DD151387A1 - METHOD AND DEVICE FOR AUTOMATIC TRANSPORT AND LOCATION ORIENTATION OF DISK FORMULA OBJECTS - Google Patents
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Abstract
Die Erfindung betrifft Verfahren und Vorrichtung zum automatischen Transport und zur Lageorientierung scheibenfoermiger Objekte mit Orientierungsphasen auf pneumatischem Wege. Sie ist zur automatischen Positionierung von Halbleiterscheiben und Glassubstraten im Prozesz der Herstellung mikroelektronischer Bauelemente anwendbar und dient dort zur Vorpositionierung der Scheiben in den Koordinaten x, y und Psi sowie zum anschlieszenden Keilfehlerausgleich. Durch das einheitliche pneumatische Transport-, Justier- und Steuerprinzip soll eine wenig aufwendige, schnelle und dadurch produktive Variante erreicht werden. Erfindungsgemaesz werden die Scheiben auf eine Vorpositionierstation transportiert, dort in Drehung versetzt, am Scheibenrand pneumatisch abgetastet und bei Erkennen der Orientierungsphase durch Vakuum gestoppt. So vororientiert werden sie auf eine Keilfehlerausgleichseinrichtung geblasen, dort zur x-, y-Orientierung gegen Anschlaege gedrueckt und es erfolgt der Keilfehlerausgleich mit Hilfe einer pneumatisch gesteuerten Referenzplatte.The invention relates to methods and apparatus for the automatic transport and positional orientation of disc-shaped objects with orientation phases by pneumatic means. It is applicable for the automatic positioning of semiconductor wafers and glass substrates in the process of manufacturing microelectronic components and serves for the pre-positioning of the wafers in the coordinates x, y and Psi as well as for subsequent wedge error compensation. Due to the uniform pneumatic transport, adjustment and control principle, a low-cost, fast and therefore productive variant is to be achieved. According to the invention, the wafers are transported to a pre-positioning station where they are rotated, pneumatically scanned at the edge of the wafer, and stopped by vacuum when the orientation phase is detected. So preoriented they are blown onto a wedge error compensation device, where they are pressed against stops for x, y orientation and the wedge error compensation takes place with the aid of a pneumatically controlled reference plate.
Description
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Verfahren und Vorrichtung zum automatischen Transport und zur Lageorientierung scheibenförmiger ObjekteMethod and device for automatic transport and positional orientation of disc-shaped objects
Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zum automatischen Transport und zur Lageorientierung scheibenförmiger Objekte mit mindestens einer Örientierungsphase auf pneumatischem Wege. Die Orientierung der Objekte soll auf einer waagerecht ausrichtbaren Objekthalterung in den Koordinaten x, y und ψ mit anschließendem Keilfehlerausgleich erfolgen« Sie ist vor allem zur automatischen Positionierung von Halbleiterscheiben und Glassubstraten im Prozeß der Herstellung mikroskopischer Bauelemente anwendbar und dient dort zur Vorpositionie-The invention relates to a method and a device for automatic transport and for positional orientation disc-shaped objects with at least one Örientierungsphase by pneumatic means. The orientation of the objects should be carried out on a horizontally orientable object holder in the coordinates x, y and ψ with subsequent wedge error compensation. "It is particularly applicable for the automatic positioning of semiconductor wafers and glass substrates in the process of manufacturing microscopic components and serves there for Vorpositionie-
rung der Scheiben· „the discs · "
Charakteristik der bekannten technischen Lösungen; Bisher bekannte Positioniereinrichtungen für scheibenförmige Objekte beruhen in ihrer überwiegenden Mehrheit auf mechanischen Transport- und Übergabebewegungen· Es sind z.B· Transportstrecken nach dem Förderbandprinzip oder Schwenkarme (US-PS 3902615 und US-PS 3865254) bekannt. Der eigentliche Positionierprozeß erfolgt in den Koordinaten x, y und <ξ mechanisch oder pneumatisch, indem die zu positionierenden Objekte, z.B. Halbleitersubstratscheiben, mechanisch oder pneumatisch an Anschlägen orientiert werden. Die Lagekontrolle geschieht visuell oder, mit fotoelektrischen Mitteln. (US-PS 3797889 und US-PS 3890508). Characteristic of the known technical solutions; Previously known positioning devices for disc-shaped objects are based in their vast majority on mechanical transport and transfer movements · There are, for example, transport lines according to the conveyor belt principle or swing arms (US-PS 3902615 and US-PS 3865254) known. The actual positioning process takes place mechanically or pneumatically in the coordinates x, y and < , by mechanically or pneumatically orienting the objects to be positioned, eg semiconductor substrate disks, against stops. The attitude control happens visually or, with photoelectric means. (U.S. Patent 3,797,889 and U.S. Patent 3,890,508).
Nachteil der bekannten Positioniereinrichtungen ist, daß.kein' durchgängiges, Wirkprinzip für Scheibentransport und Justierprozeß vorliegt. Außerdem sind bisher -noch eine mehr oder weniger große Zahl von Umsetzbewegungen notwendig, bis die zu justierenden Scheiben ihre Sollage erreicht haben; Die Mehrzahl der bekannten Positioniereinrichtungen gestattet keine automatische Justierung von Substratscheiben mit 2 Orientierungsphasen und ist nur mit größerem Aufwand für unterschiedliche Scheibendurchmesser umrüstbar· Die Verwendung stark unterschiedlicher Scheibendicken ist bisher nicht, möglich· Die Positioniereinrichtungen gestatten nicht, Halbleitersubstrate und Glassubstrate für die Herstellung von Schablonen mit größeren Abmessungen zu verwenden* Disadvantage of the known positioning is that .kein 'continuous, working principle for disk transport and adjustment process is present. In addition, so far-still a more or less large number of Umsetzbewegungen necessary until the discs to be adjusted have reached their desired position; The majority of the known positioning devices do not allow automatic adjustment of substrate disks with 2 orientation phases and can only be converted with considerable effort for different disk diameters. The use of widely differing disk thicknesses is not yet possible. The positioning devices do not permit semiconductor substrates and glass substrates for the production of stencils to use larger dimensions *
Zur Korrektur des meist vorhandenen Keilfehlers der Halbleiterscheiben ist es z.B. nach der DD-PS 123848 bekannt, die Scheibe auf einer Kugelkalotte zu lagern. Die Kraft, die die Scheibenoberfläche in die genaue waagerechte Lage bringt, wird mechanisch aufgebracht.To correct the most common wedge defect of the semiconductor wafers, it is e.g. after DD-PS 123848 known to store the disc on a spherical cap. The force that brings the disk surface in the exact horizontal position is applied mechanically.
Ziel der Erfindung^ Aim of the invention
Ziel der Erfindung ist es, durch ein pneumatisches Transport- und Lageorientierungssystem für scheibenförmige Objekte mit Orientierungsphasen eine produktive und ökonomische Variante für derartige Systeme zu erreichen. Ein einheitliches Transport-, Justier- und Steuerprinzip bringt eine AufwandsSenkung gegenüber me-, chanisch-pneumatischen oder pneumatisch-optoelektronischen Systemen und gestattet erstmals die vollautomatisehe Justierung von Scheiben mit zwei Orientierungsphasen. Gegenüber bekannten Varianten wird die Höhenjustierung der Scheiben mit pneumatischen Mitteln in den automatischen Justierzyklus eingeschlossen, was Einsparungen in der entsprechenden Funktionsgruppe der Bearbeitungsanlage mit sich bringt.The aim of the invention is to achieve a productive and economical variant of such systems by means of a pneumatic transport and positional orientation system for disk-shaped objects with orientation phases. A uniform transport, adjustment and control principle brings a reduction in expenditure compared to me-, chanisch-pneumatic or pneumatic-optoelectronic systems and allows for the first time the fully automatic adjustment of slices with two orientation phases. Compared with known variants, the height adjustment of the discs is included with pneumatic means in the automatic adjustment cycle, which brings savings in the corresponding functional group of the processing plant with it.
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Der Erfindung liegt die Aufgabe zu Grunde, ein einheitliches Transport- und Lageorientj.erungs9yatem für scheibenförmige Objekte mit mindestens einer Orientierungsphase zu schaffen. Der Entwicklung eines schnellen Transport- und Vorpositioniersystems mit Phasenselektion und hoher Justiergenauigkeit der Objekte bezüglich der Koordinaten x, y, und^ kommt speziell für den Anwendungsfall der Überdeckungsbelichtung von Halbleiterscheiben mit mikrolithografischen Anlagen besondere Bedeutung zu· Wesentlich ist die Einbeziehung des Keilfehlerausgleichs der Objekte in den automatischen Justierprozeß mit pneumatischer SteuerungThe invention is based on the object of providing a uniform transport and positional orientation system for disk-shaped objects with at least one orientation phase. The development of a fast transport and Vorpositioniersystems with phase selection and high adjustment accuracy of the objects with respect to the coordinates x, y, and ^ is especially for the application of the overlay exposure of semiconductor wafers with microlithographic systems of particular importance to · essential is the inclusion of wedge error compensation of the objects in the automatic adjustment process with pneumatic control
Erfindungsgemäß wird die Aufgabe mit dem nachfolgend beschriebenenVerfahren und der entsprechenden Vorrichtung, durch Anwendung eines pneumatischen Wirkprinzips durchgängig gelöst According to the invention, the object is achieved with the method described below and the corresponding device, by applying a pneumatic principle of action throughout
Das Verfahren ist durch folgende Schritte gekennzeichnet: The method is characterized by the following steps:
a) Das Objekt wird in einer Vorpositionierstation mittels Druckkraft in Drehung versetzt und dabei am Scheiben- rand pneumatisch abgetastet. Bei Erkennen'der Orientierungsphase wird es mit Vakuum gestoppt und bleibt bis auf Abruf lageorientiert mit Vakuum geklemmt.a) The object is rotated in a pre-positioning station by means of compressive force and pneumatically scanned at the edge of the disc. Upon detection of the orientation phase, it is stopped with a vacuum and remains clamped with vacuum in a position-oriented manner until demanded.
b) Nach Abruf wird das Objekt mittels Druckluft und kon-b) After retrieval, the object is returned by means of compressed air and
stanter Winkellage über eine Transportbahn auf eine allseitige kippbare Objekthalteplatte geblasen, dort gegen , Anschläge gedruckt und mit Vakuum geklemmt. Die Lageorientierung in x, y, und^ist jetzt abgeschlossen.constant angular position on a transport path on an all-tiltable object holding plate blown, there against, stops printed and clamped with vacuum. The orientation in x, y, and ^ is now complete.
c) Es erfolgt der Keilfehlerausgleich durch eine in vertikaier Richtung pneumatisch gesteuerte Referenzplatte.c) The wedge error compensation takes place by means of a pneumatically controlled reference plate in the vertical direction.
Die Referenzplatte übt auf das Objekt eine definiert gesteuerte Kraft aus und die Objektoberfläche richtet sich infolge dessen horizontal aus.The reference plate exerts on the object a defined controlled force and the object surface is consequently oriented horizontally.
d) Wach dem Keilfehlerausgleich wird die Objekthalteplatte pneumatisch arretiert.d) Wake the wedge error compensation, the object holder plate is pneumatically locked.
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. Danach kann die Bearbeitung des Objektivs erfolgen, nach deren Abschluß das Objekt wieder pneumatisch von der Objekthalteplatte in ein Magazin oder eine andere Einrichtung transportiert wird.·, Thereafter, the processing of the lens can be done, after the completion of the object is pneumatically transported from the object holder plate in a magazine or other device.
Die Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens besteht aus einer Vorpositionierstation mit Vakuumspannung für die Objekte, einer anschließenden Transportstrecke und einer Keilfehlerausgleichseinrichtung mit einer auf einer Kugelkalotte befestigten Objekthalteplatte und einer darüber in vertikaler Richtung verstellbaren Referenzplatte. Die Objekthalteplatte besitzt ebenfalls eine Vakuumspannung für die Objekte. Vorpositionierstation, Transportstrecke und Keilfehlerausgleichseinrichtung besitzen feste seitliche Anschläge sowie eine Anordnung verschiede- ner Düsen zum Transport und zur Lageorientierung der Objekte.The device for carrying out the method consists of a Vorpositionierstation with vacuum voltage for the objects, a subsequent transport path and a wedge error compensation device with a mounted on a spherical cap object holding plate and an adjustable vertically above the reference plate. The object holder plate also has a vacuum tension for the objects. Pre-positioning station, transport path and wedge error compensation device have fixed lateral stops and an arrangement of different nozzles for transport and for positional orientation of the objects.
Die Vorpositionierstation enthält erfindungsgemäß folgende bezüglich ihrer Oberfläche 45° geneigte Düsen: in Transportrichtung gerichtete Vortriebstransportdüsen, gegen den festen Anschlag gerichtete Andruckdüsen und mindestens zwei entgegengesetzt gerichtete Drehdüsen. Weiterhin enthält sie folgende senkrecht zur Oberfläche gerichtete Düsen: mehrere Luftpolsterdüsen, zwei Druckmeßdüsen, die direkt am festen seitlichen Anschlag angeordnet sind und deren Abstand nahezu gleich der Länge der Orientierungsphase des Objektes ist, sowie eine Vakuumbremse, die in Transportrichtung vor einem versetzbaren Anschlagstift liegt.According to the invention, the pre-positioning station contains the following nozzles, inclined with respect to their surface at 45 °: propulsion transport nozzles directed in the transport direction, pressure nozzles directed against the fixed abutment and at least two oppositely directed rotary nozzles. Furthermore, it contains the following perpendicular to the surface directed nozzles: a plurality of air cushion nozzles, two Druckmeßdüsen, which are arranged directly on the fixed lateral stop and whose distance is almost equal to the length of the orientation phase of the object, and a vacuum brake, which lies in the transport direction in front of a displaceable stop pin.
. _ Die Düsen der Transportstrecke sind als Orientierungstransportdüsen 45° geneigt zur Transportrichtung gegen den seitlichen Anschlag gerichtet., _ The nozzles of the transport path are oriented as orientation transport nozzles 45 ° inclined to the transport direction against the lateral stop.
Die Objekthalteplatte besitzt eine in Transportrichtung vor dem festen Anschlag angeordnete Vakuumbremse analog der Vorpositionierstation, Orientierungstransportdüsen analog denen der Transportstrecke sowie Vortriebstrans-The object holding plate has a arranged in the transport direction in front of the fixed stop vacuum brake analogous to the Vorpositionierstation, orientation transport nozzles analogous to those of the transport route and Vortriebstrans-
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. portdüsen zum Transport der Objekte nach der Bearbeitung, port nozzles for transporting the objects after processing
in eine Ablage· .in a tray ·.
. Die zur Keilfehlerkorrektur notwendige Referenzplatte wird in einer Führung vertikal geführt und ist mittels eines druckluftgesteuerten Faltenbalges verstellbar· Vorteilhaft ist es, wenn die Vorpositionierstation eine den Drehdüsen entgegengesetzt gerichtete Gegendruckdüse besitzt· Diese bewirkt ein genaues Andrücken des scheibenförmigen Objektes an den festen Anschlag. Ausführungsbeispiel: , The reference plate necessary for the wedge error correction is guided vertically in a guide and is adjustable by means of a compressed-air-controlled bellows. It is advantageous if the pre-positioning station has a counterpressure nozzle directed counter to the rotary nozzles. This causes an exact pressing of the disk-shaped object against the fixed stop. Embodiment:
Die Erfindung soll nachstehend an einem Ausführungsbeispiel näher erläutert werdenThe invention will be explained in more detail below using an exemplary embodiment
In den zugehörigen Zeichnungen zeigen: In the accompanying drawings show:
Pig. 1 eine Aufsicht über die gesamte Einrichtung, bestehend aus Vorpositionierstation und Objekthalteplatte eines fahrbaren Tisches und der beliebig langen Transportstrecke als Verbindung zwischen beiden Stationen sowie den Objekten- und -abführungstransportbahnen 1 und 5«Pig. 1 is a plan view of the entire device, consisting of Vorpositionierstation and object holding plate of a mobile table and the arbitrarily long transport route as a connection between the two stations and the objects and -abführungtransportbahnen 1 and 5 «
Fig. 2 eine Aufsicht der Vorpositionierstation 2 zum fa-Benorientierten Ausrichten und Selektieren der Objekte nach der Hauptphase.Fig. 2 is a plan view of the Vorpositionierstation 2 for fa Benorientierten aligning and selecting the objects after the main phase.
Fig. 3 eine Aufsicht der Objekt-Halteplatte des beweglichen Teiles zum Feinausrichten der Objekte.Fig. 3 is a plan view of the object holding plate of the movable part for fine alignment of the objects.
Fig. 4 einen Schnitt durch die Einrichtung für den Keilfehlerausgleich der scheibenförmigen Objekte. Fig. 5 das Schema für die eine Variante der pneumatischen Steuerung.4 shows a section through the device for the wedge error compensation of the disk-shaped objects. Fig. 5 shows the scheme for a variant of the pneumatic control.
Die zu beschreibende Einrichtung stellt eine Funktionsgruppe innerhalb einer fotolithografischen Anlage dar. Die Objekte sind hierbei Halbleiterscheiben. Die Einrichtung besteht nach Fig. 1 grundsätzlich aus einer beliebig langen Transportbahn 1 mit Vortriebstransportdüsen 6 für Druckluft als Verbindung zwischen einem nicht gezeichneten Transportbehälter und der Vorpositionierstation 2. Anschläge 11 begrenzen die Transportbahn seitlich. Die „Vorpositionierstation 2 besteht aus einer Platte mit einerThe device to be described represents a functional group within a photolithographic system. The objects here are semiconductor wafers. The device according to Fig. 1 basically consists of an arbitrarily long transport path 1 with Vortriebstransportdüsen 6 for compressed air as a connection between a non-illustrated transport container and Vorpositionierstation 2nd stops 11 limit the transport path laterally. The "Vorpositionierstation 2 consists of a plate with a
Düsenanordnung nach Fig. 2* Die Vortriebstransportdüsen 6, Andruckdüsen 14» Drehdüsen 15, Luftpolsterdüsen 13 und die Gegendruckdüse. 16 sind 45° zur Plattenoberfläche geneigt und in Pfeilrichtung gerichtet. Desweiteren enthält die Vorpositionierstation 2 Vakuumspannringe 10, eine Vakuumbremse 9 und zwei Druckmeßdüsen 7. Senkrecht zum festen Anschlag 11 befindet sich ein versenkbarer Anschlagstift 12· Die Verbindung zwischen Vorpositionierstation 2 und Objekthalteplatte 4 stellt die Transportstrecke 3 zum phasenorientierten Transport der Objekte her» Der bewegliche Tisch 18 (Pig. 4)> z.B. Zweikoordinaten-Präzisionstisch bildet mit der Objekthalteplatte 4 (Fig.3) ' die Fortsetzung der phasenorientierten Transportstrecke. Zum Transport der Objekte sind Orientierungstransportdüsen 8, Vortriebstransportdüsen 6, Vakuumbremse 9 und konzentrische Va kuumspannringe 10 auf der Objekt-Halteplatte 4 angebracht. Zwei feste Anschläge 11 stehen senkrecht zueinander auf der Objekthalteplat.te 4· Eine Transportbahn 5 (Fig. 1) mit Vortriebstransportdüsen 6 bildet die Verbindung zwischen Objekt-Haltplatte 4 und einem nicht dargestellten Ausgabemagazin. Seitliche Anschläge 1 1 (Führungen) begrenzen die Transportbahn 5· Nach Fig. 4 befindet sich auf dem Tisch 18 in einer Feder-Führung 19, die nur die Funktion einer Drehsicherung hat, eine Kalotte, bestehend aus Kalottenkugel 20 und Kalottenpfanne 21, die die Objekt-Halteplatte.4 trägt. Oberhalb der Objekt-Halteplatte 4 befindet sich die Referenzplatte 29, geführt in einer Führung 28 mit Verbindung zu einem Metallfaltenbalg 27. Der Metallfaltenbalg 27 ist über eine Le i- tung und ein Ventil 25 mit Druckluft beaufschlagbar. Für den Faltenbalg 27 ist ein Druckbegrenzer 26 eingebaut. Über Leitungen 22 und 23 und das Ventil 24 ist der Zwischenraum zwischen Kalottenkugel 20 und Kalottenpfanne 21 mit Druckluft oder Vakuum beaufschlagbar.Nozzle arrangement according to FIG. 2 * The driving transport nozzles 6, pressure nozzles 14 »rotary nozzles 15, air cushion nozzles 13 and the counterpressure nozzle. 16 are inclined at 45 ° to the plate surface and directed in the direction of the arrow. The Vorpositionierstation 2 vacuum clamping rings 10, a vacuum brake 9 and two Druckmeßdüsen 7. Perpendicular to the fixed stop 11 is a retractable stop pin 12 · The connection between Vorpositionierstation 2 and object holder plate 4 provides the transport path 3 for phase-oriented transport of objects ago »The movable table 18 (Pig 4)> eg Two-coordinate precision table forms with the object holding plate 4 (Figure 3) 'the continuation of the phase-oriented transport path. To transport the objects orientation transport nozzles 8, propulsion transport nozzles 6, vacuum brake 9 and concentric Va kuumspannringe 10 are mounted on the object-holding plate 4. Two fixed stops 11 are perpendicular to each other on the Objekthalteplat.te 4 · A transport path 5 (Fig. 1) with Vortriebstransportdüsen 6 forms the connection between the object-holding plate 4 and an output magazine, not shown. Lateral stops 1 1 (guides) limit the transport path 5 · According to Fig. 4 is located on the table 18 in a spring guide 19, which has only the function of a rotation, a cap, consisting of Kalottenkugel 20 and Kalottenpfanne 21, the Object-Halteplatte.4 carries. Above the object holding plate 4 there is the reference plate 29, guided in a guide 28 with connection to a metal bellows 27. The metal bellows 27 is acted upon by a Le and a valve 25 with compressed air. For the bellows 27, a pressure limiter 26 is installed. Via lines 22 and 23 and the valve 24, the gap between the spherical cap 20 and Kalottenpfanne 21 can be acted upon with compressed air or vacuum.
35· Die Wirkungsweise und Verfahrenschritte werden nachfolgend beschrieben:35 · The mode of operation and process steps are described below:
Aus einem Magazin wird mit Druckluft durch Vortriebs-Transportdüsen 6 ein Objekt·(Scheibe) über die Transportbahn 1From a magazine with compressed air by propulsion transport nozzles 6 an object · (disc) on the transport path. 1
, _ 7. 221504 , 7 . 221504
in die Vorpositioiiierstation 2 geblasen und an der Vakuumbremse 9 kurz vor dem aus der Vorpositionierplatte herausgeschobenen Anschlagstift 12 angehalten. Durch ein von der Vakuumbremse 9 ausgelöstes Signal (siehe Pig· 5) werden die Vortriebstransportdüsen 6 und die Vakuutnbr'emse 9 abgestellt und die Düsen 13* H und 15 mit Druckluft beaufschlagt.blown into the Vorpositioioierstation 2 and stopped at the vacuum brake 9 just before the pushed out of the Vorpositionierplatte stop pin 12. By a triggered by the vacuum brake 9 signal (see Pig · 5), the Vortriebstransportdüsen 6 and the Vakuutnbr'emse 9 are turned off and the nozzles 13 * H and 15 acted upon with compressed air.
Die gegen die Anschläge 11 und Anschläge 12 gedrückte Scheibe rotiert um die eigene Achse. Durch ein abgestimmte3 Druckverhältnis zwischen den Düsen 14 und 15 wird erreicht, daß die Hauptphase der Scheibe parallel zum Anschlag 11 gedreht und an diese mit einer definierten Kraft angedrückt wird. Infolge dessen wird die Scheibe am Anschlag 11 nicht über die Hauptphase im Gegensatz zur Nebenphase weitergedreht. Der Abstand der Druckmeßdüsen 7 entspricht der Länge der Hauptphase der Scheibe· Eine sichere Selektion der Hauptphase der Scheibe wird dadurch möglich. Die Druckmeßdüsai7, ausgebildet als ein pneumatisches System Düse-Prellplatte, geben dann ein Signal, wenn dieThe pressed against the stops 11 and stops 12 disc rotates about its own axis. By a tuned 3 pressure ratio between the nozzles 14 and 15 is achieved that the main phase of the disc is rotated parallel to the stop 11 and pressed against this with a defined force. As a result, the disc is not further rotated on the stop 11 on the main phase in contrast to the minor phase. The distance of the Druckmeßdüsen 7 corresponds to the length of the main phase of the disc · A safe selection of the main phase of the disc is thereby possible. The Druckmeßdüsai7, designed as a pneumatic system nozzle-baffle plate, then give a signal when the
2ü Druckmeßdüsen 7 am Anschlag 11 von der Scheibe abgedeckt werden. Dieses Signal wird pneumatisch verarbeitet und schaltet die Düsen 13» 14» 15 ab und die Vakuumspannringe 10 ein, wodurch die rotierende Scheibe sofort abgebremst wird. Die Düsen 15 werden mit Druckluft einer bestimmten Impulsfolge (ζ·Β· 2 Hz) betrieben. Eine reproduzierbare und sehr genaue Positionierung der Scheibe mit der Hauptphase am Anschlag 11 wird sicher erreicht, wenn von dem endgültigen Abschluß der Vorjustierung, realisiert über eine pneumatische Zeitschaltung, die Vskuumspannringe 10 kurzzeitig abgestellt und die Düsen 13» 14» 16 mit Druckluft beaufschlagt werden. Nach Absenken des Anschlagstiftes 12 bleibt die vakuumgeklemmte Scheibe bis auf Abruf (z.B. Komandosignal vom Rechner) auf der Vorpositionierstation 2·2ü Druckmeßdüsen 7 are covered on the stop 11 of the disc. This signal is pneumatically processed and switches off the nozzles 13 and 14 and the vacuum clamping rings 10, which brakes the rotating disk immediately. The nozzles 15 are operated with compressed air of a specific pulse sequence (ζ · Β · 2 Hz). A reproducible and very accurate positioning of the disc with the main phase at the stop 11 is reliably achieved when the final completion of the pre-adjustment, implemented via a pneumatic timer, the Vskuumspannringe 10 briefly turned off and the nozzles 13 »14» 16 are pressurized with compressed air. After lowering the stopper pin 12, the vacuum-clamped disc remains on call (for example, a command signal from the computer) on the pre-positioning station 2.
Bei Vorliegen eines entsprechenden Abruf signals wird nach Absenken des Anschlagstiftes 12 die Scheibe über die Transstraße 3 durch die Orientierung3transportdüsen 8 mittelsIn the presence of a corresponding call signal after lowering the stop pin 12, the disc on the trans-3 through the orientation 3transportdüsen 8 means
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Druckluft auf die Objekt-Halteplatte 4 transportiert und mit einer Vakuumbremse 9 vor dem Anschlag 11 abgebremst» Durch ein Signal der Vakuumbremse 9 (Pig. 2) werden die Düsen 8 und 9 abgestellt und die Vakuumsρannringe 10 arretieren die Scheibe. Über eine pneumatische.logische Verknüpfung wird dann die vakuumgeklemmte Kalotte 20/21 über das Ventil '24 uüd Anschluß 23 mit Druckluft zwischen Pfanne 21 und Kugel 20 belüftet. Die auf dem sich ausbildenden Druckluftpolster schwimmende Kalottenkugel 20 mit der auf der Haltplatte 4 durch Vakuum geklemmte Scheibe wird durch die Referenzplatte 29» die sich infolge von Druckluftzuführung über das Ventil 25 nach unten bewegt, parallel zur .Tischebene gedrückt« Der Druckbegrenzer 26 garantiert, daß der Metallfaltenbalg 27 eich nur um eine bestimmte Länge ausdehnen kann, so daß immer die gleiche Kraft auf die Scheibe wirkt und somit eine Zerstörung derselben ausgeschlossen wird. Nach einer pneumatischen Zeitschaltung wird die Kalottenkugel 20 in der Kalottenpfanne 21 mittels Vakuum über Leitung 22 und Ventil 24 geklemmt und der Metallfaltenbalg 27 durch Schließen des Ventils 25 belüftet und in seine Ausgangslage zurückgezogen. Danach erfolgt die Bearbeitung (z.B. Belichtung) der Scheibe. Nach Einfahren des Tisches in die Ladestation wird die Scheibe mittels Vortriebstransportdüse 6 unter Verwendung von Druckluft über die Transportbahn 5 von der Objekt-Halteplatte 4 in ein Ausgabemagazin geblasen.Compressed air is transported to the object holding plate 4 and braked with a vacuum brake 9 in front of the stop 11. "By a signal of the vacuum brake 9 (Pig. 2) the nozzles 8 and 9 are turned off and the vacuum clamping rings 10 lock the disc. By means of a pneumatic logic connection, the vacuum-clamped dome 20/21 is then ventilated via the valve 24 to the connection 23 with compressed air between the ladle 21 and the ball 20. The floating on the forming compressed air cushion Kalottenkugel 20 with the clamped on the support plate 4 by vacuum disc is pressed by the reference plate 29 which moves due to compressed air supply via the valve 25 down, parallel to the .Tischebene «The pressure limiter 26 guarantees that the metal bellows 27 can extend only by a certain length, so that always the same force acts on the disc and thus a destruction of the same is excluded. After a pneumatic timer, the Kalottenkugel 20 is clamped in the Kalottenpfanne 21 by means of vacuum via line 22 and valve 24 and the metal bellows 27 aerated by closing the valve 25 and pulled back to its original position. Thereafter, the processing (e.g., exposure) of the disc takes place. After retraction of the table in the loading station, the disc is blown by means of Vortriebstransportdüse 6 using compressed air on the transport path 5 of the object holding plate 4 in a dispensing magazine.
Der Vorteil des Verfahrens besteht darin, daß alle Transporte, Orientierungen, Messungen und logische Verknüpfungen mit einem Medium (Druckluft) ausgeführt werden. Gleichzeitig ablaufende Prozesse verkürzen die Prozeßzeiten stark.The advantage of the method is that all transports, orientations, measurements and logic operations with a medium (compressed air) are performed. Concurrent processes shorten the process times greatly.
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| DD22150480A DD151387A1 (en) | 1980-06-02 | 1980-06-02 | METHOD AND DEVICE FOR AUTOMATIC TRANSPORT AND LOCATION ORIENTATION OF DISK FORMULA OBJECTS |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DD151387A1 true DD151387A1 (en) | 1981-10-14 |
Family
ID=5524464
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DD22150480A DD151387A1 (en) | 1980-06-02 | 1980-06-02 | METHOD AND DEVICE FOR AUTOMATIC TRANSPORT AND LOCATION ORIENTATION OF DISK FORMULA OBJECTS |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| DD (1) | DD151387A1 (en) |
| DE (1) | DE3120696A1 (en) |
| FR (1) | FR2483377A1 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0134621A1 (en) * | 1983-05-20 | 1985-03-20 | Proconics International Inc. | Apparatus for the automatic, precise transport of objects, e.g. semiconductor wafers |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2620113B1 (en) * | 1987-08-11 | 1989-11-17 | Commissariat Energie Atomique | CONVEYOR OF STACKS STACKED IN CASSETTES |
| IT1238402B (en) * | 1990-05-11 | 1993-07-26 | Gd Spa | UNIT FOR FEEDING PRODUCTS TO AN OPERATING MACHINE |
| KR960032667A (en) * | 1995-02-28 | 1996-09-17 | 김광호 | Lead frame transfer method |
| DE102021117430A1 (en) | 2021-07-06 | 2023-01-12 | Homag Gmbh | Device and method for moving workpieces |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3717381A (en) * | 1969-07-25 | 1973-02-20 | Texas Instruments Inc | Transporting and positioning system |
| US3797889A (en) | 1971-12-30 | 1974-03-19 | Texas Instruments Inc | Workpiece alignment system |
| US3902615A (en) | 1973-03-12 | 1975-09-02 | Computervision Corp | Automatic wafer loading and pre-alignment system |
| US3865254A (en) | 1973-05-21 | 1975-02-11 | Kasker Instr Inc | Prealignment system for an optical alignment and exposure instrument |
| US3890508A (en) | 1973-12-28 | 1975-06-17 | Texas Instruments Inc | Workpiece alignment system |
| DD123848A1 (en) | 1976-01-19 | 1977-01-19 |
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1980
- 1980-06-02 DD DD22150480A patent/DD151387A1/en unknown
-
1981
- 1981-05-23 DE DE19813120696 patent/DE3120696A1/en not_active Withdrawn
- 1981-06-01 FR FR8110821A patent/FR2483377A1/en active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0134621A1 (en) * | 1983-05-20 | 1985-03-20 | Proconics International Inc. | Apparatus for the automatic, precise transport of objects, e.g. semiconductor wafers |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| FR2483377A1 (en) | 1981-12-04 |
| DE3120696A1 (en) | 1982-03-18 |
| FR2483377B1 (en) | 1984-12-14 |
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