the spectral Vei run of the measured light, especially in reflectometric measurements, are detected.

Eine weitere Aufgabe in der Medizin besteht darin, Strukturen von Geweben zu erfassen, die sich hinter streuenden Schichten befinden.Another task in medicine is to capture structures of tissues that are behind scattering layers.

In der Technik sollen einzelne Schichten eines Körpers mit Struktur (Schichtstruktur und/oder anisotropher Aufbau) zur Untersuchung von Eigenschaften des Körpers und/oder zur bildlichen Darstellung genauer und detaillierter in der Tiefe untersuchbar werden.In the art, individual layers of a body having a structure (layered structure and / or anisotropic structure) for examining properties of the body and / or visual representation are to be examined in detail and in more detail in depth.

Die Aufgabe wird durch das Verfahren erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß in mindestens einem Meßzyklus nacheinander oder gleichzeitig in einer ersten Messung Licht aus allen Schichten einer n. Teilschichtfolge ermittelt wird, indem 3 η + 1.The object is achieved by the method according to the invention, that in at least one measurement cycle successively or simultaneously in a first measurement light from all layers of a n. Sub-layer sequence is determined by 3 η + 1.

Blendenbilder in Beleuchtungsstrahlengängen und 3n + 2. Blendenbilder in Meßstrahlengängen auf einer Oberfläche der n.Aperture images in illumination beam paths and 3n + 2. Aperture images in measuring beam paths on a surface of the n.

Teilschichtfolge mit identischer Geometrie abgebildet werden, in mindestens einer zweiten Messung Licht aus einem Teil der n.Sub-layer sequence are imaged with identical geometry, in at least a second measurement light from a part of the n.

Teilschichtfolge ermittelt wird, indem mitden3n + 1. Blendenbildern in den Beleuchtungsstrahlengängen und mit 3n + 3.Sub-layer sequence is determined by using the 3n + 1st aperture images in the illumination beam paths and 3n + 3.

Blendenbildern in den Meßstrahlengängen je eine η + 1. Blendenteilung auf der Oberfläche der n. Teilschichtfolge realisiert werden und durch Berechnung Licht einzelner Schichten der n. Teilschichtfolge ermittelt wird, wobei für η eine natürliche Zahl größer/gleich „Null" zugelassen ist.Aperture images in the Meßstrahlengänge depending η + 1st Aperture on the surface of the n. Sub-layer sequence are realized and determined by calculating light of individual layers of n. Sub-layer sequence, where for η a natural number greater than / equal to "zero" is allowed.

Die Aufgabe wird durch die Anordnung erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß in Beleuchtungsstrahlengängen 3 η + 1. Blenden und in Meßstrahlengängen 3n + 2. Blenden und/oder 3n + 3.Blendenangeordnetsind,wobeidie3n + 2. Blenden so gestaltet sind, daß ihre Bilder auf der Oberfläche der n. Teilschichtfolge identisch mit den Bildern der 3n + 1. Blenden sind, die 3 η + 3.The object is achieved by the arrangement according to the invention in that in illumination beam paths 3 η + 1st stops and arranged in Meßstrahlengänge 3n + 2nd aperture and / or 3n + 3.Blenden, the 3n + 2nd aperture are designed so that their images on the Surface of n. Sub-layer sequence identical to the images of 3n + 1. Apertures are the 3 η + 3.

Blenden so gestaltet sind, daß ihre Bilder auf der Oberfläche der n. Teilschichtfolge mit den Bildern der 3 η + 1. Blenden je eine η + 1. Blendenteilungen realisieren und die lichtdurchlässigen Flächen der Bilder der 3 η + 1. Blenden undderBilderder3n + 3.Apertures are designed in such a way that their images on the surface of the n th sub-layer sequence with the images of the 3 η + 1st apertures realize respectively η + 1 f-stops and the translucent faces of the images of the 3 η + 1 f-stops and the images of 3 n + 3.

Blenden gleich groß sind, Strahlteiler in den Beleuchtungsstrahlengängen und Meßstrahlengängen angeordnet und dispersive Elemente wahlweise in die Beleuchtungsstrahlengänge und in die Meßstrahlengänge einschaltbar angeordnet sind, wobei für η eine natürliche Zahl größer gleich „Null" zugelassen ist.Apertures are the same size, beam splitters arranged in the illumination beam paths and Meßstrahlengängen and dispersive elements are selectively switched into the illumination beam paths and in the Meßstrahlengänge arranged, for η a natural number greater than or equal to "zero" is allowed.

Für η = 0 gilt die O. Teilschichtfolge, die der Körper selbst ist. Die Anordnung hat eine erste Blende, eine ;.weite Blende und eine dritte Blende, von denen Bilder erzeugt werden, welche die Blendenteilung auf der Oberfläche des Körpers realisieren.For η = 0, the O. sub-layer sequence, which is the body itself, holds. The assembly has a first aperture, a wide aperture, and a third aperture from which images are created which realize the aperture separation on the surface of the body.

FIr ρ = 1 wird eine (1.) Teilschichtfolge desKörpors bastimmt. Die Anordnung hat eine vierte Blende, eine fünfte Blende und eine sechste Blende, von denen Bilder erzeugt werden, welche die Blendenteilung auf der Oberfläche der (1.) Teilschichtfolge dos Körpers realisieren.FIr ρ = 1, a (1.) sub-layer sequence of the body is taken. The arrangement has a fourth diaphragm, a fifth diaphragm and a sixth diaphragm, from which images are produced which realize the diaphragm division on the surface of the (1) partial layer sequence of the body.

Für η - 2,3,... werden mit weiteren Blenden andere Blendenteilungen auf weiteren Oberflächen von Schichtfolgen realisiert, was eine örtlich und räumlich hochauflösende Untersuchung des Körpers ermöglicht.For η - 2,3, ... other aperture divisions are realized on further surfaces of layer sequences with further diaphragms, which enables a spatially and spatially high-resolution examination of the body.

Weiterhin gilt für Werte von n, die größer/gleich 1 sind, daß in dem mindestens einen Meßzyklus m-fach Blendenteilungon zwischen 3(m - 1) + 1. Blendenbildern mit 3(m - 1) + 3. Blendenbildern auf der Oberfläche derm - 1. Teilschichtfolge realisiertwerden. In der Anordnung sind 3(m - 1) + I.Blenden in den Beleuchtungsstrahlengängen und 3(m - 1) + 3. Blonden in den Meßstrahlengängen angeordnet, wobei die 3(m - 1) + 3. Blenden so gestaltet sind, daß ihre Bilder auf der Oberfläche dor m - 1. Teilschichtfolge mit den Bildern der 3(m - 1) + I.Blenden m-fach Blendenteilungen realisieren und vorteilhafterweise die lichtdurchlässigen Flächen der Bilder der 3{m - 1) + I.Blenden und der Bilder der 3(m - 1) + 3. Blenden gleichgroß sind und m wahlweise die Werte von 1 bi· η annimmt.Further, for values of n greater than or equal to 1, in the at least one measurement cycle, m-fold aperture pitches of between 3 (m-1) + 1st aperture images with 3 (m-1) + 3. Aperture images on the surface of the m - 1st sub-layer sequence be realized. In the arrangement, 3 (m-1) + I blends are arranged in the illuminating beam paths and 3 (m-1) + 3. Blonds in the measuring beam paths, the 3 (m-1) + 3. apertures being designed so that their images on the surface of the m - 1. Partial layer sequence with the images of the 3 (m - 1) + I.Blenden m-fold aperture divisions realize and advantageously the translucent surfaces of the images of 3 {m - 1) + I.Blenden and the Images of the 3 (m - 1) + 3rd aperture are the same size and m optionally takes the values of 1 bi · η.

Für η = 0 ist ein Wert für m nicht definiert.For η = 0, a value for m is undefined.

Für η = 1 kann m nur den Wert 1 annehmen.For η = 1, m can only assume the value 1.

Die Anordnung hat die erste Blende und eine dritte Blende, von denen Bilder erzeugt werden, welche auf der Oberfläche des Körpers (0.Teilschichtfolge) die (1.) Blendenteilung realisieren, weiterhin hat die Anordnung eine vierte Blende, eine fünfte Blende und oine sechste Blende, von denen Bilder erzeugt werden, welche die (2.) Blendenteilung auf der Oberfläche der (1.) Teilschichtfolge des Körpers realisieren.The arrangement has the first aperture and a third aperture, from which images are generated which realize the (1.) aperture pitch on the surface of the body (0th sub-layer sequence), furthermore the arrangement has a fourth aperture, a fifth aperture and a sixth Aperture, from which images are generated, which realize the (2.) Aperture division on the surface of the (1.) partial layer sequence of the body.

Für η = 2 kann m den Wert 1 und/oder 2 annehmen. Drei Fälle sind möglich:For η = 2, m can be 1 and / or 2. Three cases are possible:

Die Variable m nimmt den Wert 1 an.The variable m assumes the value 1.

Dio Anordnung hat die erste Blende und eine dritte Blende, von denen Bilder erzeugt werden, welche auf der Oberfläche des Körpers (0.Teilschichtfolge) die (1.) Blendenteilung realisieren, weiterhin hat die Anordnung eine siebente Blende, eine achte Blende und eine neunte Blende, von denen Bilder erzeugt werden, welche eine (3.) Blendenteilung auf der Oberfläche einer weiteren (2.) Teilschichtfolge des Körpers realisieren.The Dio arrangement has the first diaphragm and a third diaphragm, from which images are generated which realize (1) aperture separation on the surface of the body (0 sub-layer sequence), furthermore the arrangement has a seventh diaphragm, an eighth diaphragm and a ninth diaphragm Aperture from which images are generated, which realize a (3.) aperture division on the surface of a further (2.) partial layer sequence of the body.

Die Variable m nimmt den Wert 2 an.The variable m takes the value 2.

Die Anordnung hat die vierte Blende und die sechste Blende, von denen Bilder erzeugt werden, welche auf der Oberfläche der (1.) Teilschichtfolge die (2.) Blendenteilung realisieren, weiterhin hat die Anordnung eine siebente Blende, eine achte Blende und eine neunte Blende, von denen Bildir erzeugt werden, welche eine (3.) Blendenteilung auf der Obc rfläche der weiteren (2.) Teilschichtfolge des Körpers realisieren.The arrangement has the fourth aperture and the sixth aperture, from which images are generated which realize the (2.) aperture pitch on the surface of the (1.) sub-layer sequence, furthermore the arrangement has a seventh aperture, an eighth aperture and a ninth aperture of which images are produced, which realize a (3.) aperture division on the surface of the further (2.) partial layer sequence of the body.

Die Variable m nimmt den Wert 1 und den Wert 2 an.The variable m assumes the value 1 and the value 2.

Die Anordnung hat die erste Blende und eine dritte Blende, von denen Bilder erzeugt werden, welche auf der Oberfläche des Körpers (0. Teilschichtfolge) die (1.) Blendenteilung realisieren, weiterhin hat die Anordnung die vierte Blende und die sechste Blende, von denen Bilder erzeugt werden, welche auf der Oberfläche der (1.) Teilschichtfolge die (2.) Blendenteilung realisieren, weiterhin hat die Anordnung eine siebente Blende, eine achte Blende und eine neunte Blende, von denen Bilder erzeugt werden, welche eine (3.) Blendenteilung auf der Oberfläche der weiteren (2.) Teilschichtfolge des Körpers realisieren.The arrangement has the first aperture and a third aperture, from which images are generated which realize the (1.) aperture pitch on the surface of the body (0th sub-layer sequence), furthermore the arrangement has the fourth aperture and the sixth aperture, of which Furthermore, the arrangement has a seventh diaphragm, an eighth diaphragm and a ninth diaphragm, from which images are generated which produce a (3.) partial separation. Realize aperture division on the surface of the further (2nd) partial layer sequence of the body.

Für η = 3,4,... werden mit weiteren Blenden andere Blendenteilungen auf weiteren Oberflächen von Schichtfolgen realisiert, wobei für η = 3 die Variablem die Werte 1,2,3, für η « 4 die Variable m die Werte 1,2,3,4 annehmen kann, und so weiter, was eine weitere räumliche Auflösung der Untersuchung des Körpers ermöglicht.For η = 3,4, ... other aperture divisions are realized on further surfaces of layer sequences with further diaphragms, where for η = 3 the variables are 1,2,3, for η «4 the variable m is 1,2 , 3,4, and so on, which allows a further spatial resolution of the examination of the body.

Die angegebenen Blenden sind sowohl als jeweils einzelne Blende, als auch als Vielfach-Anordnung (v-fach), beispielsweise als Matrix vorgesehen.The specified apertures are provided both as a single aperture, as well as a multiple arrangement (v-fold), for example as a matrix.

Die Zahl der Beleuchtungsstrahlengänge und Meßstrahlengänge ist entsprechend der speziollen Anordnung wählbar und ist im einfachsten Fall jeweils eins.The number of illumination beam paths and Meßstrahlengänge can be selected according to the special arrangement and is in the simplest case one each.

In den Meßstrchlengängen sind die 3n + 2. Blenden und die 3n + 3.Blenden entweder wechselbar angeordnet oder in jeweils ersten Teilmeßstrahlengängen sind die3n + 2. Blenden und in jeweils zweiten Teilmeßstrahlengängen sind die 3 η + 3. Blenden angeordnet.In the Meßstrchlengängen the 3n + 2nd aperture and the 3n + 3.Blenden are arranged either changeable or in each Teilmeßstrahlengängen are the3n + 2nd aperture and in each second Teilmeßstrahlengängen the 3 η + 3. diaphragms are arranged.

Die3(m - 1) + I.Blenden sind in den Beleuchtungsstrahlengängen und/oder die 3(m - 1) + 3.Blenden sind in den Meßstrahlengängen vorzugsweise wechselbar angeordnet.The 3 (m-1) + I blends are preferably interchangeable in the illumination beam paths and / or the 3 (m-1) + 3. blends are preferably interchangeable in the measuring beam paths.

Dabei sind in einer Vielfach-Anordnung vorteilhaft in jeweils einem Beleuchtungsstrahlengang eine definierte Blende und in jeweils einem Meßstrahlengang eine zugehörige Blende angeordnet, um an mehreren Orten in der Tiefe und/oder in der Ebene gleichzeitig Messungen durchzuführen.In this case, in a multiple arrangement, a defined diaphragm is advantageously arranged in each case in an illumination beam path and an associated diaphragm is arranged in each case in a measuring beam path in order to carry out measurements simultaneously at several locations in the depth and / or in the plane.

Die Blenden sind senkrecht zur optischen Achse angeordnet. Ihre Blendenbilder realisieron Blendenteilungen und ermöglichen eine gleichzeitige Messung von Lichtanteilen an verschiedenen Orten der Ebene einer Schicht und/oder in unterschiedlichen Schichten des Körpers.The diaphragms are arranged perpendicular to the optical axis. Their aperture images realize aperture divisions and allow a simultaneous measurement of light fractions at different locations of the plane of a layer and / or in different layers of the body.

In den Beleuchtungsstrahlengängen und Meßstrahlengängen werden weiterhin durch unterschiedliche Konturen und/oder unterschiedliche Lagen der Blendenbilder zu der optischen Achse an verschiedenen Orten des Körpers durch ihre Bilder verschiedene Blendenteilungen realisiert und damit ebenfalls eine gleichzeitige Messung in verschiedenen Schichten des i'örpers ermöglicht.In the illumination beam paths and measuring beam paths, different diaphragm divisions are still realized by different contours and / or different positions of the diaphragm images to the optical axis at different locations of the body through their images and thus also allows a simultaneous measurement in different layers of the body.

F ür η = 0 sind in dem mindestens einen Beleuchtungsstrahlengang mindestens eine erste Blende angeordnet und in dem Mindestens einen Meßstrahlengang mindestens eine zweite Blende und mindestens eine dritte Blende wechselbar angeordnet oder in dem mindestens einen Beleuchtungsstrahlengang ist die mindestens eine erste Blende, in dem mindestens einen ersten Meßstrahlengang ist die mindestens eine zweite Blende und in dem mindestens einen zweiten Meßstrahlengang ist die mindestens eine dritte Blende fest angeordnet.At least one first diaphragm is arranged in the at least one illumination beam path and at least one second diaphragm and at least one third diaphragm are arranged exchangeably in the at least one measuring beam path or in the at least one illumination beam path is the at least one first diaphragm in which at least one the first measuring beam path is the at least one second diaphragm and in the at least one second measuring beam path, the at least one third diaphragm is fixedly arranged.

Dabei ist die mindestens eine zweite Blende so gestaltet, daß ihr Bild auf der Oberfläche des Körpers identisch mit dem Bild der mindestens einer ersten Blende ist, die mindestens eine dritte Blende ist so gestaltet, daß ihr Bild auf der Oberfläche des Körpers mit dem Bild der mindestens einen ersten Blende eine Blendenteilung realisiert.In this case, the at least one second diaphragm is designed such that its image on the surface of the body is identical to the image of the at least one first diaphragm, the at least one third diaphragm is designed so that its image on the surface of the body with the image of realized at least a first aperture a blend pitch.

Die lichtdurchlässigen Flächen des Bildes der mindestens einen ersten Blende und des Bildes der mindestens einen dritten Blende sind auf der Oberfläche des Körpers gleich groß. In dem mindestens Pinen Beleuchtungsstrahlengang und in dem mindestens einen Meßstrahlengang Ist mindestens ein Strahlteiler angeordnet. Für η β ο wird in dem mindestens einen Meßzyklus in der ersten Messung Licht aus alten Schichten des Körpers ormittolt, Indom mindostons ein erstes Blondonbild dos mindestens einen Beleuchtungsstrahlengangos und mindestens oin zweites Blondonbild des mindostons einen Meßstrahlenganges auf der Oberfläche des Körpers mit identischor Goometrlo abgebildet werclon. In der mindostons einen zweiten Messung wird Licht aus der Teilschichtfolge dos Körpers ermittelt, indem das mindestens eino erste Blondonbild dos mindestens einen Beleuchtungsstrahlenganges mit dem mindestens oinon dritten Blendenbild des mindostons oinon Moßstrahlenganges die mindestens eine Blondentoilung auf der Oberfläche dos Körpers roalisiort.The translucent areas of the image of the at least one first aperture and the image of the at least one third aperture are the same size on the surface of the body. At least one beam splitter is arranged in the at least pin illumination beam path and in the at least one measuring beam path. For η β ο, light from old layers of the body is oruminated in the at least one measurement cycle in the first measurement, indom mindostons a first Blondonbild dos at least one Beleuchtungsstrahlengangos and at least oin second Blondonbild the mindostons a Meßstrahlenganges on the surface of the body with identical Goometrlo werclon , In the mindostons a second measurement of light from the Teilschichtfolge dos body is determined by the at least one first Blondonbild dos at least one illumination beam path with the at least oinon third aperture image of mindostons oinon Moßstrahlenganges the at least one Blondentoilung on the surface of the body roalisiortort.

Durch Differenzbildung der Meßergebnisse wird der Lichtanteil aus dor mindestens oinon einzolnon Schicht des Körpers berechnet.By subtraction of the results of the measurement, the proportion of light from the at least one oinon einolnon layer of the body is calculated.

Für η " 1 und m = 1 ist die mindestens eino erste Blonde in dem mindestens einen Bolouchtungsstrahlengang und die mindestens eine dritte Blende in dem mindestens einen Meßstrahlongang angeordnet. In dem mindostons oinon Beleuchtungsstrahlengang ist mindestens eine vierte Blende angeordnet und in dom mindostons einen Meßstrahlengang sind mindestens eine fünfte Blende und mindestens eh ·» sechste Blendo wechselbar angoordnot oder in dom mindestens einen ersten Meßstrehlengang ist die mindestens eine fünfte Blonde und in dom mindestens oinon zweiten Meßstrahlongang ist die mindestens eine sechste Blende fest angeordnet.For at least one first blonde in the at least one Bolouchtungsstrahlengang and the at least one third diaphragm in the at least one Meßstrahlongang arranged for η "1 and m = 1. In the mindostons oinon illumination beam path at least a fourth aperture is arranged and in dom mindostons a Meßstrahlengang at least one fifth diaphragm and at least one sixth alternator is changeable angoordnot or in dom at least one first Meßstrehlengang is the at least one fifth Blonde and in dom at least oinon second Meßstrahlongang the at least one sixth diaphragm is fixed.

Dabei ist die mindestens eine fünfte Blende so gestaltet, daß ihr Bild auf der Oberfläche der Teilschichtfolge identisch mit dom Bild der mindestens einen vierten Blende auf der Oberfläche der Toilschichtfolge ist, die mindostons olno sechste Blondo ist so gestaltet, daß ihr Bild auf der Oberfläche der Teilschichtfolge mit dom Bild der mindestens oinon vierten Blende auf dor Oberfläche der Teilschichtfolge eino Blendenteilung realisiert und dio lichtdurchlässigen Flächen dos Bilclos dor mindostons einen vierten Blonde und des Bildes der mindestens einen sechsten Blendo auf der Oborfläche der Teilschichtfolge gleich großIn this case, the at least one fifth diaphragm is designed such that its image on the surface of the partial layer sequence is identical to the image of the at least one fourth diaphragm on the surface of the toilet film sequence, the mindostons olno sixth blonde is designed so that its image on the surface of the Sub-layer sequence with dom image of the at least oinon fourth aperture on the surface of the sub-layer sequence realized by aperture splitting and the translucent surfaces of Bilclos dor mindoston a fourth blonde and the image of the at least one sixth blendo on the obor surface of the sub-layer sequence the same size

Für η = 1 und m = 1 wird in dem mindestens einen Meßzyklus durch das mindestens eine erste Blendenbild in dem mindestens einen Beleuchtungsstrahlengang mit dem mindostons einen dritten Blendenbild in dom mindostons einen Meßstrahlengeng die mindestens eine Blendenteilung auf der Oberfläche dos Körpers realisiert.For η = 1 and m = 1, in the at least one measurement cycle, the at least one first aperture image in the at least one illumination beam path with the mindostons realizes a third diaphragm image in dom mindostons a Meßstrahlengeng the at least one aperture pitch on the surface dos body.

In der ersten Messung wird Licht aus allen Schichten der Teilschichtfolge ermittelt, indem mindestens ein viertos Blondonbild des mindestens einen Beleuchtungsstrahlenganges und mindestens ein fünftes Blondenbild des mindestens einon Meßstrahlenganges auf der Oberfläche der T ilschichtfolge mit identischer Geometrie abgebildet werden. In mindestens der einen zweiten Messung wird Licht aus dem Teil der Teilschichtfolgo ermittelt, indom das nvndestons eine viorte Blendonbild mit dem mindestens einen sechston Blendenbild in dem mindestens einon Meßstrahlongang mindestens eine Blondenteüung auf der Oberflache der Teilschichtfolge realisiert. Durch Differenzbildung zwischen den Moßergebnissen wird der Lichtenteil aus der mindestens einen einzelnen Schicht der Teilschichtfolge errechnet.In the first measurement, light from all the layers of the sub-layer sequence is determined by imaging at least one fourth image of the at least one illumination beam path and at least one fifth optical image of the at least one measurement beam path on the surface of the film layer sequence with identical geometry. In at least the second measurement, light is detected from the portion of the sub-layer sequence in which the nvndeston a dominant blendon image with the at least one six-tone aperture image in the at least one measurement beam path at least one blond color is realized on the surface of the sub-layer sequence. By forming the difference between the measurement results, the light part is calculated from the at least one individual layer of the sub-layer sequence.

Unter Lichtanteilen werden Streulicht, Fluoreszenzlicht und Roflexionslicht verstanden, doron Ursprung in der untersuchten Schicht liegt.By light components are meant scattered light, fluorescent light and reflection light, the origin of which lies in the examined layer.

Die Blenden sind entlang der optischen Ach ι verschiebbar angeordnet und/oder die radialen Abstände der Konturen der Blenden von der optischen Achse, vorzugsweise der mindestens einen 3 η + 3. Blende sind veränderbar, um mit einer hohen räumlichen Auflösung Lichtanteile zu ermitteln.The diaphragms are displaceably arranged along the optical axis and / or the radial distances of the contours of the diaphragms from the optical axis, preferably the at least one 3 η + 3. diaphragm are variable in order to determine light components with a high spatial resolution.

Bei Untersuchungen von Körpern mit regulär reflektierender Oberfläche oder regulär reflektierender Schicht wird zur Beseitigung des regulär reflektierten Lichtanteils linear polarisiertes Licht im Beleuchtungsstrahlengang verwendet.In studies of bodies with regular reflective surface or regular reflective layer linearly polarized light in the illumination beam path is used to eliminate the regularly reflected light component.

Dabei ist vorzugsweise die mindestens eine 3n + 1. Blende in dem mindestens einen Beleuchtungsstrahlengang so gestaltet, daß ihr Bild auf der regulär reflektierenden Oberfläche der n.Toilschichtfolge den Linien gleicher Depolarisation entspricht.In this case, the at least one 3n + 1 stop in the at least one illumination beam path is preferably designed such that its image on the regularly reflecting surface of the n.sub.oil layer sequence corresponds to the lines of the same depolarization.

Weiterhin ist bei diesen Körpern vorzugsweise die mindestens eine 3(m - 1) +1. Blende in dem mindestens einen Beleuchtungsstrahlengang so gestaltet, daß ihr mindestens eines Bild auf der mindestens einen regulär reflektierenden Oberfläche der m - 1.Teilschichtfolge den Linien gleicher Depolarisation entspricht.Furthermore, in these bodies, preferably, the at least one 3 (m - 1) +1. Aperture in which at least one illumination beam path is designed in such a way that its at least one image on the at least one regularly reflecting surface of the m - 1. sub-layer sequence corresponds to the lines of the same depolarization.

Für Körper mit kugelförmiger Gest&lt und regulär reflektierender Oberfläche sind vorzugsweise die mindestens eine 3n + I.Blende und/oder die mindestens eine 3(m - 1) + I.Blende so gestaltet, daß sie für Strahlen in einer Umgebung der optischen Achse und in einem Bereich mit den Azimuten 0 Grad und 90 Grad lichtdurchlässig, für Strahlen außerhalb des Bereiches lichtunddurchlässig sind. Die mindestens eine 3n + 3.Blendeund/oderdiemindestenseine3(m - 1) +3. Blende sind so gestaltet, daß sie für Strahlen in einer Umgebung der optischen Achse und in einem Bereich mit den Azimuten 0 Grad und 90 Grad lichtundurchlässig, für Strahlen außerhalb des Bereiches lichtdurchlässig sind. Daboi sind dio lichtdurchlässigen Flächen der Blenden, die die jeweilige Blendenteilung realisieren, gleich groß.For bodies of spherical shape and regular reflecting surface, preferably the at least one 3n + 1 stop and / or the at least one 3 (m-1) + 1 stop are designed to be for rays in an environment of the optical axis and in a range with the azimuths 0 degrees and 90 degrees translucent, are transparent to rays outside the range. The at least one 3n + 3.blende and / or at least one 3 (m-1) +3. Apertures are designed to be opaque to rays in an environment of the optical axis and in a region having azimuths of 0 degrees and 90 degrees, and transparent to rays outside the region. Daboi are dio translucent surfaces of the aperture, which realize the respective aperture division, the same size.

In dem mindestens einen Beleuchtungsstrahlengang und/oder in dem mindestens einen Meßstrahlengang sind dispersive Elemente, vorzugsweise Monochromatoren mit holographischem Gitter oder Filter verschiedener spektraler Durchlaßbereiche oder Polychromatoren, angeordnet.In the at least one illumination beam path and / or in the at least one measuring beam path are dispersive elements, preferably monochromators with a holographic grating or filters of different spectral passbands or polychromators arranged.

Als Strahlteiler und Polarisator/Analysator-Anordnung wird bei rpiulär reflektierenden Oberflächen vorzugsweist ein Glan· Thompson-Prisma mit Zusatzprismen verwendet.As a beam splitter and polarizer / analyzer arrangement, a Glan · Thompson prism with additional prisms is preferably used for mirror-reflecting surfaces.

In dem mindestens einen Beleuchtungsstrahlengang wird kontinuierliches oder impulsförmiges Licht mindestens einer veränderbaren Wellenlänge oder mindestens eines veränderbaren Wellonlängenbereiches verwendet.Continuous or pulsed light of at least one variable wavelength or at least one changeable wavelength range is used in the at least one illumination beam path.

Vorzugsweise durch Abbildung einer kleinen Leuchtfleckgröße auf donTeil der n.Teilschichtfolge wird der spektrale Verlauf des Lichtes mindestens einer einzelnen Schicht der n.Teilschichtfolge ermittelt.Preferably, by imaging a small spot size on the part of the n.sub.-sub-layer sequence, the spectral profile of the light of at least one single layer of the n.sub.sub-sub-layer sequence is determined.

Zur Untersuchung des Körpers mit diffus reflektierender Oberfläche der n.Teilschichtfolge wird vorzugsweise natürliches Licht in dem mindestens einen Beleuchtungsstrahlengang verwendet.In order to examine the body with a diffusely reflecting surface of the n.sub.substep sequence, preferably natural light is used in the at least one illumination beam path.

Zur Untersuchung des Körpers mit regulär reflektierender Oberfläche der n.Teilschichtfolge werden Maßnahmen zur Beseitigung des regulär reflektierten Lichtes, vorzugsweise linear polarisiertes Licht und/oder das Prinzip der Aperturblendenteilung und/oder dispersive Elemente, angewendet.To investigate the body with a regularly reflecting surface of the n.Teilschichtfolge measures to eliminate the regular reflected light, preferably linearly polarized light and / or the principle of Aperturblendenteilung and / or dispersive elements applied.

Vor, während oder nach dem Meßzyklus wird das Licht in dem mindestens einen Beleuchtungsstrahlengang gemessen und die Ergebnisse werden zur quantitativen Bestimmung von Lichtanteilen verwendet.Before, during or after the measurement cycle, the light in the at least one illumination beam path is measured and the results are used for the quantitative determination of light components.

Erstens worden In dom Moßzyklus glolcho Wellenlängen des Llchtos In dom mlndostons oinon Bolouchtungsstrahlongang und in dem mindestens einen Meßstrahlongang angewendet, In dor ersten Messung djs Licht aus nllon Schichten der n.Tollschlchtfolge, In der »weiten Messung das Licht aus dem Toll der n.Tollschlchtfolge ermittelt und durch Quotlontonblldung »wischen den Ergebnissen dor erston Messung und dem Licht In dem mlndostons olnon Boleuchtungsstrahlongany entsprechend der FormelIn the first measurement, the light from nllon layers of the nth fatal sequence was used. In the first measurement, the light was taken from the noll of the nth fiat series Determined and by Quotlontonblldung »wipe the results of the erston measurement and the light in the mlndostons olnon Boleuchtungsstrahlongany according to the formula

und durch Quotlontonblldung zwischen den Ergebnissen dor zweiten Mossung und dom Licht in dom mindostons olnon Boleuchtungsstrahlongang entsprechend der Formoland by quoting between the results of the second mossing and dom light in dom mindostons olnon, the beam ray corresponding to the formol

R1 °MI R 1 ° MI

00

und bei vorteilhafterweiso Annahme einer kugelförmigen Streulndikatrix nach dor Formel and, advantageously, adopting a spherical scattering matrix according to the formula

die Reflexion dos mindestens oinen Teils der n.Teilschichtfolge bostimmt.the reflection of the at least one part of the n.this sub-layer sequence takes place.

Zweitens werden in dem mindestens einen Meßzyklus durchstimmbar monochromatisches Licht glolchor Wollonlüngon inSecond, in the at least one measurement cycle tunable monochromatic light glolchor Wollonlüngon in

dom mindestens einen Beleuchtungsetrahlongang un J in dem mindestens olnon Moßstrahlongang angowendot, in dormindestens einen ersten Mussung der spektrale Verlauf dos Streulichtes aus nllon Schichton der n.Tcllschichlfolgo, in dormindestens oinen zweiten Messung der spektrale Vorlauf des Stroulichtes dos Toils dor n.Toilschichtfolgo ormittolt und durchat least one illuminating beam path and at least one first shot of the spectral curve of the scattered light from the second layer of the n.Tcllschichlfolgo, in at least one second measurement of the spectral flow of Stroulichtes dos Toils dor n.Toilschichtfolgo ormittolt and by

Difforonzbild mg zwischen den Ergebnissen der ersten Messungen und den ilrgobnisson dor zweiton Mossungon ein spoktrolcrDifforonz picture mg between the results of the first measurements and the ilrgobnisson dor zweiton mossungon a spoktrolcr Vorlauf dos Streulichtes der einzelnen Schicht der n.Toilschichtfolgo ermittelt.Flow of scattered light of the individual layer of the n.Toilschichtfolgo determined. Drittens werden in dem mindestens einon Meßzyklus konstante Wellenlängon dos Lichtos in dom mindostons oinonThirdly, in the at least one measuring cycle, constant wavelengths of light are in dom mindostons oinon Boloucht jngsstrahlongang und mit diesem Licht nicht üborloppondo Wollonlängonberokhe dos Lichtos in dom mindostonsBolouchtjngsstrahlongang and with this light not vorloloppondo Wollonlängonberokhe dos Lichtos in dom mindostons

einon Meßstrahlongang angewendet, in dor mindostons oinen erston Messung dor spoktralo Verlauf dos Fluoroszonzlichtos ausallen Schichten der n.Teilschichtfolge, in dor mindostons oinen zweiton Messung dor spektrale Vorlauf dos Fluoroszonzlichtosdes Teils der n.Teilschichtfolge ermittelt und durch Differenzbildung zwischen den Ergebnissen dor orston Mossungon und donA measurement beam was used, in which mindoston's first measurement of the spoktralo course of the fluoroscopy light from all layers of the sub-stratigraphy, in which mindostons or two-second measurements were made of the spectral forerunner of the fluoroscopic light part of the sub-stratum sequence and by difference between the results of Orston Mossungon and Don

Ergebnissen der zweiton Messungen mindestens ein spektralor Vorlauf dos Fluoroszonzlichtos der oinzolnen Schicht derResults of the second tone measurements at least one spectral orifice of the fluorescent zone of the ozone layer

n.Toilschichtfolge ermittolt.n.Tol film sequence ermittolt.

Viertens worden aus dem in dom ersten Moßzyklus gowonnonen spektralon Vorlauf dos Lichtos dor oinzotnon Schicht dorFourthly, from the spectroscope leading in the first cycle of the first spectroscope, there was a dor oinzotnon layer dor

η.Teilschichtfolge und aus dom mindostons in einem weiteren Meßzyklus gewonnenen spoktralon Vorlauf des Stroulichtos doreinzelnen Schicht der n. Teilschichtfolge durch Differenzbildung der spektrale Vorlauf dos Fluoroszonzlichtos dor oinzolnonη.Teilschichtfolge and dom mindostons obtained in a further measurement cycle spoktralon flow of the Stroulichtos doreinzelnen layer of n. Sub-layer sequence by subtraction of the spectral Vorlauf dos Fluoroszonzlichtos dor oinzolnon

Schicht der n.Teilschichtfolge ermittelt.Layer of n.Teilschichtfolge determined. Fünftons werden aus dem in dem erston Moßzyklus gewonnenen spektralen Verlauf dos Lichtos der einzelnen Schicht dorFifth, from the spectral course obtained in the first measurement cycle, the dosages of the single layer become dor

η.Teilschichtfolge und aus dem mindestens in einem woitoron Meßzyklus gewonnenen spoktralon Verlauf desη.Teilschichtfolge and from the obtained at least in a woitoron measurement cycle spoktralon course of

Fluoreszenzlichtes der einzelnen Schicht dor n.Toilschichtfolge durch Differenzbildung dor spektrale Vorlauf dos Stroulichtos dorFluorescent light of the individual layer of the n.Tililschichtfolge by subtraction dor spectral Vorlauf dos Stroulichtos

einzelnen Schicht der n. Teilschichtfolge ermittelt.single layer of the n. Sub-layer sequence determined.

Mit Hilfe des Verfahrens und der Anordnung worden die verschlodonon oben boschriobonon Messungen durchgeführt, dorenWith the help of the procedure and the arrangement, the verschlodonon above borschriobonon measurements were carried out, doren Ergebnisse zum Teil miteinander weiter vorarboitot odor miteinander vorglichon worden.Results partly to each other vorarboitot odor before each other vorglichon. Das erfindungsgemäße Verfahren und die orfindungsgemäßo Anordnung zum getronnten Erfassen dor Lichtanteilo oinzolnorThe inventive method and the orfindungsgemäßo arrangement for tronnten detecting dor Lichtanteilo oinzolnor Schichten besitzt dort Vorteile, wo dio spektralon Eigenschaften einzolnor Schichton, die untrennbar in oi-.ar Folgo angoordnotLayers there have advantages, where dio spectral properties einolnor Schichton, which are inseparable in oi.ar Folgo angoordnot

sind, insbesondere in Reflexion zu messen sind,are to be measured in particular in reflection,

AusführungsbolspleleAusführungsbolsplele

Die Erfindung wird an einem Beispiel eines mehrschichtigen Körpers und an einem Beispiel zur getrennten Erfassung der Lichtantoite des vorderen Augenabschnittes sowie einzelner Schichten dor Augenhintoigrundes eines menschlichen Augos beschrieben. Es zeigen:The invention will be described by way of an example of a multi-layered body and an example of the separate detection of the light eye of the anterior eye segment as well as of individual layers of the eye-shaped eye of a human eye. Show it:

Fig.1: Schematischer Aufbau dor erfindungsgemäßen Anordnung zur Messung der Lichtanteilo einer Schicht oinosFig.1: Schematic structure of the inventive arrangement for measuring the Lichtanteilo a layer oinos

mehrschichtigen Körpers Fig. 2: Schematischer Aufbau der erfindungsgemäßen Anordnung zur Mossung der Lichtanteile einer Schicht dormultilayered body Fig. 2: Schematic structure of the inventive arrangement for Mossung the light components of a layer dor

TeilschichtfolgePartial sequence of layers

Fig. 3: Aufbau der Anordnung zum gleichzeitigen Messen dor Lichtanteilo aus verschiedenen Schichton oines Körpers Fig.4: Anordnung von' irsten-BIcnden im Belouchtungsstrahlongang sowie v-zweiten- und v-dritton-Blondon imFig. 3: Arrangement of the arrangement for the simultaneous measurement of the proportion of light from different layers of a body. Fig. 4: Arrangement of first layers in the luminous beam path and v-second and third-tone blondon in FIG

Meßstrahlongang Fig. 5: Schematicher Aufbau der Messung der Lichtanteilo des vorderon Augenabschnittes bei gleichzeitiger UntersuchungMeßstrahlongang Fig. 5: Schematicher structure of the measurement of the Lichtanteilo the fronton eye section with simultaneous examination

des Augenhintergrundes Fig. 6: Kombinationen zwischen Austrittspupille des Beleuchtungssystoms und den boi der ersten Mossung und der zweitonof the fundus Fig. 6: Combinations between the exit pupil of the illumination systome and the bois of the first moss and the second tone

Messung wl· ksamen Eintrittspupillen dos Meßsystems bei Untersuchungen am AugeMeasurement of incident pupil of the measuring system during eye examinations

Fig. 7: Aufbau der Anordnung zur Messung des Streu- und Fluoreszonzlichtos in einzelnen Schichton des Augenhintorgrundos Fig. 8: Schema zur Verdeutlichung der verwendeten BegriffeFig. 7: Structure of the arrangement for measuring the scattered and fluorescence light in a single layer of the Augenhintorgrundos Fig. 8: Scheme to illustrate the terms used

Gomttß Figur 1 entstellt in olnom Bolouchtungsstrahlongang 1 noch t oblldur.'j durch oino oreto Ltnso 4 ein Bild 19 eicor orstonGomttß Figure 1 disfigured in olnom Bolouchtungsstrahlongang 1 nor t oblldur.'j by Oino Oreto Ltnso 4, an image 19 eicor Orston Blondo 9 auf oinor Oborflächo oinos Körpors 6. Dur Körper G hosltzt oino Struktur aus oinor optisch zugttngigon Schicht 25 undBlondo 9 on ooror Oborflächo oinos Körpors 6. Dur body G hosltzt oino structure from oinor optically zugttngigon layer 25 and

oinor optisch zugflngigon Tollscblchtfolgo 24.oinor visually accessible Tollscblchtfolgo 24.

In olnom Moßslrahlongong 11 sind elno zwelto Blondo 13 und oino dritte Blondo ι' wochsolbar so angoordnot, daß nnchIn London Moßslrahlongong 11 are elno zwelto Blondo 13 and oino third Blondo ι 'wochsolbar so angoordnot that nnch Abbildung durch dlo orsto Linso 4 das Bild 20 dor zweiton Blondo 13 odor das BiIo 21 dor dritten Blondo 14 obonfnlls auf dorPicture by dlo orsto Linso 4 Picture 20 dor zweiton Blondo 13 odor the BiIo 21 dor third Blondo 14 obonfnlls on dor Oborllttcho dos Körpors 6 ontstohon.Oborllttcho dos Körpors 6 ontstohon. Zur Aufteilung dos Bolouchtungsstrahlongangos 1 und dos Moßstrahlongangos 111st In Llchlrlchtung vor dor orston Linso 4 oinFor the division of the Bolouchtungsstrahlongangos 1 and the Dosungsstrahlongangos 111st In Llchlrung before dor orston Linso 4 oin SuahJtollor 10 angoordnot.SuahJtollor 10 angoordnot. Das Bild 19 dor orston Blondo 9 und das Bild 20 dor twoitcn Blondo 13 bosltjon auf dor Oborllticho dos Körpers 6 oino idontinchoThe picture 19 dor orston Blondo 9 and the picture 20 dor twoitcn Blondo 13 bosltjon on the oborllticho of the body 6 oino idontincho Goomotrlc. DIo Formen dor orston Blondo 9 und dor iwolton Blondo 13 sind so gostillot, daß sio für oxlnlo StrahlenGoomotrlc. The forms of orston Blondo 9 and dor iwolton Blondo 13 are so gostillot that sio for oxlnlo rays

lichtdurchlässig sind.are translucent.

Dio dritte Blondo 14 ist so gostaltot, daß dio lichtdurchlässigen Boroicho dor orston Blondo 9 und dor iwoiton Blondo 13 gosporrtDio third Blondo 14 is so gostaltot that the translucent Boroicho dor orston Blondo 9 and dor iwoiton Blondo 13 gosporrt

worden abor außoraxlalo Boroicho lichtdurchlässig sind.abor aoraxaxo boroicho are translucent.

Wird dor Körpor 6 in oinor orcton Messung vom Licht oinor l.icht(|uollo 2 bolouchtot, so wird boi Anordnung dor iwoiton Dlondo 13If the corpora 6 in oinor orcton measurement of light oinor l.icht (| uollo 2 bolouchtot, so boi arrangement of iwoiton Dlondo 13

in dom Moßstrahlongang 11 von olnom Empfänger 16 Licht dos Körpore 0 gemessen, das infolgo Slrouung, Fluoroszoriz undIn dom of the beam 11 of olnom receiver 16 light dos 0 bodies measured, which in consequence slrouung, fluoroszoriz and

Rofloxion in dor Schicht dos Körpers 25 und in dor Tollschichtfolgo 24 ontstoht.Rofloxion in the body of the body 25 and in the nonsensory succession 24 ontstoht. Bofindot sich in einer tweiten Messung dio dritte Blondo 14 in dem Moßstrahlongang 11, so sind dos Stroulicht und dosBofindot itself in a tweiten measurement dio third Blondo 14 in the Mästrahlstrahlongang 11, so are the Stroulicht and dos Fluorosionillcht dor Schicht 25 des Körpers 6, welche sich unmittelbar unter den Blendonbildern 19,20 und 21 bofindot, nicht imFluorosion lacks the layer 25 of the body 6, which immediately below the blendon images 19, 20 and 21 bofindot, not in the Meßlicht enthalten. Es wird dos Licht aus dor Teilschlchtfulgo 24 des Körpers 6 gomosson, das in diosor Anordnung durch dioMeasuring light included. It becomes the light out of the body part 6 gomosson partschlchtfulgo 24, which in diosor arrangement by dio Streuung und dio xur Fluoreszenz orfordorlicho Absorption innorhulb dor Schicht 25 dos Körpore 6 geschwächt ist.Scattering and dio xur fluorescence orfordorlicho absorption innorhulb dor layer 25 dos bodies 6 is weakened. Aus dor Different zwischen der ersten und dor iwoiton Messung worden das Stroulicht und das Fluorosionilicht dor Schicht dosFrom the difference between the first and dor iwoiton measurement, the straw light and the fluorosine light have been doped Körpors 25 erhalten.Körpors 25 received. Folgende Rechnung vordoutlicht das Prinzip: Dor Strahlungsfluß Omι dor orston Mossung orgibt sich nach dor FormolThe following calculation pre-illuminates the principle: Dor Strahlungsfluß Omı dor orston Mossung is based on dor Formol OMi - O0 x F + O0 x S + |0o - O0 x (S + F)) x r χ |0„ - O0 x (F + S)|/0o (1)O M i - O 0 x F + O 0 x S + | 0 o - O 0 x (S + F)) xr χ | 0 "- O 0 x (F + S) | / 0 o (1) Dor Strahlungsfluß 0M) dor iwoiton Mossung orgibt sich nach dor FormolDor Strahlungsfluß 0 M) dor iwoiton Mossung organizes after dor Formol

0M> ·> IO, - O0 χ (S + F)) x r χ [O0 - 0„ χ (F χ S)|/0o (2)0 M >·> IO, - O 0 χ (S + F)) xr χ [O 0 - 0 "χ (F χ S) | / 0 o (2)

mit S - Stroulichtantoil und F - Fluorosionilichtantoil.with S - Stroulichtantoil and F - Fluorosionilichtantoil.

Aus dor Differonz von Gleichung (Hund (2) entsteht das Fluorosiom-und Stroulicht O0 χ (F (· S) oinor einzelnen Schicht. Untor dor Voraussetzung, daß dio Lichtschwächung in oinor oimolnon Schicht proportional zum Streu- und Fluoroszonzlicht in diosor Schicht ist, orgibt sich mitFrom dor Differonz of equation (dog (2) arises the fluorosiom and stroma light O 0 χ (F (· S) oinor single layer) Untor dor requirement that the light attenuation in oinor oimolnon layer is proportional to the scattering and Fluoroszonzlicht in diosor layer , orgasms

Omi/0«,» fur dio Rofloxion r dor Toilschichtfolgo:Omi / 0 «, for the Rofloxion r dor Toilschichtfolgo:

r = R,/|1 - (R, - R,))2. (3)r = R, / | 1 - (R, - R,)) 2 . (3)

Erfolgt dio Rofloxionsmessung innerhalb einer Toilschichtfolgo an verschiedenen Orton in einer Ebono sonkrocht zurIf the rofloxion measurement within a toilet layer is performed at different orton in an ebono soncrocht Oberflächennormalen, so wird dio roftoxionsabhängigo Struktur dor Toilschichtfolgo in dieser Ebono bestimmt.Surface normals, the dioxygen dependence on the structure of the toilet layer is determined in this ebono. Nach diesem Prinzip wird das laterale Rofloxionsvorhalton dor Toilschichtfolgo 24 bostimmt, dio sich untor dor vorwagendAccording to this principle, the lateral reflection precordion of the toileting successor 24 is considered to be superior

strouondon Schicht 25 dos Körpors 6 bofindot.strouondon layer 25 dos body 6 bofindot.

Zur Vorringorung dor Moßzeit ist os vorteilhaft, don Moßstrahlongang 11 durch oinon woitoron Strohltoilor ?4 so aufzuspalten,For pre-ringing during the period of time, os is advantageous in splitting up the jet of radiation 11 by oonon woitoron strohtoilor 4,

daß dio zu einem Meßzyklus gehörondo ersto Mossung dos Lichtos aus allen Schichton dos Körpors 6 (orsto Blondo 9, zwoitothat dio belongs to a cycle of measurement, first of all Mossung dos Lichtos from all Schichton dos Körpors 6 (orsto Blondo 9, zwoito

Blondo 13) mit oinom ersten Toilompfängor 35 und dio zu dom gleichon Moßzyklus gehörende zwoito Messung dos Lichtos ausBlondo 13) with oinom first Toilompfängor 35 and dio belonging to dom gleichon Moßzyklus belonging zwoito measurement dos Lichtos

dor Toilschichtfolgo 24 dos Körpors 6 (nrste Blondo 9, dritte Blondo 14) mit oinom zwoiton Toilompfiingoi 36 gloichzoitig inparallolon Strahlongängon orfolgen.dor WCschichtfolgo 24 dos Körpors 6 (first Blondo 9, third Blondo 14) with oinom zwoiton Toilompfiingoi 36 gloichzoitig inparallolon Strahlongängon orfolk.

Ein Anwondungsboispiol ist das Erkennen dor Blutgofäßstruktur, die sich untor oinor strouondon Gewoboschicht bofindot.An augmentation boisiol is the recognition of the blood gas structure that bofindot untor oinor strouondon Gewoboschicht. Durch Veränderung des radialen Abstandes der lichtdurchlässigen Boroicho der dritten Blende 14 von der optischen Achse wirdBy changing the radial distance of the translucent Boroicho the third aperture 14 from the optical axis

realisiert, daß Licht aus unterschiedlichen Tiofon dor Schicht 25 dos Körpors 6 ausgeblendet wird.realized that light from different Tiofon dor layer 25 dos body 6 is hidden.

Figur 2 stellt eine Anordnung dar, in der zusätzlich zu don Elementen der Figur 1 eine viorte Blondo 3, eino fünfte Blondo 17 undFIG. 2 shows an arrangement in which, in addition to the elements of FIG. 1, a front blond 3, a fifth blond 17 and

eine sechste Blonde 23 angeordnet sind.a sixth blonde 23 are arranged.

Mit dor Anordnung gemäß Figur 2 wird das Strou- und Fluoroszonzlicht aus oinor Schicht 26 dor Toilschichtfolgo 24 bostimmt.With the arrangement according to Figure 2, the Strou- and Fluoroszonzlicht from oinor layer 26 dor Toilschichtfolgo 24 bostimmt. In dem Beleuchtungsstrahlengang 1 ijt die vierte Blundo 3 angeordnet, die durch eine zwoite Linso 5 und die ersto Linso 4 aufIn the illumination beam path 1 ijt the fourth Blundo 3 arranged by a zwoite Linso 5 and the ersto Linso 4 on

eino Oberfläche der Toilschichtfolgo 24 als Bild 31 der vierton Blondo 3 abgebildet wird.One surface of the toilet layer 24 is shown as picture 31 of the fourth tone Blondo 3.

In dom Moßstrahlongang 11 sind dio fünfto Blende 17 und die sechste Blondo 23 wochselbar angoordnot. Dioso Blenden werdonIn Dom Mühlestrahlongang 11 are dio five-f-stop 17 and the sixth Blondo 23 wosselbar angoordnot. Dioso irises werdon

durch eine dritte Linse 15 und dia ersto Linso 4 ebenfalls auf dor Oberfläche dor Toilschichtfolgo 24 als Bild 32 dor fünftenby a third lens 15 and dia ersto Linso 4 also on the surface dor Toilschichtfolgo 24 as image 32 dor fifth

Blcndo 17 odor als Bild 33 dor sechsten Blonde 23 abgebildet.Blcndo 17 odor pictured as picture 33 of sixth blonde 23. Das Bild 31 dor vierten Blende 3 und das Bild 32 der fünften Blondo 17 bositzen auf dor Oborflächo dor Toilschichtfolgo 24 eineThe image 31 of the fourth diaphragm 3 and the image 32 of the fifth diaphragm 17 are located on the obturator surface 24

identische Geometrie. Das Bild 31 der vierton Blondo 3 und das Bild 33 der sechsten Blonde ?3 realisieren auf dor Obotflncho doridentical geometry. The picture 31 of the fourth tone Blondo 3 and the picture 33 of the sixth blonde? 3 realize on the obotflncho dor

Teilschichtfolge 24 oino Blendontrennung. Dio Form der vierton Blondo 3 und dio Form der fünften Blondo 17 sind so gewählt,Sub-layer sequence 24 oino blendon separation. Dio form the fourth tone Blondo 3 and dio form the fifth Blondo 17 are chosen

daß sie für axiale Strahlen lichtdurchlässig sind.that they are transparent to axial rays.

Die sechste Blende 23 ist so gostaltet, daß der lichtdurchlässige Boroich der viorton Blondo 3 und dor fünfton Blonde 17 gosporrtThe sixth aperture 23 is gostaltet so that the translucent Boroich the viorton Blondo 3 and dor five-tone Blonde 17 gosporrt

wird aber außoraxiale Boreicho lichtdurchlässig sind.but aoraxaxore Boreicho are translucent.

Vorlollhaftorwolso Ist bol Mossungon des Stroulichto» ind dos Fluoroszonzllchtos In dot Schicht 26 dor TollschichUolgo 24 dioVorlollhaftorwolso is bol Mossungon of the Stroulichto »ind dos Fluoroszonzllchtos in dot layer 26 dor TollschichUolgo 24 dio

dritte Blondo 14 Im Meßstrahlongang 11 so positioniert, daß Ii. jlgo der Blendontoilung zwischon dom Bild 19 der orstonthird Blondo 14 Positioned in Meßstrahlongang 11 so that Ii. jlgo the Blendontoilung zwischon dom picture 19 the orston

Blondo 9 und dom Bild 21 dor dritten Blondo 14 ouf der OborflHcho dos Körpers 6 das Streulicht und das Fluoroszenzlicht aus dorBlondo 9 and Dom Image 21 of the third Blondo 14 on the OborflHcho dos body 6 the scattered light and the fluoroscopic light from Dor Schicht 25 dos Körper· β nicht gomosson werden.Layer 25 dos body · β not gomosson. Sind woitorhin In der orston Mossung dio viorto Blondo 3 und dlo fünfte Blondo 17 ongoordnot, wird Licht aus dorAre woitorhin In the Orston Mossung dio viorto Blondo 3 and dlo fifth Blondo 17 ongoordnot, light is from Dor Toilschichtfolgo 24 gomosson, dos infolgo Strouung, Fluoroszonz in I Rofloxlon in dor Schicht 26 dor Toilschichtfolgo 2<1 und inToilet layer succession 24 gomosson, dos as a result disturbance, Fluoroszonz in I Rofloxlon in dor layer 26 dor Toilschichtfolgo 2 <1 and in

dom Toil 27 dor Toilschichtfolgo 24 entstoht.dom Toil 27 dor Toilschichtfolgo 24 entstoht.

Sind woitorhin in dor zwoiton Mossung dio viorto Blondo 3 und dio sochsto Blondo 23 ongoordnot, wird das Licht dos Teils 27 derIf there is no doubt in the two voices Mossung dio viorto Blondo 3 and sootho Blondo 23 ongoordnot, the light of the part 27 becomes the Toilschichtfolgo 24 gomosson.Toilschichtfolgo 24 gomosson. Aus dor Differonz zwischon orstor und zwoitor Mossung wordon das Streulicht und das Fluoroszonzlicht dor Schicht 26 dorFrom Differonz zworon orstor and zwoitor Mossung wordon the scattered light and the Fluoroszonzlicht dor layer 26 dor Toilschichtfolgo 24 erhalten.Toilschichtfolgo 24 obtained. Es ist vorteilhaft, don Moßstrahlongang 11 so aufzutronnon, daß oln gloichzoitigoe Mosst -> des Stroulichtos und dosIt is advantageous to arrange the jet of radiation 11 so that the gloichzoitigoe Mosst -> the Stroulichtos and dos Fluoroszonzllchtos aus dor Schicht 25 dos Körpers 6 und dor Schicht 26 dor Toilschichtfolgo 24 orfolgt.Fluoroszone plates from layer 25 of body 6 and layer 26 of toilet layer 24 are followed. Gemäß Figur 3, dio Im Woson der Anordnung nach Figur 2 entspricht, tollen woitoro Strohltoilor 34 don Moßstrahlcnoang 11 inAccording to Figure 3, the dio in the Woson the arrangement of Figure 2 corresponds to great woitoro Strohltoilor 34 don Moßstrahlcnoang 11 in

vior Toilstrohlongängo auf.vior Toilstrohlongängo on.

Durch dio Anordnung dor orston Blondo 9Im Belouchtungsstrahlongang 1 und dor zwoiton Blondo 13inoinom orstonBy the arrangement of the Orston Blondo 9 In the Belouchtstrahlongang 1 and the Zwoiton Blondo 13inoinom Orston Toilstrahlongang wird durch don orston Toilompfängor 35 das Licht aus allen Schichten dos Körpors 6 gomosson.Toilstrahlongang is donated by donor orston toilet pump 35 gomosson light from all layers of the body. Durch Differenzbildung aus den Sinnalon dor Toilompfängor 35 und 36 wird das das Fluoroszonz- und Streulicht dor Schicht 25By subtraction from the Sinnalon dor Toilompfängor 35 and 36 that is the Fluoroszonz- and scattered light dor layer 25th

dos Kör pore β erhalten.dos Kör pore β obtained.

Durch Anordnung der orston Blondo 9 und der vierten Blondo 3 im Bolouchtungsstrohlongang 1 sowio der dritten Blondo 14 imBy arrangement of the Orston Blondo 9 and the fourth Blondo 3 in the Bolouchtungsstrohlongang 1 sowio the third Blondo 14 im Moßstrahlongang 11 und dor fünften Blende 17In einomdritton Toilstrahlongang wlrddurchoinendrittenTeilompfänger 37 dasMower beam 11 and the fifth aperture 17 in anomdritton toilet jet pass through three thirds subcarriers 37 the Licht aus allon Schichton der Toilschichtfolge 24 unter dofiniorton Bedingungen gomosson.Light from allon Schichton the Toilschichtfolge 24 under dofiniorton conditions gomosson. Durch Anordnung der orston Blondo 9 und dor viorton Blondo 3 im Bolouchtungsstrahlongang 1 sowio dor dritton Blondo 14 imBy arrangement of the orston Blondo 9 and Dor viorton Blondo 3 in the Bolouchtungsstrahlongang 1 sowio dor third tone Blondo 14 in Meßstrahlongang 11 und der fünften Blondo 17 in oinom dritton Toilstrahlongang wird durch einon dritton Toilompfanger 37 dasMeßstrahlongang 11 and the fifth Blondo 17 in oinom third toilet toilet jet is by aonthon Toilompfanger 37 the Licht aus allon Schichton dor Toilschichtfolgo 24 untor dofiniorton Bodingungon gomosson.Light from allon Schichton dor Toilschichtfolgo 24 untor dofiniorton Bodingungon gomosson. Durch Anordnung der orsten Blondo 9 und dor viorton Blondo 3 im Meßstrahlongang 1 sowie dor dritten Blondo 14 imBy arrangement of the first Blondo 9 and Dor viorton Blondo 3 in Meßstrahlongang 1 and the third Blondo 14 im Moßstrahlongang 11 und der sochston Blondo 23 im oinom viorton Toilstrahlongang wird mit oinom vierton Toilompfanger 38Mästrahlstrahlongang 11 and the sochston Blondo 23 in the oinom viorton Toilstrahlongang will be fourth with oinom Licht aus dom Toil 27 dor Toilschichtfolgo 24 untor don gloichon Bedingungen gemossen.Light from dom Toil 27 dor Toilschichtfolgo 24 untor don gloichon conditions. Durch Differenzbildung aus don Signaion der Toilompfängor 37 und 38 wird das Fluoroszonz- und Streulicht dor Schicht 26 dorBy difference formation from donation of the Toilompfängor 37 and 38, the Fluoroszonz- and scattered light dor layer 26 dor Toilschichtfolgo 24 orhalton.Toilschichtfolgo 24 orhalton. Durch die gleichzeitige Bestimmung des Lichtes aus der Schicht 25 des Körpers 6 und des Lichtes aus dor Schicht 26 derBy the simultaneous determination of the light from the layer 25 of the body 6 and the light from the layer 26 of the Teilschichtfolge 24 wird die Meßzeit so verringert, daß Änderungen des Körpers 6 und der Meßbedingungen weitgohendSub-layer sequence 24, the measurement time is reduced so that changes in the body 6 and the measurement conditions weitgohend

vernachlässigbar sind.are negligible.

Ein Anwendungsbeispiel für dio Anordnung nach Figur 3 ist die Bestimmung dos zoitlichon Durchströmungsverhaltens inAn application example of the arrangement according to FIG. 3 is the determination of the zoitlichon flow behavior in FIG

vorschiodonon einzelnen Schichten oinos Körpers β mit Hilfe fluoreszierender Indikatoren.vorschiodonon individual layers oinos body β using fluorescent indicators.

Für spektrale Untersuchungen oder um das Streulicht und dns Fluoreszenzlicht einer einzelnen Schicht gotrennt erfassen zuFor spectral examinations or to capture the scattered light and dns fluorescent light of a single layer gotrennt

können, sind gomaß Figur 1, Figur 2 oder Figur 3 im Belouchtungsstrahlengang 1 oin erstes dispersives Element 18 und im1, 2 or 3 in the illumination beam path 1 oin first dispersive element 18 and in FIG

Moßstrahlongang 11 ein zweites dispersives Element 22 angoordnot.Masststrahlongang 11 a second dispersive element 22 angoordnot. Mit Hilfo des ersten dispersion Elementes 18 wird aus dom weißen Belouchtungslicht monochromatifches Licht erzeugt. Es istBy means of the first dispersion element 18, monochromatic light is generated from the dom white illumination light. It is

naholiegond, daß dieses monochromatische Bdeuchtungslicht das Licht oinos Farbstofflasers ist.naholiegond that this monochromatic illuminating light is the light oinos dye laser.

Werden durch das orsto dispersive Element 18 und durch das zweito dispersive Eloment 22 identische WnllonlängenboreicheBe 22 identical Wnllonlängenboreiche by the orsto dispersive element 18 and by the second dispersive Eloment

veränderlicher Mittenwellenlänge im Beleuchtungsstrahlengang 1 und Im Moßstrahlengang 11 festgelegt, so wird durch dasvariable center wavelength in the illumination beam path 1 and set in Moßstrahlengang 11, it is determined by the

Ausführon jo einos Meßzyklus, bei dem in der orsten Messung das gesamte Licht aus allen Schichton dos Körpers 6 oder/und derAusführon jo einos measuring cycle, in which in the first measurement, the total light from all Schichton dos body 6 or / and the Toilschichtfolgo 24 und in der zwoiton Mossung nur das Licht aus der Toilschichtfolgo 24 odor/und aus dem Teil derToilschichtfolgo 24 and in the zwoiton Mossung only the light from the Toilschichtfolgo 24 odor / and from the part of Teilschichtfolge 27 gomossen.Teilschichtfolge 27 gomossen. Durch Differenzbildung aud den bei jeder Mittenwellonlöngo ausgoführton erston und zweiten Messungen wird oin spektralerBy subtracting the tone of the first tone and the second measurements, which are extracted at each midwave tone, o becomes more spectral Verlauf dos Stroulichtos dor Schicht 25 des Körpers 6 oder/und der Schicht 26 der Teilschichtfolge 24 berechnet.Course dos Stroulichtos dor layer 25 of the body 6 and / or the layer 26 of the sub-layer sequence 24 calculated. Ist im Beleuchtungsstrahlongang 1 das orsto dispersive Elernont 18 angeoranot, das zweite dispersive Element 22 imIs in the illumination beam path 1, the orsto dispersive Elernont 18 angeoranot, the second dispersive element 22 in Meßstrahlongang 11 jodoch nicht angeordnet und wird bei jeder gewählten Mittenwellonlängo ohan beschriebene MeßzyklusMeßstrahlongang 11 yodoch not arranged and is at each selected Mittenwellonlängo ohan described measuring cycle

ausgeführt, so wird oin spoktralor Vorlauf dos Stroulichtos und dos Fluoreszenzlichtes dor oinzohon Schicht 25 dos Körpers 6oder/und dor Schicht 26 dor Toilschichtfolgo 24 gemessen.carried out, so is ook spoktralor flow of Stroulichtos and the fluorescent light dor oinzohon layer 25 dos body 6oder / and dor layer 26 dor Toilschichtfolgo 24 measured.

Wird von dieser Summe aus Streulicht und Fluoreszonzlicht das Streulicht für jodo Wellenlänge subtrahiert, so wird der spektraleIf the scattered light for iodine wavelength is subtracted from this sum of scattered light and fluorescence light, then the spectral Vorlauf des Fluoruszenzlichtos der Schicht 25 des Körpors 6 oder/und der Schicht 26 der Teilschichtfolge 24 ermittelt.Advance of Fluoroszenzlichtos the layer 25 of the body 6 and / or the layer 26 of the sub-layer sequence 24 determined. Der spoktrale Vorlauf dos Fluoreszenzlichtos der Schicht 25 des Körpors 6 odor/und der Schicht 26 der Toilschichtfolge 24 wirdThe spoktral flow of the fluorescent light of the layer 25 of the body 6 or the layer 26 of the toilet layer sequence 24 becomes

auch ermittelt, wenn die Beleuchtung des Körpers 6 mit oinom unveränderlichen Wellonlängonteroich erfolgt und in Verbindungmit der Anordnung des zweiten dispersion Elementes 22 im Meßstrahlengang 11 Wellenlängonbereiche veränderbareralso determined when the illumination of the body 6 with oinom immutable Wellonlängonteroich takes place and in connection with the arrangement of the second dispersion element 22 in Meßstrahlengang 11 wavelength ranges changeable

Mittonwollonlängs ausgewählt werdon, die sich nicht mit dom Spektralbereich dos Beleuchtungslichtes überlappen.Mid-range lengths are selected which do not overlap with the spectral range of the illumination light. Der spektrale Verlauf des Fluoreszenzlichtes der Schicht 25 des Körpers 6 odor/und der Schicht 26 dser Teilschichtfolge 24The spectral course of the fluorescent light of the layer 25 of the body 6 odor / and the layer 26 of this sub-layer sequence 24th

entsteht aus der Differunz dnr Moßorgebnisse dor orsten Messung und dor zweiten Messung, die bei jeder imarises from the difference between the measurement results of the first measurement and the second measurement obtained in each case

Meßstrahlengang 11 ausgewählten Mittenwellenlängo ausgeführt werdon.Meßstrahlengang 11 selected mitttenwellenlängo running werdon. Der spektrale Vorlauf dos Stroulichtos einer einzelnen Schicht 25 des Körpers 6 oder/und der Schicht 26 Teilschichtfolge 24 wirdThe spectral flow of the strobe light of a single layer 25 of the body 6 or / and the layer 26 sub-layer sequence 24 is

auch rechnerisch aus den Ergebnissen mehrere; Meßzyklsn bestimmt.also mathematically from the results several; Measuring cycles determined.

Als Ergebnis der Beleuchtung des Augenhintergrundes mit monochromatischem Licht unter Verwendung des ersten dispersivenAs a result of illumination of the fundus with monochromatic light using the first dispersive Elementes 13 im Beleuchtungsstrahlengang 1 wird in dom 1 .Meßzyklus das Fluoreszenz- und Streulicht der Schicht 25 desElement 13 in the illumination beam path 1 is in the dom 1 .Meßzyklus the fluorescent and scattered light of the layer 25 of Körpors β oder/und dor Schicht 26 dor Teilschichtfolge 24 ermittelt.Body β and / or the layer 26 of the sub-layer sequence 24 is determined. Als Ergobnls der Beleuchtung doe Augenhintergrundes mit monochromatischem Licht unter Vorwondung dos orsten disporsivenAs ergobnls of lighting doe fundus with monochromatic light under prewonding dos orsten disporsiven Elementeb 18 Im Beleuchtungsatrahlengang 1 und Messung In dazu nichtüborlappenden Spoktralboreichen imElementeb 18 In the illumination beam path 1 and measurement in non - overlapping Spoktralboreichen in Meßstrahlengang 11 unter Verwendung des zwotten dlsporslvon Elomontes 22 im Moßstrohlengang 11 wird in domMeasuring beam path 11 using the Zwotten dlsporslvon Elomontes 22 in Moßstrohlengang 11 is in dom

2. Moßzyklus dor spoktralo Vorlauf dos Fluoroszonzllchtos dor Schicht 25 dos Körpors 6 oder/und dor Schicht 26 dor2. Measuring cycle of the spoktralo forerunner of the fluoroszonzllchtos dor layer 25 dos. Body 6 or / and dor layer 26 dor

Toilschichtfolge 24 ormittolt.Toilet layer sequence 24 minutes. Durch Ditferonzierung beldor Moßorgobnlsso wird dor spoktralo Vorlauf dos Stroutichtos dor Schicht 25 dos Körpors 6 odor/undBy ditferonzierung beldor Moßorgobnlsso the dor spoktralo will lead the Strostichtos dor layer 25 of the body 6 odor / and

dor Schicht 26 der Teilschichtfolge 24 orhalton.dor layer 26 of the sub-layer sequence 24 orhalton.

Zur Messung des Etroulichtos und dos Fluoroszonzlichtos dor Schicht 25 dos Körpors 6 odor/und dor Schicht 26 dorTo measure the Etroulichtos and the Fluoroszonzlichtos dor layer 25 dos body 6 odor / and dor layer 26 dor Toilschichtfolgo 24 orfolgt die Bolouchtung mit kontinuierlichem odor mit impulsförmigom Licht.Toilet layer 24 follows the bolo with continuous odor with pulsed light. Dio laterale Untersuchung dos Streulichtos und dos Flucroszenztichtos in der Schicht 25 dos Körpors 6 odor/und dor Schicht 26Dio lateral examination of the scattered light and the fluorescence spot in the layer 25 of the body 6 and / or the layer 26

dor Toilschichtfolge 24 sowie die laterale Reflexion derTeilschichtfolge 24 odor/und dos Teils 27 dor Toilschichtfolge 24 wird auffolgende Arten realisiert:The toilet layer sequence 24 and the lateral reflection of the sub-layer sequence 24 and / or the part 27 of the toilet layer sequence 24 are realized in the following ways:

In einer ersten Ausführung wird bol ortsunvorändorlichom Licht im Botouchtungsstrahlongang 1 und Licht imIn a first embodiment, the location of the light in the beacon beam 1 and the light in the spot will be determined by the location of the light Meßstrahlengang 11 die Lage des Körpors 6 in einer Ebono senkrecht zur optischon Achse (Koordinaten x, y in Figur 1) und längsMeasuring beam path 11, the position of the body 6 in a Ebono perpendicular to the optical axis (coordinates x, y in Figure 1) and along

dor optischon Achse (Koordinate ζ in Figur 1) geändert. Oioso Ausführung ist ein Objoktscannor.the optical axis (coordinate ζ in Figure 1) changed. Oioso execution is an Objoktscannor.

In einer zweiten Ausführung bleibt dio Lage dos Körpers β ortsunvoränderlich, wogegen das Licht imIn a second embodiment, the position of the body remains stationary, whereas the light in the Beleuchtungsstrahlengang 1 und das Licht im Moßstrahlongang 11 so abgolonkt worden, daß sio untor Beibehaltung desIllumination beam path 1 and the light in the Mästrahlstrahlongang 11 so abgegolonkt that sio without retaining the Prinzips der oben beschriebenen Blendonzuordnung auf verschiedene Orto auf dor Oberfläche dos Körpors 6 oder auf dorPrinciple of the above-described Blendon assignment to different Orto on dor surface of the body 6 or dor Oberfläche der Teilschichtfolge 24 troffen,Surface of the sub-layer sequence 24 hit, In einf Ausführung entsprechend Figur 4 sind dio orsto Blondo 9 im Bolouchtungss'.rahlongang 1 und dio zwoito Blcndo 13 undIn one embodiment according to FIG. 4, dio orsto Blondo 9 in Bolouchtungs'.rahlongang 1 and dioo dioe Blcndo 13 and

die dritte Blondo 14 vorteilhaftorweisc in aufgotoilton Moßstrahlongängon 11 mohrfach (v-fach) in einer Ebone senkrecht zuroptischen Achse angeordnet (ebenso die vierte, fünfte und sechste Blonde, nicht dargostellt)the third Blondo 14 favororweisc in aufgotoilton Masststrahlongängon 11 mohrfach (v-fold) in a Ebone perpendicular to the optical axis arranged (as well as the fourth, fifth and sixth Blonde, not dargostellt)

Der Aufbau der Anordnung ist analog der zu dom in den Figuren 1 bis 3 beschriebenen, ebenso deron Wirkungsweise.The structure of the arrangement is analogous to the dom described in Figures 1 to 3, as well as deron mode of action. Es wird eine Bestimmung des Streulichtos und/oder dos Fluoroszonzlichtos in dor Schicht 25 des Körpers β odor/und dorA determination is made of the scattered light and / or the fluoroscopic light in the layer 25 of the body β odor / and dor Schicht 26 der Teilschichtfolge 24 an mohroron Orion dor Ebono gleichzeitig durchgeführt.Layer 26 of the sub-layer sequence 24 at Mohroron Orion dor Ebono performed simultaneously. Ebenso erfolgt die Berechnung der Reflexion der Teilschichtfolge 24 odor/und des Toils 27 der Teilschichtfolge 24 gleichzeitig anLikewise, the calculation of the reflection of the sub-layer sequence 24 odor / and the Toils 27 of the sub-layer sequence 24 takes place simultaneously

mehreren Orten dor Ebene.several places on the plain.

Vorteilhafterweise worden die v-fach vorhandenen zweiten Blenden 13 und die dritten Blenden 14 durch die Geomotrie dorAdvantageously, the v-times existing second aperture 13 and the third aperture 14 by the Geomotrie dor

fotoempfindlichen Schicht in Empfängern 16 realisiert.Photosensitive layer realized in receivers 16.

Die Bestimmung des Reflexionslichtes, des Streulichtes und dos Fluoreszenzlichtes in oinzotnen Schichten eines Körpers 6 mitThe determination of the reflection light, the scattered light and the fluorescent light in oinzotnen layers of a body 6 with

optisch zugänglicher Schichtstruktur, wobei mindestens an der Oberfläche des Körpers 6 roguläro Reflexion auftritt, soll amoptically accessible layer structure, wherein at least on the surface of the body 6 roguläro reflection occurs at the

Boispiel der spektralen Untersuchung eines menschlichen Auges 30 erläutert wordon.Example of Spectral Examination of a Human Eye 30 illustrates wordon. Die Anordnung in Figur 5 entspricht im Wesen ihres Aufbaus und ihrer Wirkungsweise der Anordnung, die in Figur 1 dargestelltThe arrangement in FIG. 5 corresponds in essence to its structure and mode of operation to the arrangement shown in FIG Der Strahlteiler 10 ist durch ein Glan-Thompson-Prisma 29 mit Zusatzprismen 7 realisiert. Das Auge 30 ist eine spezielle FormThe beam splitter 10 is realized by a Glan-Thompson prism 29 with additional prisms 7. The eye 30 is a special shape

des Körpers 6 mit optisch zugänglicher Schichtstruktur.of the body 6 with optically accessible layer structure.

Entsprechend Figur 5 sendet die Lichtquelle 2 natürliches Licht aus. Nach Durchdringen des Glan-Thompson Prismas 29 mit denAccording to FIG. 5, the light source 2 emits natural light. After penetrating the Glan-Thompson prism 29 with the

aufgesetzten Zusatzprismen 7 entsteht linear polarisiertes Licht, mit dem das Auge 30 beleuchtet wird.attached additional prisms 7 creates linearly polarized light, with which the eye 30 is illuminated.

In dem Beleuchtungsstrahlengang 1 bofindet sich die erste Blende 9, deron Bild 19 auf die regulär reflektierende Hornhaut 8 .losIn the illumination beam path 1 bofindet the first aperture 9, deron image 19 on the regularly reflecting cornea 8los Auges 30 abgebildet wird.Eye 30 is shown. Die Kugelform des Auges bedingt spezielle Formen der ersten, zweiten und der dritten Blende 9,13 und 14.The spherical shape of the eye requires special shapes of the first, second and third apertures 9, 13 and 14. Die Konturen der ersten Blende 9 sind so gewählt, daß dio Konturen des Bildes 19 der ersten Blende 9 auf der Hornhaut 8 denThe contours of the first aperture 9 are selected so that the contours of the image 19 of the first aperture 9 on the cornea 8 den Linien gleicher Depolarisation entsprechen.Lines of equal depolarization correspond. Dabei tritt das linear polarisierte Beleuchtungslicht vorwiegend in einer Umgobung der Azimute 0 Grad und 90 Grad durch dieIn this case, the linearly polarized illumination light occurs predominantly in a Umgobung the azimuth 0 degrees and 90 degrees through the

Hornhaut 8.Cornea 8.

Im Meßstrahlengang 11 befindet sich die zweite Blende 13, deron Bild 20 durch die Linse 4 mit identischer Geometrie wie dasIn the Meßstrahlengang 11 is the second aperture 13, deron Figure 20 through the lens 4 with identical geometry as the Bild 19 der ersten Blende 9 auf der Hornhaut 8 des Auges 30 abgebildet wird.Image 19 of the first aperture 9 is imaged on the cornea 8 of the eye 30. Wie in Figur 6 dargestellt, ist das Bild 21 der dritten Blende 14 auf der Hornhaut 8 des Auges 30 in Winkelbereichen transparent,As shown in FIG. 6, the image 21 of the third diaphragm 14 on the cornea 8 of the eye 30 is transparent in angular regions,

die in der Nähe von 45 Grad, 135 Grad, 225 Grad und 315 Grad zur Schwingungsobone des linear polarisertenwhich are near 45 degrees, 135 degrees, 225 degrees and 315 degrees to the vibrational plane of the linearly polarized

Beleuchtungslichtes liegen. In Winkolboroichen, die in der Nähe von 0 Grad und 90 Grad zur Schwingungsobone des linearIlluminating light lie. In Winkolboroichen, which is near 0 degrees and 90 degrees to the vibrational plane of the linear

polarisierten Beleuchtungslichtes liegen, sperrt das Bild 21 der dritten Blende 14 das aus dem Auge 30 tretende Licht. Durch dioare polarized illumination light, blocks the image 21 of the third aperture 14, the light 30 emerging from the eye. By dio

Blende 14 tritt nur das Licht, dessen Ursprung in Bereichen des Auges liegt, die sowohl vom Lichtweg desAperture 14 enters only the light whose origin lies in areas of the eye, both from the light path of the Beteuchtungsstrahlenganges 1 als auch vom Lichtweg des Meßstrahlenganges 11 erfaßt werden. Insbesondere werden durchBeteuchtungsstrahlenganges 1 and the light path of the measuring beam path 11 are detected. In particular, by

die dritte Blende 14 die Lichtanteile gesperrt, die durch Streuung oder Fluoreszenz in den vorderen Augeniibschnitten entstehen.the third diaphragm 14 blocks the light components that arise as a result of scattering or fluorescence in the anterior half of the eye.

Gemäß der Anordnung nach Figur 5 behält das linear polarisierte Beleuchtungslicht nach regulärer Reflexion an der Hornhaut 8According to the arrangement according to FIG. 5, the linearly polarized illumination light retains the cornea 8 after regular reflection

seine Polarisationsrichtung weitgehend bei. Es gelangt ohne Ablenkung im Glan-Thompson-Prisma 29 zurück in denits polarization largely at. It passes without distraction in the Glan-Thompson prism 29 back into the

Beleuchtungsstrahlengang 1.Illumination beam path 1. Vom Streulicht, vom Fluoreszenzlicht und vom diffus reflektierten Beleuchtungslicht erfährt nur die Komponente des Lichtes ausFrom the scattered light, the fluorescent light and the diffusely reflected illumination light undergoes only the component of the light

dem Auge 30, die senkrecht zur Schwingungsebene des Beleuchtungslichtes schwingt, im Glan-Thompson-Prisma 29 einethe eye 30, which oscillates perpendicular to the plane of oscillation of the illumination light, in the Glan-Thompson prism 29 a

Ablenkung in den Meßstrahlengang 11.Distraction in the Meßstrahlengang 11th Während der ersten Messung eines Meßzyklus, bei der sich die zweite Blende 13 im Meßstrahlengang 11 befindet, wird Licht ausDuring the first measurement of a measurement cycle in which the second diaphragm 13 is located in the measuring beam path 11, light is emitted

allen Schichten des Auges, insbesondere auch das Streulicht und das Fluoreszenzlicht der vorderen Augenabschnitte gemessen.all layers of the eye, especially the scattered light and the fluorescent light of the anterior eye sections measured.

Während der zweiten Messung ist statt der zweiten Blende 13 die dritte Blende 14 im Meßstrahlengang 11 angeordnet.During the second measurement, the third diaphragm 14 is arranged in the measuring beam path 11 instead of the second diaphragm 13. Nach Abbildung durch die Linse 4 realisiert das Bild 21 der dritten Blende 14 mit dem Bild 19 der ersten Blende 9 auf derAfter imaging through the lens 4, the image 21 of the third diaphragm 14 realizes with the image 19 of the first diaphragm 9 on the Hornhaut 8 des Auges 30 eine Blendentrennung.Cornea 8 of the eye 30 a diaphragm separation. Avis der Differenz dor Ergebnisse von erster und zwoiter Messung worden dio Lichtanteile, dio durch Strouung und FluoreszenzAvis of the difference between the results of first and second measurement was the proportion of light, dio by disturbance and fluorescence

in den vorderen Augenabschnitten entstehen, ohne Verfälschung durch Fundusreflexionslicht erhalten.arise in the anterior eye sections, obtained without falsification by Fundusreflexionslicht.

Durch die Wahl der Blondengeometrie von erster Blende 9 und dritter Blende 14, die die Blendentrennung auf der Hornhaut 8By the choice of the blonde geometry of the first aperture 9 and third aperture 14, the iris separation on the cornea 8

dos Auges 30 realisieren, wird das Streu· und Fluoreszonzllcht in Bereichen mit unterschiedlicher Ausdehnung in Richtung deroptischen Achse gotronnt bestimmt.According to the eye 30, the scattering and fluorescence is determined to be gotronnt in regions of different extents in the direction of the optical axis.

Bei konstanter Geometrie der ersten Blende 9 wird durch Vergrößern des radialen Abstandos der lichtdurchlässigen BereicheAt constant geometry of the first aperture 9 is achieved by increasing the radial distance of the translucent areas

der dritten Blende 14 von der optischen Achso der bei der zweiten Messung ausgeblendete Bereich in Richtung der optischenof the third aperture 14 from the optical axis of the area hidden in the second measurement in the direction of the optical

Achse ausgedehnt.Axis extended. Ist gemäß Figur 5 in dem Beleuchtungsstrahlongang 1 ein dispersivos Element 18 eingeschalten und wird derIf, in accordance with FIG. 5, a dispersivos element 18 is switched on in the illuminating beam path 1 and the Augonhintergrund 12 kloinflächig am gleichen Ort beleuchtet, so wird durch Ausführen je einer ersten und je einer zweitonAugon Hintergrund 12 illuminated kloinflächig in the same place, so by running ever a first and ever a zweiton Messung bei jeder gewählten Wellenlänge des Bolouchtungslichtos durch Differenzbildung zwischen don jeweils zugeordnetenMeasurement at each selected wavelength of the Bolouchtungslichtos by subtraction between each don associated Messungen die Bestimmung des spektralen Verlaufes von Fluoreszenz- und Streulicht in den vorderen AugenabschnittenMeasurements the determination of the spectral course of fluorescence and scattered light in the anterior eye sections

erreicht.reached.

Wird weiterhin die Eingangsintensität des spektral zerlegten Beleuchtungslichtes mit einem Empfänger 28 gemessen, so wirdIf, furthermore, the input intensity of the spectrally dispersed illumination light is measured with a receiver 28, then

nach der Formelaccording to the formula

r = R2/|1-(R1-R2)]' (3)r = R 2 / I 1- (R 1 -R 2 )] '(3)

der Einfluß dor Streu- und Fluoreszonzlichtes dor vorderen Augenmedien so berücksichtigt, daß die reine Fundusreflexionerhalten wird.the influence of the scattered and fluorescence light of the anterior ocular media is taken into account so that the pure fundus reflection is obtained.

Diese Erfindung besitzt eine große Bedeutung bei spektralen Untersuchungen am Augenhintergrund von solchen Augen, die anThis invention is of great importance in spectral examinations of the ocular fundus of such eyes Katarakt erkrankt sind, da dann der Augenhintergrund auch bei einem stark streuenden vorderen Augenabschnitt zu beurteilenCataract are diseased, since then to assess the fundus also in a strongly scattering anterior segment of the eye Gemäß Figur 5 wird der Augenhintergrund l;leinflächig abgetastet (Abtastscanner), wobei die Beleuchtung mit denAccording to Figure 5, the fundus is scanned leinflächig (scanning scanner), the illumination with the

ausgewählten Wellenlängen erfolgt, bei denen charakteristische Fundusstrukturen unter einem hohen Kontrast zur Umgebungerscheinen. Im Meßstrahlengang 11 sind dazu vorzugsweise die zweite Blende 13 und die dritte Blende 14 in parallelenat selected wavelengths where characteristic fundus structures appear in high contrast to the environment. In the Meßstrahlengang 11 are preferably the second aperture 13 and the third aperture 14 in parallel

Meßstrahlengängen 11 angeordnet. In dieser Anordnung erfolgen erste und zweite Messung gleichzeitig unter Verwendung vonMeasuring beam paths 11 are arranged. In this arrangement, first and second measurements are made simultaneously using

zwei Teilempfängern 35 und 36.two partial receivers 35 and 36.

Aus den Ergebnissen, die in der ersten Messung und in der zweiten Messung vom Auge sowie beim Messen derFrom the results obtained in the first measurement and in the second measurement of the eye as well as in measuring the Beleuchtungslichtintensität gewonnen werden, wird nach der GleichungIllumination light intensity are obtained, according to the equation

r = R,/[1-(R1-R2)]' (3)r = R, / [1- (R 1 -R 2 )] '(3)

für jeden abgetasteten Fundusort die spektrale Reflexion bestimmt. Aus den berechneten Reflexionen erfolgt eine nahezupunktweise Rekonstruktion des gesamten Augenhintergrundes 12 mit Methoden der Bildverarbeitung und Bildauswertung.determines the spectral reflection for each scanned fundus location. From the calculated reflections, a near-point-by-point reconstruction of the entire fundus 12 with methods of image processing and image analysis is carried out.

Beispielsweise bei Beleuchtung mit Licht in einem engen Wellenlängenbereich um 570 nm werden die Blutgefäße gut dargestellt.For example, when illuminated with light in a narrow wavelength range around 570 nm, the blood vessels are well represented. Die getrennte Bestimmung des spektralen Verlaufos des Fluoreszenzlichtes erfolgt durch Anordnung des ersten dispersivenThe separate determination of the spectral course of the fluorescent light is effected by arranging the first dispersive Elementes 18 im Beleuchtungsstrahlengang 1 und des zweiten dispersiven Elementes 22 im Meßstrahlengang 11 entsprechendElement 18 in the illumination beam path 1 and the second dispersive element 22 in Meßstrahlengang 11 accordingly

oben beschriebener Zuordnungen zwischen den ausgewählten Spektralbereichen im Beleuchtungsstrahlengang 1 und imabove-described associations between the selected spectral regions in the illumination beam path 1 and in

Meßstrahlengang 11.Measuring beam path 11. Mit den auf diese Weise erhaltenen spektralen Verläufen des Streulichtes und des Fluoreszenzlichtes wird die Diagnostik vonWith the obtained in this way spectral characteristics of the scattered light and the fluorescent light, the diagnosis of Erkrankungen des vorderen Augenabschnittes (z.B. Katarakt) verbessert.Diseases of the anterior segment of the eye (e.g., cataract). Eine weitere Aufgabe, die mit dor Erfindung gelöst wird, ist die Bestimmung des Streuverhaltensund des FluoreszenzverhaltensAnother object, which is solved by the invention, is the determination of the scattering behavior and the fluorescence behavior

in einzelnen Schichten des Augenhintergrundes 12.in individual layers of the ocular fundus 12.

Hierzu erfolgt entsprechend Figur 7 die spektrale Messung am Auge so, daß das Bild der ersten Blende 19 und das Bild der drittenFor this purpose, according to Figure 7, the spectral measurement on the eye so that the image of the first aperture 19 and the image of the third Blende 21 auf der Hornhaut 8 des Auges 30 eine Blendentrennung realisieren.Aperture 21 on the cornea 8 of the eye 30 realize a diaphragm separation. Die Anordnung in Figur 7 entspricht in ihrem Aufbau und ihrer Wirkungsweise der Anordnung, die in Figur 2 dargestellt ist.The arrangement in FIG. 7 corresponds in its construction and mode of operation to the arrangement shown in FIG. Im Beleuchtungsstrahlengang 1 ist die vierte Blende 3 angeordnet, deren Bild 31 auf eine definierte Fundusschicht abgebildetIn the illumination beam path 1, the fourth diaphragm 3 is arranged, whose image 31 is imaged onto a defined fundus layer

wird. Die fünfte Blende 17 und die sechste Blende 23 sind wechselbar in einem Meßstrahlengang 11 oder ständig in aufgeteiltenbecomes. The fifth diaphragm 17 and the sixth diaphragm 23 are exchangeable in a Meßstrahlengang 11 or constantly divided

Meßstrahlengängen 11 angeordnet.Measuring beam paths 11 are arranged. Das Bild 32 der fünften Blende 17 entsteht auf der ausgewählten Fundusschicht deckungsgleich mit dem Bild 31 der viertenThe image 32 of the fifth diaphragm 17 is congruent with the image 31 of the fourth on the selected fundus layer Blende 3. Das Bild 33 der sechston Blende 23 realisiert auf der ausgewählten Fundusschicht mit dem Bild 31 der vierten Blende 3Aperture 3. The image 33 of the six-tone diaphragm 23 realizes on the selected fundus layer with the image 31 of the fourth diaphragm 3

eine Blendentrennung.a blend separation.

Aus der Differenz der Ergebnisse von erster Messung und zweiter Messung wird das Streu- und Fluoreszenzlicht einer einzelnenFrom the difference of the results of the first measurement and the second measurement, the scattering and fluorescent light of a single Schicht des Augenhintergrundes 12 ermittelt.Layer of the ocular fundus 12 detected. Durch Verändern der Blendengeometrie und/oder Verändern dos Ortes an dem dio Bilder 31,32 und 33 dor Blenden 3,17 und 23By altering the aperture geometry and / or changing the location on the picture, images 31, 32 and 33 are apertures 3, 17 and 23

entstehen, werden substanzspezifische spektrale Messungen und Strukturuntersuchungen in einzelnen Fundusschichtenrealisiert.arise, substance-specific spectral measurements and structural investigations in individual fundus layers are realized.

Die Trennung zwischen Streulicht- und Fluoreszenzlicht aus einer einzelnen Schicht des Augenhintergrundes 12 erfolgt durchThe separation between scattered light and fluorescent light from a single layer of the ocular fundus 12 is carried out by

entsprechende Auswahl der mit dem ersten dispersiven Element 18 im Beleuchtungsstrahlengang 1 und mit dem zweitendispersiven Element 22 im Meßstrahlengang 11 ausgewählten Spektralbereiche in der oben beschriebenen Weise.corresponding selection of the spectral ranges selected with the first dispersive element 18 in the illumination beam path 1 and with the second dispersive element 22 in the measuring beam path 11 in the manner described above.

Mit der Erfindung wird das Streu- und Fluoreszonzverhalten der Augenlinse vom lebenden Auge bestimmt.With the invention, the scattering and fluorescence behavior of the eye lens is determined by the living eye. Mit Hilfe der Erfindung ist erstmals das Streu- und Fluoreszenzverhalten einzelner Fundusschichten in vivo meßbar. In einemWith the aid of the invention, the scattering and fluorescence behavior of individual fundus layers can be measured in vivo for the first time. In one Meßzyklus und einem einzigen Meßaufbau werden miteinander vergleichbare Messungen des Streu- und FluoreszenzlichtesMeasuring cycle and a single measurement setup are comparable measurements of the scattered and fluorescent light

und Reflexionsmessungen im vorderen und in hinteren Augenabschnitt durchgeführt.and reflection measurements in the anterior and posterior ocular sections.

Die Erfindung ermöglicht insbesondere eine quantitativ verbesserte Untersuchungen des Augenhintergrundes 12,In particular, the invention enables a quantitatively improved examination of the ocular fundus 12,

vorzugsweise bei zunehmender Streuung im vorderen Augenabschnitt (Katarakt).preferably with increasing scattering in the anterior segment (cataract).

Claims (31)

1. Verfahren zum getrennten reflektometrlachen Erfassen der Lichtanteile einzelner Schichten eines Körpers mit optisch zugängiger Struktur, zur Untersuchung von Eigenschaften des Körpers und/ oder zur bildlichen Darstellung, dadurch gekennzeichnet, daß in mindestens einem Moßzykliis nacheinander oder gleichzeitig in einer ersten Messung Licht aus ollen Schichten oinor n. Teilschichtfolge ermittelt wird, indem 3 η + 1, Blendenbikler η Beleuchtungsstrahlengängen und 3 η + 2. Blondenbilder in Meßstrahlongöngen auf einer Oberfläche dor η. Teilschichtfolge mit identischer Geometrie abgebildet werden, in mindestens einer zweiten Messung Licht aus oinem Teil der n. Teüschichtfolge ermittelt wird, indem mit den 3n + 1. Blondonbildorn in den Böleuchtungsstrahlengängen und mit 3n -»· 3. Blondenbildern in den Meßstrahlengängen je eine η + 1 Blendenteilung auf der Oberfläche der n. Teilschichtfolge realisiert werden und durch Berechnung Licht einzelner Schichten der n. Teilschichtfolge ermittelt wird, wobei für η eine natürliche Zahl größer/gleich „Null" zugelassen ist und die 0.Teilschichtfolge den Körper (6) selbst repräsentiert.1. A method for the separate reflectometrlachen detecting the light components of individual layers of a body with optically accessible structure, for examining properties of the body and / or for visual representation, characterized in that in at least one Mozy cycle in succession or simultaneously in a first measurement light from ollen layers oinor n. Sub-layer sequence is determined by 3 η + 1, Blendenbikler η illumination beam paths and 3 η + 2. Blonde images in Meßstrahlongöngen on a surface dor η. In at least one second measurement, light from a part of the nth sub-layer sequence is determined by adding one η + with the 3n + 1st blondon image in the beam illumination beam paths and 3n -> · 3rd blister images in the measurement beam paths 1 aperture division is realized on the surface of the nth sub-layer sequence and is determined by calculating light of individual layers of the nth sub-layer sequence, wherein for η a natural number greater than / equal to "zero" is allowed and the 0 sub-layer sequence represents the body (6) itself , 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß in dem mindestens einen Meßzyklus m-foch Blendenteilungen zwischen 3(m - 1) + 1. Blendenbildern in den Beleuchtungsstrahlengängen (1)mit3(m - 1) + 3. Blendenbildern in den Meßstrahlengängen (11) auf der Oberfläche der m - 1. Teilschichtfolge realisiert werden, wobei m Werte von 1 bis η annimmt. 2. The method according to claim 1, characterized in that in the at least one measurement cycle m-foch aperture divisions between 3 (m - 1) + 1st aperture images in the illumination beam paths (1) with3 (m - 1) + 3rd aperture images in the Meßstrahlengängen (11) can be realized on the surface of the m - 1st sub-layer sequence, where m assumes values of 1 to η. 3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß in dem mindestens einen Meßzyklus nacheinander oder gleichzeitig in der ersten Messung Licht aus allen Schichten der n. Teilschichtfolge ermittelt wird, indem das 3 η + 1. Blendenbild des Beleuchtungsstrahlenganges (1) und das 3n + 2. Blendenbild des Meßstrahlenganges (11) auf der Oberfläche der n. Teilschichtfolge mit identischer Geometrie abgebildet werden, in der mindestens einen zweiten Messung Licht aus dem Teil der n. Teilschichtfolge ermittelt wird, indem das3n + 1. Blendenbild in dem Beleuchtungsstrahlengang (1) mit dem 3n + 3. Blendenbild in dem Meßstrahlengang (11) die η + 1. Blendenteilung auf der Oberfläche der n. Teilschichtfolge realisiert und durch Berechnung Licht der einzelnen Schicht der n. Teilschichtfolge ermittelt wird, wobei für η eine natürliche Zahl größer/gleich „Null" zugelassen ist und die 0.Teilschichtfolge den Körper (6) selbst repräsentiert.3. The method according to claim 1, characterized in that in the at least one measurement cycle successively or simultaneously in the first measurement light from all layers of the n. Subschichtfolge is determined by the 3 η + 1st aperture image of the illumination beam path (1) and the 3n + 2. Aperture image of the measuring beam path (11) are imaged on the surface of the n. Subschichtfolge with identical geometry, in the at least one second measurement light from the part of the n. Teilschichtfolge is determined by the3n + 1st aperture image in the illumination beam path (1 ) with the 3n + 3. aperture image in the measuring beam path (11) the η + 1st diaphragm pitch is realized on the surface of the nth sub-layer sequence and determined by calculation of the light of the individual layer of the nth sub-layer sequence, where η is a natural number greater / "zero" is allowed and the 0 sub-layer sequence represents the body (6) itself. 4. Verfahren nach Ansprüchen 2 und 3, dadurch gekennzeichnet, daß in dem mindestens einen Meßzyklus die m-fache Blendenteilung zwischen dem 3(m - 1) + 1. Blendenbild indem Beleuchtungsstrahlengang (1) mit dem 3(m - 1) + 3. Blendenbild in dem mindestens einen Meßstrahlengang (11) auf der Oberfläche der m - 1. Teüschichtfolge realisiert wird, wobei m die Werte von 1... η annimmt.4. The method according to claims 2 and 3, characterized in that in the at least one measuring cycle, the m-fold aperture division between the 3 (m - 1) + 1st aperture image in the illumination beam path (1) with the 3 (m - 1) + 3 An aperture image in which at least one measuring beam path (11) is realized on the surface of the m - 1st partial layer sequence, where m assumes the values of 1. 5. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß in den Beleuchtungsstrahlengängen (1) und Müßstrahlengängen (11) durch unterschiedliche Konturen und/oder unterschiedliche Lagen auf der optischen Achse der 3 η + 1. Blendenbilder und/oder der 3n + 2. Blendenbilder und/oder der 3 η + 3. Blendenbilder verschiedene η + 1. Blendenteilungen realisiert werden und eine gleichzeitige Messung in verschiedenen Schichten verschiedener n. Teilschichtfolgen erfolgt.5. The method according to claim 1, characterized in that in the illumination beam paths (1) and Müßstrahlengängen (11) by different contours and / or different positions on the optical axis of the 3 η + 1st aperture images and / or the 3n + 2nd aperture images and / or the 3 η + 3. aperture images different η + 1st aperture divisions are realized and a simultaneous measurement in different layers of different n. Sub-layer sequences takes place. 6. Verfahren nach den Ansprüchen 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß in den Beleuchtungsstrahlengängen (1) und in den Meßstrahlengängen (11) nebeneinander senkrecht zur optischen Achse 3η + 1. Blendenbilder, 3n + 2. Blendenbilder, 3n + 3. Blendenbilder, 3(m - 1) + 1. Blendenbilder und 3(m - 1) + 3.6. The method according to claims 1 and 2, characterized in that in the illumination beam paths (1) and in the Meßstrahlengängen (11) side by side perpendicular to the optical axis 3η + 1st aperture images, 3n + 2nd aperture images, 3n + 3rd aperture images, 3 (m - 1) + 1st f-stops and 3 (m - 1) + 3. Blendenbilder realisiert werden und eine gleichzeitige Messung in verschiedenen Orten der Ebene der Schicht der n. Teilschichtfolge und/oder in verschiedenen Schichten verschiedener n. Teilschichtfolgen erfolgt.Aperture images are realized and a simultaneous measurement takes place in different locations of the plane of the layer of the n-th sub-layer sequence and / or in different layers of different n-sub-layer sequences. 7. Verfahren nach den Ansprüchen 1 oder3, dadurch gekennzeichnet, daß in dem mindestens einen Meßzyklus in der ersten Messung Licht aus allen Schichten des Körpers (6) ermittelt wird, indem mindestens ein Bild 19 einer ersten Blende (9) des mindestens einen Beleuchtungsstrahlenganges (1) und mindestens ein Bild (20) einer zweiten Blende (13) des mindestens einen Meßstrahlenganges (11) auf der Oberfläche des Körpers (6) mit identischer Geometrie abgebildet werden, in der mindestens einen zweiten Messung Licht aus der Teilschichtfolge (24) des Körpers (6) ermittelt wird, indem das mindestens eine Bild (19) der ersten7. The method according to claims 1 or3, characterized in that in the at least one measurement cycle in the first measurement light from all layers of the body (6) is determined by at least one image 19 of a first aperture (9) of the at least one illumination beam path ( 1) and at least one image (20) of a second diaphragm (13) of the at least one measuring beam path (11) are imaged on the surface of the body (6) with identical geometry, in the at least one second measurement light from the partial layer sequence (24) of Body (6) is determined by the at least one image (19) of the first Blende (9) des mindestens einen Beleuchtungsstrahlenganges (1) mit dem mindestens einen Bild (21) einer dritten Blende (14) des mindestens einen Meßstrahlenganges (11) die mindestens eine Blendenteilung auf der Oberfläche des Körpers (6) realisiert und durch Berechnung Licht der mindestens einen einzelnen Schicht (25) des Körpers (6) ermittelt wird.Aperture (9) of the at least one illumination beam path (1) with the at least one image (21) of a third diaphragm (14) of the at least one measuring beam path (11) realizes the at least one diaphragm division on the surface of the body (6) and calculates the light at least one single layer (25) of the body (6) is determined. 8. Verfahren nach den Ansprüchen 1 und 2 odor 3 und 4, dadurch gekennzeichnet, daß in dem mindestens oinen Meßzyklus das mindestens eine Bild (19) der ersten Blende (9) in dem mindestens einen Beleuchtungsstrahlengang (1) mit dem mindestens einen Blendenteiluno auf der Oberfläche des Körpers (6) realisiert und in der ersten Messung Licht aus allen Schichten der Teilschichtfolge (24) ermittelt wird, indem mindestens ein Bild (31) einer vierten Blende (3) des mindestens einen Beleuchtungsstrahlenganges (1) und mindestens ein Bild (32) einer fünften Blende (17) des mindestens einen Meßstrahlenganges (11) auf der Oberfläche der Teilschichtfolge (24) mit identischer Geometrie abgebildet werden, in mindestens der einen zweiten Messung Lhht aus dem Teil (27) der Teilschichtfolge (24) ermittelt wird, indem das mindestens eine Bild (31) der vierten Blende (3)mitdem mindestens einen Bild (33) einer sechsten Blende (23) in dem mindestens einen Meßstrahlengang (11) mindestens eine Blendenteilung auf der Oberfläche der Teilschichtfolge (74) realisiert und durch Berechnung Licht der mindestens einen einzelnen Schicht (26) der Teilschichtfolge (24) ermittelt wird.8. The method according to claims 1 and 2 odor 3 and 4, characterized in that in the at least one measuring cycle, the at least one image (19) of the first diaphragm (9) in the at least one illumination beam path (1) with the at least one Blendenteiluno on realized the surface of the body (6) and in the first measurement light from all layers of the sub-layer sequence (24) is determined by at least one image (31) of a fourth aperture (3) of the at least one illumination beam path (1) and at least one image ( 32) of a fifth diaphragm (17) of the at least one measuring beam path (11) on the surface of the partial layer sequence (24) are imaged with identical geometry, is determined in at least one second measurement Lhht from the part (27) of the partial layer sequence (24), in that the at least one image (31) of the fourth diaphragm (3) with the at least one image (33) of a sixth diaphragm (23) in the at least one measuring beam path (11) comprises at least one diaphragm realized on the surface of the sub-layer sequence (74) and determined by calculation light of the at least one single layer (26) of the sub-layer sequence (24). 9. Verfahren nach den Ansprüchen 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß in dem mindestens einen Beleuchtungsstrahlengang (1) kontinuierliches oder impulsförmiges Licht mindestens einer veränderbaren Wellenlänge oder mindestens eines veränderbaren Wellenlängenbereiches verwendet, vorzugsweise eine Abbildung einer kleinen Leuchtfleckgröße auf dem Teil der n. Teilschichtfolge erfolgt und der spektrale Verlauf des Lichtes mindestens einer einzelnen Schicht der n. Teilschichtfolge ermittelt wird.9. The method according to claims 1 to 8, characterized in that in the at least one illumination beam path (1) uses continuous or pulsed light at least one variable wavelength or at least a variable wavelength range, preferably a mapping of a small spot size on the part of n. Teilschichtfolge takes place and the spectral shape of the light is determined at least a single layer of the n. Subschichtfolge. 10. Verfahren nach den Ansprüchen 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß zur Untersuchung des Körpers (0) mit diffus reflektierender Oberfläche der n. Teilschichtfolge vorzugsweise natürliches Licht in dem mindestens einen Beleuchtungsstrahlengang (1) verwendet wird.10. The method according to claims 1 to 9, characterized in that for examining the body (0) with diffusely reflecting surface of the n. Subschichtfolge preferably natural light in the at least one illumination beam path (1) is used. 11. Verfahren nach den Ansprüchen 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß zur Untersuchung des Körpers (6) mit regulär reflektierender Oberfläche der n. Teilschichtfolge Maßnahmen zur Beseitigung des regulär reflektierten Lichtes, vorzugsweise linear polarisiertes Licht und/oder das Prinzip der Aperturblendenteilung und/oder dispersive Elemente (18), (22), angewendet werden.11. The method according to claims 1 to 8, characterized in that for examining the body (6) with regularly reflecting surface of the n. Subschichtfolge measures to eliminate the regular reflected light, preferably linearly polarized light and / or the principle of Aperturblendteilung and / or or dispersive elements (18), (22). 12. Verfahren nach den Ansprüchen 9 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß vor, während oder nach dem Meßzyklus das Licht in dem mindestens einen Beleuchtungsstrahlengang (1) gemessen und zur quantitativen Bestimmung von Lichtanteilen verwendet wird.12. The method according to claims 9 to 11, characterized in that before, during or after the measurement cycle, the light in the at least one illumination beam path (1) is measured and used for the quantitative determination of light components. 13. Verfahren nach den Ansprüchen 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß in dem Meßzyklus gleiche Wellenlängen des Lichtes in dem mindestens einen Beleuchtungsstrahlengang (1) und in dem mindestens einen Meßstrahlengang (11) angewendet, in der ersten Messung das Licht aus allen Schichten der n. Teilschichtfolge, in der zweiten Messung das Licht aus dem Teil der n. Teilschichtfolge ermittelt und durch Quotientenbildung zwischen den Ergebnissen der ersten Messung und dem Licht in dem mindestens einen Beleuchtungsstrahlengang (1) entsprechend der Formel ..13. The method according to claims 1 to 12, characterized in that in the measuring cycle equal wavelengths of light in the at least one illumination beam path (1) and in the at least one measuring beam path (11) applied, in the first measurement, the light from all layers of n. Partial layer sequence, in the second measurement, the light from the part of n. Partial layer sequence determined and by quotient between the results of the first measurement and the light in the at least one illumination beam path (1) according to the formula. Mlml D « ! Ul ID «! ul I 1 01 0 und durch Quotientenbildung zwischen den Ergebnissen der zweiten Messung und dem Licht in dem mindestens einen Beleuchtungssirahlengang (1) entsprechend der Formoland by quotienting between the results of the second measurement and the light in the at least one illumination birefringent (1) corresponding to the formol 0
M2
0
M2
2 02 0 und bei vorteilhafterweise Annahme einer kugelförmigen Streuindikatrix nach der Formeland advantageously assuming a spherical scattering matrix according to the formula Cl - 2<R - R )3
1 2
Cl - 2 <R - R) 3
1 2
die Reflexion des mindestens einen Teils der n. Teilschichtfolge bestimmt wird.the reflection of the at least one part of the nth sub-layer sequence is determined.
14. Verfahren nach den Ansprüchen 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß in dem mindestens einen Meßzyklus durchstimmbares monochromatisches Licht gleicher Wellenlängen in dem mindestens einen Beleuchtungsstrahlengang (1) und in dem mindestens einen Meßstrahlengang (11) angewendet, in der mindestens einen ersten Messung der spektrale Verlauf des Streulichtes aus allen Schichten der n. Teilschichtfolge, in der mindestens einen zweiten Messung der spektrale Verlauf des Streulichtes des Teils der n. Teilschichtfolge ermittelt und durch Differenzbildung zwischen den Ergebnissen der ersten Messungen und den Ergebnissen der zweiten Messungen ein spektraler Verlauf des Streulichtes der einzelnen Schicht der n. Teilschichtfolge ermittelt wird.14. The method according to claims 1 to 12, characterized in that in the at least one measuring cycle tunable monochromatic light of the same wavelengths in the at least one illumination beam path (1) and in the at least one measuring beam path (11) applied in the at least one first measurement of Spectral course of the scattered light from all layers of n. Sub-layer sequence, determined in the at least one second measurement, the spectral shape of the scattered light of the part of the n. Teilschichtfolge and by subtraction between the results of the first measurements and the results of the second measurements, a spectral profile of the scattered light the individual layer of the n. Subschichtfolge is determined. 15. Verfahren nach den Ansprüchen 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß in dem mindestens einen Meßzyklus konstante Wellenlängen des Lichtes in dem mindestens einen Beleuchtungsstrahlengang (1) und mit diesem Licht nicht überlappende Wellenlängenbereiche des Lichtes in dem mindestens einen Meßstrahlengang (11) angewendet, in der mindestens einen ersten Messung der spektrale Verlauf des Fluoreszenzlichtes aus allen Schichten der n. Teilschichtfolge, in der mindestens einen zweiten Messung der spektrale Verlauf des Fluoreszenzlichtes des Teils der n. Teilschichtfolge ermittelt und durch Differenzbildung zwischen den Ergebnissen der ersten Messungen und den Ergebnissen der zweiten Messungen mindestens ein spektraler Verlauf des Fluoreszenzlichtes der einzelnen Schicht der n. Teilschichtfolge ermittelt wird.15. The method according to claims 1 to 12, characterized in that in the at least one measuring cycle constant wavelengths of light in the at least one illumination beam path (1) and non-overlapping with this light wavelength ranges of the light in the at least one Meßstrahlengang (11), in the at least one first measurement of the spectral course of the fluorescent light from all the layers of the n th sub-layer sequence, in which at least one second measurement determines the spectral course of the fluorescent light of the part of the n th sub-layer sequence and by subtraction between the results of the first measurements and the results of second measurements, at least one spectral profile of the fluorescent light of the individual layer of the nth sub-layer sequence is determined. 16. Verfahren nach den Ansprüchen 9 und 14, dadurch gekennzeichnet, daß aus dem in dem ersten Meßzyklus gewonnenen spektralen Verlauf des Lichtes der einzelnen Schicht der n. Teilschichtfolge und aus dem mindestens in einem weiteren Meßzyklus gewonnenen spektralen Verlauf des Streulichtes der einzelnen Schicht der n. Teilschichtfolge durch Differenzbildung der spektrale Verlauf des Fluoreszenzlichtes der einzelnen Schicht der n. Teilschichtfolge ermittelt wird.16. The method according to claims 9 and 14, characterized in that from the obtained in the first measurement cycle spectral shape of the light of the individual layer of n. Sublayer sequence and from the obtained at least in a further measurement cycle spectral curve of the scattered light of the individual layer of the n Partial layer sequence is determined by subtraction of the spectral profile of the fluorescent light of the individual layer of the n-th sub-layer sequence. 17. Verfahren nach den Ansprüchen 9 und 15, dadurch gekennzeichnet, daß aus dem in dem ersten Meßzyklus gewonnenen spektralen Verlauf des Lichtes der einzelnen Schicht der n. Teilschichtfolge und aus dem mindestens in einem weiteren Meßzyklus gewonnenen spektralen Verlauf des Fluoreszenzlichtes der einzelnen Schicht dem. Teilschichtfolge durch Differenzbildung der spektrale Verlauf des Streulichtes der einzelnen Schicht der n. Teilschichtfolge ermittelt wird.17. The method according to claims 9 and 15, characterized in that from the obtained in the first measurement cycle spectral shape of the light of the individual layer of n. Sublayer sequence and from the obtained at least in a further measurement cycle spectral profile of the fluorescent light of the individual layer. Sub-layer sequence by subtraction of the spectral shape of the scattered light of the individual layer of the n. Sub-layer sequence is determined. 18. Anordnung zum getrennten reflektometrischen Erfassen des Lichtes einzelner Schichten eines Körpers mit optisch zugängiger Struktur, unter Verwendung einer Lichtquelle, mindestens eines Empfängers und einer Verarbeitungs- und Steuereinheit, dadurch gekennzeichnet, daß in Beleuchtungsstrahlengängen (1)3n + 1. Blenden und in Meßstrahlengängen (11) 3n + 2. Blenden und/o r3n + 3. Blenden angeordnet sind, wobei die 3η + 2. Blenden so gestaltet sind, daß ihre Bilder iiuf der Oberfläche der n. Teilschichtfolge identisch mit den Bildern der 3 η + 2. Blenden so gestaltet sind, daß ihre Bilder auf der Oberfläche der n. Teilschichtfolge identisch mit den Bildern der3n + I.Blenden sind,die3n + 3. Blenden so gestaltet sind, daß ihre Bilderauf der Oberfläche der n. Teilschichtfolge mit den Bildern der 3 η + 1. Blenden je eine η + 1. Blendenteilungen realisieren und die lichtdurchlässigen Flächen der Bilder der 3 η + 1. Blenden und der Bilder der 3n + 3. Blenden gleich groß sind, und Strahlteiler (10) in den Beleuchtungsstrahlengängen (1) und Meßstrahlengängen (11) angeordnet sind, wobei für η eine natürliche Zahl größer gleich „Null" zugelassen ist.18. An arrangement for separate reflectometric detection of the light of individual layers of a body with optically accessible structure, using a light source, at least one receiver and a processing and control unit, characterized in that in illumination beam paths (1) 3n + 1st aperture and in Meßstrahlengängen (11) 3n + 2. Apertures and / or r3n + 3. Apertures are arranged so that their images on the surface of the n th sub-layer sequence are identical to the images of 3 η + 2. Apertures are designed in such a way that their images on the surface of the nth sub-layer sequence are identical to the images of the 3n + 1 blends, the 3n + 3. apertures are designed in such a way that their images on the surface of the nth sub-layer sequence match the images of the 3 η + 1. Fades each one η + 1. Realize aperture divisions and the translucent areas of the images of the 3 η + 1st f-stops and the images of the 3n + 3rd f-stops equal to si nd, and beam splitters (10) in the illumination beam paths (1) and measuring beam paths (11) are arranged, wherein for η a natural number greater than or equal to "zero" is allowed. 19. Anordnung nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, daß in den Meßstrahlengängen (11) die 3n + 2. Blenden und die 3n + 3. Blenden wechselbar angeordnet sind.19. The arrangement according to claim 18, characterized in that in the measuring beam paths (11), the 3n + 2nd aperture and the 3n + 3rd aperture are arranged changeable. 20. Anordnung nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, daß in jeweils einem ersten Meßstrahlengang (11) die 3n + 2. Blende und in jeweils einem zweiten Meßstrahlengang (11) die 3n + 3. Blende angeordnet ist.20. The arrangement according to claim 18, characterized in that in each case a first measuring beam path (11), the 3n + 2nd aperture and in each case a second measuring beam path (11), the 3n + 3rd aperture is arranged. 21. Anordnung nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, daß 3(m - 1) + I.Blenden in den Beleuchtungsstrahlengängen (1) und 3(m - 1) + 3. Blenden in den Meßstrahlengängen (11) angeordnet sind, wobei die 3(m - 1) + 3. Blenden so gestaltet sind, daß ihre Bilder auf der Oberfläche der m - 1. Teilschichtfolge mit den Bildern der 3(m - 1) + 1. Blenden m-fach P.endenteilungen realisieren und vorteilhafterweise die lichtdurchlässigen Flächen der Bilder der 3(m - 1) + I.Blenden und der Bilder der 3(m - 1) + 3. Blenden gleich groß sind und m wahlweise die Werte von 1 bis η annimmt.21. The arrangement according to claim 18, characterized in that 3 (m - 1) + I.Blenden in the illumination beam paths (1) and 3 (m - 1) + 3. Apertures in the Meßstrahlengängen (11) are arranged, wherein the 3 (m - 1) + 3. Apertures are designed in such a way that their images on the surface of the m - 1st sub-layer sequence with the images of the 3 (m - 1) + 1st diaphragms realize m-fold P.divisions and, advantageously, the translucent ones Surfaces of the images of the 3 (m - 1) + I blends and the images of the 3 (m - 1) + 3. apertures are the same size and m optionally assumes the values from 1 to η. 12. Anordnung nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, daß die 3(m - 1) + I.Blenden in den Beleuchtungsstrahlengängen (1) und/oder die 3(m - 1) + 3. Blenden in den Meßstrahlengängen (11) wechselbar angeordnet sind.12. The arrangement according to claim 21, characterized in that the 3 (m - 1) + I.Blenden in the illumination beam paths (1) and / or the 3 (m - 1) + 3. diaphragms in the Meßstrahlengängen (11) arranged changeable are. 23. Anordnung nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, daß in jeweils einem Beleuchtungsstrahlengang (Deine verschiedene 3(m - 1) + 1. Blende und in jeweils einem Meßstrahlengang (11) eine verschiedene 3(m - 1) + 3. Blende angeordnet sind.23. Arrangement according to claim 21, characterized in that in each case one illumination beam path (your different 3 (m - 1) + 1st aperture and in each case a measuring beam path (11) a different 3 (m - 1) + 3rd aperture are arranged , 24. Anordnung nach den Ansprüchen 18 und 19, dadurch gekennzeichnet, daß in dem mindestens einen Beleuchtungsstrahlengang (1) mindestens eine erste Blende (9) angeordnet ist und in dem mindestens einen Meßstrahlengang (11) mindestens eine zweite Blende (13) und mindestens eine dritte Blende (14) wechselbar angeordnet sind, wobei die mindestens eine zweite Blende (13) so gestaltet ist, daß ihr Bild (20) auf der Oberfläche des Körpers (6) identisch mit dem Bild (19) der mindestens einen ersten Blende (9) ist, die mindestens eine dritte Blende (14) so gestaltet ist, daß ihr Bild (21) auf der Oberfläche des Körpers (6) mit dem Bild (19) der mindestens einen ersten Blende (9) eine Blendenteilung realisiert und die lichtdurchlässigen Flächen des Bildes (19) der mindestens einen ersten Blende (9) und des Bildes (21) der mindestens einen dritten Blende (14) auf der Oberfläche des Körpers (6) gleich groß sind, und mindestens ein Strahlteiler (10) in dem mindestens einen Beleuchtungsstrahlengang (1) und in dem mindestens einen Meßstrahlengang (11) angeordnet ist.24. Arrangement according to claims 18 and 19, characterized in that in the at least one illumination beam path (1) at least a first diaphragm (9) is arranged and in the at least one Meßstrahlengang (11) at least a second diaphragm (13) and at least one third aperture (14) are arranged changeable, wherein the at least one second diaphragm (13) is designed so that its image (20) on the surface of the body (6) identical to the image (19) of the at least one first diaphragm (9 ), the at least one third diaphragm (14) is designed such that its image (21) on the surface of the body (6) with the image (19) of the at least one first diaphragm (9) realizes a diaphragm division and the light-transmissive surfaces the image (19) of the at least one first diaphragm (9) and the image (21) of the at least one third diaphragm (14) on the surface of the body (6) are of equal size, and at least one beam splitter (10) in the at least one Beleuchtun gsstrahlengang (1) and in the at least one measuring beam path (11) is arranged. 25. Anordnung nach den Ansprüchen 18 und 20, dadurch gekennzeichnet, daß in dem mindestens einen Beleuchtungsstrahlengang (1) die mindestens eine erste Blende (9), in dem mindestens einen ersten Meßstrahlengang (11) die mindestens eine zweite Blende (13) und in dem mindestens einen zweiten Meßstrahlengang (11) die mindestens eine dritte Blende (14) angeordnet sind, wobei die mindestens eine zweite Blende (13) so gestaltet ist, daß ihr Bild (20) auf der Oberfläche des Körpers (6) identisch mit dem Bild (19) der mindestens einen ersten Blende (9) ist, die mindestens eine dritte Blende (14) so gestaltet ist, daß ihr Bi d (21) auf der Oberfläche des Körpers (6) mit dem Bild (19) der mindestens einen ersten Blende (9) eine Blendenteilung realisiert und die lichtdurchlässigen Flächen des Bildes (19) der mindestens einen ersten Blende (9) und des Bildes (21) der mindestens einen dritten Blende (14) auf der Oberfläche des Körpers (6) gleich groß sind, und Strahlteiler (10) in dem mindestens einen Beleuchtungsstrahtengang (1) und dem mindestens einen Meßstrahlengang (11) angeordnet sind.25. Arrangement according to claims 18 and 20, characterized in that in the at least one illumination beam path (1) the at least one first diaphragm (9), in the at least one first measuring beam path (11), the at least one second diaphragm (13) and in the at least one second measuring beam path (11), the at least one third diaphragm (14) are arranged, wherein the at least one second diaphragm (13) is designed so that their image (20) on the surface of the body (6) identical to the image (19) is the at least one first panel (9), the at least one third panel (14) is designed so that their Bi d (21) on the surface of the body (6) with the image (19) of the at least one first Aperture (9) realizes an aperture pitch and the translucent areas of the image (19) of the at least one first aperture (9) and the image (21) of the at least one third aperture (14) on the surface of the body (6) are the same size, and beam splitter (10) in de m at least one illumination beam path (1) and the at least one measuring beam path (11) are arranged. 26. Anordnung nach den Ansprüchen 19 und 21, dadurch gekennzeichnet, daß die mindestens eine erste Blende (9) in dem mindestens einen Beleuchtungsstrahlengang (1) und die mindestens eine dritte Blende (14) in dem mindestens einen Meßstrahlengang (11) angeordnet sind, und in deri. mindestens einen Beleuchtungsstrahlengang (1) mindestens eine vierte Blende (3) angeordnet ist und in dem mindestens einen Meßstrahlengang (11) mindestens eine fünfte Blende (17) und mindestens eine sechste Blende (23) wechselbar angeordnet sind, wobei die mindestens eine fünfte Blende (17) so gestaltet ist, daß ihr Bild (32) auf der Oberfläche der Teilschichtfolge (24) identisch mit dem Bild (31) der mindestens einen vierten Blende (3) auf der Oberfläche der Teilschichtfolge (24) ist, die mindestens eine sechste Blende (23) so gestaltet ist, daß ihr Bild (33) auf der Oberfläche der Teilschichtfolge (24) mit dem Bild (31) der mindestens einen vierten Blende (31) auf der Oberfläche der Teilschichtfolge (24) eine Blendenteilung realisiert und die lichtdurchlässigen Flächen des Bildes (31) der mindestens einen vierten Blende (3) und des Bildes (33) der mindestens einen sechsten Blende (23)auf der Oberfläche derTeilschichtfolge (24) gleich groß sind, und mindestens ein Strahlteiler (10) in dem mindestens einen Beleuchtungsstrahlengang (1) und in dem mindestens einen Meßstrahlengang (11) angeordnet ist.26. Arrangement according to claims 19 and 21, characterized in that the at least one first diaphragm (9) in the at least one illumination beam path (1) and the at least one third diaphragm (14) in the at least one measuring beam path (11) are arranged, and in de r i. at least one illumination beam path (1) at least one fourth diaphragm (3) is arranged and in which at least one measuring beam path (11) at least a fifth diaphragm (17) and at least one sixth diaphragm (23) are arranged exchangeably, wherein the at least one fifth diaphragm ( 17) is designed so that its image (32) on the surface of the sub-layer sequence (24) is identical to the image (31) of the at least one fourth aperture (3) on the surface of the sub-layer sequence (24), the at least one sixth aperture (23) is designed such that its image (33) on the surface of the sub-layer sequence (24) with the image (31) of the at least one fourth diaphragm (31) on the surface of the sub-layer sequence (24) realizes a diaphragm division and the light-transmissive surfaces of the image (31) of the at least one fourth diaphragm (3) and of the image (33) of the at least one sixth diaphragm (23) on the surface of the sub-layer sequence (24) are of equal size and at least one beam Eiler (10) in the at least one illumination beam path (1) and in the at least one Meßstrahlengang (11) is arranged. 27. Anordnung nach den Ansprüchen 20 und 21, dadurch gekennzeichnet, daß die mindestens eine erste Blende (9) in dem mindestens einen Beleuchtungsstrahlengang (11) und die mindestens eine dritte Blende (14) in dem mindestens einen Meßstrahlengang (11) angeordnet ist, und in dem mindestens einen Beleuchtungsstrahlengang (1) die mindestens eine vierte Blende (3), in dem27. Arrangement according to claims 20 and 21, characterized in that the at least one first diaphragm (9) in the at least one illumination beam path (11) and the at least one third diaphragm (14) in the at least one measuring beam path (11) is arranged, and in the at least one illumination beam path (1) the at least one fourth diaphragm (3), in which mindestens einen ersten Meßstrahlengang (11) die mindestens eine fünfte Blende (17) und in dem mindestens einen zweiten Meßstrahlengang (11) die mindestens eine sechste Blende (23) angeordnet ist, wobei din r "idbolens eine fünfte Blende (17) so gestaltet ist, daß ihr Bild (32) auf der Oberfläche der Teilschichtfolge (24) identisch mit dem Bild (31) der mindestens einen vierten Blende (3) auf derOberfläche der Teilschichtfolge (24) ist, die mindestens eine sechste Blende (23) so gestaltet ist, daß ihr Bild (33) auf der Oberfläche der Teilschichtfolge (24) mit dem Bild (31) der mindestens einen vierten Blende (3) auf der Oberfläche der Teilschichtfolge (24) eine Blendenteilung realisiert und die lichtdurchlässigen Flächen des Bildes (31) der mindestens einen vierten Blende (3) und des Bildes (33) der mindestens einen sechsten Blende (23) auf der Oberfläche der Teilschichtfolge (24) gleich groß sind, und je ein Strahlteiler (10) in dem mindestens einen Beleuchtungsstrahlennang (1) und in dem mindestens einen Meßstrahlengang (11) angeordnet ist.at least one first measuring beam path (11) the at least one fifth diaphragm (17) and in the at least one second measuring beam path (11) the at least one sixth diaphragm (23) is arranged, wherein din r 'idbolens a fifth diaphragm (17) is designed in that its image (32) on the surface of the sub-layer sequence (24) is identical to the image (31) of the at least one fourth aperture (3) on the surface of the sub-layer sequence (24), the at least one sixth aperture (23) being so configured in that its image (33) realizes an aperture division on the surface of the sub-layer sequence (24) with the image (31) of the at least one fourth diaphragm (3) on the surface of the sub-layer sequence (24) and the light-permeable surfaces of the image (31) at least one fourth diaphragm (3) and the image (33) of the at least one sixth diaphragm (23) on the surface of the sub-layer sequence (24) are of equal size, and one each beam splitter (10) in the at least one illumination beam ang (1) and in which at least one measuring beam path (11) is arranged. 28. Anordnung nach den Ansprüchen 18 und 21, dadurch gekennzeichnet, daß die Blenden (3), (9), (13), (14), (17), (23) entlang der optischen Achse verschiebbar angeordnet sind und/oder die radialen Abstände der Konturen der Blenden (3), (9), (13), (14) (17), (23) von der optischen Achse, vorzugsweise der mindestens einen 3η + 3. Blende, veränderbar sind.28. Arrangement according to claims 18 and 21, characterized in that the diaphragms (3), (9), (13), (14), (17), (23) are arranged displaceably along the optical axis and / or the Radial distances of the contours of the diaphragm (3), (9), (13), (14) (17), (23) from the optical axis, preferably the at least one 3η + 3. diaphragm, are variable. 29. Anordnung nach den Ansprüchen 18 und 21, dadurch gekennzeichnet, daß die mindestens eine 3n + 1. Blende in dem mindestens einen Beleuchtungsstrahlengang (1) so gestaltet ist, daß ihr Bild auf der regulär reflektierenden Oberfläche der n. Teilschichtfolge und vorzugsweise die mindestens eine 3(m - 1) + I.Blende in dem mindestens einen Beleuchtungsstrahlengang (1)so gestaltet ist, daß ihr mindestens eine Bild auf der mindestens einen regulär reflektierenden Oberfläche der m - 1. Teilschichtfolge den Linien gleicher Depolarisator! entsprechen.29. Arrangement according to claims 18 and 21, characterized in that the at least one 3n + 1st aperture in the at least one illumination beam path (1) is designed so that their image on the regularly reflecting surface of the n. Teilschichtfolge and preferably at least a 3 (m - 1) + I diaphragm in the at least one illumination beam path (1) is designed in such a way that its at least one image on the at least one regularly reflecting surface of the m - 1 partial layer sequence corresponds to the lines of the same depolarizer! correspond. 30. Anordnung nach Anspruch 29, dadurch gekennzeichnet, daß für den Körper (6) mit kugelförmiger Gestalt und regulär reflektierender Oberfläche vorzugsweise die mindestens eine 3 η + 1. Blende und/oder die mindestens eine 3(m - 1) + 1. Blende so gestaltet sind, daß sie für Strahlen in einer Umgebung der optischen Achse und in einem Bereich mit den Azimuten 0 Grad und 90 Grad lichtdurchlässig, für Strahlen außerhalb des Bereiches lichtundurchlässig sind, und die mindestens eine 3n + 3. Blende und/oder die mindestens eine 3(m - 1) + 3. Blende so gestaltet sind, daß sie für Strahlen in einer Umgebung der optischen Achse und in einem Bereich mit den Azimuten 0 Grad und 90 Grad lichtundurchlässig, für Strahlen außerhalb des Bereiches lichtdurchlässig sind und die lichtdurchlässige Fläche der Blendenbilder gleich groß sind.30. An arrangement according to claim 29, characterized in that for the body (6) having a spherical shape and regularly reflecting surface, preferably the at least one 3 η + 1st aperture and / or the at least one 3 (m - 1) + 1st aperture are designed to be translucent for rays in an environment of the optical axis and in a region having the azimuths 0 degrees and 90 degrees, opaque to rays outside the region, and the at least one 3n + 3. aperture and / or the at least a 3 (m-1) + 3. aperture are designed to be opaque to rays in an environment of the optical axis and in an azimuth 0 degree and 90 degree range, to be transparent to out-of-range rays, and to the light transmissive surface the aperture images are the same size. 31. Anordnung nach den Ansprüchen 18,25,26 und 27, dadurch gekennzeichnet, daß in dem mindestens einen Beleuchtungsstrahlengang (1) ein erstes dispersives Element (18) und/oder in dem mindestens einen Meßstrahlengang (11) ein zweites dispersives Element (21), vorzugsweise Monochromatoren mit holographischem Gitter oder Filter verschiedener spektraler Durchlaßbereiche oder Polychromatoren, wahlweise angeordnet sind.'31. The arrangement according to claims 18,25,26 and 27, characterized in that in the at least one illumination beam path (1) a first dispersive element (18) and / or in the at least one measuring beam path (11), a second dispersive element (21 ), preferably monochromators with a holographic grating or filters of different spectral transmission ranges or polychromators, are optionally arranged. 32. Anordnung nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, daß bei regulär reflektierenden Oberflächen als Strahlteiler (10) ein Polarisationsprisma, vorzugsweise ein Glan-Thompson-Prisma (29) mit Zusatzprismen (7), angeordnet ist.32. Arrangement according to claim 18, characterized in that in regularly reflecting surfaces as a beam splitter (10) a polarization prism, preferably a Glan-Thompson prism (29) with additional prisms (7), is arranged.
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WO2006021206A1 (en) 2004-08-26 2006-03-02 Friedrich-Schiller- Universität Jena Method and device for the separation and precise determination of the locally active fluorophore of an object

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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