DD156636A1 - Interferometrisches messsystem - Google Patents

Abstract

Die Erfindung betrifft ein interferometrisches Messsystem fuer Messgeraete mit dem Ziel, durch Kompensation des Komparatorfehlers die Messgenauigkeit zu erhoehen. Die Aufgabe ist, durch schwingungsunabhaengige Anordnung der Reflektoren u.a. dynamischen Eigenschaften zu verbessern. Das Messsystem umfasst eine Laserlichtquelle, einen Strahlenteiler und ein aus mehreren Reflektoren bestehendes Reflektorsystem, welches an einen in das Gestell des Messgeraetes hineinragenden, in einer Antastvorrichtung gelagerten Traeger angeordnet ist. Dabei sind der Reflektor fuer einen ersten Strahlengang am Traeger und fuer einen zweiten Strahlengang am Traeger oder an der Antastvorrichtung in oder in unmittelbarer Naehe der Messachse angeordnet. Das Verhaeltnis n durch m der Anzahl der durchlaufenden Lichtwege in den einzelnen Strahlengaengen verhaelt sich zu den Entfernungen e tief 1, e tief 2 der Strahlengaenge von der Messachse wie n durch m = e1 durch e3. Die Reflektoren sind am Traeger so angeordnet, dass deren Tripelpunkte mit dem Drehpunkt des Traegers mit dem Antastpunkt am Messobjekt in jeder Traegerstellung auf einer Gerade liegen.

Description

227962 5

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Titel: Interferomeirisches Meßsystem

Anwendungsgebiet der Erfindung

Die Erfindung betrifft ein interferomatrisches Meß«· system mit Kompensation des Komparatorfehlers bei Meßgeräten, insbesondere Meßmaschinen, und umfaßt eine Laserlichtquelle, einen Strahlenteiler und ein Re« flexionssystem, wobei Lichtquelle und Strahlenteiler außerhalb der Meßachse im Bett des Meßgerätes angeordnet sind»

Charakteristik der bekannten,technischen Lösungen

Aus der DE«OS 2 549 082 ist eine Einrichtung zur Korn« pensation von Meßfehlern an Längenmeßmaschinen bekannt, bei denen das Abbe^fsche Prinzip verletzt wird· Die ver« wendete interferometrische Längenmeßeinrichtung besteht aua einar Beleuchtungseinrichtung, einem Interferometer und einem Reflektorsystem, wobei das Interferometer pendelnd im Maschinenbett so aufgehängt ist, daß sich Pendelachse und Meßachse_s in der der Prüfling angeordnet ist und angetastet wird, schneiden· Interferometerachse und Meßachse liegen in einer senkrechten Ebene, Das Reflektorsystem«, bestehend aus einem Reflexionsprisma oder Tripelspiegel, ist an einem am Meßschlitten aufgehängten Pendel angeordnet, wobei sich Pendelachse und Meßachse sehneiden* Eine Dämpfungsanordnung zur Schwingungsdämpfung ist vorgesehen«

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Diese Einrichtung besitzt jedoch vor alles in ihrem dynamischen Verhalten erhebliche Kachteile, die die Meßgeschwindigkeit und -genauigkeit herabsetzen· So ist die Einrichtung empfindlich gegenüber Schwingungen Und Beschleunigungen, die beim Einstellen der am Meßschlitten angeordneten Pinole auftreten· Eine Messung während der Pinolenbewegung ist nicht möglich, denn es muß stets das durch die Dämpfung bewirkte Ausschwingen des Pendels abgewartet werden«, Außerdem beeinflußt die Hysterese in der Lagerung des Pendels und in seinen Gelenken durch Vorhandensein einer großen Umkehrspanne negativ die Genauigkeit der Messungen«

In der DD-PS 136 536 ist zur Kompensation dos durch Verletzung des Abbe*schen Prinzips hervorgerufenen Meßfehlers erster Ordnung eine Planparallelplatte am Meßschlitten einer Meßmaschine vorgesehen, die in Abhängigkeit von den Kippbewegungen des Meßschlittens und der daran gelagerten Pinole den Lichtweg des Interferome« terstrahlenganges veränderte

Die hier dargestellte Einrichtung erweist sich ebenfalls als sehr schwingungsempfindlich, wenn sie mit der Pinole verbunden ist, und diese Schwingungen überlagern sich den Meßsignalen* So wären zusätzliche Dämpfungaanordnungen und Einrichtungen zur Glättung der Meßsignale not?/endig, um die Vorzüge eines interferometrischen Längenmeßsystems im Bezug auf Genauigkeit voll ausschöpfen zu können«

Zlel_der Erfindung . _: · ·

Es ist der Zweck der Erfindung bei intesfer.ometriechea Meßsystemen durch Kompensation des Komparatorfehlers die Meßgenauigkeit von Meßgeräten zu erhöhen und den Einsatz zu dynamischen Messungen zu ermöglichen·

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Wesens -der Erfindung'

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, bei einem in« terferometrischen Meßsystem durch eine schwingungsunabhängige Anordnung von Reflektoren an den in Meßrichtung verschiebbaren Teilen des Meßgerätes den Kooiparatorfeh·» ler su kompensieren und die dynamischen Eigenschaften derartiger Meßsysteme zu verbessern«. -

Diese Aufgabe wird bei einem aus Laserlichtquelle, Strahlenteiler und Reflektorsystem bestehenden Meßsystem, bei welchem die Reflektoren an einem in das Bett eines Meßgerätes hineinragenden Träger angeordnet sind, dadurch gelöst, daß der Träger direkt oder über die in Richtung der Meßachse verschiebbare Antastvorrichtung an dem Meß«. schlitten pendelnd oder starr angeordnet ist, daß der Reflektor für einen ersten Strahlengang am Träger und für einen zweiten Strahlengang am Träger oder an der Antastvorrichtung in oder in unmittelbarer Hähe der Meßachse angeordnet ist,

daß das Verhältnis « der Anzahl der durchlaufenen Lichtwege in dem ersten und z?/eiten Strahlengang umgekehrt proportional dem Verhältnis der Entfernungen e* und eg des ersten und des zweiten Strahlenganges von der Meß—

« ei

achse ist, wobei gilt « « «^ mit η und m als ganzen Zahlen» · '-'

Dabei ist es vorteilhaft, daß der Träger als einseitig gelagerter Hebel ausgebildet ist, welcher in der Antastvorrichtung in einer Drehachse gelagert ist und daß die Reflektoren so an dem Träger angeordnet sind, daß deren Strahlenauftreff- bzw* Tripe!punkte des ersten und zweiten Strahlenganges mit dem in Verlängerung der Meßachse liegenden Drehpunkt des Trägers oder mit dem geometrischen Kontaktpunkt der Abtastvorrichtung am Meßobjekt in jeder Stellung des Trägers auf einer gemeinsamen Ge-. rade liegen_e

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Bb ist ferner vorteilhaft, wenn, der Tzägax in einem Federgelenk, Y~»Lager, spielfreien Wälzlager^äer an einer membranartigeη Platte an der Abtastvorrichtung -gelagert ist und über schwingungsdämpfende Mittel mit dem Meßschlittaa· in Wirkverbindung steht*

Wenn der !rastpunkt am Meßobjekt als Drehpunkt des Hebels nicht unmittelbar'für die fehlerkompensierenden Elemente zugänglich ist, ist es günstig, wenn der Träger als eine/Getriebeanordnung ausgebildet ist, bei welchem an den der Meßachse parallelen Gliedern die Reflektoren für ceη ersten und zweiten Strahlengang angeordnet sind und dessen Getriebeglieder durch Drehgelenke oder durch Blattfedern verbunden sind, und daß der den Reflektoren zugeordnete Drehpol der Getriebeanordnung, ζ© Β» eines Parailelogrammgetriebes, mit dem Kontakt«- oder Yisier« punkt der Antastvorrichtung übereinstimmt·

Zur Justierung der Strahlengänge ist es vorteilhaft, daß der~1bstand mindestens eines der beiden Strahlen«= gänge von der Meßachse durch in dem Strahlengang ange«· ordnete, optische Elemente veränderbar ist»

Ein weiteres erfindungsgemäßes Meßsystem besteht darin,, daß der träger direkt am Meßschlitten angeordnet ist und einen oder mehrere Umlenkelernente im Abstand von der Meßachse für den ersten und zweiten Strahlengang besitzt,

daß sich in der am Meßschlitten in Richtung der Meßachse verschiebbaren Antestvorrichtung für mindestens einen der in der Ant as t-v or richtung durch die Umlenkelemente geführten Strahlengänge ein Reflektor befindet, der das Licht in Richtung Strahlenteiler und Empfänger zurück·» wirft, und daß diese Reflektoren fluchtend zur Meßachse ange-'

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ordnet sind, und daß das Yerhältals B der Anzahl der Lichtwege in dem ersten und zweiten Strahlengang um»· gekehrt proportional dem Verhältnis de^r Entfernungen ο., und eg der Umlenkelemente an dem Träger von der

Meßachse ist, indem gilt S _s -1 , ⁷ m e^

Dabei ist es vorteilhaft, wenn ein Winkelspiegel als Reflektor in der Antastvorrichtung vorgesehen ist, dessen durch die Spiegelflächen gebildete Kante in der Meßachse liegt, und daß ein strahlenablenkendes Glied, vorzugsweise ein Doppelkeil oder Biprisma, zur Erzeugung einer Richtungsänderung zwischen zwei Strahlen im Strahlengang zwischen den Umlenkelementen und dem Winkelspiegel angeordnet ist·

Schließlich ist es zur Ermittlung des Einflusses der UmweItfaktoren vorteilhaft, daß ein Meßfühler, der die die Brechzahl der Luft beeinflussenden Umweltfaktoren zwischen dem ersten und dem zweiten Strahlengang ermittelt, Vorgesehen ist, der in einem Abstand e ο g~«S« · e- von der Meßachse angeordnet ist·

Die vorgeschlagene Lösung ermöglicht, die Maßverkörperung eines Meßgerätes durch parallel zur Meßachse versetzter Strahlenführung eines interferometrischen Meß-» systems auszubilden bei vollständiger Kompensation des Komparatorfehlers erster Ordnung und evtl. auftretender Restfehler höherer Ordnung« Sie ist schwingungsunempfindlich und besitzt gute dynamische Eigenschaften, so daß eine fehlerfreie dynamische Messung mit Meßgeräten erzielbar ist, die mit derartigen Meßsystemen ausgestattet sind. Durch die günstige und zweckmäßige An«· Ordnung der Meßfühler zwischen den beiden Strahlengängen wird der Einfluß der ..,Umweltfaktoren auf die durchgeführten Messungen weitestgehe.nd ausgeschaltet und

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somit die durch das interferometrische Meßsystem ermög« lichte hohe Auflösung Voll für die Messungen ausgenutzt«

Ausf ührungsb eispi el .'../.··.

Die Erfindung soll nachstehend an Ausführungsbeispielen näher erläutert'werden* In der zugehörigen Zeichnung zeigen ....

Pig« :1 echematisch die Anordnung des Meßsystems in einem Meßgerät,

Fig« 2 die geometrischen Verhältnisse des Meßsystems, Pig« 3 eine Anordnung mit optischer Antastung des Meß« Objektes,

Pig· 4 eine Anordnung mit Parallelogrammgetriebe, Fig· 5 eine Meßmaschine mit Reflektoren in der Meßachse, Fig· 6 eine weitere Anordnung der Reflektoren in der

. Meßachse, '

Pig* 7 eine Anordnung mit Winkelspiegel in. der Meßachse, Pig«, 8 die geometrischen Verhältnisse zur Anordnung der

Meßfühler für die Umweltfaktoren und Pig«, 9 den Strahlengang des Meßsystems mit veränder» • barem Strahlenabstand·

Das in Fig«, 1 dargestellte Meßgerät umfaßt ein Gestell 1 auf dem ein Meßtisch 2 und ein Meßschlitten 3, welcher auf Führungen des Gestelles 1 in Richtung einer Meßachse e/ verschiebbar ist und eine ebenfalls in Richtung der Meßachse e verschiebbare Antastvorrichtung 4 trägt, gelagert sind* Auf dem Meßtisch 2 ist zwischen einem festen Anschlag 5 und einem Taststück 6 die Antastvorrichtung 4 das Meßobjekt 7, dessen Länge 1 gemessen wer« den soll, angeordnet» Dabei kann die Antastvorrichtung 4 eine Meßpinole oder, zum optischen Antasten, eine optische Visiereinrichtung oder dgl· sein* Am oder im un« terhalb der Meßachse e liegenden Teil des Gestelles 1 s?lnd eine Laser lichtquelle 8 und Strahlenteiler 9 an«

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geordnet* von welchem ein erster Strahlengang s- und ein ZY^eiter Strahlengang B^ eines Interferometers im ' .Abstand e- und e₂ von der Meßachse e und parallel zu dieser ausgehen« In der Antastvorrichtung 4 ist in der Meßachse e ein Träger 10 pendelnd gelagert, welcher

• sich in den unteren Teil des Gestelles 1 des Meßgerätes erstreckt und im Abstand e^ und e₂ ^von ^er Meßachse e einen Reflektor 11 für den ersten s. und einen Reflektor 12 für den zweiten Strahlengang Sp aufweist, welche die Lichtbündel dieser Strahlengänge s, und S₂ *-ⁿ den Strahlenteiler 9 zurücksenden· Die Lagerung des Trägers 10 kann in Federgelenken, V^Lagern, in spielfreien Wälzlagern oder an einer membranartigen Platte an der Antastvorrichtung 4 erfolgen* Über schwingungs« dämpfende Mittel 13 ist eine Wirkverbindung zwischen Träger 10 und Meßschlitten 3 hergestellt« Der Träger ist als einseitiger Hebel ausgebildet, an welchem die Reflektoren 11 und 12 so angeordnet sind, daß deren Tripel- oder Strahlenauftreffpunkte der Strahlengänge ε. und S₂ mit der Drehachse des Trägers 10 in jeder Stellung des Trägers 10 auf einer gemeinsamen Gerade 15 (in Pig· 1 gestrichelt dargestellt) liegen*

Die Fig«, 2 verdeutlicht schematisch die Verhältnisse bei ausgelenktem Träger 10, d· h· wenn der Meßschlitten 3 auf den Führungen des Meßgerätes infolge Führungsungenauigkeiten gekippt ist· Die von dem Strahlenteiler 9 ausgehenden Lichtbündel des ersten und des zweiten Strahlenganges s- und S₂ werden von den Reflek« toren 11, 12 und 16 in den Strahlenteiler 3 zurückgeführt, wobei das Verhältnis Ξ der Anzahl der Lichtwege in dem ersten und zweiten Strahlengang s., und S₂ umgekehr proportional dem Verhältnis der Abstände e _Λ und

η ^e1 e_o ist β Es gilt ~ ~ ^, worin m und η die Anzahl der die Meßstrecke 1 durchlaufenden Lichtwege im ersten und zweiten Strahlengang und ganze Zahlen sind,

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Eine Auslenkung des Trägers 10 bzw* der Geraden 15 um die Drehachse 14 (Fig* 2) hat nach den Beziehungen des Strahlensatzes und der Vervielfachung der Lichtwege m im ersten Strahlengang S₁ unter Beibehaltung

V₁ ei · · obiger Beziehung ^ = Q-" zur Folge, daß sich die Licht« wege beider Strahlengänge S₁ und S₉ um gleiche Beträge ändern. Da ein Interferometer nur Wegdifferenzen anzeigt, bleibt das gesamte interferometrische Meßsystem letzten Endes gegen Kippungen des Meßschlittens 3 und der Alitastvorrichtung 2 unempfindlich· Eine Verschiebung der Antastvorrichtung 2 mit der Drehachse 14 des Trägers 10 hat jedoch eine Weglängendifferenz zur Folge, die vom Meßsystem angezeigt wird und der Änderung der Meßlänge 1 proportional ist*

Dieses soll anhand eines Beispiele verdeutlicht werden, wobei ~J= » 5 « 4- gewählt wird· Das Verhältnis S

© O «Aft Cm - m

kann auch ein. anderes sein*

Nach dem Strahlensatz ist

e.. : e₂ = Δ s., : δ s₂ β 1 j 2_β Es folgt daraus Sp = 2 Δ S^ β .. ......

Die Gesamtwege entsprechend Fig, 2 sind .

S₁ = a + 2s + 2 A s|

s₂ = a -}· s + δ s_2<9 Es ergibt sich für S.. -r· S₂ = 1 die Meßlänge·

a ist eine Totstrecke, die vom Meßgerät abhängig ist·

Liegt die Drehachse 14 nicht im Antastpunkt des Tast« etückes 6 am Meßobjekt 7, so tritt ein geringfügiger Fehler zweiter Ordnung auf, der jedoch wegen seiner Kleinheit vernachlässigbar ist· Er beträgt z_e B* bei einer Kippung des Meßschlittens 3 um 10" und einem Abstand der Drehachse 14 vom Antastpunkt von 100 mm rund 0,12 _β 10 tnnu

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Die in Pig© 3 gezeigte Anordnung umfaßt eine optische Visiereinrichtung 17, die auf der Antastvorrichtung 18 angeordnet iste An einem kompakt ausgebildeten Träger 19 sind die Reflektoren 11 und 12 für den ersten und zweiten Strahlengang s.. und B^ angeordnet« Die Tripel« punkte der Reflektoren 11 und 12 und der Tastpunkt 20 der Visiereinrichtung 17 liegen auf einer Geraden,Wobei der Tastpunkt 20 auf einer Grenzfläche des Meßob-, jekteß 7 liegte

Ee gibt Anwendungsfälle, bei denen der Taatpunkt für die fehlerkompensierenden Mittel nicht unmittelbar zu« gänglich ist, und er kann nur mit dem den Reflektoren zugeordneten Drehpol einer Getriebeanordnung in Übereinstimmung gebracht werden« Pig« 4 zeigt eine Antastvorrichtung 4 mit einem Parallelogrammgetriebe 21, welches um Drehachsen 22 und 23, die in der Verlängerung der Meßachse e liegen, auslenkbar ist und bei welchem an den zur Meßachse e parallelen Gliedern 24 und 25 die Reflektoren 11 und 12 für die Strahlengänge s.. und Sp angeordnet sind« Alle Glieder dieses Parallelogramtnge triebe s 21 sind durch Drehgelenke oder Blattfedern verbunden» Der den Reflektoren 11 und 12 zugeordnete Drehpol der Getriebeanordnung stimmt mit dem geometrisch wirksamen Tastpunkt, dem Kugelmittelpunkt, zwischen Taststück 6 und Meßobjekt 7 überein»

Eine weitere, dynamisch sehr günstige Ausführungsforα der Erfindung ist in Pig» 5 dargestellt, wobei gleiche oder gleichwirkende Elemente mit gleichen Bezugsziffern gekennzeichnet sind, wie in den Figuren 1 bis 4e Hierbei ist der Träger 26 direkt mit dem Meßschlitten 3 verbunden, welcher eine Antastvorrichtung 27, in Richtung der Meßachse β verschiebbar,

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trägt« Von den den Strahlenteiler 9 verlassenden Strah« lengängen s.. und Sp wird das Licht des ersten Strahlenganges β* vom am Träger 26 angeordneten Reflektor 28 zum Strahlenteiler 9 zurückgeführt« Das Licht des ZY/eiten Strahlenganges Sp wird über im Träger 26 gelegene Umlenkspiegel 29 und 30 zu einem in der Meßachse e in der Antastvorrichtung 27 angeordneten Reflektor 31 geleitet und von dort den gleichen Weg zurück ,zum Strahlenteiler 9 und zu nicht dargestellten fotoelektrischen Empfängern«,

^e1 η

Auch bei dieser Anordnung gilt r«* « -, wobei sich alle am Meßschlitten 3 (Pig· 5) vollzogenen und as Interferometer bzw« Strahlenteiler 9 erfaßten Bewegungen ausschließlich auf die Verschiebung des Umlenkspiegels 30 in Höhe der Meßachse e beziehen· Maßgebend für die Kompensation des Komparatorfehlers sind auch hier, wie in der Anordnung nach Pig· 1, die Abstände _ e* und e₂ der Umlenkpunkte des Lichtes im ersten und zweiten Strahlengang s* und S₂, d« h» die Abstände des Umlenkspiegels 29 und des Reflektors 28 von der Meßachse e« Es werden die Verschiebungen des Meß« Schlittens 3 über den Strahlengang s^ und Verschie«· bungen der Antastvorrichtung 27 über den Strahlend gang Sp gemessene

Gemäß der Anordnung nach Pig« 6 sind für die Strah« lengänge s., und S₂ Umlenke le me nte 32 und 33 im Träger 26 vorgesehen, welche das Licht über ein im Träger in der Meßachse e angeordnetes Reflektorkreuz 34 auf in der Antaatvorrichtung 27 in der Meßachse e gelegene Reflektoren 35 und 36 leiten, von denen jeder einem der Strahlengänge S₁ und S₂ zugeordnet ist, so daß mit zwei entgegengesetzt gerichteten Lichtbündeln gearbeitet werden kann»

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Bei der Anordnung nach Pig. 7 ist an einer Antastvorrichtung 37 ein..als Winkelspiegel 38 ausgebildeter Reflektor vorgesehen, dessen durch die Spiegelflächen gebildete Kante 39 in der Meßachse e liegt* Im Träger 26 ist für jeden der Strahlengänge S₁ und Sp ein Umlenke lement 40 und 41 vorgesehen« Ferner ist im Träger 26 ein strahlenablenkendes Glied 42, vorzugsv/eise ein Doppelkeil oder Biprisaaa, zur Erzeugung einer Divergenz der Lichtbündel zwischen den Umlenkelementen 40 und 41 und dem Winkelapiegel 38 angeordnet* Eine Bewegung der Antastvorrichtung 37 in Richtung des Meßobjektes 7 verursacht eine Verkürzung des Lichtbündels 43 und eine gleichgroße Verlän« gerung des Lichtbündela 44· Im Interferometer werden durch Differenzbildung beider Verschiebungen Signale gebildet, die der Verschiebung der Antastvorrichtung 37 vorzeichenrichtig entsprechen« Abstandsänderungen zwischen Antastvorrichtung 37 und Meßschlitten 3 gehen in den Meßwert nicht ein, wenn die Winkel, die die Spiegelflächen des WinkelspiegeIs 38 mit der Meßachse e bilden, gleich sind und die Anzahl der Lichtwege der Lichtbündel 43 und 44 gleich sind« Mit 45 ist ein Reflektor gekennzeichnet.

Pig« 8 veranschaulicht die geometrischen Verhältnisse für die Anordnung der Meßfühler 46 zur Ermittlung der dfe Brechzahl der Luft beeinflussenden Umweltfaktoren zwischen den Strahlengängen s.. und s₂· So ergibt sich zur Eliminierung der Wirkung des Brechzahlgradienten der Luft zwischen den Strahlengängen S₁ und B₀, daß der Meßfühler 46 im Abstand β-, = rTZ"m * ^ei ^von Meßachse e. angaordnet werden muß.

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Pur ein'Verhältnis ~ = ~ ergibt sich aus Pig· 8

^e2 ²

^e3 * ^e1 ^ V

wiBiTirnmiiiitnii

e₂ - e₃ 1^ΔΒ ^S2l 2

und e, a »e.. **w-

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Mit den vom Meßfühler 46 erzeugten, den Umweltfaktoren proportionalen Meßv/erten v/erden die durch das interferometrische Meßsystem gewonnenen Meßwerte durch einen Rechner korrigiert· -

Das Verhältnis der Abstände e- und e₂ und die Auflösung des gesamten Meßsystems sind durch die Änderung der Zahl der in den einzelnen Strahlengängen s.. und S₂ durchlaufenen Lichtwege m und η variierbar· So kann z. B# durch Anordnung mehrerer Reflektoren in jedem Strahlengang die Anzahl der durchlaufenen Lichtwege vergrößert werden· .

In Pig« 9 ist eine Ausführung dargestellt, mit der Abstand der Strahlengänge s.. und S₂ in einem bestimmten Bereich 47 variierbar ist« Hierzu werden z. B, im Strahlengang S₂ ein Pentaprisma 48 und ein Umlenkspiegel 49 vorgesehen, wobei das Pentaprisma 48 in Pfeilrichtung einstellbar ist.

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Claims (8)

1. Interferoneirisches Meßsysteta mit Kompensation des Koniparatorfehlers bei Meßgeräten, umfassend eine Laserlichtquelle, einen Strahlenteiler und ein aus mehreren Reflektoren bestehendes Reflexions sy stern', wobei die Laserlichtquelle und der Strahlenteiler außerhalb der Meßachse im Gestell des Meßgerätes und das Reflexionssystem an einem vorzugsweise in das Gestell hineinragenden Träger gelagert sind, welcher starr oder gelenkig an einem in Richtung der Meßachee verschiebbaren, mit einer berührend oder berührungslos arbeitenden Antastvorr.ichtung versehenen Meßschlitten angeordnet ist, und daß im Strahlengang des Meßsystems fotoelektrische Empfänger vorgesehen Bind, dadurch gekennzeichnet, daß

   der Träger direkt oder über die in Richtung der Meßachse verschiebbare Abtastvorrichtung an dem Meßschlitten pendelnd oder starr angeordnet ist, daß der Reflektor für einen ersten Strahlengang am Träger und für einen zweiten Strahlengang am Träger oder an der Antastvorrichtung in oder in unmittelbarer Nähe der Meßachse angeordnet ist, daß das Verhältnis S der Anzahl der durchlaufenen Lichtwege in dem ersten und zweiten Strahlengang umgekehrt proportional dem Verhältnis der Entfernungen e^.und Q₀ des ersten und des zweiten Strah lenganges von der Meßachse ist mit η und m als ganzen Zahlen»

   η lenganges von der Meßachse ist, wobei gilt - =

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2. 2«. Interferometrisches Meßsystem nach Purikt^:1 »gekennzeichnet, daß der Träger als einseitig gelagerter Hebel ausgebildet ist, welcher in der Antastvorrichtung in einer Drehachse gelagert ist und daß die Reflektoren so an dem Träger angeordnet sind, daß deren Strahlenauftreff« bzw, Trippelpunkte des ersten und zweiten Strahlenganges mit dem in Verlängerung der Meßachse liegenden Drehpunkt des Trägers oder mit dem geometrischen Kontaktpunkt der Abtastvorrichtung am Meßobjekt in jeder Stellung des Trägers auf einer gemeinsamen Gerade liegen*
3. 3« Interferometrisches Meßsystem nach Punkt 1 und 2_f dadurch gekennzeichnet, daß der Träger in einem Federgelenk, V-Lager, spielfreien Wälzlager oder an einer membranartigen Platte an der Abtastvorrichtung gelagert ist und über schwingungadämpfende Mittel mit dem Meßschlitten in Wirkverbindung steht,
4. 4» Interferometrisches Meßsystem nach Punkt -j _un(j 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Träger als eine Getriebeanordnung ausgebildet ist, bei welchem an den der Meßachse parallelen Gliedern die Reflektoren für den ersten und zweiten Strahlengang angeordnet sind und dessen Getriebeglieder durch Drehgelenke oder durch Blattfedern verbunden sind, und daß der den Reflektoren zugeordnete Drehpol der Getriebeanordnung, ζ« B_e eines Parallelogrammgetriebes, mit dem Kontakt·« oder Visierpunkt der Antastvorrichtung über« einstimmta
5. 5* Interferometrisches Meßsystem nach Punkt 1 bis 4» dadurch gekennzeichnet, daß der Abstand mindestens eines der beiden Strahlengänge von der Meßachse durch in dem Strahlengang angeordnete, optische

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   Elemente veränderbar ist«
6. 6« Interferonetrisches Meßsystem nach Punkt 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Träger direkt am Meß« schlitten angeordnet ist und einen oder mehrere Umlenke lese nte im Abstand von der Meßachse für den ersten und zweiten Strahlengang besitzt, daß sich in der am Meßschlitten in Richtung der Meßachse verschiebbaren Antastvorrichtung für mindestens einen der in die Antastvorrichtung durch die Umlenkelemente geführten Strahlengänge ein Reflektor befindet, der das Licht in Richtung Strahlenteiler und Empfänger zurückwirft,

   und daß diese Reflektoren fluchtend zur Meßachse an» geordnet sind, und daß das Verhältnis « der Anzahl der Lichtwege in dem ersten und zweiten Strahlengang umgekehrt proportional dem Verhältnis der Entfernungen e. und e₀ der Umlenkelemente an dem !Träger von

   ti ^e1

   der Meßachse ist, indem gilt ~ = --·
7. 7« Interferometrisch.es Meßsystem nach Punkt , 1 und 6, dadurch gekennzeichnet,

   daß ein Winkelspiegel als Reflektor »in der Antastvor« richtung vorgesehen ist, dessen durch die Spiegelflächen gebildete Kante in der Meßachse liegt, und daß ein strahlenablenkendes Glied, vorzugsweise ein • Doppelkeil oder Biprisma, zur Erzeugung einer Richtungsänderung zwischen zwei Strahlen im Strahlengang zwischen den Umlenkelementen und dem Winkelspiegel angeordnet ist«
8. 8« Interferometrisches Meßsystem nach Punkt 1 bis 7» dadurch gekennzeichnet, daß ein Meßfühler, der die die Brechzahl der Luft beeinflussenden Umweltfaktoren zwischen dem ersten und dem zweiten Strahlengang

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   » 16

   ermittelt, vorgesehen ist, der in einem Abstand ^e3 ⁼ η~+*"Η * ^e1 ^{von der Keßaciise} angeordnet ist,

   Bieriu_3_„Seiien Zeidmongen

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