CS264848B1 - Vákuový doškový ventil - Google Patents

Abstract

Riešenie sa týká zariadenia na uzavretie, otvorenie a škrtenie prietoku média prierezom ventilu a pozostáva z telesa, púzdra, príruby, v ktorej je posuvné tiahlo uložené druhýn) koncom vo vodiacom telese opatřené čapom posuvné uloženým v drážke kulisy přítlačného rámu, ktorá je opatřená čapom zasahujúcim do otvoru vo vodiacom telese, ktoré je spojené s telesom, pričom koniec posuvného tiahla je opatřený kolíkom odpruženým pružinou vedeným druhým koncom v drážke došky, otočnéj okolo čapu, pevne spojeného s telesom, s ktorým je pevne spojený držiak, v ktorom je kyvné uložená kulisa přítlačného rámu, ktorá je kyvné spojená prostredníctvom čapov s přítlačným prstencom, pričom medzi telesom a doskou je uložené vákuové tesnenie a tesnenie uložené medzi přírubami a pevne spojenou pružným těsněním s posuvným tiahlom, pričom doska je odpružená pružinou uloženou v otvore vodiaceho telesa, a jej pohyb je obmedzený dorazom.

Description

264848 2

Vynález sa týká vákuového doškového ventilu, zariadenia na uzatváranie, otvorenie a škrte-nie média vo vákupvých komponentov.

Doteraz známe vákuové ventily sú bud rohové alebo doškové s doskou otočnou okolo osiumiestnenej v priereze ventilu těsněné na vonkajšom obvode došky, alebo doškové ovládané tiah-lom, ktoré sa odklápajú a aj v otvorenej polohe časť došky s tiahlom ostává v priestore otvoruventilu, dalej doškové vrátové, u ktorých sa doska ventilu pri ot.váraní vysunie z prierezuotvoru ventilu do plášťa telesa ventilu alebo doškové s kývavým pohybom došky otočnéj okoločapu, u ktorých sa doska v případe otvorenie ventilu zasúva do telesa ventilu, ktorá musí bytzvaešená o rozměr došky ventilu.

Nevýhodou rohových ventilov, doškových ventilov a doskou otočné uloženou, alebo odklopnou,ktorá celá alebo jej část ostává v priereze ventilu je, že nevyhovuji! v případe, že vo vákuovýchkomponentoch je potřebné viest zvSzok částic elektrónov alebo iónov, pretože ich konštrukcianedovoluje využitie celého prierezu ventilu a zvázok šastic by narážal na došku alebo konštruk-ciu otočného a odklápacieho mechanizmu.

Nevýhodou vratových ventilov a ventilov s kývavým pohybom došky je velký rozměr talesa,ktoré musí byt zvačšené o rozměr vysúvnej došky, daný svetlostou ventilu a z toho vyplývajúcavelká hmotnost.

Uvedené nevýhody odstraňuje doškový vákuový ventil podlá vynálezu, ktorého podstata spo-čívá v tom, že teleso ventilu je opatřené púzdrom, ktorého rozměr odpovedá rozměru došky danejsvetlostou prierezu ventilu, oproti ktorému je príruba, v ktorej je uložené posuvné tiahlovykonávajíce vratný posuvný pohyb odvodený bud od rotačného ručného alebo motorického pohybusez skrutku a pohyboví maticu alebo odvodený od pneumatického alebo hydraulického posúvača,pričom tiahlo je vedené vo vodiacom telese, ktoré je spojené s čapom vedeným v kulis.e přítlač-ného rámu pričom kulisa přítlačného rámu je spojená s vodiacim telesom čapom, zachytávajícím posívacie sily odtiahla, ktoré je na svojom druhem konci opatřené koiíkom odpruženým pružinou a zapadajícím svojim druhýmkoncom do drážky došky, ktorá je pósobením posuvného pohybu kolíka v drážke otočná okolo čapuspojeného telesom, delej ventil pozostáva z pevného držiaka, okolo ktorého je kulisa přítlač-ného rámu odklopné! a kyvné spojená cez čapy s přítlačným prstencom, ktorý pósobí na došku pouzavretí prierezu ventilu, pričom medzi doskou a telesom ventilu je vákuové tesnenie, dalšietesnenie je medzi přírubou, v ktorej je uložené posuvné tiahlo, ktoré je utěsněné medzi pří-rubou a telesom posuvného tiahla pružným posuvným vákuovým těsněním. Otvorenie ventilu jeodvodené od posuvného pohybu tiehla, ktoré pósobí cez odpružený kolík vedený v drážke doškya súčasne cez čap vedený v drážke kulisy přítlačného rámu sa odklopí kulisa přítlačného rámu,čím uvolní přítlačný prstenec došku, ktorá sa potom otáčaním okolo otočného čapu odklápa dopúzdra a odkrývá prierez ventilu. Uzavretie ventilu, ktoré je odvodené od spatného posuvnéhopohybu tiahla, je dosiahnuté odklopením došky spal púzdra do prierezu telesa ventilu, pričomdosadnutiu došky napomáhá lažná pružina. Geometria drážky v kulise přítlačného rámu zabezpečujepritlačenie došky přítlačným prstencom až po dosadnutí došky na doraz, pričom translačný pohybtiahla je kompenzovaný odpruženým koiíkom a pritlačenie došky prítlečným prstencom zabezpečujevákuovo těsné uzatvorenie ventilu·Usporiadaním ventilu podlá vynálezu sa dosahuje 2níženiehmotnosti a rozměru ventilu.

Na pripojenom obr. č. 1 je znázorněný nárys v čiastočnom řeze vákuového doškového vevtilupodlá vynálezu v uzavretom stave. Obr. 2 znázorňuje bokorys v řeze. Obr. 3 zobrazuje rez B-B aobr. 4 rez A-A.

Doškový vákuový ventil znázorněný na připojených obrázkoch pozostáva z telesa J., ktoréje z boku opatřené púzdrom 2, ktorého rozměr odpovedá rozměru došky 9 danej svetlosťou priere-zu ventilu, oproti ktorému je príruba 20, v ktorej je uložené posuvné tiahlo 2 vykonávájúcevratný posuvný pohyb odvodený bud od ručného alebo motorického pohybu cez skrutku a pohybovámaticu alebo odvodený od pneumatického alebo hydraulického posúvača, pričom posuvné tiahlo2 je svojim druhým koncom uložené vo vodiacom telese 4, pevne spojenom s telesom 2ř pričom

Claims (1)

1. 3 264848 posuvné tiahlo 2 j® opatřené čapom 5 posuvným v drážke 22 kulisy přítlačného rámu Ί_ a kulisa přítlačného rámu Ί_ je opatřená čapom j6 svojim jedným koncom zasahujúcim do otvoru 23 v kulise přítlačného rámu 7_ a druhým koncom pevne spojeným s vodiacim telesom pričom koniec posuv-ného tiahla 2 3e opatřený kolíkom 2 odpružený pružinou 19 a zapadajúcim svojim druhým koncom do drážky 24 došky 2 kyvné uloženej na čapě 10, pevne spojeným s telesom 2/ s ktorým je pevnespojený držiak 13, v ktorom je kyvné uložená kulisa přítlačného rámu 1_, ktorá je spojená čap-mi 12 s přítlačným prstencem 21* pričom medzi telesom 11 a doskou 2 uložené vákuové tesne-nie 17 a medzi přírubou 20 a přírubou 15 je uložené vákuové tesnenie 2®/ pričom príruba 15 jepevne spojená vákuovým pružným posuvným těsněním 14 s posuvným tiahlom 2/ pričom doska 2 íespojená tažnou pružinou 18 uloženou v otvore 25 vodiaceho tielesa 4· Otvorenie ventilu je odvodené od posuvného pohybu posuvného tiahla 2* ktoré pósobi cezkolík 2* odpružený pružinou 19 a zapadajúci svojim druhým koncom do drážky 24 došky 2 a sú-časné cez čap 2 vedený v drážke 22 kulisy přítlačného rámu T_, ktorá sa odklopí, čím cez čapy22 a držiak 13 uvolni přítlačný prstenec 12 došku ktorá sa otáčanim okolo čapu 10 odklápado púzdra 2 a odkrývá prierez ventilu. Uzavretie ventilu je odvodené od spatného pohybu posuvného tiahla 2* ktorým sa pósobicez kolík 2* odpružený pružinou 19 a zapadajúci svojim druhým koncom do drážky 24 došky 9_, ktorá sa otáča okolo čapu 10 a odklápa sa spát z púzdra 2 do priestoru telesa ventilu 2* pričomdosadnutiu došky 2 na doraz 21 napomáhá pružina 22* pričom geometria drážky 22 v kulise pří-tlačného rámu 2 zabezpečuje cez čap 2 pritlačenie došky 2 přítlačným prstencom 11 cez kulisu 2 na tesnenie 17, č° zaistuje vákuotesné uzavretie ventilu, pričom pohyb posuvného tiahla 3 spojeného s kolíkom 8 zapadajúcim do drážky 24. došky 2 3e kompenzonaný pružinou 19. Vákuový -doškový ventil podlá vynálezu umožňuje aj vykonávanie funkcie škrtiaceho ventilu,pretože umožňuje plynulé otváranie a uzatváranie prietočného prierezu, preto je zvlášť. vhodnýpre vákuové zariadenia s požadovanou premenlivou čerpacou rýchlostou regulovanou škrtenímprierezu, resp. pre zariadenia na iónové plátovanie, naprašovanie alebo naparovanie, dalejpre uzatváranie vákuových priestorov vákuových zariadení, kde sa vyžaduje otvorenie celéhoprierezu pre přechod zvazku častíc, napr. pre zariadenie na iónovú implantáciu alebo zváranieelektronovým lúčom, kde napr. elektromagnetické ventily ovplyvňujú a vychylujú zvázok urych-lených částic iónov alebo elektrónov. V porovnaní s inými doškovými ventilmi rovnakej světlo-sti je vzhladom na konštrukciu púzdra pre došku s hrúbkou odpovedajúcou hrúbke došky a šířkypúzdra závislým od světlosti uzavretého prierezu, menšieho rozměru a má menšiu hmotnost. PREDMET VYNÁLEZU Vákuový doškový ventil zariadenie na uzavretie, otvorenie a škrtenie prietoku médiaprierezom ventilu pozostávajúcim z telesa, v ktorom je uložená doska ovládaná bud tiahlomalebo otočná okolo čapu, pričom doska je odklápaná pri otvorení ventilu do priestoru telesamimo prierez ventilu vyznačený tým, že teleso (1) je z boku opatřené púzdrom (2), pričomoproti púzdru (2) z opačného boku je teleso (1) opatřené přírubou (20), v ktorej je posuvnétiahlo (3) svojim druhým koncom uložené vo vodiacom telese (4) pevne spojeným s telesom(1), pričom posuvné tiahlo (3) je opatřené čapom (5) posuvné uloženým v drážke (22) kulisypřítlačného rámu (7) a kulisa přítlačného rámu (7) je opatřená čapom (6) svojim jednýmkoncom zasahujúcim do otvoru (23) v kulise přítlačného rámu (7) a druhým koncom pevne spo-jeným s vodiacim telesom (4), pričom koniec posuvného tiahla (3) je opatřený kolíkom (8) od-pruženým pružinou (19) a zapadajúcim svojim druhým koncom do drážky (24) došky (9) kyvnéuloženej na čapě (10), pevne spojenou s telesom (1), s ktorým je pevne spojený držiak (13),v ktorom je kyvné uložená kulisa přítlačného rámu (7), ktorá je spojená čapmi (12) s přítlač-ným prstencom (11), pričom medzi telesom (1) a doskou (9) je uložené vákuové tesnenie (17)a medzi přírubou (20) a přírubou (15) je uložené vákuové tesnenie (16), pričom príruba (15)je pevne spojená vákuovým pružným posuvným těsněním (14) s posuvným tiahlom (3), a doska(9) je spojená s tažnou pružinou (18) uloženou v otvore (25) vodiaceho telesa (4). 1 výkres