Claims (4)
Patentansprüche:claims:
1. Einrichtung zum Bedampfen von Draht, bestehend aus einem elektronenstrahlbeheizten Verdampfertiegel, mit seitlich darüber angeordneten Umlenkrollen, dadurch gekennzeichnet, daß der zu bedampfende Draht (4) in mehreren Windungen in geringem Abstand zwischeneinander um die Umlenkrollen (2) geführt ist und daß in den Umlenkrollen (2) Rillen (5) eingearbeitet sind.1. A device for steaming wire, consisting of an electron beam heated evaporator crucible, with laterally disposed over pulleys, characterized in that the steamed wire (4) is guided in several turns at a small distance between each other around the pulleys (2) and in that Pulleys (2) grooves (5) are incorporated.
2. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Draht (4) gegenläufig über die Umlenkrollen (2) im Verdampfungsbereich kreuzend geführt ist.2. Device according to claim 1, characterized in that the wire (4) is guided in opposite directions over the deflection rollers (2) in the evaporation region crossing.
3. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß vor der einlaufenden Umienkrolle (2) eine um die Drahtachse rotierende Abwickelvorrichtung (6) angeordnet ist.3. Device according to claim 1, characterized in that in front of the incoming Umienkrolle (2) is arranged a rotating around the wire axis unwinding device (6).
4. Einrichtung nach Anspruch 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Umlenkrollen (2) in mehrere gegeneinander verdrehbare Einzelrollen unterteilt sind.4. Device according to claim 1 to 3, characterized in that the deflection rollers (2) are divided into a plurality of mutually rotatable individual roles.
Hierzu 2 Seiten ZeichnungenFor this 2 pages drawings
Anwendungsgebiet der ErfindungField of application of the invention
Die Einrichtung dient der allseitigen Beschichtung von Draht mit Hilfe der Vakuumbedampfung.The device serves for the all-round coating of wire by means of vacuum evaporation.
Charakteristik der bekannten technischen LösungenCharacteristic of the known technical solutions
Im allgemeinen erfolgt die Beschichtung von Draht durch Tauchen oder Galvanisieren. Das Beschichten durch Vakuumbedampfung ist prinzipiell möglich, aber wird aus ökonomischen Gründen nur im Labormaßstab praktiziert. Die geringe Kondensationsfläche der Drahtoberfläche relativ zur Ausdehnung des dampferfüllten Raumes über dem Verdampfertiegel und der damit verbundene geringe Ausnutzungsgrad des Dampfstromes ist Ursache, daß eine Bedampfung von Draht im großtechnischen Maßstab bisher nicht durchgeführt wird. Es sind auch Versuche bekannt, den Draht durch Sputtern mittels Rohrplasmatron zu beschichten, aber auch hier ist der energetische Wirkungsgrad zu gering, vor allem bezüglich der Produktivität.In general, the coating of wire is done by dipping or electroplating. The coating by vacuum evaporation is possible in principle, but is practiced for economic reasons only on a laboratory scale. The low condensation surface of the wire surface relative to the expansion of the steam-filled space above the evaporator crucible and the associated low degree of utilization of the vapor stream is the cause that a vapor deposition of wire on an industrial scale has not been performed. There are also known attempts to coat the wire by sputtering by Rohrplasmatron, but also here the energy efficiency is too low, especially in terms of productivity.
Ziel der ErfindungObject of the invention
Es ist eine Einrichtung mit hohem ökonmischem und energetischem Wirkungsgrad bei hoher Qualität der Schicht zu schaffen. Die Einrichtung soll apparativ keinen höheren Aufwand gegenüber anderen Durchlaufanlagen erfordern.It is a device with high economic and energy efficiency with high quality of the layer to create. The device should not require a higher outlay on equipment compared to other continuous systems.
Darlegung des Wesens der ErfindungExplanation of the essence of the invention
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Einrichtung zu schaffen, die mit hohem Dampfausnutzungsgrad Draht allseitig im Vakuum bedampft. Die übliche Grundkonzeption von kontinuierlich arbeitenden Durchlaufanlagen, wie sie bei der Bandbedampfung üblich ist, soll beibehalten werden.The invention has for its object to provide a device which steamed with high steam utilization wire on all sides in a vacuum. The usual basic concept of continuously operating continuous systems, as is customary in strip evaporation, should be maintained.
Erfindungsgemäß wird die Aufgabe mit einer Bedampfungseinrichtung, bestehend aus einem mit Elektronenstrahl beheizten Verdampfertiegel und zu beiden Seiten außerhalb des Verdampfungsbereiches angeordneten Umlenkrollen, dadurch gelöst, daß der zu bedampjfende Draht in mehreren Windungen eng aneinander die Umlenkrollen umschlingt und damit mehrmals durch die Dampfwolke über'den Verdampfer geführt wird. Die Rollen sind dabei zur besseren Drahtführung mit Rillen versehen. Zur besseren allseitigen Bedampfung sind die einzelnen Windungen bzw. Strecken des Drahtes zwischen den Umlenkrollen gekreuzt, d. h. gegenläufig geführt. Es ist auch möglich, zur besseren allseitigen Beschichtung hinter der einlaufenden Rolle eine um die Achse des Drahtes sich drehende Abwickelvorrichtung anzuordnen, die den Draht ständig axial verdrillt. Weiterhin ist es vorteilhaft, die Umlenkrollen in mehrere separate Rollen, die gegeneinander verdrehbar sind, zu unterteilen, um die Längsdehnung, die bei der Erwärmung im Verdampfungsbereich eintritt, anzugleichen.According to the invention the object is achieved with a vapor deposition, consisting of a heated with electron beam evaporator crucible and on both sides outside the evaporation region deflection rollers, achieved in that the bedampjfende wire in several turns tightly entwined around the pulleys and thus über'den several times through the cloud of steam Evaporator is performed. The rollers are provided for better wire guidance with grooves. For better all-round vapor deposition the individual turns or stretches of the wire are crossed between the pulleys, d. H. led in opposite directions. It is also possible to arrange for better all-round coating behind the incoming role of a rotating around the axis of the wire unwinding device, which constantly twists the wire axially. Furthermore, it is advantageous to divide the guide rollers into a plurality of separate rollers, which are rotatable relative to one another, in order to equalize the longitudinal expansion which occurs during the heating in the evaporation zone.
AusführungsbeispieiAusführungsbeispiei
In den zugehörigen Zeichnungen zeigen:In the accompanying drawings show:
Fig. 1: eine Einrichtung mit gegenläufiger Drahtführung
Fig. 2: eine Einrichtung mit gleichläufiger Drahtführung.Fig. 1: a device with opposite wire guide
2 shows a device with corotating wire guide.