DD151387A1 - Verfahren und vorrichtung zum automatischen transport und zur lageorientierung scheibenfoermiger objekte - Google Patents

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DD151387A1
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Erich Adler
Eberhard Weiland
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Erich Adler
Eberhard Weiland
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    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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DD22150480A 1980-06-02 1980-06-02 Verfahren und vorrichtung zum automatischen transport und zur lageorientierung scheibenfoermiger objekte DD151387A1 (de)

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