CZ2007328A3 - Rízení magnetického rozptylového toku u rozprašovacích elektrod obsahujících magnetické i nemagnetické prvky - Google Patents

Rízení magnetického rozptylového toku u rozprašovacích elektrod obsahujících magnetické i nemagnetické prvky Download PDF

Info

Publication number
CZ2007328A3
CZ2007328A3 CZ20070328A CZ2007328A CZ2007328A3 CZ 2007328 A3 CZ2007328 A3 CZ 2007328A3 CZ 20070328 A CZ20070328 A CZ 20070328A CZ 2007328 A CZ2007328 A CZ 2007328A CZ 2007328 A3 CZ2007328 A3 CZ 2007328A3
Authority
CZ
Czechia
Prior art keywords
magnetic
quot
magnetic phase
phase
microstructure
Prior art date
Application number
CZ20070328A
Other languages
English (en)
Inventor
H. Chung@Kyung
R. Marx@Daniel
Kunkel@Bernd
Original Assignee
Heraeus, Inc.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Heraeus, Inc. filed Critical Heraeus, Inc.
Publication of CZ2007328A3 publication Critical patent/CZ2007328A3/cs

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/34Sputtering
    • C23C14/3407Cathode assembly for sputtering apparatus, e.g. Target
    • C23C14/3414Metallurgical or chemical aspects of target preparation, e.g. casting, powder metallurgy
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01FMAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
    • H01F1/00Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01FMAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
    • H01F7/00Magnets
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/02104Forming layers
    • H01L21/02365Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
    • H01L21/02518Deposited layers

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Powder Metallurgy (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

Vynález se týká zpusobu regulace magnetického rozptylového toku v rozprašovací elektrode obsahujícímagnetické i nemagnetické prvky. Velikost cástic alespon jedné nemagnetické fáze v mikrostrukture je vetší nebo rovná jednomu mikrometru. Množství magnetické fáze v mikrostrukture je vetší nebo rovné10 atomárním procentum a má velikost cástic vetšínež jeden mikrometr. Zvolená velikost cástice nemagnetické fáze zmenšuje difuzi mezi magnetickou a nemagnetickou fází v mikrostrukture a muže zvyšovat protékající proud (PTF) rozprašovací elektrody. Magnetická fáze a nemagnetická fáze mohou být spojovány izostatickým lisováním za tepla, slinováním,jiskrovým plazmovým slinováním nebo vakuovým lisováním za tepla.

Description

• · I t I » « * · · ·»« · · Μ · * · t ♦·»·*· · · *·· * * * t · * i · ·· ·«·· ** ** 11 * : i z , i i i magneticého rozptylového roku u ιο/zor asovdci or t. r o -j obsahujících magnetické i nemagneticke prvtzy db-est rach ni ky ' ro vynalez ne zameieno na vy unci.· o. u.m t·,:··· i: i nemagiiet i cke prvky. 1 tCViaii L t; S t Zi v /1..4 j . C ! tyk 'i 2 ipusooú regulace magneli C Re !"i 0' to! u u vactc Γι elektrod obsahu; 1 ícich magnet .. i. 0 Rí LCke pr vky reqlací ve 11 1 Jv« j S t. 1 z") nzr io 1 -I- [ i í cke L a Ze v mikrostruztúle. vedro sta’· ; techniky esy poko vování rozprašováním se v š i i: 0 K 0 mi ře í po: i Líkl udání tenkých filmu maten •i L n ne 'Ole Jováné den typický systém ρ A kov ováli nzr 11 S 1' vánu: z ní r: ;; o r 0 dj θ I i 0 T U V d 11 i. 3 V ά R K . 11 e i e k t; j bilit 1, iu, a:: a r a obsahuje materiál, k t e r y i n mu s i t lili i novut. ;i.'Ví.l t ; / ě podklad, na který se rozpr ešovanv líkjt mni Ten t i- proces zahrnuje bomba r d·. ' V Cl 111 mar. - rizl i: u Z ker l elektronu nebo iontu r*t 10.1 LU ili tle knn r ! e m a r. e r i a i o 1. c k l .rody i' npteš,; v il! . iK-tZZ i, Ro: zpras ;o váný materiál el-i iktrody l e u k 1 ďánn i ti ki i.-niky [ i. :.m nebo vrstva na podklad. Materiály rozoř a kovací o h •a iekt .· .,>.j pro procesy pokovovaní rozprašováními .sahaj í od ''"i ot ycn kovu až ke stále více složitým slitinám.
Mi.piet rcnove pokovovaní rozprašováním zahrnu je I pe rrnanentniho rnagi ze tu nebo r: 1 t- 3 ' I 1.1(00. ni rozprašovací elekt rody a ap! 11kaci mazu i.z, --11; k i. i i du . Aplikované magnetické pole praozízi r. -0..,111 ;; i soiistřer iuje plazmový výboj na CO 1 !I 1 z: z ru nu r-;'ď Velikost magnet i tik e ho toku pro’ vtidézíZUIL. i s k i z e j r !u 1 e měří tm 11 ti á a často se o zni CÍLI O-; i e nu: není * • · · • · f • tet· t * • té· · • « «* · t * t ♦ · ttt ·· 111« · · * fl ·· ·« * !-: - !' proud" (Pass Throuy h Fd ux; : yp y Γ; ..U': ..· v.·-' z y I Ό zptyiový tok” (Magizetic Lea ka qe F iuxi imdi ' I!.-:· Z V Γ | /o pokovovaly i rozpi aš· _i V d. i i:: ’ | ’ f r, Ló p Γ ód S U V ď1J i Θ ! 6 k L l 0 d' / je ' kd Ok vy ; ...i ; . o j eut ron rekem průmysl 'd Z.r : i:.-..: i, ,U . 'Z 'd .1 oz z t. r. o: d k lí ri a u k 1 a d a n i Ztr m. . I r'.V í Γ! 1 ::,u • -j •z í i íx r a k tet u s 1 i t ni ma jnet '1 ř. Z ' . -.·: 1' , , j i-: :. Ϊ: _i J v ý j < í b Pí C G1 i i ói p i "i í\ G V d 11 o 11 j I Os Z I'il. L : mk· í ' za hle kt roidy. To má zase za na .0 1 t z d e k zem; námi:o vy i .. : i. . M V. T .'."jy zr kj d 0 U S h Γ 0 (j 0 V á I i I p f θ Π cl S 0 10 ho m-qi! :t um:dm '. i · za zky vytvořeno jato na slede l· o JI 'Oder.: . io "il" ·. ! > : k r ^ kováni se zhoršuje s r o S t 0 .1 i. 1 po r media i. hl I.ou :1<L , : ! ď . j ; UI koresponduje s klesají mm Fd F ms tel ' .:i 1 u j "i J permeaiei 1 i ty matená u eL Lktlí :eiy podp ) ! .i 1 I."' Λ-!:..: Ji'"-] y L'I ožni prolil, což zvot šu je v y li it.i mzd v r i J in ! r-k' ! ·. oj',,’ následně přispívá ke s i ] Žel": . im.L Ze·: i a ] oOZmv : ť i /'ni n os l d r s n y c h o r o z η i oh i- OÍ L : i ě i e kt. i v.i z' r ma i:···' I > J'l i men rozprašovaní z tne ZUi > \ f ' - oIo d-itu st. k rněi id než optimu Irm r ovn, mi: l.'[ mi' dv id :' k y t Z ! 1 : : i d í. t i. i m η. 'i me n s o v ani ρ s? i i nedL li 1 t y vzl i : 11 i; i r,r f :-m ' r.eciy přídavný užitek rm sto ne i í:ó'V!V '?;\g !' iv..· sl i -ií' 'kZ Líkl ad mého i i i.mu. !- ; .V- P' •išovaci elektrody je i.'i t. i 11. JZiFO po Z:l0 -1 rn i q r, e 11 c k ci ι o p o 1 e k a p 1 1 ova ze mu [nejn-zt i cl; ern:. i. :1'" " 11 ' '! ,-A PTF 100a indikuje nem iqr 1 C: e "i. cky nniker i a 1 \\ (. t tr L . ' " "d-lh taného poie nenr odl JOt. o· v a n ‘ skrze l G .. osm - -k! kT " materiálů maqnel ický h - k 11 . d je· ty P i ok\ ' i L' -V..11' y v rozsahu G az Ihu , r i ' 111. v e i ; ]..; K· Z!" V :' π .11. l:rli 1 u vykazuje hoanm·:. y II: ' li .· .1 ' 1 i i . :d' ; i :·.j | j z rve různých technik měi e 11 1 i" rte , G.e..l:·. 1 t 0:C hl i k, :.·! i i li: ! d; Ulili sr 1 i "i l y C 0 V Θ h 0 Π l d. C.j I i 0 t- U ''j , 4 i + / o, i ki 1 ;mpj u ar 1.11 : yku v : eri li'.· sLidnou materiálu el g k t r lZ iy a mzmi i t. v L.m ; r,: I·-!! i: .k l U.' V i ' i O Zlí pOUŽiti U X i ú i L [ i L H. 11 ..: m a; m !'. stlanou mater ruin cle: U 1 ,!OV VOZ : i h·. lil ·· *»»· ·· ··* t · ·* * * * • *··· · · ·· · * · *· I > *··· * * · 1*1* · ·· ·· ·· * ' . pr c-r.e.senéfiG přes r.e ! £;>'; ·· . ··/. i . j y : ' μ. ' i I; r: I. O p ϋ l S pí-- či Γ.'·1 S Θ í i S 1 C . ϋ K O L "1 V ΓΊΓ1 S ! π ', ρ- :.rrii alekLioda byla) je derínovana jako ATI·'. Γ ; : > y' vv;·-·: osivy nuď jako zlomek nebo pi..no-m o i s : nořen ί-d k z akr. n a ί - 0-..0.1 : ; "Ir· " : z.·:.· li··; i I ryj s;. b íh-.i . 1 ' ě: .o . - y·::.: ! '; · ! a dobru lineami κοινοίaoo pro ivodnev y : [ 11, o ! i : : i t. [bp ' i k. í. e 11 ·.' půdo používané typicky v ρrumyv li j . ol.n i k [.- e f i i Tř .v.· konstruuji Lak aby a o blížily P ! i z : V V: 1! i' II .... i ; v-m í. 0’ L, vy s k yt U '| 10 1 mu se u ..i ku.i..; 1 ni !i v: ; . ' o : v . z ·. v;·1 .j kovu n lni. kb moru Alb mu", i v e.,i v -i-·; 1 V VV v --1 r u-l. na výkon maoenalu olekr t 'i.íV i v r [ j V, o, o r VOVS m v o z ρ r a s o váni . s.· ;* i ivermabi lita rna gnotickoko ma teri ; 1 : i , - - !Ti! : u lži i ;.o i . Mez ;-Tk ,< ruizomm; v o r :ir. . ; , 1 ' : i ,-i 11; upíše eiz.isi u j·..· ve:::.) v v i j, v novu.·1:;: !' i.i',|l:ck ibKc [ it11 fU6 d \j 11 1 V !li;.d !. tr Γ i ί l i..1ΓI .11..; j.;V'l uicovany pouzí Lim i: o k" r i) l i e iTi=.i .]i *κ i diy·1 > r efkom íVSM) po dle normy rkSTtd A vbl-m·;. iiu cliarak t o; isr i kaon t ir-iteiiau roup ULd.VO v dl i... „J ei-dn t, -Jy . N.· >Ai r erdy je omezena m a ' :iivoL ίοk .ym 1 i dva i a kt: - r i -1 i. k. ui ili i: loušťkový m i zharaki. or is·' 1 rám m-uvishlo rvu se j i olekt: rody p Ϊ' .1. procesu pok:-vovar 0 13 to VVUidhOVa Navíc 10 Lomv pt μ·.i,dd. 1 v i t o ukováním omo:-: ená vody op .noi.1 s 1. i V.- d : i.·:-= i : Ld L Uv.1 . OpCC 1 1 1 c k 0 map m t 1 ΟΠΟ’.'ι- z. i i i y lil· ' i 10 t 1 :di d: l i VI t LI [. J ( ! k'.y vovan i ii-zp: id"van,i::. o: mol no· spéci f i ii i: oz;o.[ helii zdd-d dl'·,' !,".·[ ί'^ϋ'οΊ j A 0, d · IrU všeor- lín..· 1.1' jy r ; :v-u i '-".'γ'-Ί -i rozprašovacích e Lokl l i.o ·;Ρ.κ j i ·- · l ·. ·: i I,1·..'] Li. j 1Ί a L icko prVKy* LO mj dolin' pi'I. 101.-1, | :- v L.!
I ·*· t · * * * * ··· · · II > i • ····** | * t * I · I I * I · · « ·
···* * ff tl II
!I1Í Y. :it rukti ·, a ·, ar.'V ae o J. v r, e. pokovovan: U i’, u betli r'T F ρΐοτί;-;:: a i akt. 1 VI Ly pijkOvOVa!.] , a v a 'i i t'::; : 1 a -- !vioootnai.ky t ypior:yoa svate;'.': - , ’ ,r. íno-oine'- iokeao teku a roup rašovacich ,i okr ! : '] oř ; k 1 adiiá provedeni sta vajieino vynoOo;: !1 :! y 1 :.0.:11 moo.neo. ookeho ro:.:pt: yloveno koko 1 Ί 'v' -.1-,,0 a 0 110 i [oa cjno 1.1 c ke i ne [Hopne- l i o ke [1 !' V 0 ' vk i vyberu veliká :sti IďSLio ale f a a1 a v nu kroslruktura, .ode -jo v v-1.1 Ja a·f doni.i··, terno neiTiaoiin. t .1 eírd :.i.a lonoa ly' '."-a . > -v .. siií.) i au ',·. a , i i v - ad :,dn ο.,,ηη-ο ;. ·, ai rut;una·:, kdo Lato tn οοροή > .1!i.: :11.100--:0., t í : n-dn? rovna 1C at vana t n 1 ni procent'um -1 kd< eO 1 1 onor .i. o ká ídro v mi k:: 03 t. ni kro t. o m w· 1 .1 k> o.-o 11." 1 tr!Tl.^ijet 1 ckě ia:'^ /men :k li i 0- 0 J :. 0.0 no 3 ; . :: ΐ i. -: lo..ai t a a j. a a i es peň i edmoi m- O, :03:0 ' O' K 11 1 1 ; ikuiř V e 1 i k 0 s t_ c a s i: 1 ·. ·,-· fi a kropen '1 e-·. :- : i. o- io vybraná kok, ai. 1 y 3vylo v, 1 e-; r. 1 · · i r Ιο . i ( 1 : aer 0 se v,:i. e 1 o to. rotí v :οτο:·η1,3νι 00 .e [ i. ·.. II,· : v ;:. !Urí ] na.; y„t.' ko LI ] ei L 1 . J 0 , !0.a ' :: ' '11 .00 v mi kr ost:: uk r i . t 0. Γη Ί 1 . 1 ; ’ a ta ,1 í espou jedna nemá 0331 ; ·; k : f ,1 o,.- 00 íktnto kombinovány i 3 031: a L i é v:o 1; :-,.0 i.a : o I » * · · » * * • * • · » · * *· · é «····· · * * * * f * · « · · · »'·* * *· ** kdo:, |iskrcvýit< pl a rrriov yh. .· , : · :.· : ss Tepla. kkok při uradily o r po ’· - o-';. :. . ‘ - V ; - : K i .lUa '..1 ťt i . i .. '"ja : : " ·: - : pr ašeVaci. edikt; o· ba 11 kle k";K;e,i,l e .'. VI ' e TiO. , :1 i 0. tioho : :lbl ě k y i i:v v!:· !;. ; i ;. ;ť . k 1 .eonydí pí' aveo> οοο; i : ;' . n. ; e i kOirsykOV r.ěr: ,r i . r k liy y.toi-k k: : * L ! . Map ί lil 1 : i. ub·. 'kek 1 e , . 0 , ,.l i ' .'1 . ď v_ ;J K , cil.1 y .·.111“ 1 l J:·· . val y ikiu:·.. ir.ee i tu:· ·: t i ·.:: e "q o 1 i Cen:: cboahi.eii o mu li,lei k Ok·:, uu t -j S t:: dkus: plat i ny ( Ft) V k i. ikk - kum i1 .o en 1 e 1 Li , pt:otnkuί iq: prond { krt1; Nej. t 1 1:.. eU ; "i: k , 1 í Pl ;· muže byt :·: iqubv luiki ' ..ii v lei , e n-bo rovnou jednom I.j i'l 1 i. 1 ·: i o mu· i. r, .> mu o.· m: i kok. versí nebo rovné )u 1 0 mi k o.k.'k' i;im . k:i o-k ! 1 'v M ei 11 (dÍUéikf1: tb t 1 C kel t Fi T. oj v :ni koei 1.1 ukiii.: nu::·. : t lí. ρηχίοι: né riurodny ; r Mi. iq i ir í i i kJ .1 o-ι v ;r ί κ
Oilk 1 Oky lil 1 ρ i y 1 e ;y π i .· ι αΐι ρ i'.. k .1 u d n yc h L c 1. e o Vy· Cli pí v ve k V : t i ; i i 0 kí, avšak nej tnou OmelOiie Ol i e : j 1 1 nk tkl' eii rody . U ρ 1. u zim vedl v - '.· l 1 ! : O,.:, li : Π VI..1! riebo pokovovat' Id: oyo Loru·; 1 .·.1 1 u ' o bií i.o k r oroi inkova'..ni mu p 10 '10 ': :.i.l 1 ny:i em díiaqnet ronovii karodu) e o .·: o eljeOnil k ·. 1 0 k. |..' ] -i S i J v/ d 11.1 , L liro i in;.iqne-d :k o jl ! 1- Se kolu ii rnuprielioko po.i:: m.l :: Ί '1' .'' Κ . ’. . ulály katody 1II...I 1. ř Γ i : ! : : ii i .· -'..ι· ' 1 li 1. ikn· LI i i 11 i, ale’ ' eitkk 1 de j . L Oi : 1 kť i .o\ . lovu. ode krb Iisv.i; :. i ke i e 1.11: i ίο 11 kacli m,.id-r i n k; lek' I1' ' J y y norka .i 1 d:t rody 'JiTič1... di! u "i· J ' ] ' . d [il. vili .i . *·» · * · ιι« * · *· · * * • *«·*·* ·· ·*· * « • · ···· ·· É t ff » I* ·· ·· · — l· . 1 - K -iá; 11, l, c í i oT. o "ιά L e ř i 31U . P .. 3o3,:3 u. o : : , k' ,: . , -O. k : r , 3-3 mohou Wr.aFčl 3. il.1': '-i-.:r.3: 3 '-i'..!. v o riepsene produ kt i 3 j :.: mo::. umenšením svakami; prosí ; ί pí. 3vm;· i Τη'. -O v srílési 0 1.0 3VÓT Sel':! PTl· T-p :1,11:.1::,1. , 1 Ί-['t-OxicI ruipř. Τι:-0Ο--Γ io , ' Í3-yk: .0. ::,113.0 vys- kyt ονα i lín u.uiu-mé : o .1 i i.vím-.,-; ; 1. i.. YOL.sobi c PIF elektuxiy kurn-ir oti:: m-u >..·>· p i . ! ; i·: l i v i t y pu kovová n .. u.upruš.." 3..1::k·:;. · 3 1 t: 1 způsobeným PTF o p ó ut i-.u:-ok π >·.ο1 i 3! 31 l u k L or i st i. ky olokvrody i, o op. 0 liti k i V'33 l.OUtK )010300 sii vy se kot opit -tro k 0..:::-3 rričoi sloň kanu práškové směsi P i-'1 ί nupí. Cr-Co-PL- -S i 0 , Cr-Co-[0 : - ΐ i -.i iiij-jno1.:.i oky suscopl ibi i n i ; lpi 1 Κ 333,:11 líhl O Π 3131 00 . dl rPÍ : mmyor: pí. 1 κ..,-;-;π, /on p; :) : 1 1 ij-je 3 v o iem v e 1 1 k 0 311 é 3 31.1;· p i 31 n. v l .1. ! : 3 mu | oin maqne l. loky rusí v y-.:l _:-'o3.3 FTF. Pro daný priu cos ki ,ns3.i ořu- 3- 1311 'ίο-·: .m pca oku "na tm di. 1" pornu i Οι v,i. m ,t -ve -lok too xiu. Podle koho ol·-, volu i.i v Όι- " í ir.ymi pu-vooleui sLavďýíciho vy na 1 tmu oi uipín-m-noi:1 [-Τ' 1·', n-.u 1.::1,1. ·.:]:[ i.inál ním požadavkům roopioóov.-u': k,mouly 1 33ip.; uiit iopo vyhovět požadavku:!, i,3 i v ai -.-. -.-. Novu i 11.1 vyn-ooi oidVdi í ciho vyna letu 30, v- 111.:3..01 t.. yi
Mi.ii t .uly pro ronpuišovaci e 1 o k r 1 -n i v y.; v. 3 o , Kh..-u i.1.·'' my předčili .3 tm no vony PTF imdr.r i :..331-3 33-:(1 í !111'.
,3' , .V-, " U/, kdo I SOU OiOiil 3 I . : V i i :-:3,: ! r. V , P .; i :o.'i3. ;.:,.-3ir-.Ίοruku..·· popům, v·.· 1-::-0-.-:1 '.o-1 : . ’ 3 i ; : p.- 3·. ί 1: .1 PhjUOč i. ' 3 J1.: |3 10 V -33 1 <.-:i i i 33 ’-3: i -O .--.Ui.l 3,- I ' · ...... I I > #*·· ·· * *4**·· ·· 111 * * • » *»*t ♦·· Μ·· · *· ·· ·* * ..z:.z :e: k c.od i f i kďciir v r i j ;·. :\ý>':ivyzz .z..-od podstaty a rozsah stává;' A·_ i L·. vvná: ;ti •-•ta pohlížet r,a vykic-ev μ l, - ;: -:zi ; : i i třmi ho chai aktem ,-: : ./-:. i/::'--k:.-h or/ráikú na v y Z ve c-i/Oi; I k j ni π a výkresy, ve klorvcz i. ,ζιη-.- -:.:1. ...i-:../ i.: ve esech ζο,ιρον icia'ví e j. -os' : , ; z ZM >:.-br az jednoho pí. i k./ ozim-s, prav. 7.. materiálu. Co-Cr-Γα ••Tid z--o:n z: - i -' i. I /i: t. i měřeni (ti. spektrum 1, sp· kv : r.l Ip í. Jčktrum 4), kde lyr.o ,7-1 Z, f · i :: Z Ú Z no magnet i.cko a iu~-m a ar 1 - i : .z k- 1 IdZii/yCt 1 ρ i";) v e d e n i s t. a v a j í c1.1 h c- vyn.í 1 ez.u, - fF.DS i r e 11 q e n 0 v y s p- e k t r 0 s κ o:.. ί zky : .1 ť ezzzn i i ci přítomnost :0::117:17 I I .· ,:z v:;-'- ' ;>· i·.: h:' u r α i zobrazující př i tomnost. luz: , .j -v niiK: .o r::κ! ηro oblasti spektra 2 presΡιν-νίν. ζ-.-ΐιιρ- vir-; -\ z -.ο:. 1 podle různých pd"i k ; ,ezz.z-n ::--:0.--71-. :u . -1 ·< k.i/S graí zobrazující duze v m ; z 1 1. o t. ou k t u i . .:.·η. i :7-..-:--:1::1 - práškového kompoziku CoCrřt-T id- z -,7::. 1 . 11 ·,· i, „zíz/zí. při kladných provedeni stávajícího vyn..: i -i : . - - ' RlkS η r a í zoo rď ::n i.o. ! : : 1': z.i.i I 1 r 1.'z vynařežu, " 1. - 8 * · * · * l *··» ► · · 1 > ♦ ·· » * · · » · · * *· ·· VD: . θΡ . i:ipc:' iu z ' ] · ·, i :i ke v j ‘ . ·., jO\ : - i,; . ·. :· "l OK-· r . r<H ; r kL - k I l , sov,'i:i j v.a SEM obraz materiálu prášove h o k,. •-mp ;' i: u Se,- ' y ma PTF 81 o, podle ruz ' r t.-ři k . i lidných i čího vynalezu, SEM obraz materiálu prašove ho kc .mip.jz 1 I.. 1.4 CG” ;y má PTF 681, pod ; 1 e ruz nyc :h pí i 1 . . zi v ÍΙ i v l ! 1 r crho vynálezu, y i a l. znázorňuju:i n.r.,, ecat : . v. V - : su:-· malér: i silu ρids kovetuj kemp ii z I t L i ' 1 -C r- -hn-r.d. oaie r áznych provedení stav; π i C 11 10 vy na i ezu, e EL) S spektrograf mater i a i LI p :' -o i G kC V cr f i U 6A, kde tento spe kt roqra i nc ! i ku·; n.izsi _c i ch PL, a tedy mění π ditu: : ί me: z, to i ot ..i uter i pod i e různých pí iklac my, cli P ' .ovaděni lezu, e El) S spektrograť ni a t e r dél l, [mv tS koveho . 6B podle různých při kl adi i y o i í p 1 naveden i .lezu, SEM ob r a z mat e r i á1u [ vráskovv don R; ...vnpo: mru Co- eného teplotou 921 b S Lzaom . J ' ,ba COía ; . i S G V, i 1 1 '· i dosáhlo PTF 6bz, p,. xiic i.u ' i i y •eii p ř 11 : 1 umných i o i ho vynalezu, SEM ot zraz materiálu pra.sově ho b Mupor ,t.u Co- i v e n e h t :> teplo t o u 1 . 8. Ů 0 j. zout, ΐ f. '1 C keln -1. a, a tj y s lj d o s 6111. u PTF 84 1 PL mrk niv í i yv t: 'celeni stávajícího vy nalezu, S E M o b r a z rna L e r i a 1 u praš kov G t 'i t k οιηρ·,.ο .'LILI C.O- r y má PTF bál., a k cl e 4 e pouz : t 0 i. j. t. i i;o v y podle různých p ř í k i a * _í L 1 V 'Cil p rove tlen i \ 1 řřt 7. U f SEM oi zraz materiálu Pras kov Okr. / k emr* v i t u So - -,:v ma PTF 8..':.., po< i'; i·..· i ho vynalezu, a • * É » » « t ♦ · • * + · · ·· · * · • «»··· · # * · * * · » · * ft · Φ «·« f«M · I· ·* ·· * - 'J ~ - 10 Z V y Ξ O v 3 Γ| í ď t ΟΠΙΟ V v; .0 O ρΓΟΟΟΓιοΰ Vs..iPo m Wríálu Co, iako }o Co-Cr-Pt-T o'; , v mil : 'j " ,i i. pí ovederu stciyay:> ~ o vyini . ·. z z.. ioi_y tom. i s_oř i kiuciů ko:o k r e r. n ion provoznu.. v obny nop.is uvedeny mže v·· sp· , ; : i ,ν mi vý kLesy ] e 7 a my s 1 c-uv lak nal e z. u a není zuíia U Už i i o :)0 0/..-0 : uóelom poskytnuv upin-bo pn i,yuiiuěn: yí.ko-:'.;. P:'o L. y, k cl o i sou znalí stavu techniky, νην lo.o.k: ii.vi.dnv že- se vynalez může prakticky provdáš', i. bez iťvhr.o i k v zz Jel a i iií. ůu.vky 1 v: k ilustruji různě př i Vadne V z. o pí ím loven . ru I " T' : : ti lila L erialu Co -Cr-Pk-Ti0., kdo í; / .. :. i dono. otl o ve prvků a f ϋ Z 1 d LI p1 ť či V v 11 L 0Ί O olovo .... Ž ·. 111 1 ;, j ,1'V.i nuu VP. Různé f áze mohou vzwnr !Š ko:· .0·: Z 0 Lovu η-· :k - 1. 1 US 1 1 ováli'..: niďqteLoovz.i 0'Oiu 0 ’ '· , jí; „ . 1 Llk vir. v v y ob i a Z o ne ΙΊ.,00.. 1 ·· , 0-0' z 1' '1 - ' 1 ; by: V 1 v o. iv C] 1.0: t icJk; .1 táze kl z Uzo. ..o t V 10 TCo:; o. i m i kr-zs r. nik tury p ) Γ sol S k O V 6 kl C' -L ΟΠ LP IL .1. lot" : tzu.o: r-oi. -710... Ty z o t a ze, kLor é mohou byt m a o 11 o t: i nebo.· :': z 1 v v . 1 . .0 . r V '· mohou upr avovat, aby se 1-Ί : č roň lolo es 1 ' . íšuo-r i k 1 n d voli kos t 'časti..:·-· „i i o' " O 0 l '
K :. i Viktory mohou byt zve 41 θ n y i,;,i i,j, , ..a b y v r o i11 1 V O . . ! ’ MU- \vz o; ni i k rošt r uktury. pj c 1U L 'L U V Γ '-.i 71 11 ď" i ve i i kost. i u O' ρ l v vu ..i uspořádáním maqnetiokyon o remanne!i o kyvy .. f o·· ;:;ůív u elektrod pro pokovovaní r.'dLf.M oik'..! Voli J II je CíllM obraz jed nok. o pí o k I ndn-o.· iojvuv tu !·' i a I u Co-Cr PuTio zo ον i z i: ; i >: Ví zp-ki ujm až speku uit 4·. nu: nkne ukuť , oblast šO (spektrum zl, oblast .V vpez:: rum é V * I M · · · • « · · I ♦· · ♦ ♦ I ··«··· * * · · · * * « · · 4 · 4··
IfM · · *· ·· · pekt rum 4j jlus trn;u vyt er a tu.:: , oiLy S c; V k1 ompozitu íio-or Ir 00. 1;1 ·./ p e .1 oblast. i i t j. ok las ti Oj piet i cke nebo i lemanneti· ;;ke raze : ied i nei ίο prvk u nebo i ; rnioiu; ski ljj, 70, 30 d 40 jSOL i px eo/:·:: i et' i é i ku 2 až 5 a jsou pc iρs.ane 1.1 > i ΖΓ; ΐ\ά\ máčené bedno L y pí i k 1 a ni procent pro k azclou ot ' 1,1 S t : 1 ' jeden P1 r i k ! a tl ny kompnu" . 1 - ' 1
Tclbll] kci 1 Λ r .; : til OS til 1 pr oceňt o ρ i v ku pro prik: ,1: dup 1 i > K ‘ ! [Ti 0 C r nor um i ' i i; \ . 1 , ' r 0o,:i iO r um 0 25,21 : 1 , 1 '' 10 0, Γ; 0 0o, rtMnu 4 li.), u ‘i, 2 1· i rent nenový sf. ,>ekt π.Ό kopí c k j p r i r t 1 I:d i ku J 1 0 i mi V.l ostrukt :,ru o illd ! :-:M. : . ÍilusL 10) podle různých p n k ! ..illliinl i o t. i i a 1 e z li . V roh o i y 12, 14, lu a dl ;Z r i 11 i činelu.' kompozitu Co-C r-Pt-Ti o byl pí· κ.·.λ::·.: l: iu zjištěn v oblasti spektra i truipř. i.-L:· 1 as r jr r .'br. 1;. Tabulka 1 také naznačuje, ke tvto zvoleno I ti ,il'.triové hmotnosti Pt, aby se usadí- v blusl i lu. i.· .T!i r i t. ^ : t.;; řate Pt kompozitu Co-Cr-Pt. T, ... je tepy i·'' i r ou i a v oblasti 10 z obr. 1.
On i o1 ime-i se na obr, 3, jsou v qtaťu bk-S vyobrazeno 'η . e:/ , . i, 2b, o, 27 a z8, který i uiii ku p vyber a ."nstkn.i oa:'e: To u t'r v mi kroskrukt uře u spoří re i r. j . i ;.i.e - e "i oTu . 1) p r i. kladného koupen.ii /.:.1 1 llíb, ^ i . a _.i) J SCiLI r^pXO a:;í! Γ. ď h 1_ V [ , I · * *»· ·· ··· · t «« · · * • «··« « I ·» ♦ · · · ♦ * « f I « * ··· ·*·« * «* ** ·· * i O i í 7 i ko I 0 O 1 . Opoť. Obr. : i I i.j Ot Ml''-, i · -t i -.jst í Iijpr. oblast. 0i.11 m i krosi. r .1.01 a:· v -4 . opoeiMcké chart ttoric Li kv (nap·!. r;0 ' " :.f on :·.*. omaiiiioh procdiu:^ ni v ;ι-ηΐι..;.:,ϋ : - ioo 1.cO :, v t-mr-.--om ,e::. ne.: ve spektri; 3 (oblast. Od :í.-í ,oc . 1. 40, y 3 , a :n i 1 ,_isί i u j .1 fáze Co v p.f i k !.ujmou, μ : .ed·:· v. o. Z. COC- 7 L 1 0 0 byly 1110 Q il CO 1 C-0 1,00..0.- ! ,:0, .1170 k ; - ;i. jen at oiiCmich procent ve spěním o zaanvir.. :..i ; i o : mi :.j z ·;·πο. v Cévo oblasti. V oblasti ok nrino: a: ηΟη·.: n i o: . i tady tase Co část ηΐηρηοο oone ta z. ο μ·; ,--:0.- - " i ’ .'V . O 010 0:1070100 búHipOO. i Γ O OOm: 0.0 “ 1' O 1 o ’ . o κ:. i: vo spekl o .i ! obl fls i 4.0 o..o . ! , -iy, 4o a 47 řep rocen to i] : οι 1 : oo 0' Γ': . i ml i Kli ]! vrcholy 41, -dl a 4 4 f .1..-· i oohov: o 4 7 mdoknm fazc F4; . . k-b: : e 11,1:-:.-1-:-10 1 ro 1 :.:. tuto obiasť. zvolen Co s at-nna 1 n 1 ir, ριηomni „ e keioiu o ::o. osamím procentem kolem o ;p p | tcfio to’ Ik-oie přítomné v teto obOmv ; :nik: r' : ,4-o 11: : o. Obr. 4 kecy i 1 u.o L ro.n e, že r.-okiO o .oblast- · »··· · * «·* I t · · * · ( «·<· f I ·· »·» · · • « I··· ··· ·Ι<· I Μ ** ** · -Ji 1 K , Υ. L S ί Ο :ΐκ;|". 00 Κ' "ι Ζ ΟΙ!. ;! ι θ !Ί η ΟI.1 Γ . i . - : m-' i. u ι „ οι ι γ.. ,ΌΓιό ι.Ί :3 κ z J' υ ::χ :u ο dl·· : '/ y 111 οs u . Konkretnc-ji má: οι Γι': ο-..· m.·. m- díl··: .ι ι·: , Ji i V (Ti O i fiIUbtř CďSt icc P l , ΠΙΠΟΟ , VjS I. V ’:: !: . i, i1 v-;! i kosti votsi nor. "'eoen ;;.i k i mrm. r . Pii i iki.iri μ;·., msi noho rovno dn μτη, noto tml··. ::n: "·ο:θ'.ν· μ:: , i as '"i 0 μιη nel· · ' 0 ,i d - : um. d , o i ·.. r v v; : — rr ;· ,i př mladily nnb.mul· : m.1 ρ; .ό j·: : v ·.. .· i i ·. ml kuok div.. Oblast 110, která ie v :0111 Os ί:ο· V V o .. 10 t r : 1 ο V 3 I i d I i O ISO b . I 3 , . eb ! ;.> d 1 i ; <. 1 11: i. , o b 1 a i -1 častit: Pt. Oblast 1.01, i·:1 i,· ·,· : srs 'π pit: Kladnou oblast Imstiv: d'o π o;..· o «0 , imí.··· d.oOv: lis a Cr. Oblast 130, stem ie m smvn.m. : :u tmavě tónovaná, robratmie iodim p r i k bv.lnm: dlM b t a d :m 'v. I 1 a . lnete proměnil sta voj u..:i i,, vynu,! Orda· o v nPM o ij r a a o v obr. eb svati.·- t r r. <> - ' i m ;ί >. I. nuy- '· ml i i u pí 1 k J a o no u ob.la.at basi e m . oel o
;M i ti p r i k ί a d: i o u ot i : 1 .li ,l d. n· i. u-vnaiii s oblasti ? O 0 tmavé tónována, sem a m i e· ioairi i:s.i ivb : 3st Cďs 1. ;. c Ti.0;;. .dort prd· příkladné Ιοπιροο: i t y r.: η-1 d r 11-': i. - :m da d: .r : m tl * · * ·· « II»· · f · · · « • * II·* III· · ·· ··
É t rr n 1 vyobrazeném η:· ob r: o -í r: o i' i ά 1 o ICO k.omooz : L.a hrubím i , ·, v/ O.1 LLITi O 1 , , Z" : LUN , Ol 0 1 : O-.., ,0 : částice pAaŠ ku ř L . obr. .. 1 - ! volriro :: 1. 0 octi c e ί v rn 1 κ r o:nc-1 r eoí : Ol: i . ' i í i ' o-z pro conkijoliii ho d n 01 u) rt pro pi. :oé kov - Z 11! a ! ..1' 1. -Ol LU V- 0 srovnán: : s Pl ptu proškol "/ [('.Ί, : -o 0, L P-ir | rkiZimiěeho ; 1 n o -br. d dav a;': :, kro: ; : - i 0 .o;· A,.; μ;η s ob 0 oj í r 1 <1 v;' 1 t r -j k " 1 ΓΙι-Ο i . : 11 - -1 0 : ! 1 η o z 0 b r . "M olbl'; . Z,i K 1 , - : ': 1 ..1 ··.;i_, liz. -o ·οο.ζζ-ο kose;: méně nebo rovna 10-', 0-,k pr i i: a dna ob 1 tiy t 110 nebe- i i né p· -d
On:nt.; -zemi Pz -je co do v·,-.i kov: ; ; zlu z obr. 6B. lo :o.1le i,-.)-1,, is licemi bt (nnpr. Áó ík 1 ceir ob.SdliLl ] LCimi kb. 1 ;izij..oo toi 1 10! omezena. ypf-pi . -i. ... η-: i. , .-i :: nor. PA i múzo bvi v od v :οι·:.-·ν ιΐι,ρ ,,. .-- ; : :-.- ; :o-r i vhodn-žhij knii.jlu cm: m 1:.10- I : o-b - - . ΑΓ0. Jol: jo π,ζρί'j z 1 od : 1 zaz.;:.·. n.: ·.-[.! , i.·:-, i i n::-j 0:1-:-:)110 kanály umu riHqnr-i- i o kb .1 -srn ln o V"·: ΊΟ·' o, ipí: . PTF 10 ubl pro 'der. :11--, kdež'-, n : . -.0 zo.o u. rro-nsi diíuzo duskic bz s zzoo :0::-0 o·..· zA -i Ob isou renfqenově sper: c 1-.00.:.:-0: o 1.1 ooi.:z '/oo -oieoji- 1 Kl.-S) práškového komp-zz 1 zn 1 hz- :o-o vo i .-i , o :.00.: o A : - apekkivc 6B. ďpoci t io::ť.e i 1 : i oor 10 , - P.00 sb ρ-..-ki :00,:/,1 ni a: o-r .o: η 1UU pros kovcln: kzmi[.... z . zu :.!: r , on - 14 - - 14 - • * • * • · * » + · · * · « »*·« · · ♦ · • * · · I » MM « · # # .{i i 7-i i lont i čásr. ico a rudl..'.,: idiom 1:00 -.ni z obr . t- : '. - - 1' bálu kompozitu 100, a Loay nn-ná . ; i n.i 7 7 a částicemi Pt v práškovém 1707.-.,: 7.0 1, 1-OU7. ’ 1 oii hrubých 1 0 a a; i ·.: i-1 •7 pí .0 7 10 .γ κ; cnr.Oz i t u se opét minim. dl i. ...7 ΠΟ 707 í; ' lili 1 7; ..1 !. 1 U 1 ar a do a m tii že se 7 .p i 1 O; Ϊ ' ... [ 7,7 | 7: ; ' L Ol 17,dpii . 770700 ái Luze žijí'1 1 7 0 díl Lil pro zídLiíio-t i: ko a :)ú znázornu'1 i i-kd obi .v/.v pi ni o i.· Oj mater idi.ň Co-Cl- Pr-PiO, o o a i k Ο'γγι 1. i a ováním za lepí a <11! Oj o-o I- i-io l "i. 0:-7,.71000 o L d v a ] r o i. Ιοί/ vyiiď .o..· .7.1. o·.'i O. i1 7 í . ;·7'ί 7pd O0.· 7 cl 7 [71 :1 7. r. i. . i ; o' -' l-j-Č7-ťΓ,-0 i Cp oρΓaj_:ovΓι0:li7- 177771 j ; i,;ky;i .lili til 7.-1 0Opia lili Oj Z teploty 907 "'0, aPy :; t .. Oj on i .1 ' d . ;id ' ;.i r . '-).a představu , o o bia.' t '.Op k i .,· i l i i.· u.; I " ' I ."i . 7 1 ΠΊ LI j O CáSt Í.Cťř . 7 í i tď 1.7· 77- '0' 7--p7, | d 11 : : 'O.; a dr. Ob 1 asi tku.i, lano a v pe: dVt.aii i tmavé- bono váná, piodst: a vi; i o čár-i. i·..·-· :.b.,· . ool o o az prásko o o-:;.,7 joniip, ojí;., r·. to o o i a! , :.o : p 100.7,7,arm-ho pCj.pl ηρ^ίί Pil1 1-:.-. ' :..0.7: kiIr i '7 OTF 04 0. Částice Ot na obr. ‘p; :.sr-ď-u tak. - jsou na obr. 9Δ (napi. jako v oj,:.--0. .1. Odlij, i sou částice Pt. v oblasti 41j prod nui 0
I ' c L~‘~ y J t'' " ' i ; . . ’ ] ·' ) -> 0 yniovy prosy s o' b , 11 ..- : f. -d -ď b : v kobpo? i. t r. i 10:0..0 rb.-.-: y oooobiiy ots podmínek iišrorcti so ..-n t mink: i . v27 [ni k.i p I d ií K v v y r L b_ -1 Π l }.b v 1' Γ’ ί t 1. '. m ..i i r -.:-00 ”C pro práškový kmnpoz i i n: íi b-ďi 1 i i >- i ] í s i i ^ í. eploii; S i:; | o: r-. j 1 v i ΟΠ :.;ι·.ι.-θ. 'jo při značný pí o v::..)! sv kteté to) soiuv -ίτοηι i o- sovy konips-si l.rn matc-riál o.kj oy .I t1S-r i napu. ob 1 ost. Oy , vy k :!. .' / i :i- on,vy nel i. oko !-1 . : o i :o o) i0u o obr. 9Λ) nauko z-ne pr f. irn i i usr.i u j o obr . oB din: i. 0 ) 'bo-íj r í t i . ob t 0 S t. i , I ,/: I-; -1 - o I .-j I i,; i Ob o obr. bii o i o i l o os I )b s . i t, i y-.vyo v- .' -i i. : oy : ’ v knot i 0-.011 i ; , m-b. pro nic, ρη-π i oke pody· o ty 11 r.. .0)0-., o--voiit·: 11 o 1 n k y slot rn-v-' ! 1.1:0 mě o plos to-vy y- -mr 1.PB jsoi.! Sobi obrovy kompvy 1 o 1 on t J 0 různých μ t : y. 1 novy. ·. n . Pompo z ico j 0 k! : .: ob v. i:· :k t iy-OMp .) U 0bě složcnó z ) b . . bíd 1 la dnehoobr. 10A ·) ,mn roň- .-i·, -i·, T 1: y - ď s n r 0 y i n v k -.- 0,, - .i,.-
•II # # ·· I • « • ·Μ· · · · * · · · « * * · · · · »··» · *# * * * * ·
í i A L íi (j HVi- 7 1 e o . \ / Γίιϊ x : i. !. ..i d ;b·.· : i έη v ΠΟ. cr lOiroi 0,; γ p ÍX Zn h C ' ymi o.l ' : i !!l I . dx -00 i ooy p řiznačn á i k'V· mpo: :ice muže o; L z.... Z .O i IX r:: i : :r. d lapř. C L' C , ··;r Ol . '.'.O .';, ! no no V i \j . Nz, z ; 1.: y· V d : d· Z k Loríiot: . t V rl ; pro .O.yoO [,d. v y t. v o ř J A d, mi k ! Kr: Ol,;, lise váni za tet: -1 a .i Ld plot v. / ',V::.l.i po .. ;. v i. i 1 f ! i A p Γ . prášku do, p r z i a k Li d L , o 1 i il.OV-lld ρ1 a š k LI Pl., d iO.·, T iO ' / r i L ti . ; ; v i v.;! i--: i o-d r-FL- T 1 0_; , C<: , · · C r -PL- -z od a od.: O Ilidl :ll; - 1 ils. ο/ani, ;j i s kr o ve p i : izmo VO : dl Ιη,οη,η : t ď ii ud i n i Zd t e ρ ia nebi 1' Ί 1 ne Vk: Ldrte „μ U0:0' Od to. 1 y i i r o us na dněni tě odít o z μ 1Li S U li l Z. p ! a .. ovznz: . :p 1 S uv xxíorp ni že v r S ("; U V 1 o dco Li S PÍ 1 poenym i i1 y d ΐ k o [i aopis ro ] Z ] 1 ) :ch t ě 1 ovnvvdi [: 1 ! .! i; r·. ^eny k Lomu, aby ti ti: n i dZdlď LV; z, Pto:·· : v di LO.OM Pyl vyo ;ál e Z p; : i k.t i . ! v. j ϊ , . i -1 : v.a\ ί mu je sp-d zu O· t :--001 o i i .:.i n i U p i udlO po r z unič :IU1 vyn a ba: ", U . Id1 Z ' y, Jeď LI L1 ech n.i ky, v s li k b L .ide o Č 1' lidu e, ze ;x .· v v no 1,0' LOc i 11: zo vat bez tě odít· 0 sp ;ec 1 ti cévou ί'.ΙΟιί i U . L J p,. idf n j S 01.1 V e f· oni 0 Ϊ.· . Li z i v o 11 nohoh,: PPd ;:i a a mé o L r. u k L i: i: y Kdllif Μ.ΌΓ v, 1 ί y' : ‘. •mněl 1: 1. po jet i vynalt i Z U . ..o ioi 10, 7 A ‘ spec i i 11.: ke noří :’l d 1 ne po r. 1 o n i to dii e xJtki ler iých proces ech e i ode I: po : kle. i·: i 0 LU ou. Na zak lodv ..d-d : ; Z," 1 1 ! ' I O ο ο ο. ο κ ο ιχ;.:jdi !ř:h;. ! ii : .ti ’!, . ,· r L. ' 1 í. μloskup1 t, pideonu: oeo .ni,· ι ame l : 11 ·; v ·.' μ’1: s u . joprovodné způsobové no i '.4'.'.' μ i o··.; s í . t v; i j i ozny':Ι'ι κrc·kú ve vzorovém pořadí a neisou uzděny pna
*·· · · ·· I · I • ···· · » · * · I » « ι • · t ♦ * * ···
·*!· * «« *· «9 I -fičeny na Loto presentováno soeoi:..; . 0 0 p co se po; u y z u ] e, aby umoř:..; ; "a Kok- ! O, Co .: hni uy 01 akt leky provoze. runo- ; TUOOU i vo; 1 za 0 pop sana. P ro ty, un v 0 ! -u .0,0; lundo u rnnec zř eime rú zne maruíc loo , k 00:0 :- "Uió po už 1 Lod v P1'·' omzop a1.· ο- :' V co! j [ .11 r k. z. V á 1 v - ΝΟι po -Vrb· 0 ;. kbo.,k !. Z Z Ci iz, aby lny LV -10' no na io-.0-0- ι v e i‘i a, nybr 2 μ - třeba uvesi oz - u .odn vv i 11. n 1 z i a z y kem na r oku ve eouiyor; k ti .1 fl v i z- dnoznem č 1 s 1 c re ; n i. mořeno o.; , vy.· 111 a pouze uzděn", pokud to 'ar. non ζρ'·-ν i.; · d;v ípíšo "jeden nebo v i co". Všechny .„-i i;er nu ^.·,'ί . ; Valenty k prvkům různých převeden' popelných popisu, - .' ré jsou inoz e n>1. sa ο ·t o.i zrom Jíví o jsou běžně žnuli stavu techniky, jsou sem ty odkán čtu a 'jsou uicene k isme,, d v Iry; y k lomu, jby bylo odevzdán; 0-1-000 1 Uo. zda 10 takové svořeyněrii vys .1 ov: 10 umíněno sny naj okovaný prve* nemá byr kons t n.io van ”.n :ého od?Lávce §111 znk. 35 U.S.P., p-okna t ento Lovné zmíněny na použiti tra jo '\,i ·Υ·ην pí způsobového narokuie touto 000.0; 000.ony z.: úrok pro".

Claims (5)

  1. * · V *··* * · * • **»* i · i » ··» * * • · ···» 4»· ··*· · «· ** ** · !· A T E N T 0 V E N A R i,· K Ϊ .;ooí.. řízeni rria q n cti c ric ti o rozpty ri.eio r o' .li ci -iektrody obsahujici magneticko i nomagne - :: r. a o u j : c i se t 1 lil, ZO ΖαΙΊΠ.υ,Ο -•n i voli kost i C cl S t". f C Θ ct i tcSpOH i CdfiO 11';:Π-·λt.p":oj- : struktuře, v o k t e r e JO tdtl V 1 i "1 -11 Z, ; / no větší no bo rovu α j olmxi. i,: o l i,-itv t :m , z.\ ' me 1:i·.'/d:ίi teto alespoň jedne jk.-iiiúoir.eL icke luze i->moci". iroinou magnet j ckou fázi v niikrostr ukt.ur e, \;o kt.eie o;·:· ,1 ιορ'υ:: jedna magnetická lase je vetší než nebo rovna a t · '.'na [Ti i m procentům, ve které má tato alespoň punn i mel i. Ίο.; tro v mi k ros t r u k l u ř o velikost větší imb: bOtm .. -: z.·..' ·. i .'.i V".,- k sere zvolená velikost r a s z . . t e a loupou .......... ηοιι ,-.ιηοπ ioke fáze zmenšuje cliťuz.i mezi tou alespoň lnz ti! ..o.i u e í. i o k o u fázi a tou alespoň jednou nemá pnět ickz.SÍ a .v mi kn.-st Lukuiřc. o poOie nároku 1, v y z n a ž: li'/ o.iiikoo-t d not i.oe neniaqtioi_o . čc raze s e z v. 1 i t ;'j í:, Vr 1 .· n,n.,, ozon o 10 mi kromě i: i um. ·. lpi O •ob podle i nároku 1, v y z n 0 i l J 1 0 i s , m, i o velikost č a štice ale s ρo n t e Ih imaqnr iti.cke idno: so 1 i. r - t ó.lL"y zvyšovala protek a i rem proud í?TF· 0-:1.,:0,1 i. -dcrklro: dy sni žením dílu: re mez i ion .i 1 esp·. má i u o,.;·:;] η-o..mokou f: á z i a tou alespoň ] odnou neiiiuoriet lekou v mi kt mou: luk ture 1 . loto 3ob podle nároku 1, v y z n d ιΛ U 1 S 11 t - .tiescz vá -jedna magnet i ..b On ! i: < i. .! rdmvnszr a ;. J , ,, , t i.čv: l·’ ΟΓΪιΙΡ { !:š i ! ! k J ' i f' I' li Ϊ " ! ,1 : .; ;:i. iimmm mm za tepla, s li mmim: . m, I isη: :m yii: TlOO/Vm - 1 i nevoním nebo vakuovým ]iso v a Π...ΙΙ1 z a i: opi] o . , - v • · t · * * • m ψ ψ • * · • · ··# 9 9 • 9 • • * • · 9 9 9 • t * *· M 99 9 9
  2. 5. Syr; t óm pro řízení magnetického rozptylového toku u rozprašovací elektrody obsahující magnetické i nemagnetické prvky, vy /nač o jící se tím, že zahrnuje: prostrudek pro zvoleni velikosti částice alespoň jedné ne-niagnetické fáze v mikrostruktoře, ve které je velikost částice teto nemagnetické fáze větší no? noho rovná jednomu mikrometru; ;-i prostředek pro /kombinování této alespoň jedné nemagnetické fáze s aLespoň jednou magnetickou fází v mikrostruktuřo, ve které tato alespoň jedna magnetická fáze jo větší než nebo rovná 10 atomovým procentům, ve které má ta alespoň jedna magnetická fáze v mikrostruktuře velikost větší než jeden mikrometr a ve které zvolená velikost částice té a Lesním .jedné nemagnetické fáze snižuje difúzi mezi tou alespoň jednou magnetickou fází a tou alespoň jednou nemaynetlokno Fází v nu k r o s t r o l< t u r e.
  3. 6. Bystám podle nároku 5,vyznačující so t í m, že dále zahrnuje prostředek pro zvolení velikosti částice ncínagnetické fáze, která má být větší než nebo rovná 10 inik rume trůni.
  4. 7. Systém podle nároku 5, v y z n a č u j í c í s o t í m, že dále zahrnuje prostředek pro zvolení velikosti částice té alespoň jedné nemagnetické fáze tak, aby zvětšovala protékající proud (PTF) rozprašovací elektrody snížením difúze mezi tou alespoň jednou magnetickou fází a tou alespoň jednou neiiiagnetickoo fází v mikros truktuře.
  5. 8. Systém podle nároku 5, vyznač u j í c í s o t í m, že prostředek pro zkombinování té alespoň jedné magneticko fáze a té alespoň jedné nemagnetické fáze v mikruslruk-ture je složený z izostatického lisování za tepla, slinování, jiskrového plazmového slinování nebo vakuového lisování za tepla.
CZ20070328A 2007-02-22 2007-05-07 Rízení magnetického rozptylového toku u rozprašovacích elektrod obsahujících magnetické i nemagnetické prvky CZ2007328A3 (cs)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US11/709,134 US20080202916A1 (en) 2007-02-22 2007-02-22 Controlling magnetic leakage flux in sputtering targets containing magnetic and non-magnetic elements

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CZ2007328A3 true CZ2007328A3 (cs) 2008-09-03

Family

ID=39433010

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CZ20070328A CZ2007328A3 (cs) 2007-02-22 2007-05-07 Rízení magnetického rozptylového toku u rozprašovacích elektrod obsahujících magnetické i nemagnetické prvky

Country Status (7)

Country Link
US (1) US20080202916A1 (cs)
EP (1) EP1961834A1 (cs)
KR (1) KR20080078507A (cs)
CN (1) CN101250686A (cs)
CZ (1) CZ2007328A3 (cs)
SG (1) SG145613A1 (cs)
TW (1) TW200835803A (cs)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4871406B1 (ja) * 2010-08-06 2012-02-08 田中貴金属工業株式会社 マグネトロンスパッタリング用ターゲットおよびその製造方法
MY161157A (en) * 2010-12-17 2017-04-14 Jx Nippon Mining & Metals Corp Ferromagnetic material sputtering target
JP5863411B2 (ja) * 2011-11-17 2016-02-16 田中貴金属工業株式会社 マグネトロンスパッタリング用ターゲットおよびその製造方法
JP6490589B2 (ja) * 2013-10-29 2019-03-27 田中貴金属工業株式会社 マグネトロンスパッタリング用ターゲット
CN114807874A (zh) * 2014-03-18 2022-07-29 捷客斯金属株式会社 磁性材料溅射靶
JP6475526B2 (ja) * 2015-03-18 2019-02-27 Jx金属株式会社 強磁性材スパッタリングターゲット
US10366563B2 (en) * 2016-08-19 2019-07-30 Fresh Idea Global Limited Electronic table game poker system and methods
JP2024010347A (ja) * 2022-07-12 2024-01-24 田中貴金属工業株式会社 Co-Cr-Pt-酸化物系スパッタリングターゲット

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06184740A (ja) * 1992-12-17 1994-07-05 Hitachi Metals Ltd 光磁気記録媒体用ターゲットおよびその製造方法
JP3494302B2 (ja) * 1991-03-26 2004-02-09 日立金属株式会社 Co−Cr−Pt系磁気記録媒体用ターゲット
JPH08311642A (ja) * 1995-03-10 1996-11-26 Toshiba Corp マグネトロンスパッタリング法及びスパッタリングターゲット
US20020106297A1 (en) * 2000-12-01 2002-08-08 Hitachi Metals, Ltd. Co-base target and method of producing the same
US20030228238A1 (en) * 2002-06-07 2003-12-11 Wenjun Zhang High-PTF sputtering targets and method of manufacturing

Also Published As

Publication number Publication date
TW200835803A (en) 2008-09-01
CN101250686A (zh) 2008-08-27
EP1961834A1 (en) 2008-08-27
SG145613A1 (en) 2008-09-29
KR20080078507A (ko) 2008-08-27
US20080202916A1 (en) 2008-08-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CZ2007328A3 (cs) Rízení magnetického rozptylového toku u rozprašovacích elektrod obsahujících magnetické i nemagnetické prvky
Zhou et al. A novel Cu-bearing high-entropy alloy with significant antibacterial behavior against corrosive marine biofilms
Essletzbichler et al. Megabase-scale deletion using CRISPR/Cas9 to generate a fully haploid human cell line
EP2053380A3 (en) Deflection Plate
Kang et al. Antibacterial effect of sand blasted, large-grit, acid-etched treated Ti–Ag alloys
MY144188A (en) Control of kinetic decomposition in mixed conducting ion transport membranes
WO2007006107A3 (en) Microbial fuel cells for oxidation of electron donors
Yu et al. Sterilization effects of atmospheric cold plasma brush
NZ598179A (en) Medical implant comprising an iodine impregnated porous metallic surface layer on a metal substrate
NZ576185A (en) A PVD layer system for coating workpieces with a mixed crystal layer of a polyoxide
WO2008154348A3 (en) Reducing unsolicited instant messages by tracking communication threads
Zhang et al. Surface characterization and cell response of binary Ti-Ag alloys with CP Ti as material control
Islam et al. Antimycobacterial efficacy of silver nanoparticles as deposited on porous membrane filters
JP3710589B2 (ja) Ag含有抗菌ステンレス鋼板及び製造方法
Semlitsch Size does matter: the value of small isolated wetlands
Hui et al. Environmental cues and genes involved in establishment of the superinfective Pf4 phage of Pseudomonas aeruginosa
Grillo et al. Biological effects of magnesium particles degradation on UMR-106 cell line: Influence of fluoride treatments
Ulianitsky et al. Structure and composition of Fe-Co-Ni and Fe-Co-Ni-Cu coatings obtained by detonation spraying of powder mixtures
Calaf et al. Organophosphorous pesticides and estrogen induce transformation of breast cells affecting p53 and c-Ha-ras genes
Wang et al. The effect of clinical-grade retinal pigment epithelium derived from human embryonic stem cells using different transplantation strategies
WO2008114740A1 (ja) 極低酸素濃度ガス生成装置、処理システム、薄膜堆積方法及び不活性ガス
Hector et al. Pre‐screening of miniature swine may reduce the risk of transmitting human tropic recombinant porcine endogenous retroviruses
Bernach et al. Micropatterning of hybrid polydimethylsiloxane for replica leaves
Koller et al. Oxidation behavior of intermetallic Al-Cr and Al-Cr-Fe macroparticles
Sugumaran et al. Corrosion Behavior of post-deposition polished droplet-embedded arc evaporated and droplet-free high power impulse magnetron sputtering/direct current magnetron sputtering coatings