DD136304B1 - Vorrichtung zur messung des ausbreitungswiderstandes - Google Patents

Description

a) Titel der Erfindung

Vorrichtung zur Messung des Ausbreitungswiderstandes

b) Anwendungsgebiet der Erfindung

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Messung des Ausbreitungswiderstandes von leitenden und halbleitenden Verbindungen.

c) Charakteristik der bekannten technischen Lösungen

Vorrichtungen zur Messung des Ausbreitungswiderstandes von leitenden und halbleitenden Materialien, unter anderem. auch von Silizium-Einkristallscheiben sind bekannt. Der Ausbreitungswiderstand ist abhängig vom spezifischen Widerstand und der Geometrie des Eontaktes. Da die Geometrie des Kontaktes schlecht bestimmt werden kann, muß ^ede Messung mit den gleichen Kontaktverhältnissen erfolgen. Dies bedeutet, daß die Spitze der Meßsonde stets mit der gleichen Kontaktgeometrie senkrecht beziehungsweise unter gleichem Winkel auf die frobe aufsetzen muß. Bekannte Vorrichtungen, die auf mechanischer oder pneumatischer Basis arbeiten, werden diesen Eorderungen nur bedingt gerecht. Die Vorrichtungen, die meistens einen komplizierten Aufbau haben, garantieren nur dann ein gleichmäßiges Aufsetzen der Meßsonde auf die Irobe, wenn die Meßsonde stets in der gleichen Höhe aufsetzt. Beim Abweichen der Meßsondenspitze aus der zwisehen dieser und dem Drehpunkt der bekannten Vorrichtungen gebildeten Horizontalen entsteht bei der Sondenbewegung eine radiale Komponente. Damit wird die Geometrie des Kontaktes der Meßsonde auf die Probe und infolge-

dessen auch die Genauigkeit des Meßverfahrens nachteilig beeinflußt. Mit den bekannten Vorrichtungen lassen sich Proben unterschiedlicher Dicke nur mit einem erheblichem Aufwand messen. Aus diesem Grund muß bei den bekannten Vorrichtungen, so auch nach dem DD-WP 77 026 der Auf set zpunkt der Meßsonde genau einjustiert werden.

d) Ziel der Erfindung

Die Erfindung hat das Ziel, eine Vorrichtung zur Messung des Ausbreitungswiderstandes von leitenden und halbleitenden Materialien, insbesondere von Silizium-Einkristallscheiben mit einem geringen technischen und ökonomischen Aufwand zu entwickeln und die Genauigkeit beziehungsweise die Reproduzierbarkeit der Messungen zu erhöhen.

e) Darlegung des Wesens der Erfindung,

Das Ziel der Erfindung wird dadurch erreicht, daß ein Hitzdraht 2 mit einem edelsteingelagerten 6 polierten

4-5 Hartmetallstab 5» beziehungsweise gehärteten Stahlstab, über eine Aufhängevorrichtung 3,4- lösbar verbunden ist. An dem der zu messenden Probe 9 zugekehrten Ende des . edelsteingelagerten 6 polierten Hartmetallstabes 5*eine oder mehrere Meßsonden S angeordnet. &什. Der durch den Hitzdraht 2 fließende Strom bewirkt dessen Erwärmung und damit eine Ausdehnung in Längsrichtung. Der Hitzdraht 2 ist über eine Aufhängevorrichtung mit einem edelsteingelagerten polierten Hartmetallstab verbunden. Die «да» unteren Ende des Hartmetallstabes 5 angebrachte Meßsonde 8 setzt stets mit einer gleichen sehr kleinen Geschwindigkeit senkrecht beziehungsweise unter gleichem Winkel auf die Probe 9 auf, auch wenn disse eine unterschiedliche Dicke aufweist. Durch das langsame und senkrechte Aufset-• zen der Meßsonde 8 auf die Probe 9 wird diese nicht beschädigt. Im Moment des. AufSetzens wird die Verbindung

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zwischen Aufhängevorrichtung. 3»4 un& Meßsonde 8 ausgekoppelt. Die Meßsonde 8 ist mit dem Hartmetallstab 5 lösbar verbunden und kann ausgewechselt werden. Bs ist auch möglich,'mehrere Meßsonden an einem oder an mehreren Hartmetallstäben anzuordnen. Ebenso können gleichzeitig einer oder mehrere Hitzdrähte zum Messen verwendet werden. In einer bestimmten Zeiteinheit können eine Vielzahl von Meßpunkten gemessen werden. Dieses wiederholte Absenken und Anheben der Meßsonde kann vollelektronisch gesteuert werden. Die erfindungsgemäße Vorrichtung zur Messung des Ausbreitungswiderstandes von leitenden und halbleitenden Materialien zeichnet sich durch einen einfachen und damit ökonomischen Aufbau aus. Sie ermöglicht die vollautomatische Messung des AusbreitungswiderStandes.

von leitenden und halbleitenden Materialien, insbesondere von Silizium-Einkristallscheiben. Die erzielten Ergebnisse zeichnen sich durch hohe Genauigkeit und durch gute Reproduzierbarkeit aus.

Ausführungsbe ispie 1

Die Erfindung soll an einem Ausführungsbeispiel näher erläutert werden.

Der polierte Hartmetallstab 5 gleitet spielfrei in passend gebohrten Edelsteinlagern 6, die sich іж oberen beziehungsweise unteren Schraubverschluß des Zylinders befinden. Damit wird eine nahezu versetzungsfreie, verschleißfeste und spielfreie Führung des polierten Hartmetallstabes 5 erreicht. Der Hartmetallstab 5 ist über eine Aufhängevorrichtung 3, 4-die aus einer Piacrylplatte 10 mit Drahtbügel 4, Schneidenhalter mit Schneide 3 und Hitzdraht 2 besteht, mit der Feineinstellung 1 verbunden. Durch Längsdehnung des Hitzdrahtes 2 bei Stromdurchfluß wird die Meßsonde 8, die über eine Hülsenklemme 7 mit dem unteren Ende des Hartmetallstabes 5 verbunden ist, auf die Probe 9 senkrecht und mit sehr kleiner Geschwindigkeit aufgesetzt. Im Moment des Aufsetzens der Meßsonde 8 löst sich die Schneide 3 vom Drahtbügel Ц- und kann somit keine Kraft mehr übertragen. Die Platte 10 dient gleichzeitig zur Aufnahme von Gewichten 11, mit denen eine konstante Kontaktkraft erzielt wird. Mit der Feineinstellung kann die Meßsonde in ihrer Höhe über der Probe positioniert werden.

Claims (2)

Erfindungsanspruch

1. Vorrichtung zur Messung dea Ausbreitungswiderstandes von leitenden und halbleitenden Materialien, insbesondere von Silizium-Einkristallsaheiben, dadurch gekennzeichnet.« daß ein Hitzdraht (2) mit einem edelsteingelagerten (6) polierten Hartmetallstab (5) über eine Aufhängevorrichtung (ЗД) lösbar verbunden ist.

2« Vorrichtung zur Messung des Ausbreitungswiderstandes von leitenden und halbleitenden Materialien nach Punkt 1, dadurch gekermzeichnet« daß an dem der zu messenden Probe (9) zugekehrten Ende eines edelsteingelagerten polierten Hartmetallstabes (5) eine oder mehrere Meßsonden (8) angeordnet sind. -

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