DD280850A1 - Anordnung zur hochgenauen Positionierung ebener Objekte - Google Patents

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Anordnung zur hochgenauen Positionierung ebener Objekte. Mit der Anordnung wird ein Mittel zur hochgenauen Positionierung ebener Objekte, insbesondere Halbleiterscheiben und Schablonen fuer einen Praezisionskoordinatentisch in zweidimensionalen Mess- und Bearbeitungsgeraeten mit Laser-Wegmesssystemen geschaffen. Die Anordnung besteht aus einer Tischplatte, einem Objekthalter und zwei orthogonal angeordneten Spiegelstreifen, wobei fuer die Aufnahme des Objekthalters und der Spiegelstreifen eine L-foermige Haltevorrichtung an ihrem Scheitelpunkt und jeweils an ihren Schenkeln mechanisch mit der Tischplatte verbunden ist. Dabei ist die Verbindung im Scheitel starr fixiert, an einem der Schenkel in Richtung der einen Koordinate und am zweiten Schenkel in Richtung beider Koordinaten elastisch ausgefuehrt. Das bewirkt, dass elastische Biegeverformungen ausgeglichen werden und damit Abstandsaenderungen zwischen Spiegelstreifen und Objekthalter vermieden werden. Fig. 1

Description

bestehen, daß bei der in Richtung der einen Koordinate elastisch ausgeführten Verbindung seitlich vom Sitz des

Verbindungselementes in der Haltervorrichtung Schlitze zur Querschnittsschwächung eingefräst und daß bei der in Richtung

beider Koordinaten elastisch ausgeführten Verbindung konzentrisch zum Sitz des Verbindungselementes in der

Haltevorrichtung ein kreisrunder Einstich zur Querschnittsschwächung eingearbeitet ist. Die Vorteile der erfindungsgemäßen Lösung bestehen darin,

·- daß horizontal wirken,Ό Kräfte odor Biegemomente der Tischplatte ausgeglichen werden,

- daß damit der Abstand zwischen Objekt und Spiegelstreifensys'ern konstant bleibt,

- daß diesbezüglich Korrekturen während des Meß- oder Bearbeitungsvorganges nahezu ausgeschlossen werden.

Ausführungsbeispiel

Im folgenden soll die Erfindung anhand eines Ausführungsbeispieles näher erläutert werden

In den dazugehörigen Zeichnungen zeigen

Fig. 1: die Prinzipdarstellung Fig. 2 und 3: Schnittdarstellungen von Einzelheiten.

Auf einer Tischplatte 4 sind ein Objekthalter 1 und zwei orthogonal angeordnete Spiegelstreifen 2 zur Reflexion der Meßstrahlen nicht dargestellter Laser-Wegmeßsysteme angebracht. Dabei sind Objekthalter 1 und Spiegelstreifen 2 über eine L-förmige Haltevorrichtung 3 an ihrem Scheitelpunkt und jsweils an ihren Schenkeln mechanisch mit der Tischplatte verbunden, wobei die Verbindung an einem der Schenkel in Richtung einer Koordinate und em zweiton Schenkel in Richtung beider Koordinaten elastisch zur Tischplatte 4 ausgeführt ist. Das wird dadurch erreicht, daß seitlich vom Sitz eines Verbindungselemer.'.es 5 in der Haltevorrichtung 3 Schlitze 6 zur üuerschnittsschwächung eingefräst und konzentrisch zum Sitz des anderen Verbindungselementes 7 in der Haltevorrichtung 3 ein kreisrunder Einstich 8 zur Querschnittsschwächung eingearbeitet ist, so daß eine elastische Wirkung in Richtung beider Koordinaten erzielt wird.

Mit dieser Lösung wird eine Anordnung zur hochgenauen Positionierung ebener Objekte, insbesondere Halbleiterscheiben und Schablonen für einen Präzisionskoordinatentisch in zweidimensionalen Meß- und Bearbeitungsgeräten mit Laser-Wegmeßsystem geschaffen, die elastische Biegeverformungen der Tischplatte ausgleicht und die die Erzeugung, Vermessung oder Kontrolle von Mikrostrukturen ohne Korrekturen während des Bearboitungs- oder Meßvorganges gewährleistet.

Claims (3)

1. Anordnung zur hochgenauen Positionierung ebener Objekte, bestehend aus einer Grundplatte und einer auf Kugeln gelagerten Tischplatte, einem Objekthalter und zwei orthogonal angeordneten Spiegelstreifen zur Reflexion der Meßstrahlen von Laser-Wegmeßsystemen, gekennzeichnet dadurch, daß für die Aufnahme des Objekthalters (1) und der Spiegelstreifen (2) eine L-förmige Haltevorrichtung (3) an ihrem Scheitelpunkt und jeweils an ihrem Schenkeln mechanisch mit der Tischplatte (4) verbunden ist, wobei die Verbindung im Scheitel starr fixiert ist, an einem der Schenkel in Richtung dereinen Koordinate und am zweiten Schenkel in Richtung beider Koordinaten elastisch zur Tischplatte (4) ausgeführt ist.

2. Anordnung nach Anspruch 1, gekennzeichnet dadurch, daß bei der in Richtung dereinen Koordinate elastisch ausgeführten Verbindung seitlich vom Sitz des Verbindungselementes (5) in der Haltevorrichtung (3) Schlitze (6) zur Querschnittsschwächung eingefräst sind.

3. Anordnung nach Anspruch 1, gekennzeichnet dadurch, daß bei der in Richtung beider Koordinaten elastisch ausgeführten Verbindung konzentrisch zum Sitz des Verbindungselementes (7) in der Haltevorrichtung (3) ein kreisrunder Einstich (8) zur Querschnittsschwächung eingearbeitet ist.

Hierzu 2 Seiten Zeichnungen

Anwendungsgebiet dor Erfindung

Die Erfindung betrifft eine Anordnung zur hochgenauen Positionierung ebener Objekte, insbesondere Halbleiterscheiben und Schablonen für einen Präzisionskoordinatentisch in zweidimensionalen Meß- und Bearbeitungsgeräten mit Laser-Wegmeßsyste - und ist insbesondere für den Einsatz in der Mikroelektronik geeignet.

Charakteristik des bekannten Standes der Technik

Aus der Fach- und Patentliteratur sind Anordnungen zur Positionierung ebener Objekte für Präzisionskoordinatentische mit Laser-Wegmeßsystemen der Art bekannt, daß sie eine über Kugeln auf einer Grundplatte rollende Führungsplatte besitzen. Auf der Führungsplatte befinden sich der Objektträger und hochebene Spiegelstreifen, an denen die Meßstrahlen der Laser-Wegmeßsysteme reflektiert werden. Problematisch an diesen Lösungen ist, daß die Führungsplatte bei ihrer relativen Bewegung zu den sie stützenden Kugeln durch die Massen des Objektträgers und der Spiegelstreifen sowie durch ihre Eigenmasse elastischen Biegeverformungen unterliegt. Es verändert sich der Abstand zwischen Objekt und Spiegeln unkontrollierbar, was sich als Meßfehler darstellt und weitreichende Korrekturen während des Meß- oder Bearbeitungsvorganges erfordert. In der PS DD 261866 wird eine Anordnung zur Positionierung ebener Objekte für Präzisionskoordinatentische aufgezeigt, die ebenfalls eine über Kugeln zur Grundplatte gelagerten Führungsplatte besitzt. Objektträger und Spiegelstreifen sind auf einer Zwischenplatte ar geordnet, die sich auf der Führungsplatte über /orzugsweise drei Kugeln abstützt. Die Übertragung horizontal wirkender Kräfte oder Biegemomente von der Führungs- auf die Zwischenplatte wird zwar eingeschränkt, jedoch treten auch hier noch o.g. Biegeverformung und die damit verbundenen Meßfehler und daraus resultierenden notwendigen Korrekturen des Abstandes zwischen Objekt und Spiegel auf. Außerdem ist die Masse der Zwischenplatte, die aus Stabilitätsgründen groß sein muß, bezüglich der Positionierbarkeit nachteilig.

Ziel der Erfindung

Ziel der Erfindung ist eine Anordnung zur hochgenauen Positionierung ebener Objekte, die bei einem unkomplizierten Aufbau und einem geringen Bauvolumen und Masse die Erzeugung, Vermessung oder Kontrolle von Mikrostrukturen ohne Korrekturen während des Bearbeitungs- und Müßvorganges gewährleisten.

Darlegung des Wesens der Erfindung

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Anordnung zur hochgenauen Positionierung ebener Objekte für Präzisions· Koordinatentische mit Laser-Wegmeßsystemen zu schaffen, welche elastische Biegoverformungen der Tischplatte ausgleicht bei gleichzeitiger Reduzierung der zu bewegenden Masse. Erfindungsgemäß wird die Aufgabe für die Anordnung zur hochgenauen Positionierung eboner Objekte, bestehend aus einer Grundplatte und einer auf Kugeln gelagerten Tischplatte, einem Objekthalter und zwei orthogonal angeordneten Spiegelstreifen zur Reflexion der Meßstrahlen von Laser-Wegmeßsystemen, dadurch gelöst, daß für die Aufnahme des Objekthalters und der Spiegelstreifen eine L-förrnige Haltevorrichtung an ihrem Scheitelpunkt und jeweils an ihren Schenkel mechanisch mit der Tischplatte verbunden ist, wobei die Verbindung im Scheitel starr fixiert, an einem der Schenkel in Richtung der einen Koordinate und am zweiten Schenkel in Richtung beider Koordinaten elastisch zur Tischplatte ausgeführt ist. Günstige Ausgestaltungen der Lösung können darin