1, Zdražený snímač, vyznačující se tím, že na kovové základně (1) opatřené otvorem je umístěna podložka (2) s otvorem, přičemž na podložce (2) je umístěna membrána (3), která je opatřena interdigitálními měniči (15) povrchové akustické vlny, a na membránu (3) dosedá osmiboká podložka (4) s otvorem, na kterou dosedají dva snímače (8 a 9) zrychlení, navzájem vůči sobě pootočené o 180° a opatřené seismickou hmotou (12) a interdigitálními měniči (14) povrchové akustické vlny, přičemž na snímače (8 a 9) zrychlení dosedá osmiboká podložka (5) з otvorem, která je v místech vyvedení kontaktů z interdigitálních měničů (14) povrchové akustické vlny kratší než snímače (8 a 9) zrychlení, přičemž na osmibokou podložku (5) 8 otvorem dosedá podélně dělená osmiboká podložka (6) s otvorem, ve které jsou v rovině řezu umístěny dva snímače (10 a 11) zrychlení, které jsou navzájem vůči sobě pootočené o 180° a opatřené seizmickou hmotou (12) a interdigitálními měniči (13) povrchové akustické vlny, přičemž v místech vyvedení kontaktů z interdigitálních měničů (13)povrchové akustické vlny je podélně dělená osmiboká podložka (6) kratší než osmiboká podložka (5) a na podélně dělenou osmibokou podložku (6) je nasazeno osmiboké víko (7), na kterém je umístěna vyhodnocovací elektronika (16), přičemž prostor pod osmibokým víkem (7) je vakuován nebo spojen s okolní atmosférou.
2. Zdražený snímač podle bodu 1, vyznačující se tím, že podložka (2), membrána (3), osmiboká podložka (4, 5, 6), snímač (8, 9, 10, 11) zrychlení a osmiboké víko (7) jsou z křemíku a kovová základna (1) je opatřena přívodem (17) měřeného média a krytem (18), na kterém je umístěn výstupní konektor (20).
3 výkresy
CS 270 860 B1 vytvořena nezbytná kontaktní plocha. Na podložku 6 dosedá rozměrově stejné osmiboké víko 7, na němž Je umístěna vyhodnocovací elektronika £6. Prostor pod víkem 7 je vakuován nebo spojen s okolní atmosférou. Na kovovou podložku 2 dosedá kryt £§, na němž Je umístěný konektor 20. Podložka 2, membrána 3, osmiboké podložky 4, 5, 6, snímače 8, 9, 10, 11 zrychlení a víko 7 Jsou z křemíku. Zapojení vyhodnocovací elektroniky £6 Je tvořeno oscilátory £00 a £0£, £02 a £03, £04 a £05. Dvojice oscilátorů £00 a £0£ má v oscilačním obvodu zapojeny interdigitální měniče ££. Jejich výstup je zapojen do směšovače 20£. Na výstupu ze směšovače 20£ je signál úměrný tlaku měřeného média o frekvenci nejméně jednotky kilohertz. Na druhém výstupu ze směšovače 20£ je signál úměrný teplotě měřeného média. Dvojice oscilátorů £02 a £03 má v oscilačním obvodu zapojeny interdigitální měniče £3· Výstup z dvojice oscilátorů £02 a £03 Je zapojen do směšovače 202, na jehož výstupu je signál úměrný zrychlení ve směru kolmém na osu procházející združeným snímačem o frekvenci nejméně jednotky kilohertz. Výstup z pomocného oscilátoru £06 Je spojen se vstupem do směšovače 204> na jehož druhý vstup Je přiveden signál úměrný teplotě měřeného média z druhého výstupu směšovače 20£. Na výstupu směšovače 204 je signál úměrný teplotě měřeného média o frekvenci nejméně jednotky kilohertz. Dvojice oscilátorů £04 a £0£ má v oacilačním obvodu zapojeny interdigitální měniče £4 povrchové akustické vlny a jejich výstup Je zapojen do směšovače 203. Na výstupu ze směšovače 20J je signál úměrný zrychlení ve směru rovnoběžném a osou zdraženého snímače o frekvenci nejméně jednotky kilohertz. Směšovače 20£, 202, 203, 204 a oscilátor £06 spolu se stínícími a tlumicími členy Jsou také situovány do vyhodnocovací elektroniky £6.
Při vstupu měřeného média přívodem £7 pod membránou 3 je tato vychýlena ze základní polohy. Prohnutí membrány 3 ovlivní šíření povrchové akustické vlny mezi interdigitálními měniči £5« Toto ovlivnění šíření povrchové akustické vlny se projeví jako změna frekvence oscilátorů £00 a £0£, v jejichž rezonančním obvodu jsou zapojeny interdigitální měniče £5 povrchové akustické vlny, na membráně 3 jsou umístěny tak, aby při prohnutí membrány 3 vlivem působení měřeného média bylo u jedné dvojice interdigitálních měničů £5 dosaženo prodloužení a u druhé dvojice interdigitálních měničů £5 dosaženo zkrácení vzájemné vzdálenosti interdigitálních měničů £5. To má za následek zvětšení výsledného kmitočtu např. oscilátoru £00 a zmenšení výsledného kmitočtu oscilátoru £0£. Šíření povrchové akustické vlny mezi interdigitálními měniči £5 je také ovlivňováno změnou teploty měřeného média. Tato změna teploty však u obou dvojic interdigitálních měničů působí ve stejném smyslu. Jestliže označíme f základní kmitočet oscilátorů £00 a £0£ bez přivedeného měřeného média pod membránu 3 a Afp změnu kmitočtu vlivem působení tlaku, Af^ změnu kmitočtu vlivem působení teploty, pak na výstupu ze směšovače 20£ dostaneme 1 . výstup (f + Afp + Aft) - (f - Afp ♦ Δψ = 2Afp