CZ2007328A3 - Rízení magnetického rozptylového toku u rozprašovacích elektrod obsahujících magnetické i nemagnetické prvky - Google Patents
Rízení magnetického rozptylového toku u rozprašovacích elektrod obsahujících magnetické i nemagnetické prvky Download PDFInfo
- Publication number
- CZ2007328A3 CZ2007328A3 CZ20070328A CZ2007328A CZ2007328A3 CZ 2007328 A3 CZ2007328 A3 CZ 2007328A3 CZ 20070328 A CZ20070328 A CZ 20070328A CZ 2007328 A CZ2007328 A CZ 2007328A CZ 2007328 A3 CZ2007328 A3 CZ 2007328A3
- Authority
- CZ
- Czechia
- Prior art keywords
- magnetic
- quot
- magnetic phase
- phase
- microstructure
- Prior art date
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/34—Sputtering
- C23C14/3407—Cathode assembly for sputtering apparatus, e.g. Target
- C23C14/3414—Metallurgical or chemical aspects of target preparation, e.g. casting, powder metallurgy
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F1/00—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F7/00—Magnets
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02518—Deposited layers
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Powder Metallurgy (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
Vynález se týká zpusobu regulace magnetického rozptylového toku v rozprašovací elektrode obsahujícímagnetické i nemagnetické prvky. Velikost cástic alespon jedné nemagnetické fáze v mikrostrukture je vetší nebo rovná jednomu mikrometru. Množství magnetické fáze v mikrostrukture je vetší nebo rovné10 atomárním procentum a má velikost cástic vetšínež jeden mikrometr. Zvolená velikost cástice nemagnetické fáze zmenšuje difuzi mezi magnetickou a nemagnetickou fází v mikrostrukture a muže zvyšovat protékající proud (PTF) rozprašovací elektrody. Magnetická fáze a nemagnetická fáze mohou být spojovány izostatickým lisováním za tepla, slinováním,jiskrovým plazmovým slinováním nebo vakuovým lisováním za tepla.
Description
• · I t I » « * · · ·»« · · Μ · * · t ♦·»·*· · · *·· * * * t · * i · ·· ·«·· ** ** 11 * : i z , i i i magneticého rozptylového roku u ιο/zor asovdci or t. r o -j obsahujících magnetické i nemagneticke prvtzy db-est rach ni ky ' ro vynalez ne zameieno na vy unci.· o. u.m t·,:··· i: i nemagiiet i cke prvky. 1 tCViaii L t; S t Zi v /1..4 j . C ! tyk 'i 2 ipusooú regulace magneli C Re !"i 0' to! u u vactc Γι elektrod obsahu; 1 ícich magnet .. i. 0 Rí LCke pr vky reqlací ve 11 1 Jv« j S t. 1 z") nzr io 1 -I- [ i í cke L a Ze v mikrostruztúle. vedro sta’· ; techniky esy poko vování rozprašováním se v š i i: 0 K 0 mi ře í po: i Líkl udání tenkých filmu maten •i L n ne 'Ole Jováné den typický systém ρ A kov ováli nzr 11 S 1' vánu: z ní r: ;; o r 0 dj θ I i 0 T U V d 11 i. 3 V ά R K . 11 e i e k t; j bilit 1, iu, a:: a r a obsahuje materiál, k t e r y i n mu s i t lili i novut. ;i.'Ví.l t ; / ě podklad, na který se rozpr ešovanv líkjt mni Ten t i- proces zahrnuje bomba r d·. ' V Cl 111 mar. - rizl i: u Z ker l elektronu nebo iontu r*t 10.1 LU ili tle knn r ! e m a r. e r i a i o 1. c k l .rody i' npteš,; v il! . iK-tZZ i, Ro: zpras ;o váný materiál el-i iktrody l e u k 1 ďánn i ti ki i.-niky [ i. :.m nebo vrstva na podklad. Materiály rozoř a kovací o h •a iekt .· .,>.j pro procesy pokovovaní rozprašováními .sahaj í od ''"i ot ycn kovu až ke stále více složitým slitinám.
Mi.piet rcnove pokovovaní rozprašováním zahrnu je I pe rrnanentniho rnagi ze tu nebo r: 1 t- 3 ' I 1.1(00. ni rozprašovací elekt rody a ap! 11kaci mazu i.z, --11; k i. i i du . Aplikované magnetické pole praozízi r. -0..,111 ;; i soiistřer iuje plazmový výboj na CO 1 !I 1 z: z ru nu r-;'ď Velikost magnet i tik e ho toku pro’ vtidézíZUIL. i s k i z e j r !u 1 e měří tm 11 ti á a často se o zni CÍLI O-; i e nu: není * • · · • · f • tet· t * • té· · • « «* · t * t ♦ · ttt ·· 111« · · * fl ·· ·« * !-: - !' proud" (Pass Throuy h Fd ux; : yp y Γ; ..U': ..· v.·-' z y I Ό zptyiový tok” (Magizetic Lea ka qe F iuxi imdi ' I!.-:· Z V Γ | /o pokovovaly i rozpi aš· _i V d. i i:: ’ | ’ f r, Ló p Γ ód S U V ď1J i Θ ! 6 k L l 0 d' / je ' kd Ok vy ; ...i ; . o j eut ron rekem průmysl 'd Z.r : i:.-..: i, ,U . 'Z 'd .1 oz z t. r. o: d k lí ri a u k 1 a d a n i Ztr m. . I r'.V í Γ! 1 ::,u • -j •z í i íx r a k tet u s 1 i t ni ma jnet '1 ř. Z ' . -.·: 1' , , j i-: :. Ϊ: _i J v ý j < í b Pí C G1 i i ói p i "i í\ G V d 11 o 11 j I Os Z I'il. L : mk· í ' za hle kt roidy. To má zase za na .0 1 t z d e k zem; námi:o vy i .. : i. . M V. T .'."jy zr kj d 0 U S h Γ 0 (j 0 V á I i I p f θ Π cl S 0 10 ho m-qi! :t um:dm '. i · za zky vytvořeno jato na slede l· o JI 'Oder.: . io "il" ·. ! > : k r ^ kováni se zhoršuje s r o S t 0 .1 i. 1 po r media i. hl I.ou :1<L , : ! ď . j ; UI koresponduje s klesají mm Fd F ms tel ' .:i 1 u j "i J permeaiei 1 i ty matená u eL Lktlí :eiy podp ) ! .i 1 I."' Λ-!:..: Ji'"-] y L'I ožni prolil, což zvot šu je v y li it.i mzd v r i J in ! r-k' ! ·. oj',,’ následně přispívá ke s i ] Žel": . im.L Ze·: i a ] oOZmv : ť i /'ni n os l d r s n y c h o r o z η i oh i- OÍ L : i ě i e kt. i v.i z' r ma i:···' I > J'l i men rozprašovaní z tne ZUi > \ f ' - oIo d-itu st. k rněi id než optimu Irm r ovn, mi: l.'[ mi' dv id :' k y t Z ! 1 : : i d í. t i. i m η. 'i me n s o v ani ρ s? i i nedL li 1 t y vzl i : 11 i; i r,r f :-m ' r.eciy přídavný užitek rm sto ne i í:ó'V!V '?;\g !' iv..· sl i -ií' 'kZ Líkl ad mého i i i.mu. !- ; .V- P' •išovaci elektrody je i.'i t. i 11. JZiFO po Z:l0 -1 rn i q r, e 11 c k ci ι o p o 1 e k a p 1 1 ova ze mu [nejn-zt i cl; ern:. i. :1'" " 11 ' '! ,-A PTF 100a indikuje nem iqr 1 C: e "i. cky nniker i a 1 \\ (. t tr L . ' " "d-lh taného poie nenr odl JOt. o· v a n ‘ skrze l G .. osm - -k! kT " materiálů maqnel ický h - k 11 . d je· ty P i ok\ ' i L' -V..11' y v rozsahu G az Ihu , r i ' 111. v e i ; ]..; K· Z!" V :' π .11. l:rli 1 u vykazuje hoanm·:. y II: ' li .· .1 ' 1 i i . :d' ; i :·.j | j z rve různých technik měi e 11 1 i" rte , G.e..l:·. 1 t 0:C hl i k, :.·! i i li: ! d; Ulili sr 1 i "i l y C 0 V Θ h 0 Π l d. C.j I i 0 t- U ''j , 4 i + / o, i ki 1 ;mpj u ar 1.11 : yku v : eri li'.· sLidnou materiálu el g k t r lZ iy a mzmi i t. v L.m ; r,: I·-!! i: .k l U.' V i ' i O Zlí pOUŽiti U X i ú i L [ i L H. 11 ..: m a; m !'. stlanou mater ruin cle: U 1 ,!OV VOZ : i h·. lil ·· *»»· ·· ··* t · ·* * * * • *··· · · ·· · * · *· I > *··· * * · 1*1* · ·· ·· ·· * ' . pr c-r.e.senéfiG přes r.e ! £;>'; ·· . ··/. i . j y : ' μ. ' i I; r: I. O p ϋ l S pí-- či Γ.'·1 S Θ í i S 1 C . ϋ K O L "1 V ΓΊΓ1 S ! π ', ρ- :.rrii alekLioda byla) je derínovana jako ATI·'. Γ ; : > y' vv;·-·: osivy nuď jako zlomek nebo pi..no-m o i s : nořen ί-d k z akr. n a ί - 0-..0.1 : ; "Ir· " : z.·:.· li··; i I ryj s;. b íh-.i . 1 ' ě: .o . - y·::.: ! '; · ! a dobru lineami κοινοίaoo pro ivodnev y : [ 11, o ! i : : i t. [bp ' i k. í. e 11 ·.' půdo používané typicky v ρrumyv li j . ol.n i k [.- e f i i Tř .v.· konstruuji Lak aby a o blížily P ! i z : V V: 1! i' II .... i ; v-m í. 0’ L, vy s k yt U '| 10 1 mu se u ..i ku.i..; 1 ni !i v: ; . ' o : v . z ·. v;·1 .j kovu n lni. kb moru Alb mu", i v e.,i v -i-·; 1 V VV v --1 r u-l. na výkon maoenalu olekr t 'i.íV i v r [ j V, o, o r VOVS m v o z ρ r a s o váni . s.· ;* i ivermabi lita rna gnotickoko ma teri ; 1 : i , - - !Ti! : u lži i ;.o i . Mez ;-Tk ,< ruizomm; v o r :ir. . ; , 1 ' : i ,-i 11; upíše eiz.isi u j·..· ve:::.) v v i j, v novu.·1:;: !' i.i',|l:ck ibKc [ it11 fU6 d \j 11 1 V !li;.d !. tr Γ i ί l i..1ΓI .11..; j.;V'l uicovany pouzí Lim i: o k" r i) l i e iTi=.i .]i *κ i diy·1 > r efkom íVSM) po dle normy rkSTtd A vbl-m·;. iiu cliarak t o; isr i kaon t ir-iteiiau roup ULd.VO v dl i... „J ei-dn t, -Jy . N.· >Ai r erdy je omezena m a ' :iivoL ίοk .ym 1 i dva i a kt: - r i -1 i. k. ui ili i: loušťkový m i zharaki. or is·' 1 rám m-uvishlo rvu se j i olekt: rody p Ϊ' .1. procesu pok:-vovar 0 13 to VVUidhOVa Navíc 10 Lomv pt μ·.i,dd. 1 v i t o ukováním omo:-: ená vody op .noi.1 s 1. i V.- d : i.·:-= i : Ld L Uv.1 . OpCC 1 1 1 c k 0 map m t 1 ΟΠΟ’.'ι- z. i i i y lil· ' i 10 t 1 :di d: l i VI t LI [. J ( ! k'.y vovan i ii-zp: id"van,i::. o: mol no· spéci f i ii i: oz;o.[ helii zdd-d dl'·,' !,".·[ ί'^ϋ'οΊ j A 0, d · IrU všeor- lín..· 1.1' jy r ; :v-u i '-".'γ'-Ί -i rozprašovacích e Lokl l i.o ·;Ρ.κ j i ·- · l ·. ·: i I,1·..'] Li. j 1Ί a L icko prVKy* LO mj dolin' pi'I. 101.-1, | :- v L.!
I ·*· t · * * * * ··· · · II > i • ····** | * t * I · I I * I · · « ·
···* * ff tl II
!I1Í Y. :it rukti ·, a ·, ar.'V ae o J. v r, e. pokovovan: U i’, u betli r'T F ρΐοτί;-;:: a i akt. 1 VI Ly pijkOvOVa!.] , a v a 'i i t'::; : 1 a -- !vioootnai.ky t ypior:yoa svate;'.': - , ’ ,r. íno-oine'- iokeao teku a roup rašovacich ,i okr ! : '] oř ; k 1 adiiá provedeni sta vajieino vynoOo;: !1 :! y 1 :.0.:11 moo.neo. ookeho ro:.:pt: yloveno koko 1 Ί 'v' -.1-,,0 a 0 110 i [oa cjno 1.1 c ke i ne [Hopne- l i o ke [1 !' V 0 ' vk i vyberu veliká :sti IďSLio ale f a a1 a v nu kroslruktura, .ode -jo v v-1.1 Ja a·f doni.i··, terno neiTiaoiin. t .1 eírd :.i.a lonoa ly' '."-a . > -v .. siií.) i au ',·. a , i i v - ad :,dn ο.,,ηη-ο ;. ·, ai rut;una·:, kdo Lato tn οοροή > .1!i.: :11.100--:0., t í : n-dn? rovna 1C at vana t n 1 ni procent'um -1 kd< eO 1 1 onor .i. o ká ídro v mi k:: 03 t. ni kro t. o m w· 1 .1 k> o.-o 11." 1 tr!Tl.^ijet 1 ckě ia:'^ /men :k li i 0- 0 J :. 0.0 no 3 ; . :: ΐ i. -: lo..ai t a a j. a a i es peň i edmoi m- O, :03:0 ' O' K 11 1 1 ; ikuiř V e 1 i k 0 s t_ c a s i: 1 ·. ·,-· fi a kropen '1 e-·. :- : i. o- io vybraná kok, ai. 1 y 3vylo v, 1 e-; r. 1 · · i r Ιο . i ( 1 : aer 0 se v,:i. e 1 o to. rotí v :οτο:·η1,3νι 00 .e [ i. ·.. II,· : v ;:. !Urí ] na.; y„t.' ko LI ] ei L 1 . J 0 , !0.a ' :: ' '11 .00 v mi kr ost:: uk r i . t 0. Γη Ί 1 . 1 ; ’ a ta ,1 í espou jedna nemá 0331 ; ·; k : f ,1 o,.- 00 íktnto kombinovány i 3 031: a L i é v:o 1; :-,.0 i.a : o I » * · · » * * • * • · » · * *· · é «····· · * * * * f * · « · · · »'·* * *· ** kdo:, |iskrcvýit< pl a rrriov yh. .· , : · :.· : ss Tepla. kkok při uradily o r po ’· - o-';. :. . ‘ - V ; - : K i .lUa '..1 ťt i . i .. '"ja : : " ·: - : pr ašeVaci. edikt; o· ba 11 kle k";K;e,i,l e .'. VI ' e TiO. , :1 i 0. tioho : :lbl ě k y i i:v v!:· !;. ; i ;. ;ť . k 1 .eonydí pí' aveo> οοο; i : ;' . n. ; e i kOirsykOV r.ěr: ,r i . r k liy y.toi-k k: : * L ! . Map ί lil 1 : i. ub·. 'kek 1 e , . 0 , ,.l i ' .'1 . ď v_ ;J K , cil.1 y .·.111“ 1 l J:·· . val y ikiu:·.. ir.ee i tu:· ·: t i ·.:: e "q o 1 i Cen:: cboahi.eii o mu li,lei k Ok·:, uu t -j S t:: dkus: plat i ny ( Ft) V k i. ikk - kum i1 .o en 1 e 1 Li , pt:otnkuί iq: prond { krt1; Nej. t 1 1:.. eU ; "i: k , 1 í Pl ;· muže byt :·: iqubv luiki ' ..ii v lei , e n-bo rovnou jednom I.j i'l 1 i. 1 ·: i o mu· i. r, .> mu o.· m: i kok. versí nebo rovné )u 1 0 mi k o.k.'k' i;im . k:i o-k ! 1 'v M ei 11 (dÍUéikf1: tb t 1 C kel t Fi T. oj v :ni koei 1.1 ukiii.: nu::·. : t lí. ρηχίοι: né riurodny ; r Mi. iq i ir í i i kJ .1 o-ι v ;r ί κ
Oilk 1 Oky lil 1 ρ i y 1 e ;y π i .· ι αΐι ρ i'.. k .1 u d n yc h L c 1. e o Vy· Cli pí v ve k V : t i ; i i 0 kí, avšak nej tnou OmelOiie Ol i e : j 1 1 nk tkl' eii rody . U ρ 1. u zim vedl v - '.· l 1 ! : O,.:, li : Π VI..1! riebo pokovovat' Id: oyo Loru·; 1 .·.1 1 u ' o bií i.o k r oroi inkova'..ni mu p 10 '10 ': :.i.l 1 ny:i em díiaqnet ronovii karodu) e o .·: o eljeOnil k ·. 1 0 k. |..' ] -i S i J v/ d 11.1 , L liro i in;.iqne-d :k o jl ! 1- Se kolu ii rnuprielioko po.i:: m.l :: Ί '1' .'' Κ . ’. . ulály katody 1II...I 1. ř Γ i : ! : : ii i .· -'..ι· ' 1 li 1. ikn· LI i i 11 i, ale’ ' eitkk 1 de j . L Oi : 1 kť i .o\ . lovu. ode krb Iisv.i; :. i ke i e 1.11: i ίο 11 kacli m,.id-r i n k; lek' I1' ' J y y norka .i 1 d:t rody 'JiTič1... di! u "i· J ' ] ' . d [il. vili .i . *·» · * · ιι« * · *· · * * • *«·*·* ·· ·*· * « • · ···· ·· É t ff » I* ·· ·· · — l· . 1 - K -iá; 11, l, c í i oT. o "ιά L e ř i 31U . P .. 3o3,:3 u. o : : , k' ,: . , -O. k : r , 3-3 mohou Wr.aFčl 3. il.1': '-i-.:r.3: 3 '-i'..!. v o riepsene produ kt i 3 j :.: mo::. umenšením svakami; prosí ; ί pí. 3vm;· i Τη'. -O v srílési 0 1.0 3VÓT Sel':! PTl· T-p :1,11:.1::,1. , 1 Ί-['t-OxicI ruipř. Τι:-0Ο--Γ io , ' Í3-yk: .0. ::,113.0 vys- kyt ονα i lín u.uiu-mé : o .1 i i.vím-.,-; ; 1. i.. YOL.sobi c PIF elektuxiy kurn-ir oti:: m-u >..·>· p i . ! ; i·: l i v i t y pu kovová n .. u.upruš.." 3..1::k·:;. · 3 1 t: 1 způsobeným PTF o p ó ut i-.u:-ok π >·.ο1 i 3! 31 l u k L or i st i. ky olokvrody i, o op. 0 liti k i V'33 l.OUtK )010300 sii vy se kot opit -tro k 0..:::-3 rričoi sloň kanu práškové směsi P i-'1 ί nupí. Cr-Co-PL- -S i 0 , Cr-Co-[0 : - ΐ i -.i iiij-jno1.:.i oky suscopl ibi i n i ; lpi 1 Κ 333,:11 líhl O Π 3131 00 . dl rPÍ : mmyor: pí. 1 κ..,-;-;π, /on p; :) : 1 1 ij-je 3 v o iem v e 1 1 k 0 311 é 3 31.1;· p i 31 n. v l .1. ! : 3 mu | oin maqne l. loky rusí v y-.:l _:-'o3.3 FTF. Pro daný priu cos ki ,ns3.i ořu- 3- 1311 'ίο-·: .m pca oku "na tm di. 1" pornu i Οι v,i. m ,t -ve -lok too xiu. Podle koho ol·-, volu i.i v Όι- " í ir.ymi pu-vooleui sLavďýíciho vy na 1 tmu oi uipín-m-noi:1 [-Τ' 1·', n-.u 1.::1,1. ·.:]:[ i.inál ním požadavkům roopioóov.-u': k,mouly 1 33ip.; uiit iopo vyhovět požadavku:!, i,3 i v ai -.-. -.-. Novu i 11.1 vyn-ooi oidVdi í ciho vyna letu 30, v- 111.:3..01 t.. yi
Mi.ii t .uly pro ronpuišovaci e 1 o k r 1 -n i v y.; v. 3 o , Kh..-u i.1.·'' my předčili .3 tm no vony PTF imdr.r i :..331-3 33-:(1 í !111'.
,3' , .V-, " U/, kdo I SOU OiOiil 3 I . : V i i :-:3,: ! r. V , P .; i :o.'i3. ;.:,.-3ir-.Ίοruku..·· popům, v·.· 1-::-0-.-:1 '.o-1 : . ’ 3 i ; : p.- 3·. ί 1: .1 PhjUOč i. ' 3 J1.: |3 10 V -33 1 <.-:i i i 33 ’-3: i -O .--.Ui.l 3,- I ' · ...... I I > #*·· ·· * *4**·· ·· 111 * * • » *»*t ♦·· Μ·· · *· ·· ·* * ..z:.z :e: k c.od i f i kďciir v r i j ;·. :\ý>':ivyzz .z..-od podstaty a rozsah stává;' A·_ i L·. vvná: ;ti •-•ta pohlížet r,a vykic-ev μ l, - ;: -:zi ; : i i třmi ho chai aktem ,-: : ./-:. i/::'--k:.-h or/ráikú na v y Z ve c-i/Oi; I k j ni π a výkresy, ve klorvcz i. ,ζιη-.- -:.:1. ...i-:../ i.: ve esech ζο,ιρον icia'ví e j. -os' : , ; z ZM >:.-br az jednoho pí. i k./ ozim-s, prav. 7.. materiálu. Co-Cr-Γα ••Tid z--o:n z: - i -' i. I /i: t. i měřeni (ti. spektrum 1, sp· kv : r.l Ip í. Jčktrum 4), kde lyr.o ,7-1 Z, f · i :: Z Ú Z no magnet i.cko a iu~-m a ar 1 - i : .z k- 1 IdZii/yCt 1 ρ i";) v e d e n i s t. a v a j í c1.1 h c- vyn.í 1 ez.u, - fF.DS i r e 11 q e n 0 v y s p- e k t r 0 s κ o:.. ί zky : .1 ť ezzzn i i ci přítomnost :0::117:17 I I .· ,:z v:;-'- ' ;>· i·.: h:' u r α i zobrazující př i tomnost. luz: , .j -v niiK: .o r::κ! ηro oblasti spektra 2 presΡιν-νίν. ζ-.-ΐιιρ- vir-; -\ z -.ο:. 1 podle různých pd"i k ; ,ezz.z-n ::--:0.--71-. :u . -1 ·< k.i/S graí zobrazující duze v m ; z 1 1. o t. ou k t u i . .:.·η. i :7-..-:--:1::1 - práškového kompoziku CoCrřt-T id- z -,7::. 1 . 11 ·,· i, „zíz/zí. při kladných provedeni stávajícího vyn..: i -i : . - - ' RlkS η r a í zoo rď ::n i.o. ! : : 1': z.i.i I 1 r 1.'z vynařežu, " 1. - 8 * · * · * l *··» ► · · 1 > ♦ ·· » * · · » · · * *· ·· VD: . θΡ . i:ipc:' iu z ' ] · ·, i :i ke v j ‘ . ·., jO\ : - i,; . ·. :· "l OK-· r . r<H ; r kL - k I l , sov,'i:i j v.a SEM obraz materiálu prášove h o k,. •-mp ;' i: u Se,- ' y ma PTF 81 o, podle ruz ' r t.-ři k . i lidných i čího vynalezu, SEM obraz materiálu prašove ho kc .mip.jz 1 I.. 1.4 CG” ;y má PTF 681, pod ; 1 e ruz nyc :h pí i 1 . . zi v ÍΙ i v l ! 1 r crho vynálezu, y i a l. znázorňuju:i n.r.,, ecat : . v. V - : su:-· malér: i silu ρids kovetuj kemp ii z I t L i ' 1 -C r- -hn-r.d. oaie r áznych provedení stav; π i C 11 10 vy na i ezu, e EL) S spektrograf mater i a i LI p :' -o i G kC V cr f i U 6A, kde tento spe kt roqra i nc ! i ku·; n.izsi _c i ch PL, a tedy mění π ditu: : ί me: z, to i ot ..i uter i pod i e různých pí iklac my, cli P ' .ovaděni lezu, e El) S spektrograť ni a t e r dél l, [mv tS koveho . 6B podle různých při kl adi i y o i í p 1 naveden i .lezu, SEM ob r a z mat e r i á1u [ vráskovv don R; ...vnpo: mru Co- eného teplotou 921 b S Lzaom . J ' ,ba COía ; . i S G V, i 1 1 '· i dosáhlo PTF 6bz, p,. xiic i.u ' i i y •eii p ř 11 : 1 umných i o i ho vynalezu, SEM ot zraz materiálu pra.sově ho b Mupor ,t.u Co- i v e n e h t :> teplo t o u 1 . 8. Ů 0 j. zout, ΐ f. '1 C keln -1. a, a tj y s lj d o s 6111. u PTF 84 1 PL mrk niv í i yv t: 'celeni stávajícího vy nalezu, S E M o b r a z rna L e r i a 1 u praš kov G t 'i t k οιηρ·,.ο .'LILI C.O- r y má PTF bál., a k cl e 4 e pouz : t 0 i. j. t. i i;o v y podle různých p ř í k i a * _í L 1 V 'Cil p rove tlen i \ 1 řřt 7. U f SEM oi zraz materiálu Pras kov Okr. / k emr* v i t u So - -,:v ma PTF 8..':.., po< i'; i·..· i ho vynalezu, a • * É » » « t ♦ · • * + · · ·· · * · • «»··· · # * · * * · » · * ft · Φ «·« f«M · I· ·* ·· * - 'J ~ - 10 Z V y Ξ O v 3 Γ| í ď t ΟΠΙΟ V v; .0 O ρΓΟΟΟΓιοΰ Vs..iPo m Wríálu Co, iako }o Co-Cr-Pt-T o'; , v mil : 'j " ,i i. pí ovederu stciyay:> ~ o vyini . ·. z z.. ioi_y tom. i s_oř i kiuciů ko:o k r e r. n ion provoznu.. v obny nop.is uvedeny mže v·· sp· , ; : i ,ν mi vý kLesy ] e 7 a my s 1 c-uv lak nal e z. u a není zuíia U Už i i o :)0 0/..-0 : uóelom poskytnuv upin-bo pn i,yuiiuěn: yí.ko-:'.;. P:'o L. y, k cl o i sou znalí stavu techniky, νην lo.o.k: ii.vi.dnv že- se vynalez může prakticky provdáš', i. bez iťvhr.o i k v zz Jel a i iií. ůu.vky 1 v: k ilustruji různě př i Vadne V z. o pí ím loven . ru I " T' : : ti lila L erialu Co -Cr-Pk-Ti0., kdo í; / .. :. i dono. otl o ve prvků a f ϋ Z 1 d LI p1 ť či V v 11 L 0Ί O olovo .... Ž ·. 111 1 ;, j ,1'V.i nuu VP. Různé f áze mohou vzwnr !Š ko:· .0·: Z 0 Lovu η-· :k - 1. 1 US 1 1 ováli'..: niďqteLoovz.i 0'Oiu 0 ’ '· , jí; „ . 1 Llk vir. v v y ob i a Z o ne ΙΊ.,00.. 1 ·· , 0-0' z 1' '1 - ' 1 ; by: V 1 v o. iv C] 1.0: t icJk; .1 táze kl z Uzo. ..o t V 10 TCo:; o. i m i kr-zs r. nik tury p ) Γ sol S k O V 6 kl C' -L ΟΠ LP IL .1. lot" : tzu.o: r-oi. -710... Ty z o t a ze, kLor é mohou byt m a o 11 o t: i nebo.· :': z 1 v v . 1 . .0 . r V '· mohou upr avovat, aby se 1-Ί : č roň lolo es 1 ' . íšuo-r i k 1 n d voli kos t 'časti..:·-· „i i o' " O 0 l '
K :. i Viktory mohou byt zve 41 θ n y i,;,i i,j, , ..a b y v r o i11 1 V O . . ! ’ MU- \vz o; ni i k rošt r uktury. pj c 1U L 'L U V Γ '-.i 71 11 ď" i ve i i kost. i u O' ρ l v vu ..i uspořádáním maqnetiokyon o remanne!i o kyvy .. f o·· ;:;ůív u elektrod pro pokovovaní r.'dLf.M oik'..! Voli J II je CíllM obraz jed nok. o pí o k I ndn-o.· iojvuv tu !·' i a I u Co-Cr PuTio zo ον i z i: ; i >: Ví zp-ki ujm až speku uit 4·. nu: nkne ukuť , oblast šO (spektrum zl, oblast .V vpez:: rum é V * I M · · · • « · · I ♦· · ♦ ♦ I ··«··· * * · · · * * « · · 4 · 4··
IfM · · *· ·· · pekt rum 4j jlus trn;u vyt er a tu.:: , oiLy S c; V k1 ompozitu íio-or Ir 00. 1;1 ·./ p e .1 oblast. i i t j. ok las ti Oj piet i cke nebo i lemanneti· ;;ke raze : ied i nei ίο prvk u nebo i ; rnioiu; ski ljj, 70, 30 d 40 jSOL i px eo/:·:: i et' i é i ku 2 až 5 a jsou pc iρs.ane 1.1 > i ΖΓ; ΐ\ά\ máčené bedno L y pí i k 1 a ni procent pro k azclou ot ' 1,1 S t : 1 ' jeden P1 r i k ! a tl ny kompnu" . 1 - ' 1
Tclbll] kci 1 Λ r .; : til OS til 1 pr oceňt o ρ i v ku pro prik: ,1: dup 1 i > K ‘ ! [Ti 0 C r nor um i ' i i; \ . 1 , ' r 0o,:i iO r um 0 25,21 : 1 , 1 '' 10 0, Γ; 0 0o, rtMnu 4 li.), u ‘i, 2 1· i rent nenový sf. ,>ekt π.Ό kopí c k j p r i r t 1 I:d i ku J 1 0 i mi V.l ostrukt :,ru o illd ! :-:M. : . ÍilusL 10) podle různých p n k ! ..illliinl i o t. i i a 1 e z li . V roh o i y 12, 14, lu a dl ;Z r i 11 i činelu.' kompozitu Co-C r-Pt-Ti o byl pí· κ.·.λ::·.: l: iu zjištěn v oblasti spektra i truipř. i.-L:· 1 as r jr r .'br. 1;. Tabulka 1 také naznačuje, ke tvto zvoleno I ti ,il'.triové hmotnosti Pt, aby se usadí- v blusl i lu. i.· .T!i r i t. ^ : t.;; řate Pt kompozitu Co-Cr-Pt. T, ... je tepy i·'' i r ou i a v oblasti 10 z obr. 1.
On i o1 ime-i se na obr, 3, jsou v qtaťu bk-S vyobrazeno 'η . e:/ , . i, 2b, o, 27 a z8, který i uiii ku p vyber a ."nstkn.i oa:'e: To u t'r v mi kroskrukt uře u spoří re i r. j . i ;.i.e - e "i oTu . 1) p r i. kladného koupen.ii /.:.1 1 llíb, ^ i . a _.i) J SCiLI r^pXO a:;í! Γ. ď h 1_ V [ , I · * *»· ·· ··· · t «« · · * • «··« « I ·» ♦ · · · ♦ * « f I « * ··· ·*·« * «* ** ·· * i O i í 7 i ko I 0 O 1 . Opoť. Obr. : i I i.j Ot Ml''-, i · -t i -.jst í Iijpr. oblast. 0i.11 m i krosi. r .1.01 a:· v -4 . opoeiMcké chart ttoric Li kv (nap·!. r;0 ' " :.f on :·.*. omaiiiioh procdiu:^ ni v ;ι-ηΐι..;.:,ϋ : - ioo 1.cO :, v t-mr-.--om ,e::. ne.: ve spektri; 3 (oblast. Od :í.-í ,oc . 1. 40, y 3 , a :n i 1 ,_isί i u j .1 fáze Co v p.f i k !.ujmou, μ : .ed·:· v. o. Z. COC- 7 L 1 0 0 byly 1110 Q il CO 1 C-0 1,00..0.- ! ,:0, .1170 k ; - ;i. jen at oiiCmich procent ve spěním o zaanvir.. :..i ; i o : mi :.j z ·;·πο. v Cévo oblasti. V oblasti ok nrino: a: ηΟη·.: n i o: . i tady tase Co část ηΐηρηοο oone ta z. ο μ·; ,--:0.- - " i ’ .'V . O 010 0:1070100 búHipOO. i Γ O OOm: 0.0 “ 1' O 1 o ’ . o κ:. i: vo spekl o .i ! obl fls i 4.0 o..o . ! , -iy, 4o a 47 řep rocen to i] : οι 1 : oo 0' Γ': . i ml i Kli ]! vrcholy 41, -dl a 4 4 f .1..-· i oohov: o 4 7 mdoknm fazc F4; . . k-b: : e 11,1:-:.-1-:-10 1 ro 1 :.:. tuto obiasť. zvolen Co s at-nna 1 n 1 ir, ριηomni „ e keioiu o ::o. osamím procentem kolem o ;p p | tcfio to’ Ik-oie přítomné v teto obOmv ; :nik: r' : ,4-o 11: : o. Obr. 4 kecy i 1 u.o L ro.n e, že r.-okiO o .oblast- · »··· · * «·* I t · · * · ( «·<· f I ·· »·» · · • « I··· ··· ·Ι<· I Μ ** ** · -Ji 1 K , Υ. L S ί Ο :ΐκ;|". 00 Κ' "ι Ζ ΟΙ!. ;! ι θ !Ί η ΟI.1 Γ . i . - : m-' i. u ι „ οι ι γ.. ,ΌΓιό ι.Ί :3 κ z J' υ ::χ :u ο dl·· : '/ y 111 οs u . Konkretnc-ji má: οι Γι': ο-..· m.·. m- díl··: .ι ι·: , Ji i V (Ti O i fiIUbtř CďSt icc P l , ΠΙΠΟΟ , VjS I. V ’:: !: . i, i1 v-;! i kosti votsi nor. "'eoen ;;.i k i mrm. r . Pii i iki.iri μ;·., msi noho rovno dn μτη, noto tml··. ::n: "·ο:θ'.ν· μ:: , i as '"i 0 μιη nel· · ' 0 ,i d - : um. d , o i ·.. r v v; : — rr ;· ,i př mladily nnb.mul· : m.1 ρ; .ό j·: : v ·.. .· i i ·. ml kuok div.. Oblast 110, která ie v :0111 Os ί:ο· V V o .. 10 t r : 1 ο V 3 I i d I i O ISO b . I 3 , . eb ! ;.> d 1 i ; <. 1 11: i. , o b 1 a i -1 častit: Pt. Oblast 1.01, i·:1 i,· ·,· : srs 'π pit: Kladnou oblast Imstiv: d'o π o;..· o «0 , imí.··· d.oOv: lis a Cr. Oblast 130, stem ie m smvn.m. : :u tmavě tónovaná, robratmie iodim p r i k bv.lnm: dlM b t a d :m 'v. I 1 a . lnete proměnil sta voj u..:i i,, vynu,! Orda· o v nPM o ij r a a o v obr. eb svati.·- t r r. <> - ' i m ;ί >. I. nuy- '· ml i i u pí 1 k J a o no u ob.la.at basi e m . oel o
;M i ti p r i k ί a d: i o u ot i : 1 .li ,l d. n· i. u-vnaiii s oblasti ? O 0 tmavé tónována, sem a m i e· ioairi i:s.i ivb : 3st Cďs 1. ;. c Ti.0;;. .dort prd· příkladné Ιοπιροο: i t y r.: η-1 d r 11-': i. - :m da d: .r : m tl * · * ·· « II»· · f · · · « • * II·* III· · ·· ··
É t rr n 1 vyobrazeném η:· ob r: o -í r: o i' i ά 1 o ICO k.omooz : L.a hrubím i , ·, v/ O.1 LLITi O 1 , , Z" : LUN , Ol 0 1 : O-.., ,0 : částice pAaŠ ku ř L . obr. .. 1 - ! volriro :: 1. 0 octi c e ί v rn 1 κ r o:nc-1 r eoí : Ol: i . ' i í i ' o-z pro conkijoliii ho d n 01 u) rt pro pi. :oé kov - Z 11! a ! ..1' 1. -Ol LU V- 0 srovnán: : s Pl ptu proškol "/ [('.Ί, : -o 0, L P-ir | rkiZimiěeho ; 1 n o -br. d dav a;': :, kro: ; : - i 0 .o;· A,.; μ;η s ob 0 oj í r 1 <1 v;' 1 t r -j k " 1 ΓΙι-Ο i . : 11 - -1 0 : ! 1 η o z 0 b r . "M olbl'; . Z,i K 1 , - : ': 1 ..1 ··.;i_, liz. -o ·οο.ζζ-ο kose;: méně nebo rovna 10-', 0-,k pr i i: a dna ob 1 tiy t 110 nebe- i i né p· -d
On:nt.; -zemi Pz -je co do v·,-.i kov: ; ; zlu z obr. 6B. lo :o.1le i,-.)-1,, is licemi bt (nnpr. Áó ík 1 ceir ob.SdliLl ] LCimi kb. 1 ;izij..oo toi 1 10! omezena. ypf-pi . -i. ... η-: i. , .-i :: nor. PA i múzo bvi v od v :οι·:.-·ν ιΐι,ρ ,,. .-- ; : :-.- ; :o-r i vhodn-žhij knii.jlu cm: m 1:.10- I : o-b - - . ΑΓ0. Jol: jo π,ζρί'j z 1 od : 1 zaz.;:.·. n.: ·.-[.! , i.·:-, i i n::-j 0:1-:-:)110 kanály umu riHqnr-i- i o kb .1 -srn ln o V"·: ΊΟ·' o, ipí: . PTF 10 ubl pro 'der. :11--, kdež'-, n : . -.0 zo.o u. rro-nsi diíuzo duskic bz s zzoo :0::-0 o·..· zA -i Ob isou renfqenově sper: c 1-.00.:.:-0: o 1.1 ooi.:z '/oo -oieoji- 1 Kl.-S) práškového komp-zz 1 zn 1 hz- :o-o vo i .-i , o :.00.: o A : - apekkivc 6B. ďpoci t io::ť.e i 1 : i oor 10 , - P.00 sb ρ-..-ki :00,:/,1 ni a: o-r .o: η 1UU pros kovcln: kzmi[.... z . zu :.!: r , on - 14 - - 14 - • * • * • · * » + · · * · « »*·« · · ♦ · • * · · I » MM « · # # .{i i 7-i i lont i čásr. ico a rudl..'.,: idiom 1:00 -.ni z obr . t- : '. - - 1' bálu kompozitu 100, a Loay nn-ná . ; i n.i 7 7 a částicemi Pt v práškovém 1707.-.,: 7.0 1, 1-OU7. ’ 1 oii hrubých 1 0 a a; i ·.: i-1 •7 pí .0 7 10 .γ κ; cnr.Oz i t u se opét minim. dl i. ...7 ΠΟ 707 í; ' lili 1 7; ..1 !. 1 U 1 ar a do a m tii že se 7 .p i 1 O; Ϊ ' ... [ 7,7 | 7: ; ' L Ol 17,dpii . 770700 ái Luze žijí'1 1 7 0 díl Lil pro zídLiíio-t i: ko a :)ú znázornu'1 i i-kd obi .v/.v pi ni o i.· Oj mater idi.ň Co-Cl- Pr-PiO, o o a i k Ο'γγι 1. i a ováním za lepí a <11! Oj o-o I- i-io l "i. 0:-7,.71000 o L d v a ] r o i. Ιοί/ vyiiď .o..· .7.1. o·.'i O. i1 7 í . ;·7'ί 7pd O0.· 7 cl 7 [71 :1 7. r. i. . i ; o' -' l-j-Č7-ťΓ,-0 i Cp oρΓaj_:ovΓι0:li7- 177771 j ; i,;ky;i .lili til 7.-1 0Opia lili Oj Z teploty 907 "'0, aPy :; t .. Oj on i .1 ' d . ;id ' ;.i r . '-).a představu , o o bia.' t '.Op k i .,· i l i i.· u.; I " ' I ."i . 7 1 ΠΊ LI j O CáSt Í.Cťř . 7 í i tď 1.7· 77- '0' 7--p7, | d 11 : : 'O.; a dr. Ob 1 asi tku.i, lano a v pe: dVt.aii i tmavé- bono váná, piodst: a vi; i o čár-i. i·..·-· :.b.,· . ool o o az prásko o o-:;.,7 joniip, ojí;., r·. to o o i a! , :.o : p 100.7,7,arm-ho pCj.pl ηρ^ίί Pil1 1-:.-. ' :..0.7: kiIr i '7 OTF 04 0. Částice Ot na obr. ‘p; :.sr-ď-u tak. - jsou na obr. 9Δ (napi. jako v oj,:.--0. .1. Odlij, i sou částice Pt. v oblasti 41j prod nui 0
I ' c L~‘~ y J t'' " ' i ; . . ’ ] ·' ) -> 0 yniovy prosy s o' b , 11 ..- : f. -d -ď b : v kobpo? i. t r. i 10:0..0 rb.-.-: y oooobiiy ots podmínek iišrorcti so ..-n t mink: i . v27 [ni k.i p I d ií K v v y r L b_ -1 Π l }.b v 1' Γ’ ί t 1. '. m ..i i r -.:-00 ”C pro práškový kmnpoz i i n: íi b-ďi 1 i i >- i ] í s i i ^ í. eploii; S i:; | o: r-. j 1 v i ΟΠ :.;ι·.ι.-θ. 'jo při značný pí o v::..)! sv kteté to) soiuv -ίτοηι i o- sovy konips-si l.rn matc-riál o.kj oy .I t1S-r i napu. ob 1 ost. Oy , vy k :!. .' / i :i- on,vy nel i. oko !-1 . : o i :o o) i0u o obr. 9Λ) nauko z-ne pr f. irn i i usr.i u j o obr . oB din: i. 0 ) 'bo-íj r í t i . ob t 0 S t. i , I ,/: I-; -1 - o I .-j I i,; i Ob o obr. bii o i o i l o os I )b s . i t, i y-.vyo v- .' -i i. : oy : ’ v knot i 0-.011 i ; , m-b. pro nic, ρη-π i oke pody· o ty 11 r.. .0)0-., o--voiit·: 11 o 1 n k y slot rn-v-' ! 1.1:0 mě o plos to-vy y- -mr 1.PB jsoi.! Sobi obrovy kompvy 1 o 1 on t J 0 různých μ t : y. 1 novy. ·. n . Pompo z ico j 0 k! : .: ob v. i:· :k t iy-OMp .) U 0bě složcnó z ) b . . bíd 1 la dnehoobr. 10A ·) ,mn roň- .-i·, -i·, T 1: y - ď s n r 0 y i n v k -.- 0,, - .i,.-
•II # # ·· I • « • ·Μ· · · · * · · · « * * · · · · »··» · *# * * * * ·
í i A L íi (j HVi- 7 1 e o . \ / Γίιϊ x : i. !. ..i d ;b·.· : i έη v ΠΟ. cr lOiroi 0,; γ p ÍX Zn h C ' ymi o.l ' : i !!l I . dx -00 i ooy p řiznačn á i k'V· mpo: :ice muže o; L z.... Z .O i IX r:: i : :r. d lapř. C L' C , ··;r Ol . '.'.O .';, ! no no V i \j . Nz, z ; 1.: y· V d : d· Z k Loríiot: . t V rl ; pro .O.yoO [,d. v y t. v o ř J A d, mi k ! Kr: Ol,;, lise váni za tet: -1 a .i Ld plot v. / ',V::.l.i po .. ;. v i. i 1 f ! i A p Γ . prášku do, p r z i a k Li d L , o 1 i il.OV-lld ρ1 a š k LI Pl., d iO.·, T iO ' / r i L ti . ; ; v i v.;! i--: i o-d r-FL- T 1 0_; , C<: , · · C r -PL- -z od a od.: O Ilidl :ll; - 1 ils. ο/ani, ;j i s kr o ve p i : izmo VO : dl Ιη,οη,η : t ď ii ud i n i Zd t e ρ ia nebi 1' Ί 1 ne Vk: Ldrte „μ U0:0' Od to. 1 y i i r o us na dněni tě odít o z μ 1Li S U li l Z. p ! a .. ovznz: . :p 1 S uv xxíorp ni že v r S ("; U V 1 o dco Li S PÍ 1 poenym i i1 y d ΐ k o [i aopis ro ] Z ] 1 ) :ch t ě 1 ovnvvdi [: 1 ! .! i; r·. ^eny k Lomu, aby ti ti: n i dZdlď LV; z, Pto:·· : v di LO.OM Pyl vyo ;ál e Z p; : i k.t i . ! v. j ϊ , . i -1 : v.a\ ί mu je sp-d zu O· t :--001 o i i .:.i n i U p i udlO po r z unič :IU1 vyn a ba: ", U . Id1 Z ' y, Jeď LI L1 ech n.i ky, v s li k b L .ide o Č 1' lidu e, ze ;x .· v v no 1,0' LOc i 11: zo vat bez tě odít· 0 sp ;ec 1 ti cévou ί'.ΙΟιί i U . L J p,. idf n j S 01.1 V e f· oni 0 Ϊ.· . Li z i v o 11 nohoh,: PPd ;:i a a mé o L r. u k L i: i: y Kdllif Μ.ΌΓ v, 1 ί y' : ‘. •mněl 1: 1. po jet i vynalt i Z U . ..o ioi 10, 7 A ‘ spec i i 11.: ke noří :’l d 1 ne po r. 1 o n i to dii e xJtki ler iých proces ech e i ode I: po : kle. i·: i 0 LU ou. Na zak lodv ..d-d : ; Z," 1 1 ! ' I O ο ο ο. ο κ ο ιχ;.:jdi !ř:h;. ! ii : .ti ’!, . ,· r L. ' 1 í. μloskup1 t, pideonu: oeo .ni,· ι ame l : 11 ·; v ·.' μ’1: s u . joprovodné způsobové no i '.4'.'.' μ i o··.; s í . t v; i j i ozny':Ι'ι κrc·kú ve vzorovém pořadí a neisou uzděny pna
*·· · · ·· I · I • ···· · » · * · I » « ι • · t ♦ * * ···
·*!· * «« *· «9 I -fičeny na Loto presentováno soeoi:..; . 0 0 p co se po; u y z u ] e, aby umoř:..; ; "a Kok- ! O, Co .: hni uy 01 akt leky provoze. runo- ; TUOOU i vo; 1 za 0 pop sana. P ro ty, un v 0 ! -u .0,0; lundo u rnnec zř eime rú zne maruíc loo , k 00:0 :- "Uió po už 1 Lod v P1'·' omzop a1.· ο- :' V co! j [ .11 r k. z. V á 1 v - ΝΟι po -Vrb· 0 ;. kbo.,k !. Z Z Ci iz, aby lny LV -10' no na io-.0-0- ι v e i‘i a, nybr 2 μ - třeba uvesi oz - u .odn vv i 11. n 1 z i a z y kem na r oku ve eouiyor; k ti .1 fl v i z- dnoznem č 1 s 1 c re ; n i. mořeno o.; , vy.· 111 a pouze uzděn", pokud to 'ar. non ζρ'·-ν i.; · d;v ípíšo "jeden nebo v i co". Všechny .„-i i;er nu ^.·,'ί . ; Valenty k prvkům různých převeden' popelných popisu, - .' ré jsou inoz e n>1. sa ο ·t o.i zrom Jíví o jsou běžně žnuli stavu techniky, jsou sem ty odkán čtu a 'jsou uicene k isme,, d v Iry; y k lomu, jby bylo odevzdán; 0-1-000 1 Uo. zda 10 takové svořeyněrii vys .1 ov: 10 umíněno sny naj okovaný prve* nemá byr kons t n.io van ”.n :ého od?Lávce §111 znk. 35 U.S.P., p-okna t ento Lovné zmíněny na použiti tra jo '\,i ·Υ·ην pí způsobového narokuie touto 000.0; 000.ony z.: úrok pro".
Claims (5)
- * · V *··* * · * • **»* i · i » ··» * * • · ···» 4»· ··*· · «· ** ** · !· A T E N T 0 V E N A R i,· K Ϊ .;ooí.. řízeni rria q n cti c ric ti o rozpty ri.eio r o' .li ci -iektrody obsahujici magneticko i nomagne - :: r. a o u j : c i se t 1 lil, ZO ΖαΙΊΠ.υ,Ο -•n i voli kost i C cl S t". f C Θ ct i tcSpOH i CdfiO 11';:Π-·λt.p":oj- : struktuře, v o k t e r e JO tdtl V 1 i "1 -11 Z, ; / no větší no bo rovu α j olmxi. i,: o l i,-itv t :m , z.\ ' me 1:i·.'/d:ίi teto alespoň jedne jk.-iiiúoir.eL icke luze i->moci". iroinou magnet j ckou fázi v niikrostr ukt.ur e, \;o kt.eie o;·:· ,1 ιορ'υ:: jedna magnetická lase je vetší než nebo rovna a t · '.'na [Ti i m procentům, ve které má tato alespoň punn i mel i. Ίο.; tro v mi k ros t r u k l u ř o velikost větší imb: bOtm .. -: z.·..' ·. i .'.i V".,- k sere zvolená velikost r a s z . . t e a loupou .......... ηοιι ,-.ιηοπ ioke fáze zmenšuje cliťuz.i mezi tou alespoň lnz ti! ..o.i u e í. i o k o u fázi a tou alespoň jednou nemá pnět ickz.SÍ a .v mi kn.-st Lukuiřc. o poOie nároku 1, v y z n a ž: li'/ o.iiikoo-t d not i.oe neniaqtioi_o . čc raze s e z v. 1 i t ;'j í:, Vr 1 .· n,n.,, ozon o 10 mi kromě i: i um. ·. lpi O •ob podle i nároku 1, v y z n 0 i l J 1 0 i s , m, i o velikost č a štice ale s ρo n t e Ih imaqnr iti.cke idno: so 1 i. r - t ó.lL"y zvyšovala protek a i rem proud í?TF· 0-:1.,:0,1 i. -dcrklro: dy sni žením dílu: re mez i ion .i 1 esp·. má i u o,.;·:;] η-o..mokou f: á z i a tou alespoň ] odnou neiiiuoriet lekou v mi kt mou: luk ture 1 . loto 3ob podle nároku 1, v y z n d ιΛ U 1 S 11 t - .tiescz vá -jedna magnet i ..b On ! i: < i. .! rdmvnszr a ;. J , ,, , t i.čv: l·’ ΟΓΪιΙΡ { !:š i ! ! k J ' i f' I' li Ϊ " ! ,1 : .; ;:i. iimmm mm za tepla, s li mmim: . m, I isη: :m yii: TlOO/Vm - 1 i nevoním nebo vakuovým ]iso v a Π...ΙΙ1 z a i: opi] o . , - v • · t · * * • m ψ ψ • * · • · ··# 9 9 • 9 • • * • · 9 9 9 • t * *· M 99 9 9
- 5. Syr; t óm pro řízení magnetického rozptylového toku u rozprašovací elektrody obsahující magnetické i nemagnetické prvky, vy /nač o jící se tím, že zahrnuje: prostrudek pro zvoleni velikosti částice alespoň jedné ne-niagnetické fáze v mikrostruktoře, ve které je velikost částice teto nemagnetické fáze větší no? noho rovná jednomu mikrometru; ;-i prostředek pro /kombinování této alespoň jedné nemagnetické fáze s aLespoň jednou magnetickou fází v mikrostruktuřo, ve které tato alespoň jedna magnetická fáze jo větší než nebo rovná 10 atomovým procentům, ve které má ta alespoň jedna magnetická fáze v mikrostruktuře velikost větší než jeden mikrometr a ve které zvolená velikost částice té a Lesním .jedné nemagnetické fáze snižuje difúzi mezi tou alespoň jednou magnetickou fází a tou alespoň jednou nemaynetlokno Fází v nu k r o s t r o l< t u r e.
- 6. Bystám podle nároku 5,vyznačující so t í m, že dále zahrnuje prostředek pro zvolení velikosti částice ncínagnetické fáze, která má být větší než nebo rovná 10 inik rume trůni.
- 7. Systém podle nároku 5, v y z n a č u j í c í s o t í m, že dále zahrnuje prostředek pro zvolení velikosti částice té alespoň jedné nemagnetické fáze tak, aby zvětšovala protékající proud (PTF) rozprašovací elektrody snížením difúze mezi tou alespoň jednou magnetickou fází a tou alespoň jednou neiiiagnetickoo fází v mikros truktuře.
- 8. Systém podle nároku 5, vyznač u j í c í s o t í m, že prostředek pro zkombinování té alespoň jedné magneticko fáze a té alespoň jedné nemagnetické fáze v mikruslruk-ture je složený z izostatického lisování za tepla, slinování, jiskrového plazmového slinování nebo vakuového lisování za tepla.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US11/709,134 US20080202916A1 (en) | 2007-02-22 | 2007-02-22 | Controlling magnetic leakage flux in sputtering targets containing magnetic and non-magnetic elements |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CZ2007328A3 true CZ2007328A3 (cs) | 2008-09-03 |
Family
ID=39433010
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CZ20070328A CZ2007328A3 (cs) | 2007-02-22 | 2007-05-07 | Rízení magnetického rozptylového toku u rozprašovacích elektrod obsahujících magnetické i nemagnetické prvky |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20080202916A1 (cs) |
EP (1) | EP1961834A1 (cs) |
KR (1) | KR20080078507A (cs) |
CN (1) | CN101250686A (cs) |
CZ (1) | CZ2007328A3 (cs) |
SG (1) | SG145613A1 (cs) |
TW (1) | TW200835803A (cs) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4871406B1 (ja) * | 2010-08-06 | 2012-02-08 | 田中貴金属工業株式会社 | マグネトロンスパッタリング用ターゲットおよびその製造方法 |
MY161157A (en) * | 2010-12-17 | 2017-04-14 | Jx Nippon Mining & Metals Corp | Ferromagnetic material sputtering target |
JP5863411B2 (ja) * | 2011-11-17 | 2016-02-16 | 田中貴金属工業株式会社 | マグネトロンスパッタリング用ターゲットおよびその製造方法 |
JP6490589B2 (ja) * | 2013-10-29 | 2019-03-27 | 田中貴金属工業株式会社 | マグネトロンスパッタリング用ターゲット |
CN114807874A (zh) * | 2014-03-18 | 2022-07-29 | 捷客斯金属株式会社 | 磁性材料溅射靶 |
JP6475526B2 (ja) * | 2015-03-18 | 2019-02-27 | Jx金属株式会社 | 強磁性材スパッタリングターゲット |
US10366563B2 (en) * | 2016-08-19 | 2019-07-30 | Fresh Idea Global Limited | Electronic table game poker system and methods |
JP2024010347A (ja) * | 2022-07-12 | 2024-01-24 | 田中貴金属工業株式会社 | Co-Cr-Pt-酸化物系スパッタリングターゲット |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06184740A (ja) * | 1992-12-17 | 1994-07-05 | Hitachi Metals Ltd | 光磁気記録媒体用ターゲットおよびその製造方法 |
JP3494302B2 (ja) * | 1991-03-26 | 2004-02-09 | 日立金属株式会社 | Co−Cr−Pt系磁気記録媒体用ターゲット |
JPH08311642A (ja) * | 1995-03-10 | 1996-11-26 | Toshiba Corp | マグネトロンスパッタリング法及びスパッタリングターゲット |
US20020106297A1 (en) * | 2000-12-01 | 2002-08-08 | Hitachi Metals, Ltd. | Co-base target and method of producing the same |
US20030228238A1 (en) * | 2002-06-07 | 2003-12-11 | Wenjun Zhang | High-PTF sputtering targets and method of manufacturing |
-
2007
- 2007-02-22 US US11/709,134 patent/US20080202916A1/en not_active Abandoned
- 2007-05-07 CZ CZ20070328A patent/CZ2007328A3/cs unknown
- 2007-05-10 TW TW096116568A patent/TW200835803A/zh unknown
- 2007-05-17 EP EP07108414A patent/EP1961834A1/en not_active Withdrawn
- 2007-05-21 KR KR1020070049345A patent/KR20080078507A/ko not_active Application Discontinuation
- 2007-06-05 CN CNA2007101085613A patent/CN101250686A/zh active Pending
- 2007-07-16 SG SG200705241-8A patent/SG145613A1/en unknown
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW200835803A (en) | 2008-09-01 |
CN101250686A (zh) | 2008-08-27 |
EP1961834A1 (en) | 2008-08-27 |
SG145613A1 (en) | 2008-09-29 |
KR20080078507A (ko) | 2008-08-27 |
US20080202916A1 (en) | 2008-08-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CZ2007328A3 (cs) | Rízení magnetického rozptylového toku u rozprašovacích elektrod obsahujících magnetické i nemagnetické prvky | |
Zhou et al. | A novel Cu-bearing high-entropy alloy with significant antibacterial behavior against corrosive marine biofilms | |
Essletzbichler et al. | Megabase-scale deletion using CRISPR/Cas9 to generate a fully haploid human cell line | |
EP2053380A3 (en) | Deflection Plate | |
Kang et al. | Antibacterial effect of sand blasted, large-grit, acid-etched treated Ti–Ag alloys | |
MY144188A (en) | Control of kinetic decomposition in mixed conducting ion transport membranes | |
WO2007006107A3 (en) | Microbial fuel cells for oxidation of electron donors | |
Yu et al. | Sterilization effects of atmospheric cold plasma brush | |
NZ598179A (en) | Medical implant comprising an iodine impregnated porous metallic surface layer on a metal substrate | |
NZ576185A (en) | A PVD layer system for coating workpieces with a mixed crystal layer of a polyoxide | |
WO2008154348A3 (en) | Reducing unsolicited instant messages by tracking communication threads | |
Zhang et al. | Surface characterization and cell response of binary Ti-Ag alloys with CP Ti as material control | |
Islam et al. | Antimycobacterial efficacy of silver nanoparticles as deposited on porous membrane filters | |
JP3710589B2 (ja) | Ag含有抗菌ステンレス鋼板及び製造方法 | |
Semlitsch | Size does matter: the value of small isolated wetlands | |
Hui et al. | Environmental cues and genes involved in establishment of the superinfective Pf4 phage of Pseudomonas aeruginosa | |
Grillo et al. | Biological effects of magnesium particles degradation on UMR-106 cell line: Influence of fluoride treatments | |
Ulianitsky et al. | Structure and composition of Fe-Co-Ni and Fe-Co-Ni-Cu coatings obtained by detonation spraying of powder mixtures | |
Calaf et al. | Organophosphorous pesticides and estrogen induce transformation of breast cells affecting p53 and c-Ha-ras genes | |
Wang et al. | The effect of clinical-grade retinal pigment epithelium derived from human embryonic stem cells using different transplantation strategies | |
WO2008114740A1 (ja) | 極低酸素濃度ガス生成装置、処理システム、薄膜堆積方法及び不活性ガス | |
Hector et al. | Pre‐screening of miniature swine may reduce the risk of transmitting human tropic recombinant porcine endogenous retroviruses | |
Bernach et al. | Micropatterning of hybrid polydimethylsiloxane for replica leaves | |
Koller et al. | Oxidation behavior of intermetallic Al-Cr and Al-Cr-Fe macroparticles | |
Sugumaran et al. | Corrosion Behavior of post-deposition polished droplet-embedded arc evaporated and droplet-free high power impulse magnetron sputtering/direct current magnetron sputtering coatings |