CS243899B1 - Způsob chemického dolešfování opticky opracovaných ploch z křemičitých skel - Google Patents
Způsob chemického dolešfování opticky opracovaných ploch z křemičitých skel Download PDFInfo
- Publication number
- CS243899B1 CS243899B1 CS851554A CS155485A CS243899B1 CS 243899 B1 CS243899 B1 CS 243899B1 CS 851554 A CS851554 A CS 851554A CS 155485 A CS155485 A CS 155485A CS 243899 B1 CS243899 B1 CS 243899B1
- Authority
- CS
- Czechoslovakia
- Prior art keywords
- percent
- optically
- polishing
- silica glass
- treated surfaces
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 13
- 238000005498 polishing Methods 0.000 title claims description 17
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 10
- 239000000126 substance Substances 0.000 title description 5
- PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N Glycerine Chemical compound OCC(O)CO PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 10
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 10
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 5
- 235000011187 glycerol Nutrition 0.000 claims abstract description 5
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 5
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 claims abstract description 4
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract description 10
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 5
- 239000002253 acid Substances 0.000 abstract 1
- 238000000149 argon plasma sintering Methods 0.000 description 8
- 229920000742 Cotton Polymers 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000005350 fused silica glass Substances 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 238000006748 scratching Methods 0.000 description 2
- 230000002393 scratching effect Effects 0.000 description 2
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 2
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 2
- 229910052684 Cerium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 239000010426 asphalt Substances 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 239000005388 borosilicate glass Substances 0.000 description 1
- GWXLDORMOJMVQZ-UHFFFAOYSA-N cerium Chemical compound [Ce] GWXLDORMOJMVQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 239000012153 distilled water Substances 0.000 description 1
- 238000009499 grossing Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- UQSXHKLRYXJYBZ-UHFFFAOYSA-N iron oxide Inorganic materials [Fe]=O UQSXHKLRYXJYBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000013980 iron oxide Nutrition 0.000 description 1
- VBMVTYDPPZVILR-UHFFFAOYSA-N iron(2+);oxygen(2-) Chemical class [O-2].[Fe+2] VBMVTYDPPZVILR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000004660 morphological change Effects 0.000 description 1
- 239000005304 optical glass Substances 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 1
- 238000010025 steaming Methods 0.000 description 1
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 description 1
- 239000002023 wood Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Surface Treatment Of Glass (AREA)
Abstract
Podstatou způsobu je, že na předmět s opticky
vyleštěným povrchem se působí roztokem
obsahujícím hmotnostně 1 až 50 procent 96%
kyseliny sírové, 0,5 až 40 procent kyseliny
fluorovodíkové a 10 až 98,5 procent vody
nebo alkoholu, glycerinu nebo jiného organického
rozpouštědla po dobu 0,5 až 15 minut
při teplotě o rozsahu 10 až 60 °C.
Řešení je určeno pro optickou výrobu,
zejména při výrobě zrcadel pro lasery.
Description
Autor vynálezu
HORKÝ MILOŠ? POKORNÝ PAVEL RNDr., BRNO; SKOPAL MIROSLAV RNDr., LIPUVKA (54) Způsob chemického dolešfování opticky opracovaných ploch z křemičitých skel
Podstatou způsobu je, že na předmět s opticky vyleštěným povrchem se působí roztokem obsahujícím hmotnostně 1 až 50 procent 96% kyseliny sírové, 0,5 až 40 procent kyseliny fluorovodíkové a 10 až 98,5 procent vody nebo alkoholu, glycerinu nebo jiného organického rozpouštědla po dobu 0,5 až 15 minut při teplotě o rozsahu 10 až 60 °C.
Řešení je určeno pro optickou výrobu, zejména při výrobě zrcadel pro lasery.
Vynález se týká způsobu chemického doleštování opticky opracovaných ploch křemičitých skel, zvláště potom podložek zrcadel pro lasery, kde je požadován minimální rozptyl světla leštěného povrchu.
Optické členy, jako například čočky, zrcadla, filtry a podobně, které tvoří náročné optické soustavy, se většinou vyrábějí obráběním optických křemičitých skel, přičemž poslední operace, tj. leštění, se v maximální míře podílí na kvalitě optického povrchu. U vyleštěného povrchu se sledují vedle stupně přesnosti tvaru mj. mikronerovnosti povrchu, které jsou určujícím faktorem s ohledem na rozptyl světla. Vyžadujeme-li pro některé aplikace rozptyl světla minimalizovat, jako například u podložek pro dielektrická interferenční zrcadla pro lasery, vytvářená vakuovým napařováním a podobně, kde kvalita povrchu podložky přímo podmiňuje ztráty rozptylem u vlastního zrcadla, setkáváme Se tak s omezeními, která vyplývají z dosavadních, i když špičkových metod leštění (a jejich vyhlazovací povahy povrchu) optických skel.
Leštění na smolných nebo asfaltových nebo speciálních nástrojích z plastických hmot s použitím vodních suspenzí leštiv, zpravidla na bázi oxidů železa, céru a podobně, i při použití mnohonásobně tříděných leštiv a dalších technologických opatření, vykazuje svoje omezení.
Optická kvalita povrchu bývá i v případech výjimečného leštění z hlediska minimálního rozptylu značně kolísavá a přitom podmínky extrémní opatrnosti vlastní proces velmi prodražují. Tavený nebo ohněm leštěný povrch je vystaven navíc nebezpečí vzniku řady mikrovad povrchu, výjimkou je snad povrch tavený ve vakuu, což je nejen náročné, ale pro velkou řadu aplikaci se pochopitelně nehodí. Ani samostatně aplikované chemické leštění povrchu skla neuspokojuje zejména pro nemožnost dodržet požadovaný tvar povrchu.
K uvedené problematice je nutno připočíst, že leštěné povrchy podléhají dalším morfologickým změnám působením účinků vnějších, tj. atmosférických, což souvisí se vznikem dalších povrchových nehomogenit. Takové povrchy samozřejmě také vykazují zvýšený rozptyl světla, přičemž jeho omezeni je dosud u méně náročných případů uskutečňováno před vlastním čištěním tzv. oživováním, tj. třením povrchu pastami jemných leštících oxidů nanesených na plátno nebo vatu. Nevýhodou je vysoká pravděpodobnost poškození povrchu rýhami nebo škráby vlivem zanesených nečistot z vaty nebo leštiv a podobně. Přitom ale dosáhneme v nej lepším případě jen částečné odstranění oxidovaného povrchu a nikoliv zlepšení jeho kvality proti původnímu stavu.
Uvedené nevýhody při dosahování opticky leštěného povrchu s minimalizovaným rozptylem světla odstraňuje vynález, jehož podstatou je, že se na předmět s opticky vyleštěným povrchem působí roztokem obsahujícím hmotnostně 1 až 50 procent 96% kyseliny sirové, 0,5 až 40 procent kyseliny fluorovodíkové a 10 až 98,5 procent vody nebo alkoholu, glycerinu nebo jiného organického rozpouštědla po dobu 0,5 až 15 minut při teplotě v rozsahu 10 až 60 °C.
Hlavni předností tohoto způsobu je významné snížení rozptylu světla u běžně opticky leštěných povrchů křemenného skla, na které byla metoda chemického doleštování aplikována.
K tomu účelu není zpravidla navíc nezbytné technologický proces optického leštění provádět s ohledem na získání výjimečně opticky leštěného povrchu, kterého lze dosáhnout jen velmi dlouhým leštěním za mimořádných pracovních podmínek. Dlouhé leštění je nejen časově náročné, ale také je spojeno mj. s nebezpečím ovlivnění přesnosti žádaného tvaru.
Pro použití roztoku podle vynálezu jsou zvlášt výhodné opticky leštěné povrchy z taveného křemene, respektive z chemicky odolných borokřemičitých skel, u kterých je ovšem nutno dbát zvláště zvýšené opatrnosti při volbě koncentrace a doby působení, respektive vhodného rozpouštědla. Koncentraci roztoku a volbu rozpouštědla je pro daný případ nutné především vyzkoušet předem na vzorcích. Zpravidla postupujeme od koncentraci minimálních, přičemž ověřujeme na vzorcích ze stejného materiálu účinek leštění, popřípadě jeho mez, tj. poškození povrchu. Správná koncentrace je ta, která nezpůsobuje poškození povrchu opticky leštěného ani při dvojnásobku doby působení nebo koncentrace.
Velmi dobrých výsledků bylo dosaženo u podložek zrcadel pro lasery z taveného křemene, na které bylo působeno roztokem obsahujícím asi 3 procenta hmotnosti 38% kyseliny fluorovodíkové HF a asi 5 procent hmotnosti 96% kyseliny sírové H2SO4 v glycerínu HOCH2CH(OH)CH2OH za pokojové teploty po dobu asi 3 až 5 minut. Roztok se na povrch nanese tamponem čisté extrahované vaty navinuté na tyčince, například dřevěné, přičemž se během doby působení roztok několikrát po povrchu opatrně roztírá. Po ukončení působení se roztok z povrchu odstraní opakovaným opláchnutím destilovanou vodou a alkoholem s podmínkou zamezení volného oschnutí povrchu. Potom se povrch očistí podle požadavků vyplývajících z přípravy pro vakuové napařování a takto připravené podložky se vloží do komory vakuové napařovací aparatury, kde dochází k vlastnímu procesu vytváření zrcadel pro lasery.
Vzhledem k tomu, že posudek kvality povrchu optických podložek pro zrcadla, tj. snížení rozptylu světla na povrchu po aplikaci chemického doleštování, není pro čistý povrch vždy jednoznačný, je doporučeníhodné tak učinit také u hotových zrcadel pro lasery. Zrcadla, u kterých byl povrch podložek doleštován, vykazují ve velké většině nižší rozptyl ve srovnání se zrcadly, u jejichž podložek předešlá úprava povrchu prováděna nebyla. Srovnání bylo prováděno jak pozorováním povrchu soustředěným světlem, tak kvantitativně přímo při použití v laserovém rezonátoru. Výkon laseru se zrcadly, u kterých byl povrch podložek před vrstvením chemicky doleštován, byl jednoznačně vyšší.
Způsob podle vynálezu lze využít především v optické výrobě a zejména při vytváření systémů tenkých vrstev, kde se vyžaduje minimalizace ztrát rozptylem světla na povrchu, zvláště potom u zrcadel pro lasery.
Claims (1)
- PŘEDMÍŽT VYNÁLEZUZpůsob chemického doleštování opticky opracovaných ploch z křemičitých skel, vyznačený tím, že se na předmět s opticky vyleštěným povrchem působí roztokem obsahujícím 1 až 50 procent hmotnosti 96% kyseliny sírové, 0,5 až 40 procent hmotnosti kyseliny fluorovodíkové a 10 až 98,5 procent hmotnosti vody nebo alkoholu, glycerínu nebo jiného organického rozpouštědla po dobu 0,5 až 15 minut při teplotě v rozsahu 10 až 60 °C.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CS851554A CS243899B1 (cs) | 1985-03-06 | 1985-03-06 | Způsob chemického dolešfování opticky opracovaných ploch z křemičitých skel |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CS851554A CS243899B1 (cs) | 1985-03-06 | 1985-03-06 | Způsob chemického dolešfování opticky opracovaných ploch z křemičitých skel |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CS155485A1 CS155485A1 (en) | 1985-09-17 |
CS243899B1 true CS243899B1 (cs) | 1986-07-17 |
Family
ID=5350188
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CS851554A CS243899B1 (cs) | 1985-03-06 | 1985-03-06 | Způsob chemického dolešfování opticky opracovaných ploch z křemičitých skel |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CS (1) | CS243899B1 (cs) |
-
1985
- 1985-03-06 CS CS851554A patent/CS243899B1/cs unknown
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CS155485A1 (en) | 1985-09-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20090041412A1 (en) | Laser erosion processes for fiber optic ferrules | |
DE69807675T2 (de) | Optische faser mit mantel | |
CN106199835A (zh) | 一种光纤透镜制作方法及光纤透镜 | |
DE69222581T2 (de) | Reinigungsverfahren | |
US2461840A (en) | Method of forming low-reflecting surfaces on optical elements | |
ATE29479T1 (de) | Verfahren und vorrichtung zum herstellen von optischen fasern. | |
US2382660A (en) | Treatment of optical surfaces | |
US5024744A (en) | Stamper cleaning apparatus | |
CS243899B1 (cs) | Způsob chemického dolešfování opticky opracovaných ploch z křemičitých skel | |
Eguchi et al. | Fabrication of low-loss waveguides in BK-7 by ion exchange | |
US3860467A (en) | Method of etching a surface of a substrate comprising LITAO{HD 3 {B and chemically similar materials | |
US2370214A (en) | Optical device | |
US4231775A (en) | Method of making ommateal lenses and plates | |
DE2526052A1 (de) | Verfahren zur reinigung polierter halbleiterscheiben | |
EP1468970A1 (en) | Method for fabricating a glass rod | |
JPS6144820B2 (cs) | ||
JPH06102559B2 (ja) | フツ化物ガラス製の集積される光導波路の製作方法 | |
JPS6158407B2 (cs) | ||
Cook et al. | Integral antireflective surface production on optical glass | |
DE60005379T2 (de) | Verfahren zur oberflächenbehandlung eines optischen artikels mittels einer lösungsmittel oder einer mischung von lösungsmitteln | |
KR0149018B1 (ko) | 유리의 저반사처리방법 | |
SU1560497A1 (ru) | Полировальный раствор дл обработки стеклоизделий в ультразвуковом поле | |
JPH02153832A (ja) | ガラスまたはガラスファイバーの端面作製方法 | |
SU704972A1 (ru) | Состав дл очистки твердых поверхностей | |
JPS6035642B2 (ja) | 光フアイバにおける融着接続部の強化処理方法 |