SU1560497A1 - Полировальный раствор дл обработки стеклоизделий в ультразвуковом поле - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к химической обработке материалов и может быть использовано дл  изготовлени  и доводки высокочастотных и сложных оптических поверхностей из труднообрабатываемых материалов-стекла, керамики, кристаллов. Целью изобретени   вл етс  получение оптически полированной поверхности. Дл  этого полировальный раствор дл  обработки стеклоизделий в ультразвуковом поле содержит следующие компоненты, об.%: HF 9-16

H₂SO₄ или HNO₃ 14-29

H₂O 15-46

полирит 23-35. Съем материала 0,32-1,20 мкм. Шероховатость поверхности после обработки R_Z=0,023-0,091. 1 табл.

Description

Изобретение относитс  к химической обработке материалов и может ,быть использовано дл  изготовлени  и доводки высокоточных и сложных оптических поверхностей из труднообрабатываемых материалов - стекла, керамики, кристаллов.

Цель изобретени  - получение оптически полированной поверхности при обработке высококремнеземистого стекла .

Пример 1. Провод т обработку полированных оптических деталей из стекла марки К-8 и кварца.Ультразвуковой излучатель, имеющий форму пр моугольника с излучающей площадью 10x55 мм, устанавливают на рассто нии 0,7 мм от обрабатываемой поверхности вне светового диаметра. Подают в зазор травильный раствор, содержащий , об.%: плавикова  кислота 70%-на  И;азотна г кислота IN 14

(дл  стекла марки К8) или серна  кислота IN 14 (дл  кварца), дистиллированна  вода 46; полирит 29, и первоначально сообщают излучателю колебани  с максимально возможной амплитудой . В процессе обработки производ т замеры шероховатости поверхности. Если шероховатость участка поверхности больше шероховатости исходной, то постепенно уменьшают амплитуду колебаний излучател  до тех пор, пока шероховатость обрабатываемого участка поверхности не будет отли- чаткс  от исходной. После этого ультразвуковой излучатель,сохран   установленный зазор, передвигают в зону светового диаметра на участок поверхности, где требуетс  частично удалить излишки материала с сохранением качества поверхности.Сообщают излучателю величину амплитуды колебаний с интенсивностью вводимого f

О1

05 О Јь

Ј

раствор ультразвука в пределах 0,23-0,27 Вт/см и производ т съем материала на требуемую величину,Врем  обработки составл ет в обоих случа х 15 мин. В результате на обрабатываемой поверхности выбирают пр моугольный паз, соответствующий размерам ультразвукового излучател , на стекле марки К-8 глубиной 1,35 мкм и на кварце 1,00 мкм.

П р и м е р 2, Плоскую полированную поверхность стекла марки БК-110 обрабатывают в травильном растворе, содержащем, об.%: плавикова  кисло- та 70%-на  10; азотна  кислота IN 20; дистиллированна  вода 30j полирит 27, Ультразвуковой излучатель круглого сечени  устанавливают на рассто нии 0,5 мм от обрабатываемой поверхности, обеспечивающем интенсивность ультразвукового излучени  0,24 Вт/см .

Получена интерферограмма поверхности , на которой обработано дев ть участков. Верхние три участка обраба- тывались 1 мин, участки, расположенные в середине поверхности,обрабатывались 2 мин, и три нижних участках обрабатывались 3 мин.

Из интерферограммы видно, что уча- стки, обработанные в течение одинакевого времени, имеют одинаковый съем материала, причем величина съема пропорциональна времени обработки,Всем обработанным участкам присуща гладка  полированна  поверхность,имеюща  упор доченные интерференционные полосы, соизмеримые по длине с размерами

поверхности детали,

Остальные примеры представлены в таблице.

Claims (1)

1. Формула изобретени 

   Полировальный раствор дл  обработки стеклоизделий в ультразвуковом поле, содержащий плавиковую, серную или азотную кислоты и дистиллированную воду, отличающийс  тем, что, с целью получени  оптически Полированной поверхности,он дополнительно содержит полирит при следующем соотношении, компонентов,об.%:

   Плавикова 

   кислота 9-16

   Серна  или

   азотна  кислота 14-33

   Дис тиллиров анна  вода 25-46

   Полирит23-35