DD129846A5 - Verfahren und vorrichtung zur ueberwachung von stromstarken glimmentladungen - Google Patents

Verfahren und vorrichtung zur ueberwachung von stromstarken glimmentladungen

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DD129846A5
DD129846A5 DD7700198782A DD19878277A DD129846A5 DD 129846 A5 DD129846 A5 DD 129846A5 DD 7700198782 A DD7700198782 A DD 7700198782A DD 19878277 A DD19878277 A DD 19878277A DD 129846 A5 DD129846 A5 DD 129846A5
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electricity
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DD7700198782A
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Werner Oppel
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Berghaus Ionit Anstalt
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    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
    • H01J37/32018—Glow discharge
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B7/00—Heating by electric discharge
    • H05B7/16—Heating by glow discharge

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