DD216839A3 - HIGHLY CORROSION-RESISTANT REFLECTION LAYER SYSTEM ON SUBSTRATES - Google Patents
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Abstract
Die Erfindung betrifft hochkorrosionsbestaendige Reflexionsschichtsysteme auf Substraten, insbesondere auf Glas oder glasaehnlichen Substraten. Beispielsweise werden die mit den Reflexionsschichtsystemen versehenen Substraten als Spiegel in der Moebelindustrie, im Haushalt, im Verkehrswesen, im wissenschaftlichen Apparatebau oder als teildurchlaessige Spiegel angewendet. Aufgabe der Erfindung ist es, ein hochkorrosionsbestaendiges Reflexionsschichtsystem zu schaffen unter Beibehaltung des Reflexionsgrades. Erfindungsgemaess besteht das Reflexionsschichtsystem aus einer durch DC-Plasmatronsputtern in Vakuumfolge aufgebrachten Reflexionsschicht aus Al oder Cu oder Zn sowie Cu und Zn oder Sn und einer duennen Metallschicht aus Ti.The invention relates to highly corrosion-resistant reflection layer systems on substrates, in particular on glass or glass-like substrates. For example, the substrates provided with the reflective layer systems are used as mirrors in the furniture industry, in the household, in transportation, in scientific apparatus engineering or as partially transparent mirrors. The object of the invention is to provide a highly corrosion-resistant reflection layer system while maintaining the reflectance. According to the invention, the reflective layer system consists of a reflection layer of Al or Cu or Zn and Cu and Zn or Sn deposited by DC-Plasmatron sputtering in vacuum sequence and a thin metal layer of Ti.
Description
Internes Az.: 1/1 βInternal Az .: 1/1 β
Hochkorrosionsbeständiges Reflexions sciiicht syst em auf SubstratenHigh corrosion resistant reflection scans syst em on substrates
Die Erfindung'betrifft hochkorrosionsbeständige Reflexionsschicht sy steine auf Glas oder glasähnlichen Substraten. Die mit den Reflexionsschichtsystemen versehenen Substrate werden z. B. als Spiegel in der Möbelindustrie, im Haushalt, im Verkehrswesen, im 'wissenschaftlichen Apparatebau oder als teildurchlässige Spiegel angewendet.The invention relates to highly corrosion-resistant reflection layer sy stones on glass or glass-like substrates. The provided with the reflective layer systems substrates are z. B. as a mirror in the furniture industry, in the household, in transportation, in the 'scientific apparatus construction or as partially transmissive mirror applied.
Charakteristik der bekannten technischen LösungenCharacteristic of the known technical solutions
Es ist bekannt, daß metallische Reflexionsschichten mit oder ohne Selbstpassivierungseigenschaften durch Aufbringen einer . weiteren dünnen Metallschicht und/oder einer organischen Polymerschicht, die auch aus mehreren Schichten bestehen kann, vor Korrosion geschützt werden,'Die Wirksamkeit dieses Schutzes ist u. a* von der Dicke, der Dichtigkeit und Porigkeit dieser Schichten sowie der Haftfestigkeit der dünnen Metallschicht an der Reflexionsschicht bzw, der Haftfestigkeit der organischen Polymerschicht an der dünnen Metallschicht abhängig. Da dieIt is known that metallic reflective layers with or without self-passivation properties by applying a. another thin metal layer and / or an organic polymer layer, which may also consist of several layers, are protected against corrosion, 'The effectiveness of this S c hutzes u. a * depends on the thickness, the impermeability and the porosity of these layers as well as the adhesion of the thin metal layer to the reflective layer or the adhesion of the organic polymer layer to the thin metal layer. Because the
11 MQV. 1983*1 '11 MQV. 1983 * 1 '
.' * ' ' . . ..·' 2 . ' * ' '. , .. 2
Schutzwirkung der dünnen Metallschicht gegenüber der Reflexionsschicht vorrangig durch die galvanische Wechselwirkung zwischen den "beiden Metallschichten bestimmt wird, ·. besteht die dünne Metallschicht fast immer aus einem Me- - . tall, das nach seiner, Stellung in der elektrochemischen . Spannungsreihe ,unedler als das Metall der Reflexionsschic"hti ist. Die meistens aus einem Reinmetall bestehende dünne Metallschicht wird vorwiegend mit,Hilfe naßchemischer Verfahren oder der Vakuumbedampfung aufgebracht. Die Reflexionsschicht wird durch die dünne Metallschicht nur solange geschützt,' bis diese noch nicht anodisch aufgelöst ist. Der größte Teil der Schutzwirkung wird von der organischen Polymerschicht übernommen, da die Zeit bis zur anodi-.sehen Auflösung der dünnen' Metallschicht sehr viel kleiner ist als'die Zeit der Durchdringung der organischen Polymerschicht mit Atmosphärilien (Wasser, Sauerstoff u. a.), -wobei an die organische Polymerschicht u. a. bezüglich des Vernetzungsgrades besondere qualitative Anforderungen gestellt werden.,Üblicherweise muß die organische, Polymerschicht in ,einem energieintensiven Prozeß getrocknet werden,The protective effect of the thin metal layer with respect to the reflection layer is primarily determined by the galvanic interaction between the two metal layers. • The thin metal layer almost always consists of a metal, which after its position in the electrochemical voltage series, is less noble than the Metal is the reflection chip i . The mostly consisting of a pure metal thin metal layer is applied mainly by means of wet chemical method or vacuum deposition. The reflection layer is protected by the thin metal layer only until it is not yet anodically dissolved. Most of the protective effect is taken over by the organic polymer layer, since the time to anodic dissolution of the thin metal layer is much smaller than the time of penetration of the organic polymer layer with atmospheres (water, oxygen, etc.) particular qualitative requirements are placed on the organic polymer layer inter alia with regard to the degree of crosslinking., Usually, the organic, polymer layer must be dried in an energy-intensive process,
In zahlreichen Anwendungsfallen.wird jedoch trotz kostenaufwendiger Herstellungsverfahren,' z. B, bei der Abscheidung'1 mit Hilfe der thermischen bzw. Elektronenstrahlbedampfung . im Vakuum oder durch Plasmavorgänge an Luft, die geforderte Lebensdauer aufgrund der geringen korrosionschemischen Beständigkeit .nicht erreichf. Im Fälle der naßchemischen Abscheidung werden durch den Umgang mit- giftiger. Elektro- lysebädern erhöhte Anforderungen an den Arbeits- und Umweltschutz gestellt. Die Erzeugung einer Korrosionsschutzschicht auf der Reflexionsschicht mit Hilfe der anodischen Oxydation, ζ. B. nach dem Eloxalverfahren bei VerwendungHowever, in spite of costly manufacturing processes, 'z. B, in the deposition ' 1 with the aid of thermal or Elektronenstrahlevampfung. in vacuum or by plasma processes in air, the required service life due to the low resistance to chemical corrosion. Not achievable. In the case of wet chemical separation, the handling of more toxic. Electrolysis baths made increased demands on occupational safety and environmental protection. The production of a corrosion protection layer on the reflective layer by means of anodic oxidation, ζ. B. after the anodizing process in use
von Aluminium als Reflexionsschicht, ist sowohl mit einem erheblichen technologischen Aufwand als auch mit der Bildung zahlreicher und zur Verschlechterung des, Reflexionsgrades führender Löcher in der Reflexionsschicht verbunden,of aluminum as a reflection layer, is associated with both a considerable technological effort and with the formation of numerous and leading to the deterioration of the reflectance of leading holes in the reflective layer,
Es ist bekannt, daß beim Auftragen von Metall auf Metall mit Hilfe von Piasmavorgängen an Luft eine Reihe von Metallen (z. B. Ag-Al, Cu-JFi) in> chemische Y/echselwirkung treten und die optischen und Haftfestigkeitseigenschaften beeinflußt werden (Kudinov et al.: Die Optik von Plasmaüberzügen, Verlag Nauka, Moskau 1981). Derartige chemische Wechselwirkungen zwischen Metallen.sind an bestimmte Metallkombinationen gebunden. Diese chemischen Wechselwirkungen und damit verbundene Eigenschaftsänderungen werden beispielsweise bei den Metallkombinationen Al-Ti' und Cu-Ti nicht nachgewiesen« It is known that when metal is applied to metal by means of piasmic processes in air, a series of metals (eg Ag-Al, Cu-JFi) undergo> chemical interaction and the optical and adhesive properties are affected (Kudinov et al .: The Optics of Plasma Covers, Verlag Nauka, Moscow 1981). Such chemical interactions between metals are bound to specific metal combinations. These chemical interactions and associated property changes are not detected in the metal combinations Al-Ti 'and Cu-Ti, for example. «
Ziel der Erfindung ' Object of the invention
Es sollen'hochkorrosionsbeständige Reflexionsschichtsysteme auf Glas- oder glasähnlichen Substraten geschaffen werden, die auf technologisch einfache Weise und kostengünstig herstellbar sind sowie keine Verschlechterung des Reflexionsgrades, vorzugsweise des Lichtreflexionsgrades, während der Herstellung und der späteren Verwendung aufweisen.It should'hoch corrosion resistant reflective coating systems on glass or glass-like substrates are created, which are technologically simple and inexpensive to produce and no deterioration of the reflectance, preferably the degree of light reflectance, during manufacture and have later use.
Darlegung des Wesens der Erfindung . ·...' Explanation of the essence of the invention . · ... '
Der,Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, hochkorrosions- '-beständige Reflexionsschichtsysterne auf Glas- oder glas-The object of the invention is to provide highly corrosion-resistant reflection layer systems on glass or glass
ähnlichen Substraten zu schaffen, die keine Verschlechte-similar substrates that do not cause deterioration
...rung des ,Reflexionsgrades, vorzugsweise des Lichtreflexionsgrades, während der Herstellung und der-späteren Verwendung aufweisen und,zur Erreichung eines langzeitigen Korrosionsschutzes keine organische Polymerschicht erfordern.... tion of the reflectance, preferably the degree of light reflectance, during manufacture and have the subsequent use and require, to achieve a long-term corrosion protection no organic polymer layer.
Es wuräe überraschenderweise gefunden, daß die Aufgabe dann ν gelöst wird, wenn aus einer Reflexionsschicht aus Aluminium. oder Kupfer oder Zink oder Kupfer und Zink oder Kupfer und. Zinn und einer dünnen Metallschicht aus Titan bestehende Reflexionsschichtsysteme verwendet und diese mit Hilfe des , DC-Plasmatronsputterns in Vakuumfolge auf ein Glas- oder glasähnliches Substrat aufgebracht werden.It was surprisingly found that the problem is then solved ν, if from a reflective layer of aluminum. or copper or zinc or copper and zinc or copper and. Tin and a thin metal layer of titanium existing reflective layer systems used and these are applied by means of, DC Plasmatron sputtering in vacuum sequence on a glass or glass-like substrate.
Die auf diese technologisch einfache und kostengünstige Weise hergestellten erfindungsgemäßen hochkorrosionsbeständigen Reflexionsschichtsysteme besitzen unter Beibehaltung des Reflexionsgrades, vorzugsweise des Lichtreflexionsgrades, einen derartig langzeitigen Korrosionsschutz, daß eine organische Polymerschicht aus dieser Sicht nicht mehr" erforderlich ist. Eine qualitativ weniger gute organische Polymerschicht hat/-falls notwendig- nur noch-die Funktion des Schutzes gegen einen'starken mechanischen Angriff auf das Reflexions-/schichtsystem zu erfüllen. .The highly corrosion-resistant reflective layer systems according to the invention produced in this technologically simple and cost-effective manner have such a long-term corrosion protection while retaining the reflectance, preferably the degree of light reflection, that an organic polymer layer is no longer required from this point of view necessary-only-to fulfill the function of protection against a strong mechanical attack on the reflection / coating system.
Die,gefundene, wesentliche Erhöhung des langzeitigen Korrosionsschutzes kann mit der Ausbildung einer spezifischen Übergangsschicht erklärt werden. Die spezifische Übergangsschicht bewirkt offenbar ein wesentlich stärkeres. Selbstpassivierungsvermögen als das reiner Metalle und bildet somit die Grundlage für ein-hochkorrosionsbeständiges Reflexions-, schichtsystem, · \ ·The found, substantial increase in long-term corrosion protection can be explained by the formation of a specific transitional layer. The specific transition layer apparently causes a much stronger. Self-passivation capability as the pure metals and thus forms the basis for a highly corrosion-resistant reflection, coating system,
Durch das Legieren von geeigneten Metallen, ζ. Β» "Nickel, zum Metall der Reflexionsschicht können unter Beibehaltung. des langzeitigen Korrosionsschutzes für dekorative Zwecke, verschiedene Farbvarianten hergestellt werden. .By alloying suitable metals, ζ. , »" Nickel, to the metal of the reflective layer can be produced while maintaining the long - term corrosion protection for decorative purposes, different color variants.
Ausführungsbeispiel . Embodiment .
Beispiel 1 ' Example 1 '
Auf eine sorgfältig gereinigte 10 cm χ 10 cm große Floatglasprobe wird im Vakuum bei einem Arbeitsdruck von , ; .133,32 mPa (Argon) mit Hilfe des DC-Plasmatronsputterns das Reflexionsschicht system Aluminium/Titan mit einer Alu- : miniumschichtdicke von ca. 110 mn und einer'Titanschichtdicke von ca. 20' nm in einem Prozeß nacheinander aufgebracht. Zum Zwecke des Vergleiches werden zwei auf die gleiche Weise gereinigte 1O1 cm χ 10 cm große Floatglasproben mit dem Reflexionsschichtsystem Aluminium/Titan mit gleichen Schichtdicken im .Vakuum bei einem Arbeitsdruck von 2,6.7 ^Ps- mittels thermischer Verdampfungen einem Prozeß nacheinander aufgebracht . Eine dieser beiden Proben wird mit einer organischen Polymerschicht, dem handelsüblichen Spiegldecklack RpDA, überzogen. Alle drei· Proben werden einem elektrochemischen Beständigkeitstest unterworfen, bei welchem der. zeitliche Verlauf des Korrosionsstromes, gen&sen gegen eine sauerstoffge-* spülte Platinelektrode in einer 0,5 n-HNO-,, ein .Maß für die Beständigkeit und damit Lebensdauer des aufgebrachten Reflexionsschichtsystems, ist . ' . ,,On a carefully cleaned 10 cm χ 10 cm float glass sample is placed under vacuum at a working pressure of,; .133,32 mPa (argon) using the DC-Plasmatronsputterns the reflection layer system aluminum / titanium with an aluminum: miniumschichtdicke of approximately 110 mn and applied einer'Titanschichtdicke of approximately 20 'nm in a process successively. For the purpose of comparison, two 1 × 1 cm × 10 cm float glass samples cleaned in the same way are successively applied to the process using the aluminum / titanium reflection layer system with the same layer thicknesses in vacuo at a working pressure of 2.6.7 × P s by means of thermal evaporation. One of these two samples is coated with an organic polymer layer, the commercial Spiegldecklack RpDA. All three samples are subjected to an electrochemical resistance test in which the. time course of the corrosion current, in contrast to an oxygen-purged platinum electrode in a 0.5 n-HNO ,, a .Maß for the durability and thus life of the applied reflective layer system is. '. ,,
In Fig. 1 sind die Verläufe der.Korrosionsströme der drei Proben in Abhängigkeit von der Zeit dargestellt. Bei derFIG. 1 shows the courses of the corrosion currents of the three samples as a function of time. In the
Kurve 1 handelt es sich um die thermisch bedampfte Probe ohne organische Polymerschicht, während Kurve 2 die thermisch bedampfte Probe mit organischer Polymerschicht darstellt, Kurve 3 repräsentiert die mit Hilfe des DC-Plasmatronsputterns hergestellte Probe. Bereits nach ca. drei Stunden weist die thermisch bedampfte Probe ohne organi-' sehe Polymerschicht erste visuell erkennbare Defekte (z. B. Löcher) auf ,-nach ca.. 20" Stunden geht das Reflexir- , onsschichtsystem im Maximum-der Kurve am stärksten in Lösung. Charakteristisch sind der steile Anstieg und Abfall 'des Korrosionsstromverlaufes mit einem hohen Maximum (Kurve 1). \ "-,. . .Curve 1 is the thermally evaporated sample without organic polymer layer, while Curve 2 represents the thermally evaporated sample with organic polymer layer, curve 3 represents the sample prepared by means of the DC Plasmatron sputtering. After only about three hours, the thermally vapor-deposited sample without an organic polymer layer has first visually detectable defects (eg holes), -after approximately 20 "hours, the reflection coating system reaches the maximum of the curve Most pronounced in solution are the steep rise and fall of the corrosion current course with a high maximum (curve 1). , ,
Der Verlauf des Korrosionsstromes bei der thermisch, bedampften Probe mit organischer Polymerschicht (Kurve 2) ist gegenüber Kurve Ί, flacher mit einem niedrigeren Maximum,- die organische Polymerschicht übt also eine gewisse Schutzwirkung aus. Hier sind erste Defekte nach ca.- 20 Stunden zu erkennen, nach ca. 60 Stunden geht das Reflexionsschicht- . system.im Maximum der Kurve am stärksten in Lösung.,The course of the corrosion current in the thermally vapor-deposited sample with organic polymer layer (curve 2) is compared with curve Ί, flatter with a lower maximum, - the organic polymer layer thus exerts a certain protective effect. Here are first defects after approx. 20 hours to recognize, after approx. 60 hours goes the reflection layer. system.in the maximum of the curve strongest in solution.,
Bei der mit Hilfe -des DC-Plasmatronsputterns hergestellten Probe (Kurve 3) können dagegen erste Defekte frühestens nach, ca«· 200 Stunden beobachtet werden. Der extrem niedrige Korrosionsstrom sowie der'nahezu konstante Verlauf ohne Maximum über die Zeit -selbst nach ca. 480 Stunden- beweisen, daß kaum ein in Lösung gehen des Reflexionsschicht sy st ems . · stattfindet und somit ein hochkorrosionsbeständiges RefIexionsschichtsystem vorliegt.·.In the case of the sample prepared by means of DC plasmatron sputtering (curve 3), first defects can be observed at the earliest after about 200 hours. The extremely low corrosion current as well as the nearly constant course over time, even after about 480 hours, prove that hardly any solution of the reflection layer sy st ems. · Takes place and there is thus a highly corrosion resistant refleion layer system.
Messungen des Lichtreflexionsgrades der Reflexionsschicht bei den o. gy drei Proben unmittelbar nach der Herstellung ergeben Werte von 86 %. Die Messungen im Verlaufe des elek-Measurements of the light reflectance of the reflective layer on the o.gy three samples immediately after preparation give values of 86%. The measurements in the course of the electrical
trochemischen Beständigkeitstests ergeben Werte von 9 % nach 20 Stunden Testzeit bei der thermisch bedampften Probe ohne organische Polymerschicht, 12 % nach 20 Stun- '-, den Testzeit'bei der thermisch bedampften Probe mit or- . .'.· ganischer Polymerschicht und 9 % nach 60 Stunden T#stzeit, 85 % nach 200 und 480 Stunden Testzeit bei der mit Hilfe.. des, DC-Plasmatronsputterns hergestellten Probe.Trochemical resistance tests give values of 9% after 20 hours of test time in the thermally vapor-deposited sample without organic polymer layer, 12% after 20 hours - the test time in the thermally evaporated sample with or-. Ganic polymer layer and 9 % after 60 hours of T # st time, 85 % after 200 and 480 hours of test time on the sample prepared by means of the DC plasmatron sputtering.
Zur Aufklärung der gefundenen hohen Korrosionsbeständigkeit werden ferner die Reflexionsschichtsysteme mit Hilfe . "" der Sekundärionenmassenspektroskopie (SIMS) untersucht. Fig. 2 zeigt das SIMS-Profil (Anzahl der Impulse pro Zeiteinheit -Intensität- in Abhängigkeit von einer Meßzeit) des thermisch aufgedampften und Fig. 3 das SIMS-Profil des mit-Hilfe des DC-Plasmatronsputtems hergestellten Reflexionsschicht systems.To clarify the found high corrosion resistance also the reflective layer systems are using. "" of secondary ion mass spectroscopy (SIMS). Fig. 2 shows the SIMS profile (number of pulses per unit of time intensity as a function of a measuring time) of the thermally evaporated and Fig. 3 shows the SIMS profile of the prepared using the DC Plasmatronsputtems reflection layer system.
Während beim thermisch aufgedampften Reflexionsschicht— system eine deutliche Trennung zwischen der.Aluminium- und Titanschicht vorliegt (Fig. 2), wird beim mit Hilfe des DC-Plasmatronsputterns hergestellten Reflexionsschichtsystem neben einer starken Durchmischung der Aluminium- und Titanschicht eine markante Veränderung beider Profilverläu- ·. fe in Form von Einsattelungen festgestellt. Sowohl die starke Durchmischung als auch die 'Einsattelung· sind ein Beweis· für das Vorhandensein einer spezifischen Übergangsschicht, . die offenbar für die hohe Korrosionsbeständigkeit verantwortlich zeichnet.While there is a clear separation between the aluminum and titanium layer in the thermally vapor-deposited reflection layer system (FIG. 2), in the reflection layer system produced with the aid of DC plasmatron sputtering, in addition to a strong thorough mixing of the aluminum and titanium layer, a marked change in both profile profiles occurs. , Fe determined in the form of Einsattelungen. Both the strong mixing and the dip are evidence of the existence of a specific transition layer,. apparently responsible for the high corrosion resistance.
Analog dem Beispiel 1 wird auf eine Floatglasprobe im Vakuum bei einem Arbeitsdruck von 133,32 mPa (Argon) mit Hilfe des DC-Plasmatronsputterns das Reflexionsschichtsystem Kupfer/Ti-Analogously to Example 1, the reflection coating system copper / Ti is applied to a float glass sample in vacuo at a working pressure of 133.32 mPa (argon) with the aid of DC-Plasmatron sputtering.
' '' 8 : ''' 8:
tan mit einer Kupferschichtdicke von ca. 100 nm und einer ; Titanschichtdicke.von ca. 20 nm in einem Prozeß nacheinander aufgebracht. Zum Vergleich wird das Reflexionsschicht— •system Kupfer/Titan mit gleichen Schichtdicken im Vakuum bei einem· rArbeitsdruck von 2,67 mpa mittels thermischer Verdampfung in einem Prozeß nacheinander auf eine Float- , glasprobe aufgebracht. Beide Proben werden einem elektrochemischen Beständigkeitstest gemäß Beispiel 1 unterworfen, in'Pig. 1 sind die Verläufe der Korrosionsströme beider' Proben in Abhängigkeit von der Zeit dargestellt.tan with a copper layer thickness of about 100 nm and a; Titanschichtdicke.von about 20 nm in a process applied sequentially. For comparison, the system Reflexionsschicht- • copper / titanium is with the same layer thicknesses in a vacuum at a pressure of 2.67 · r work mpa by thermal evaporation in a process successively on a float glass sample is applied. Both samples are subjected to an electrochemical resistance test according to Example 1, in'Pig. 1 shows the courses of the corrosion currents of both samples as a function of time.
Bereits nach einer Stunde weist die thermisch bedampfte Probe (Kurv.e 4) .erste visuell erkennbare Defekte auf, nach ca. 35. Stunden geht das Reflexionsschichtsystem im Maximum der Kurve am stärksten in Lösung. Charakteristisch ist auch bei.diesem Beispiel der steile Anstieg und Abfall des Korrosionsstromverlauf es mit einem hohen Maximum. : After just one hour, the thermally evaporated sample (curve 4) shows the first visually detectable defects; after about 35 hours, the reflection layer system dissolves most strongly at the maximum of the curve. Also characteristic of this example is the steep rise and fall of the corrosion current course with a high maximum. :
Bei der mit Hilfe des DC-Plasmatronsputterns hergestellten Probe (Kurve 5) können dagegen erste Defekte frühestens, nach 150 Stunden beobachtet werden.. Der extrem niedrige Korrosionsstrom sowie der nahezu konstante zeitliche Verlauf ohne Maximum beweisen, daß ein'in Lösung gehen /des Reflexionsschichtsystem kaum geschieht, also ein hochkorrosionsbeständiges Reflexionsschichtsystem vorliegt. ..In the case of the sample prepared by means of the DC-Plasmatron sputtering (curve 5), however, first defects can be observed at the earliest, after 150 hours. The extremely low corrosion current and the almost constant time course without maximum prove that a solution / the reflection layer system hardly happens, so there is a highly corrosion resistant reflective coating system. ..
Analog dem Beispiel 1 wird auf eine Ploatglasprobe im Vakuum bei einem Arbeitsdruck von 133,32 mPa (Argon) mit Hilfe -des DC-Plasmatronsputterns das Reflexionsschichtsystem.Kupfer- · Zinn/Titan mit einer Kupfer-Zinn-Schichtdicke von ca. 90 nm und einer Titanschicht dicke von ca. 20 nm. in einem Prozeß nacheinander aufgebracht. . . -: Analogously to Example 1 is applied to a Ploatglasprobe in vacuum at a working pressure of 133.32 mPa (argon) with the aid of DC Plasmatronsputterns the Reflektionsschichtsystem.Kupfer- · tin / titanium with a copper-tin layer thickness of about 90 nm and a titanium layer thickness of about 20 nm. Applied sequentially in a process. , , - :
Gemäß Beispiel 1 wird die Probe einem elektrochemischen Beständigkeitstest unterworfen, ' der Korrosionsstromver-- lauf in Abhängigkeit von der Zeit ist in Fig. 1 als Kurve 6 dargestellt. According to Example 1, the sample is subjected to an electrochemical resistance test, the corrosion current as a function of time is shown in FIG. 1 as curve 6.
Der analoge Kurvenverlauf zu den Reflexionsschichtsystemen Aluminium/Titan und Kupfer/Titan belegt auch bei diesem Beispiel das Vorhandensein eines hochkorrosionsbestaridi- gen Reflexionsschichtsystems. The analog waveform to the reflection layer system aluminum / titanium and copper / titanium is also in this example, the presence of a gene hochkorrosionsbestaridi- reflection layer system.
Claims (2)
Kupfer und Zinn und einer dünnen Metallschicht aus Titan besteht. .Hoci corrosion-resistant reflection coating system on substrates, especially on glass or glass-like. Substrates, characterized in that the reflection layer sy st em from a through. DC Plasmatron sputtering in Vakuumfo.lge applied reflective layer of aluminum or copper or zinc, or copper and zinc or
Copper and tin and a thin metal layer of titanium. ,
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