CS269985B2 - Method of perfluorpolyether oils cleaning - Google Patents
Method of perfluorpolyether oils cleaning Download PDFInfo
- Publication number
- CS269985B2 CS269985B2 CS866565A CS656586A CS269985B2 CS 269985 B2 CS269985 B2 CS 269985B2 CS 866565 A CS866565 A CS 866565A CS 656586 A CS656586 A CS 656586A CS 269985 B2 CS269985 B2 CS 269985B2
- Authority
- CS
- Czechoslovakia
- Prior art keywords
- oils
- filter
- filtered
- mpa
- filtration
- Prior art date
Links
- 239000003921 oil Substances 0.000 title claims abstract description 35
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 26
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims abstract description 15
- 239000011148 porous material Substances 0.000 claims abstract description 11
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims abstract description 10
- 239000010702 perfluoropolyether Substances 0.000 claims abstract description 9
- 229920002545 silicone oil Polymers 0.000 claims abstract description 6
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 13
- 239000000725 suspension Substances 0.000 claims description 7
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 6
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 claims description 5
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 claims description 4
- -1 polypropylene Polymers 0.000 claims description 3
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 claims description 2
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 claims description 2
- 238000001914 filtration Methods 0.000 abstract description 23
- 238000000746 purification Methods 0.000 abstract description 6
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 abstract description 3
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 abstract description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 239000000047 product Substances 0.000 description 6
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- XYFCBTPGUUZFHI-UHFFFAOYSA-N Phosphine Chemical compound P XYFCBTPGUUZFHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 239000002480 mineral oil Substances 0.000 description 3
- 239000012071 phase Substances 0.000 description 3
- 229910000073 phosphorus hydride Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 3
- 238000011045 prefiltration Methods 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KZBUYRJDOAKODT-UHFFFAOYSA-N Chlorine Chemical compound ClCl KZBUYRJDOAKODT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N Dioxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000020 Nitrocellulose Substances 0.000 description 2
- CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L Sodium Carbonate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]C([O-])=O CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- FJWGYAHXMCUOOM-QHOUIDNNSA-N [(2s,3r,4s,5r,6r)-2-[(2r,3r,4s,5r,6s)-4,5-dinitrooxy-2-(nitrooxymethyl)-6-[(2r,3r,4s,5r,6s)-4,5,6-trinitrooxy-2-(nitrooxymethyl)oxan-3-yl]oxyoxan-3-yl]oxy-3,5-dinitrooxy-6-(nitrooxymethyl)oxan-4-yl] nitrate Chemical compound O([C@@H]1O[C@@H]([C@H]([C@H](O[N+]([O-])=O)[C@H]1O[N+]([O-])=O)O[C@H]1[C@@H]([C@@H](O[N+]([O-])=O)[C@H](O[N+]([O-])=O)[C@@H](CO[N+]([O-])=O)O1)O[N+]([O-])=O)CO[N+](=O)[O-])[C@@H]1[C@@H](CO[N+]([O-])=O)O[C@@H](O[N+]([O-])=O)[C@H](O[N+]([O-])=O)[C@H]1O[N+]([O-])=O FJWGYAHXMCUOOM-QHOUIDNNSA-N 0.000 description 2
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 description 2
- RBFQJDQYXXHULB-UHFFFAOYSA-N arsane Chemical compound [AsH3] RBFQJDQYXXHULB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000070 arsenic hydride Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000010908 decantation Methods 0.000 description 2
- 229910001882 dioxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 2
- 239000000706 filtrate Substances 0.000 description 2
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 2
- 235000010446 mineral oil Nutrition 0.000 description 2
- 229920001220 nitrocellulos Polymers 0.000 description 2
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 2
- FDNAPBUWERUEDA-UHFFFAOYSA-N silicon tetrachloride Chemical compound Cl[Si](Cl)(Cl)Cl FDNAPBUWERUEDA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VZGDMQKNWNREIO-UHFFFAOYSA-N tetrachloromethane Chemical compound ClC(Cl)(Cl)Cl VZGDMQKNWNREIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- TXEYQDLBPFQVAA-UHFFFAOYSA-N tetrafluoromethane Chemical compound FC(F)(F)F TXEYQDLBPFQVAA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OCKGFTQIICXDQW-ZEQRLZLVSA-N 5-[(1r)-1-hydroxy-2-[4-[(2r)-2-hydroxy-2-(4-methyl-1-oxo-3h-2-benzofuran-5-yl)ethyl]piperazin-1-yl]ethyl]-4-methyl-3h-2-benzofuran-1-one Chemical compound C1=C2C(=O)OCC2=C(C)C([C@@H](O)CN2CCN(CC2)C[C@H](O)C2=CC=C3C(=O)OCC3=C2C)=C1 OCKGFTQIICXDQW-ZEQRLZLVSA-N 0.000 description 1
- 101100002917 Caenorhabditis elegans ash-2 gene Proteins 0.000 description 1
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 description 1
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910003902 SiCl 4 Inorganic materials 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WLQSSCFYCXIQDZ-UHFFFAOYSA-N arsanyl Chemical compound [AsH2] WLQSSCFYCXIQDZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011362 coarse particle Substances 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- BUMGIEFFCMBQDG-UHFFFAOYSA-N dichlorosilicon Chemical compound Cl[Si]Cl BUMGIEFFCMBQDG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 230000002045 lasting effect Effects 0.000 description 1
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 description 1
- 239000010687 lubricating oil Substances 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003208 petroleum Substances 0.000 description 1
- 230000008929 regeneration Effects 0.000 description 1
- 238000011069 regeneration method Methods 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 1
- 229910000029 sodium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000638 solvent extraction Methods 0.000 description 1
- 239000003039 volatile agent Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C10—PETROLEUM, GAS OR COKE INDUSTRIES; TECHNICAL GASES CONTAINING CARBON MONOXIDE; FUELS; LUBRICANTS; PEAT
- C10M—LUBRICATING COMPOSITIONS; USE OF CHEMICAL SUBSTANCES EITHER ALONE OR AS LUBRICATING INGREDIENTS IN A LUBRICATING COMPOSITION
- C10M175/00—Working-up used lubricants to recover useful products ; Cleaning
- C10M175/0075—Working-up used lubricants to recover useful products ; Cleaning synthetic oil based
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D19/00—Degasification of liquids
- B01D19/0031—Degasification of liquids by filtration
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D29/00—Filters with filtering elements stationary during filtration, e.g. pressure or suction filters, not covered by groups B01D24/00 - B01D27/00; Filtering elements therefor
- B01D29/88—Filters with filtering elements stationary during filtration, e.g. pressure or suction filters, not covered by groups B01D24/00 - B01D27/00; Filtering elements therefor having feed or discharge devices
- B01D29/90—Filters with filtering elements stationary during filtration, e.g. pressure or suction filters, not covered by groups B01D24/00 - B01D27/00; Filtering elements therefor having feed or discharge devices for feeding
- B01D29/908—Filters with filtering elements stationary during filtration, e.g. pressure or suction filters, not covered by groups B01D24/00 - B01D27/00; Filtering elements therefor having feed or discharge devices for feeding provoking a tangential stream
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D61/00—Processes of separation using semi-permeable membranes, e.g. dialysis, osmosis or ultrafiltration; Apparatus, accessories or auxiliary operations specially adapted therefor
- B01D61/02—Reverse osmosis; Hyperfiltration ; Nanofiltration
- B01D61/04—Feed pretreatment
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D61/00—Processes of separation using semi-permeable membranes, e.g. dialysis, osmosis or ultrafiltration; Apparatus, accessories or auxiliary operations specially adapted therefor
- B01D61/14—Ultrafiltration; Microfiltration
- B01D61/147—Microfiltration
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D63/00—Apparatus in general for separation processes using semi-permeable membranes
- B01D63/06—Tubular membrane modules
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D71/00—Semi-permeable membranes for separation processes or apparatus characterised by the material; Manufacturing processes specially adapted therefor
- B01D71/06—Organic material
- B01D71/26—Polyalkenes
- B01D71/262—Polypropylene
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C10—PETROLEUM, GAS OR COKE INDUSTRIES; TECHNICAL GASES CONTAINING CARBON MONOXIDE; FUELS; LUBRICANTS; PEAT
- C10G—CRACKING HYDROCARBON OILS; PRODUCTION OF LIQUID HYDROCARBON MIXTURES, e.g. BY DESTRUCTIVE HYDROGENATION, OLIGOMERISATION, POLYMERISATION; RECOVERY OF HYDROCARBON OILS FROM OIL-SHALE, OIL-SAND, OR GASES; REFINING MIXTURES MAINLY CONSISTING OF HYDROCARBONS; REFORMING OF NAPHTHA; MINERAL WAXES
- C10G31/00—Refining of hydrocarbon oils, in the absence of hydrogen, by methods not otherwise provided for
- C10G31/09—Refining of hydrocarbon oils, in the absence of hydrogen, by methods not otherwise provided for by filtration
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2313/00—Details relating to membrane modules or apparatus
- B01D2313/44—Cartridge types
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2325/00—Details relating to properties of membranes
- B01D2325/02—Details relating to pores or porosity of the membranes
- B01D2325/0283—Pore size
- B01D2325/02834—Pore size more than 0.1 and up to 1 µm
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Water Supply & Treatment (AREA)
- Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Nanotechnology (AREA)
- Filtering Materials (AREA)
- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
- Lubricants (AREA)
- Production Of Liquid Hydrocarbon Mixture For Refining Petroleum (AREA)
- Treatment Of Liquids With Adsorbents In General (AREA)
- Removal Of Floating Material (AREA)
- Detergent Compositions (AREA)
- Separation Of Suspended Particles By Flocculating Agents (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
- Solid-Sorbent Or Filter-Aiding Compositions (AREA)
Description
Způsob čištění perfluorpolyéterových olejů
Řešení se týká způsobu čištění perfluorpolyéterových olejů nebo silikonových olejů od různých nečistot, pocházejících z leptacích postupů nebo z postupů, při nichž se užívá iontové implantace ve vakuu při použití leptacích činidel, jako jsou SiCli, CF, Cl?, PHj, AsH,, 0?, a zejména od pevnýcn nečistot v suspenzi, které je běžnými filtry možno odstranit jen s obtížemi, tak, že se tyto oleje fil- * trují při tangenciálním průtoku přes fil-
I tr s velikostí pórů menší než 0,4 jum, « přičemž kapalina, určená к filtraci se při * vádí rychlostí alespoň 0,B 1/h.crn při tlaku alespoň 0,11 MPa.
CS 269985 82
| 269 | 9 85 |
| (11) | |
| (13) | B2 |
| (51) | Int. Cl.4 C 10 M 175/06 |
CS 2699Θ5 B2
Vynález se týká způsobu čištění perfluorpolyéterových olejů, znečištěných různými nečistotami a zejména pevnými částicemi v suspenzi, přičemž tyto částice je běžným způsobem možno odstranit filtrací jen s velkými obtížemi. Tento způsob je možno použít například při regeneraci olejů, užívaných ve vakuových čerpadlech nebo v různých zařízeních, v nichž je olej v průběhu činnosti těchto zařízení postupně znečišťován cizorodými materiály, které mohou být v oleji přítomny bu3 v roztoku nebo ve formě jemně dispergovaných pevných částic. V mnoha případech mají tyto dispergované pevné látky gelovitou formu nebe pryžovitou nebo slizovitou formu, která vytváří na filtrech běžného typu prakticky nepropustně filmy, které м drasticky snižují účinnost filtru po velmi krátká době používání.
Vynález si klade za úkol navrhnout velmi jednoduchý a účinný způsob čištění svrchu uveděných olejů, při němž by bylo možno použít poměrně levného zařízení.
Způsob podle vynálezu byl vypracován zejména pro čištění olejů, které se používají ve vakuových čerpadlech, v tepelných testech elektronických přístrojů, při leptání v plasmě, při použití plynných činidel, například tetrachlorsilonu, tetrafluormethanu, plynného chloru nebo plynného kyslíku..
Perfluorpolyethery,užívané ke svrchu uvedeným účelům jsou například oleje typu Fomblin (Montedlaon), Krytox (Du Pont) a podobné produkty, které jsou známy pod obchodní značkou Iyr··no (Kliiber) a Barierta, je možno použít také perfluorpolyetherové oleje, vyrobené způsobem podle Evropského patentového spisu č. 148 482.
Je známo několik způsobů;· určených к čištění perfluorpolyetherů, znečištěných kapalnými nečistotami, jako jsou uhlovodíky (minerální oleje). Tyto způsoby jsou obvykle založeny na extrakcích při použití rozpouštědel nebo na chemické ošetření, přiněmž dochází к odstranění stop vody, jak bylo popsáno v US patentovém spisu č. 4 178 465. Tyto postupy však neřeší problém, spojený s odstraňováním pevných nečistot, zvláště těch, které mají gelovitou formu.
Způsob podle vynálezu je možné použít také к regeneraci dalších druhů mazacích olejů různé chemické povahy, například silikonových olejů a běžných olejů, založených na uhlovodících.
Předmětem vynálezu je způsob čištění períluorpoléterových olejů nebo silikonových olejů od různých nečistot, pocházejících z leptacích postupů nebo z postupů, při nichž se užívá iontové implantace ve vakuu při použití leptacích činidel, jako jsou SiCl^, CF^, Cl2, PH^, AsH^, 02 a zejména od pevných nečistot v suspenzi, které je běžnými filtry možno odstranit jen s obtížemi. přičemž se tyto oleje filtrují při tangenciálním průtoku přes filtr s velikostí póru menší než 0,4 mikrometru, přičemž kapalina, určená к filtraci se přivádí rychlostí alespoň 0,8 1/h.cm^ při tlaku alespoň í^ll MPa.
Před prováděním způsobu podle vynálezu je případně možno zbavit oleje plynných produktů a těkavých látek tak, že se olejem nechá procházet inertní plyn, například plynný dusík při * teplotě místnosti nebo při vyšší teplotě.
Průměr póru filtračního materiálu musí být velmi malý, aby bylo možno dosáhnout také .
úplného oddělení nejmenSích částic pevných látek. Je zapotřebí užít průměru póru menšího než 0,4 jjm, s výhodou 0,2 ^jm.
Typem filtru, který je vhodný к provádění svrchu uvedené filtrace může být například filtr typu DYNA-SEP nebo PHARMA-SEP (Membrána lne., USA). Filtračním povrchem filtrů tohoto typu je vnitřní povrch válce nebo trubice z porézního polypropylenu, ve vnitřní části tohoto filtru proudí filtrovaná kapalina velkou rychlostí a je udržována na tlaku vyšším než je tlak vně trubicovítého filtru. Odebírá se filtrát, který vychází ze stěn trubice, kdežto filtrovaná kapalina se kontinuálně přivádí zpět tak dlouho, že koncentrace pevných látek v suspenzi dosáhne velmi vysoké hodnoty. Tlak, při němž je možno přivádět filtrovanou kapalinu, zřejmě závisí na vlastnostech filtru, který obvykle může pracovat až do tlaku 0,4 MPa.
Teplota kapaliny je také velmi důležitým faktorem. Horní hranici teploty nelze překročit, protože je dána tepelnou odolností materiálu, z něhož je filtr vyroben. V uvedeném případě je horní hranice teploty 60 °C. *
Způsob podle vynálezu je ještě možno doplnit přídatnými stupni, například předběžnou dekantací к odstranění hrubších částic a částic, nemísitelných s kapalinou a předběžnou filtrací na filtru, jímž je možno oddělit hrubší částice a tím snížit obsah pevných látek v kapalině, přiváděné do uvedeného filtru.
Perfluorpolyether nebo minerální olej je možno po filtraci při použití filtru s tangenciálním průtokem podle vynálezu přímo použít ve vakuových čerpadlech, nebo je možno jej ještě neutralizovat к odstranění látek kyselé nebo zásadité povahy, které jsou případně v oleji přítomny. Zejména je možno provést neutralizaci olejů s nečistotami kyselé povahy průchodem vrstvou aktivovaného oxidu hlinitého, aktivního uhlíku nebo uhličitanu sodného.
* Praktické provedení způsobu podle vynálezu bude osvětleno na několika druzích olejů v následujících příkladech.
w Příklad 1
Způsobem podle vynálezu bylo čištěno 12 kg oleje Fomblin Y L VAC 25/5, užitého v čerpadlech zařízení pro leptání v plasmě při použití tetrachlorsilanu, tetrafluormethanu, chloru nebo kyslíku jako plynných součástí. Čištěný olej měl světle hnědou barvu a obsahoval pevný podíl v suspenzi ve formě gelu. Při dekantací, která trvá déle než tři týdny, nebylo možno dosáhnout rozdělení na zřetelné fáze. Při zbavení plynných součástí byl olej zahřát na teplotu 50 °C v kovové nádobě a byl jím probubláván plynný dusík 4 hodiny v množství 135 1/hod.
Produkt, zbavený plynů byl pak podroben předběžně filtraci při použití filtru s průměrem póru 15 ^um při použití přetlaku 0,07 MPa.
Pak bylo použito filtru DYNA PHARMA, průměr pórů tohoto filtru byl 0,2 pm, délka filtru byla přibližně 51 cm a filtrační povrch byl přibližně 19,5 dm2.
Filtrace byla prováděna v teplotním rozmezí 50 až 55 °C, při vstupním tlaku 0,22 MPa a při výstupním tlaku 0,08 až 0,09 MPa.
Filtrace byla prováděna do získání 11,3 kg Čištěného oleje, což je 94 \ hmotnostních výchozího produktu. Průměrná rychlost filtrace byla 11,5 1/hod.
Příklad 2
Bylo,čištěno 20 kg oleje Fomblin Y L VAC z přístroje pro Implantaci iontů, olej byl znečištěn mimo Jiné hydridem fosforitým a hydridem arsenitým.
Dekantace byla prováděna 2 týdny, po této době bylo možno pozorovat tvorbu zřetelné hnědě zbarvené kapalné fáze. Hlavní fáze byla oddělena a byla podrobena předběžné filtraci na filtru z dusičnanu celulózy s póry o průměru 25 pm. Filtrovaná kapalina byla udržována na teplotě 60 °C.
Po předběžné filtraci byla kapalina přiváděna na tangenciální filtr, obdobný filtru / pt i kladu 1. Teplota při filtraci byla 60 °C, přívodní tlak byl 0,22 MPa, hodnota výstupního llaš ku byla 0,08 až 0,09 MPa.
Materiál byl filtrován při průměrné rychlosti filtrace 7,7 1/h.
< Srovnávací příklad 2A
Kapalina po předběžné filtraci byla podrobena filtraci na vakuovém filtru běžného typu s filtrační membránou z dusičnanu celulózy s průměrem pórů 0,8 pm. Rychlost filtrace se velmi rychle snižovala a po 1 hodině byl filtr zcela zanesen, protože množství filtrátu v této době již bylo zanedbatelné.
Příklad 3
Bylo čištěno 5 kg silikonového oleje typu Wacker NS 30, užívaného v čerpacím zařízení přístroje pro leptání v plasmě při použití tetrachlormethanu, tetrachlorsilanu, plynného kyslíku a plynného dusíku. Produkt měl světle hnědou barvu a přesto, Že obsahoval pevný podíl v suspenzi ve formě gelu, nebylo možno při dekantací,-trvájící déle než 3 týdny dosáhnout rozdělení na zřetelné fáze.
Produkt byl zbaven plynů při teplotě 50 °C ve vyhřívané kovové nádobě tak, že olejem byl proháněn proud plynného dusíku 4 hodiny rychlostí 135 1/h.
CS 2699Θ5 B2
Olej byl filtrován na filtru PHARMA-SEP o délce přibližně 25 cm s filtrační plochou
6,32 dm2, průměr pórů filtru byl 0,2 pm. Filtrace byla prováděna při teplotě 50 °C, vstupním tlaku 0,15 MPa, výstupním tlaku 0,1 MPa, bylo dosaženo průměrné rychlosti filtrace 3 1/h.
Pak byla filtrace opakována při použití filtru PHARMA-SEP tak, jak byl svrchu popsán.
V tomto případě byly změněny podmínky filtrace. Bylo užito vstupního tlaku 0,16 MPa, výstupního tlaku 0,12 MPa a filtrace byla prováděna při teplotě 50 °C. V tomto případě bylo dosaženo rychlosti filtrace 3,6 1/h.
V obou svrchu uvedených sériích pokusu nebylo možno pozorovat žádné známky zanášení fil- 1 tru. * !
* w ,
Příklad 4
Bylo čištěno 5 kg minerálního oleje Edwards 15, užitého v čerpacím zařízení přístroje pro implantaci iontů, v němž bylo užito hydridu fosforitého, hydridu arsenitého a plynného dusíku. Tento produkt měl tmavou barvu a obsahoval v suspensi pevný podíl, velmi tmavě zbarvený, vytvářející gel.
Tento olej byl zbaven plynů při teplotě 50 °C v zahřívané kovové nádobě průchodem proudu dusíku 4 hodiny rychlostí 135 1/h.
Filtrace byla prováděna na filtru PHARMA-SEP stejného typu jako v příkladu 3 při teplotě 50 °C, vstupním tlaku 0,16 MPa, výstupním tlaku 0,1 MPa, průměrná rychlost filtrace byla
1,2 1/h. Pak byla filtrace opakována při použití téhož filtru, avšak podmínky byly změněny.
Bylo užito vstupního tlaku 0,14 MPa, výstupního tlaku 0,0B MPa a teplotě 50 °C, bylo dosaženo průměrné rychlosti filtrace 1,1 1/h. Při obou pokusech nebylo možno pozorovat žádné známky zanášení filtru.
Claims (2)
- PŘEDMĚT VYNÁLEZU1. Způsob čištění perfluorpolyéterových olejů nebo silikonových olejů od různých nečistot, pocházejících z leptacích postupů nebo z postupů, při nichž se užívá iontové implantace ve vakuu při použití leptacích činidel, jako jsou SiCl^, CF^, СЦ. PHp AsH^, 0? a zejména od pevných nečistot v suspenzi, která je běžnými filtry možno odstranit jen s obtížemi, vyznačující se tím, Že se tyto oleje filtrují při tangenciálním průtoku přes filtr s velikostí pórů menší než 0,4 jjm, přičemž kapalina určená к filtraci se přivádí rychlostí alespoň 0,8 1/h.cm2 při tlaku alespoň 0,11 MPa.
- 2. Způsob podle bodu 1, vyznačující se tím, že se užije filtru z porézního polypropyle- 1 nu s tangenciálním průtokem oleje, jehož průměr pórů Je 0,2 >im.
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| IT22145/85A IT1201464B (it) | 1985-09-13 | 1985-09-13 | Depurazione di olii contenenti materiale solido in sospensione |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CS656586A2 CS656586A2 (en) | 1989-09-12 |
| CS269985B2 true CS269985B2 (en) | 1990-05-14 |
Family
ID=11192159
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CS866565A CS269985B2 (en) | 1985-09-13 | 1986-09-11 | Method of perfluorpolyether oils cleaning |
Country Status (14)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0214672B1 (cs) |
| JP (1) | JPS62121794A (cs) |
| KR (1) | KR940001407B1 (cs) |
| AU (1) | AU596115B2 (cs) |
| CA (1) | CA1289893C (cs) |
| CS (1) | CS269985B2 (cs) |
| DD (1) | DD249639A5 (cs) |
| DE (1) | DE3671038D1 (cs) |
| ES (1) | ES2002146A6 (cs) |
| IL (2) | IL79985A0 (cs) |
| IN (1) | IN166126B (cs) |
| IT (1) | IT1201464B (cs) |
| NO (1) | NO166315C (cs) |
| ZA (1) | ZA866826B (cs) |
Families Citing this family (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3543162A1 (de) * | 1985-12-06 | 1987-06-11 | Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg | Vorrichtung zur reinigung wasserstofffreier fluorierter schmiermittel |
| EP0394265B1 (en) * | 1987-07-29 | 1994-11-02 | The Liposome Company, Inc. | Method for size separation of particles |
| US5948441A (en) * | 1988-03-07 | 1999-09-07 | The Liposome Company, Inc. | Method for size separation of particles |
| DE19522596C2 (de) * | 1995-06-19 | 2001-04-19 | Hertz Inst Heinrich | Vorrichtung zur Rückgewinnung und/oder Reinigung von kontaminierten Schmierölen |
| JPH09136022A (ja) * | 1995-11-10 | 1997-05-27 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 非水系有機液体用濾過膜及びその製造方法，並びに非水系有機液体の濾過方法 |
| US5900159A (en) * | 1996-02-29 | 1999-05-04 | Shell Oil Company | Method for separating liquid from a slurry |
| WO2005068589A1 (ja) * | 2004-01-14 | 2005-07-28 | Hoya Corporation | 磁気ディスク用潤滑剤及びその製造方法、並びに、磁気ディスク及びその製造方法 |
| WO2008147785A1 (en) * | 2007-05-23 | 2008-12-04 | Pall Corporation | Tangential flow filtration to remove contaminants from oil |
| CN101070507B (zh) * | 2007-06-05 | 2010-05-19 | 天津新膜科技有限责任公司 | 一种废润滑油的再生方法及设备 |
| CN101928634B (zh) * | 2010-09-10 | 2012-11-21 | 航空工业总公司过滤与分离机械产品质量监督检测中心 | 一种净化全氟聚醚的方法 |
| FR3009311B1 (fr) * | 2013-08-02 | 2017-07-21 | Lorrainergies | Procede de traitement d'une huile de friture usagee. |
| CN111100750A (zh) * | 2018-10-29 | 2020-05-05 | 台境企业股份有限公司 | 废氟素油的处理方法及系统 |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB419007A (en) * | 1933-06-27 | 1934-11-05 | Thomas George Ferguson | Improvements in or relating to apparatus for filtering liquids, particularly lubricating oil |
| US3406831A (en) * | 1965-11-23 | 1968-10-22 | Millipore Filter Corp | Filter cartridge for filtering liquids |
| JPS548906B1 (cs) * | 1969-05-21 | 1979-04-19 | ||
| FR2225509B1 (cs) * | 1973-04-12 | 1976-05-21 | Inst Francais Du Petrole | |
| US3977967A (en) * | 1973-05-10 | 1976-08-31 | Union Carbide Corporation | Ultrafiltration apparatus and process for the treatment of liquids |
| FR2482975A1 (fr) * | 1980-05-22 | 1981-11-27 | Commissariat Energie Atomique | Procede de traitement par ultrafiltration a temperature elevee d'une charge hydrocarbonee |
| DE3040631A1 (de) * | 1980-10-29 | 1982-05-27 | Merck Patent Gmbh, 6100 Darmstadt | Verfahren zur abtrennung von metallkatalysatoren und verwendung von membrantrennvorrichtungen |
| DE3215003C2 (de) * | 1982-04-22 | 1985-04-04 | Fresenius AG, 6380 Bad Homburg | Verfahren zur Abscheidung von Luft aus einer Dialysierflüssigkeit sowie Dialysevorrichtung |
| DE3873070T2 (de) * | 1988-03-17 | 1993-01-21 | Ceramiques Tech Soc D | Verfahren zur behandlung verunreinigter oel-in-wasser-emulsionen oder-mikroemulsionen. |
-
1976
- 1976-09-09 IL IL79985A patent/IL79985A0/xx unknown
-
1985
- 1985-09-13 IT IT22145/85A patent/IT1201464B/it active
-
1986
- 1986-09-08 ZA ZA866826A patent/ZA866826B/xx unknown
- 1986-09-09 AU AU62528/86A patent/AU596115B2/en not_active Ceased
- 1986-09-09 IL IL79985A patent/IL79985A/xx unknown
- 1986-09-10 IN IN674/CAL/86A patent/IN166126B/en unknown
- 1986-09-11 JP JP61214991A patent/JPS62121794A/ja active Pending
- 1986-09-11 CS CS866565A patent/CS269985B2/cs unknown
- 1986-09-12 NO NO863655A patent/NO166315C/no unknown
- 1986-09-12 EP EP86112656A patent/EP0214672B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1986-09-12 CA CA000518111A patent/CA1289893C/en not_active Expired - Lifetime
- 1986-09-12 DE DE8686112656T patent/DE3671038D1/de not_active Expired - Lifetime
- 1986-09-12 DD DD86294366A patent/DD249639A5/de not_active IP Right Cessation
- 1986-09-12 ES ES8601839A patent/ES2002146A6/es not_active Expired
- 1986-09-12 KR KR1019860007692A patent/KR940001407B1/ko not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CS656586A2 (en) | 1989-09-12 |
| DE3671038D1 (de) | 1990-06-13 |
| NO863655D0 (no) | 1986-09-12 |
| JPS62121794A (ja) | 1987-06-03 |
| ZA866826B (en) | 1987-04-29 |
| AU6252886A (en) | 1987-03-19 |
| NO863655L (no) | 1987-03-16 |
| KR870002861A (ko) | 1987-04-13 |
| AU596115B2 (en) | 1990-04-26 |
| DD249639A5 (de) | 1987-09-16 |
| EP0214672A3 (en) | 1987-06-16 |
| EP0214672A2 (en) | 1987-03-18 |
| ES2002146A6 (es) | 1988-07-16 |
| KR940001407B1 (ko) | 1994-02-23 |
| IN166126B (cs) | 1990-03-17 |
| IL79985A0 (en) | 1986-12-31 |
| NO166315B (no) | 1991-03-25 |
| IT8522145A0 (it) | 1985-09-13 |
| IL79985A (en) | 1990-09-17 |
| CA1289893C (en) | 1991-10-01 |
| NO166315C (no) | 1991-07-10 |
| EP0214672B1 (en) | 1990-05-09 |
| IT1201464B (it) | 1989-02-02 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CS269985B2 (en) | Method of perfluorpolyether oils cleaning | |
| WO2005120689A3 (en) | Method and apparatus for separating emulsified water from hydrocarbons | |
| US5965015A (en) | Oil-water separator system with oleophobic fibrous filter | |
| US7014771B2 (en) | Process for preparing water having an arsenic level of less than 10 PPB | |
| ZA200807265B (en) | Vibrating membrane micro-filtration of used oil | |
| US4734207A (en) | Purification of oils containing solid matters in suspension | |
| EP0382202A3 (en) | Method and device for the removal of components to be separated from a fluid | |
| US4597882A (en) | Process for regenerating waste oils of synthetic lubricants containing fluorine atom | |
| JP3404013B2 (ja) | 洗煙排水処理方法及び装置 | |
| JPS6344985A (ja) | 印刷工場からの汚物の浄化方法及びその装置 | |
| KR940001408B1 (ko) | 윤활유 여과기가 장치된 진공 펌프 | |
| JP2005279424A (ja) | 染料回収方法、および染料回収システム | |
| GB2084480A (en) | Treatment of steam condensate | |
| US20090223898A1 (en) | Industrial Silicon Carbide Filtration Method | |
| RU2109037C1 (ru) | Способ регенерации отработанных нефтяных масел | |
| CA2279365A1 (en) | Method and device for purifying contaminated liquids | |
| RU2086635C1 (ru) | Способ очистки водки | |
| CN216337481U (zh) | 一种废润滑油再生装置 | |
| SU1754666A1 (ru) | Способ очистки нефтепромысловых сточных вод | |
| Liang | Filtration and separation | |
| US10919781B1 (en) | Coated porous substrates for fracking water treatment | |
| CN211004835U (zh) | 一种污废水处理系统 | |
| US4631068A (en) | Removal of sulfur from aqueous suspension using filtration | |
| KR19980063540A (ko) | 막분리를 이용한 상수 처리 방법 | |
| JPS57132521A (en) | Filtration and recovery system for insulating oil |