DD151476A1

DD151476A1 - EVAPORATOR PANEL IN EVAPORATORIES

Info

Publication number: DD151476A1
Application number: DD22188080A
Authority: DD
Inventors: Egon Goldammer; Rainer Schlenk; Norbert Solger; Joachim Standfest; Roman Zielinski
Original assignee: Egon Goldammer; Rainer Schlenk; Norbert Solger; Joachim Standfest; Roman Zielinski
Priority date: 1980-06-17
Filing date: 1980-06-17
Publication date: 1981-10-21

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Verdampferblende in Bedampfungsanlagen , die den Verdampfer im direkten Strahlbereich öes Dampfes wahlweise abdeckt, insbesondere für Bedampfungsanlagen nit kleinen Vakuumkammarn. Die Erfindung hat das Ziel, leistungsstarke, insbesondere mehrere, abblendbare Verdampfer gleichzeitig in kleinen Bedampfungsanlagen zu betreiben. Die Aufgabe der Erfindung besteht dariri7~eine Verdampferblende mit geringem Platzbedarf zu entwickeln« Erfindungsgemäß wird die Aufgabe derart gelöst, daß zwei Bleche, vorzugsweise U-förmig, so gelagert sind und gegeneinander bewegt werden können, daß sie sich im geschlossenen Zustand stirnseitig überlappen. - Fig.1The invention relates to a Verdampferblende in Bedampfungsanlagen that the evaporator in the direct beam range öes vapor optionally covers, especially for Bedampfungsanlagen nit small Vakuumkammarn. The invention has the goal of simultaneously operating powerful, in particular multiple, dimmable evaporators in small steaming plants. The object of the invention is dariri7 ~ develop a Verdampferblende with a small footprint. According to the invention, the object is achieved in that two sheets, preferably U-shaped, are mounted and can be moved against each other, that they overlap the front side in the closed state. - Fig.1

Description

22 18 80 -4-22 18 80 -4-

Verdampferblende in BedampfungsanlagenEvaporator panel in steaming systems

Anwendungsgebiet der ErfindungField of application of the invention

Die Erfindung betrifft eine Verdampferblende in Bedampfungsanlagen, die den. Verdampfer im direkten Strahlbereich des Dampfes wahlweise abdeckt, insbesondere für . Bedampfungsanlagen mit kleinen Vakuumkammerη.The invention relates to a Verdampferblende in Bedampfungsanlagen, the. Optionally covers evaporator in the direct jet range of the steam, in particular for. Steaming plants with small vacuum chamber.

Charakteristik der bekannten technischen LösungenCharacteristic of the known technical solutions

Die Verdampferblenden sind zur sicheren und rationellen Prozeßsteuerung aller Bedampfungsanlagen erforderlich. Die Verdampfer bleiben unabhängig von ihrer Art, Widerstandsverdampfer, Tiegelverdampfer oder Elektronenstrahlverdämpfer, während des Prozeßablaufes ständig in Betrieb und das Substrat wird vor unbeabsichtigter Bedampfung mittels einer Blende geschützt. Das ist insbesondere wichtig beim Einsatz von Mehrfachverdampfern und bei der Abscheidung definierter Schichtdicken.The evaporator covers are required for safe and efficient process control of all steaming systems. The evaporators remain independent of their type, resistance evaporator, crucible evaporator or electron beam, during operation of the process constantly in operation and the substrate is protected against accidental evaporation by means of a diaphragm. This is particularly important when using multiple evaporators and when depositing defined layer thicknesses.

Mehrfachverdampfer werden eingesetzt, wenn sich der Schichtaufbau aus verschiedenen Schichten aufbaut. In diesem lall wird jeweils nur der im Augenblick gewünschte Verdampfer freigegeben, damit der Dampf des betreffenden Verdampfungsmaterials zum Substrat gelangt. Alle anderen, auch auf Verdampfungstemperatur befindliche Verdampfer, sind durch Blenden abgedeckt.Multiple evaporators are used when the layer structure consists of different layers. In this case, only the currently desired evaporator is released, so that the vapor of the relevant evaporation material reaches the substrate. All other evaporators, which are also at evaporating temperature, are covered by diaphragms.

2 _ _ (L· I O O U2 _ _ ( LOOOOOO

In vielen Fällen der modernen BedampfungstecJinik kommt es darauf an, daß die Schicht eine genau definierte Dicke von z. T. wenigen Nanometern hat. Auch in diesem Fall sind Verdampferblenden unerläßlich.In many cases of modern vapor deposition techniques, it is important that the layer has a well-defined thickness of, for example, 10%. T. has a few nanometers. In this case, evaporator covers are indispensable.

Die bekannten Verdampferblenden gliedern sich im wesentlichen in die Schwenkblenden und die Irisblenden. Die am häufigsten verwendeten Schwenkblenden bestehen aus einem Abdeckblech unterschiedlicher geometrischer Form, das radial veränderbar, unmittelbar mit einer Drehdurchführung verbunden ist, die in der Bodenplatte der Vakuumkammer eingebaut und atmosphärenseitig angetrieben wird. Der Nachteil dieser Schwenkblenden besteht insbesondere darin, daß ein konkreter Ort der Drehdurchführung eingehalten werden muß und daß die Schwenkblende im geöffneten Zustand einen großen Kaumbedarf entsprechend der Größe des Abdeckbleches hat.The known evaporator diaphragms are essentially divided into the pivoting diaphragms and the iris diaphragms. The most commonly used pivoting panels consist of a cover plate of different geometric shape, which is radially variable, directly connected to a rotary feedthrough, which is installed in the bottom plate of the vacuum chamber and driven on the atmosphere side. The disadvantage of these pivoting panels is in particular that a specific location of the rotary feedthrough must be complied with and that the pivoting panel in the open state has a large shortage space according to the size of the cover plate.

Die Irisblenden haben einen aus mehreren Segmenten bestehenden, komplizierten und aufwendigen Blendenverschloß, der mechanisch oder elektropneumatisch betätigt wird. Die Öffnung erfolgt konzentrisch. Der Raumbedarf der Irisblenden ist radial zum Verdampfertiegel relativ groß. Beide Formen der beschriebenen Verdampferblenden haben den wesentlichen Nachteil des hohen Raumbedarfes, insbesondere im geöffneten Zustand. Damit ist der Einsatz dieser Blenden in kleinen Anlagen sehr kompliziert bzw. der gewünschte Einsatz von zwei oder mehr Verdampfern ist nicht möglich, da die Blende zu viel Platz benötigt.The irises have a multi-segment, complicated and complex shutter lock, which is operated mechanically or electropneumatically. The opening is concentric. The space requirement of the iris diaphragms is relatively large radially to the evaporator crucible. Both forms of evaporator diaphragms described have the major disadvantage of high space requirements, especially in the open state. Thus, the use of these panels in small systems is very complicated or the desired use of two or more evaporators is not possible because the panel requires too much space.

Ziel der ErfindungObject of the invention

Die Erfindung hat das Ziel, leistungsstarke, insbesondere mehrere, abblendbare Verdampfer gleichzeitig in kleinen Bedampfungsanlagen zu betreiben.The invention has the goal of simultaneously operating powerful, in particular multiple, dimmable evaporators in small steaming plants.

22 18BO22 18BO

Darlegung des Wesens der ErfindungExplanation of the essence of the invention

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Verdampferblende in Bedampfungsanlagen zu entwickeln, die, insbesondere im geöffneten Zustand, einen geringen Platzbedarf hat.The invention has for its object to develop a Verdampferblende in Bedampfungsanlagen, which, especially in the open state, has a small footprint.

Erfindungsgemäß wird die Aufgabe dadurch, gelöst, daß die Verdampferblende, die den Dampfstrahlstrom im direkten Weg zum Substrat abblenden soll, aus zwei Blechen besteht, die sich im geschlossenen Zustand stirnseitig überlappen und parallel zu einer der horizontalen Achsen des Verdampfers gegeneinander bewegt werden können. Die zwei Bleche haben dabei ,zusammen mindestens die Abmessung des Verdampfertiegels. Vorzugsweise ist ihre Gestaltung U-förmig bzw. schalenförmig. Gehaltert sind diese Bleche an Je einem Schlitten, der auf einer Führung parallel zur Bewegungsrichtung verschiebbar angeordnet ist. Als spezielle AusfuhrungsVariante ist es auch möglich, zur besseren Ausnutzung der gegebenen Platzverhältnisse, die Führungen der Schlitten zueinander in gleicher Ebene winklig anzuordnen.According to the invention, this object is achieved in that the evaporator diaphragm, which is intended to diminish the jet stream in the direct path to the substrate, consists of two sheets which overlap in the closed state frontally and can be moved parallel to one of the horizontal axes of the evaporator against each other. The two sheets have, together at least the dimension of the evaporator crucible. Preferably, their design is U-shaped or cup-shaped. Feeding these plates are each on a carriage which is arranged on a guide displaceable parallel to the direction of movement. As a special embodiment variant, it is also possible to better use the given space, the guides of the carriage to each other in the same plane to arrange angular.

Die Bewegung der Blenden erfolgt vorteilhafterweise mittels Seiltrieb, lieben anderen Möglichkeiten hat sich die Führung der Seile, vorzugsweise Stahlseile, mittels flexibler Hüllen bewährt. Damit ist es möglich, unter Ausnutzung der gegebenen Platzverhältnisse, die Verlegung des Seiltriebes sehr willkürlich bis zur Drehdurchführung zu führen. Der eigentliche Antrieb an der Drehdurchführung kann als Handantrieb oder motorischer Antrieb ausgebildet sein. Die erfindungsgemäße Blende kann als selbständige Baugruppe ausgeführt sein oder mit dem Verdampfer baulich gekoppelt. " · Der Vorteil der Erfindung besteht insbesondere darin, daß die konkreten Platzverhältnisse optimal ausgenutzt werdenkönnen. In manchen Fällen benötigt die erfindungsgemäße Blende flächenmäßig gegenüber dem Verdampfer keinen zusätzlichen Raum«The movement of the panels is advantageously by means of rope drive, love other ways, the leadership of the ropes, preferably steel cables, has proven by means of flexible sheaths. This makes it possible to use the given space, the laying of the cable drive very arbitrary to lead to rotary feedthrough. The actual drive on the rotary feedthrough can be designed as a hand drive or motor drive. The diaphragm according to the invention can be designed as a self-contained module or structurally coupled to the evaporator. The advantage of the invention lies in the fact that the concrete space conditions can be optimally exploited. In some cases, the panel according to the invention does not require any additional space compared to the evaporator.

22 18 8022 18 80

Ausführungsbeispielembodiment

Die Erfindung soll nachfolgend an einem Ausführungsbeispiel näher erläutert werden. In der zugehörigen Zeichnung zeigenThe invention will be explained in more detail below using an exemplary embodiment. In the accompanying drawing show

Fig« is eine Draufsicht auf eine erfindungsgemäßeFig 'is a plan view of an inventive

_: Verdampferblende an einem Elektronenstrahlverdampfer 5"ig. 2ϊ den Schnitt A-A in Pig. 1. _: Evaporator panel on an electron beam evaporator 5 "ig. 2ϊ the section AA in Pig. 1.

In Fig. 1 ist ein Blektronenstrahlverdämpfer 1 mit einer erfindungsgemäßen Blende dargestellt. An der mit einem Drehwinke!motor atmosphärenseitig verbundenen Drehdurchführung ist vakuumseitig eine Seilrolle befestigt (in der Zeichnung der Übersicht wegen nicht dargestellt), an der die Enden eines Zugseiles 2 geklemmt sind. Das Zugseil 2 ist zwischen Drehdurchführung und Anschlußstelle 3 der parallel zur Verdampferlängsachse angeordneten Gleiteinrichtung 4- in flexiblen Stahldrahthüllen 5 geführt, wodurch die Lage der Drehdurchführung in der Vakuumkammer frei wählbar ist. Die GIeiteinrichtung 4 besteht aus zwei übereinanderliegenden Gleitstäben 6 kreisförmigen Querschnittes, auf denen zwei Schlitten 7 aiit daran befestigten U-förmigen Verdampferabdeckungen 8 in entgegengesetzten Richtungen gleiten, indem das Zugseil 2 durch den Drehwinke!motorantrieb wechselseitig in beiden Richtungen gezogen wird. Im geöffneten Zustand der Blende wird dadurch, der zur Verfügung stehende Raum beidseitig der Verdampferlängsachse genutzt. Die Schlitten 7 sind mit keramischen Buchsen 9 auf den Gleitstäben gehaltert und geführt und durch Klemmstücke 10 mit dem Zugseil 2, das über eine Umlenkrolle 11 an der Gleiteinrichtung 4-geführt wird, einstellbar verbunden. Die Verdampferabdeckungen 8 sind zum Zwecke der Reinigung und für unterschiedliche Verdampfergrößen leicht austauschbar.In Fig. 1, a Blektronenstrahlverdämpfer 1 is shown with an aperture according to the invention. A pulley is fastened to the vacuum side of the rotary feedthrough connected to the atmosphere on the atmosphere side (not shown in the drawing for the sake of clarity), at which the ends of a pull cable 2 are clamped. The traction cable 2 is guided between the rotary feedthrough and connection point 3 of the parallel to the evaporator longitudinal axis arranged slide 4 in flexible steel wire sheaths 5, whereby the position of the rotary feedthrough in the vacuum chamber is arbitrary. The guiding device 4 consists of two superimposed sliding bars 6 of circular cross-section, on which two carriages 7 slide with U-shaped evaporator covers 8 attached thereto in opposite directions, in that the traction cable 2 is pulled alternately in both directions by the rotating angle motor drive. In the open state of the aperture is thereby used, the available space on both sides of the evaporator longitudinal axis. The carriage 7 are supported with ceramic bushings 9 on the slide rods and guided and connected by clamping pieces 10 with the tension cable 2, which is guided via a guide roller 11 on the slide 4-adjustable. The evaporator covers 8 are easily interchangeable for cleaning and for different evaporator sizes.

Fig. 2 zeigt den Schnitt A-A in Fig. 1. Über den Elektronenstrahlverdampfer 1 (nicht als Schnitt dargestellt) sind die U-förmigen Verdampferabdeckungen 8 derart angeordnet, daß der Dampfstrahl sicher abgeblendet wird.Fig. 2 shows the section A-A in Fig. 1. About the electron beam evaporator 1 (not shown as a section), the U-shaped evaporator covers 8 are arranged such that the steam jet is dimmed safely.

Claims

22 1880 patent claim

, 1. evaporator aperture in vapor deposition systems, which cover the evaporator in the direct beam region of the vapor _s, characterized in that the evaporator diaphragm of two sheets, preferably U-shaped or cup-shaped, which overlap in the closed state frontally and parallel to the plane of the horizontal axes of the evaporator can be moved against each other ₀

2. Evaporator diaphragm according to item 1, characterized in that the two plates are mounted together on a parallel to the direction of movement arranged GIeiteinrichtung «

3 · Evaporator diaphragm according to item 1 and 2, characterized in that the drive for moving the evaporator diaphragm is effected via a flexible cable.

For this, £ £ ._Seiien drawings