CS239522B1 - Způsob umožňujíci opakované použití křemenného kelímku při výrobě monokrystalu křemíku Czochralského metodou - Google Patents
Způsob umožňujíci opakované použití křemenného kelímku při výrobě monokrystalu křemíku Czochralského metodou Download PDFInfo
- Publication number
- CS239522B1 CS239522B1 CS831903A CS190383A CS239522B1 CS 239522 B1 CS239522 B1 CS 239522B1 CS 831903 A CS831903 A CS 831903A CS 190383 A CS190383 A CS 190383A CS 239522 B1 CS239522 B1 CS 239522B1
- Authority
- CS
- Czechoslovakia
- Prior art keywords
- silicon
- production
- quartz crucible
- crucible
- silocon
- Prior art date
Links
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 25
- 239000010703 silicon Substances 0.000 title claims abstract description 25
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 17
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 13
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title abstract description 24
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims abstract description 22
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 22
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 20
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims abstract description 12
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 claims abstract description 10
- 239000000155 melt Substances 0.000 claims abstract description 8
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims abstract description 5
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims abstract description 5
- 238000007711 solidification Methods 0.000 abstract description 5
- 230000008023 solidification Effects 0.000 abstract description 5
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000676 Si alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000005303 weighing Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
Účelem vynálezu je zabránit roztržení
křemenného kelímku použitého při
býrobě monokrystalu křemíku, což umožní
jeho opakované použiti při dalším procesu
výroby monokrystalu křemíku. Tohoto
účelu se dosáhne podle vynálezu tím, že
se do zbytku taveniny v křemenném kelímku
zavede železo, vytvářející s křemíkem
slitinu, která se po zatuhnuti nespojuje
s křemenným kelímkem a lze ji proto z
kelímku snadno odstranit, aniž by došlo
k jeho poškození.
Description
(54)
Způsob umožňujíci opakované použití křemenného kelímku při výrobě monokrystalu křemíku Czochralského metodou
Účelem vynálezu je zabránit roztržení křemenného kelímku použitého při býrobě monokrystalu křemíku, což umožní jeho opakované použiti při dalším procesu výroby monokrystalu křemíku. Tohoto účelu se dosáhne podle vynálezu tím, že se do zbytku taveniny v křemenném kelímku zavede železo, vytvářející s křemíkem slitinu, která se po zatuhnuti nespojuje s křemenným kelímkem a lze ji proto z kelímku snadno odstranit, aniž by došlo k jeho poškození.
239 522 (51) Int Cl.’
C 30 B 15/10
- 4 239 S22
Vynález se týká způsobu umožňujícího opakované použití křemenného kelímku při výrobě monokrystalu křemíku Czochralského metodou.
Při výrobě monokrystalu křemíku Czochralského metodou zůstává po skončení procesu výroby v křemenném kelímku zbytek taveniny v množství 5 - 10 % výchozího množství křemíku. Při tuhnutí se tento zbytek pevně spojuje s křemenným kelímkem. V důsledku rozdílné teplotní roztažnosti křemene a tuhého křemíku dojde při dalším chlSdnutí zatuhlého zbytku křemíku k roztržení křemenného kelímku. V současné době se proto křemenný kelímek může použít pouze pro jeden proces výroby monokrystalu křemíku.
Výše uvedený nedostatek je odstraněn způsobem umožňujícím opakované použití křemenného kelímku při výrobě monokrystalu křemíku Czochralského metodou podle vynálezu. Podstata vynálezu spočívá v tom, že se do zbytku taveniny v křemenném kelímku zavede železo, tvořící s křemíkem slitinu, která se po zatuhnutí nespojuje s křemenným kelímkem a lze ji proto z kelímku snadno odstranit, aniž by došlo k jeho poškození.
Využitím uvedeného způsobu se zabrání roztržení křemenného kelímku, takže je ho možné použít při výrobě dalšího monokrystalu křemíku.
Na připojeném výkresu na obr. 1 je znázorněno schematické uspořádání vynálezu, kde na manipulátoru χ, který může vykonávat rotační i posuvný pohyb, je na závěsu 2 upevněno železo 3, které je potřeba zavést do zbytku taveniny 4 v křemenném kelímku 5.
V průběhu procesu výroby monokrystalu křemíku je železo 3 umístěno mimo kelímek 2· Teprve po ukončení tohoto procesu se zavede pomocí manipulátoru 1. do zbytku taveniny 4.
- 2 Přidáním železa do zbytku roztaveného křemíku se vytvoří slitina křemíku, která se po zatuhnutí nespojuje s křemenným kelímkem. Při tomto způsobu likvidace zbytku roztaveného křemíku se do komory tažičky umístí libovolný, tvarově vyhovující železný šrot o hmotnosti 30 - 35 % hmotnosti zbytku křemíku, zavěšený na manipulační tyčce. Po skončení procesu tažení křemíku a zvýšení tlaku argonu na cca 5 000 - 10 000 Pa, krátce asi 10-15 sec po vypnutí žhavícího proudu, ponoří se připravená dávka železného šrotu do zbytku roztaveného křemíku. Při styku železa s roztaveným křemíkem dojde za zvýšené teploty /exotermická reakce/ k vzájemnému rozpuštění obou složek a vytvoření slitiny, nepoškozující kelímek po zatuhnutí.
Odstraněním zbytku taveniny z kelímku nedojde k jeho poškození a kelímek po očištění běžným postupem je možné znovu použiti a to buá ve stavu, v jakém je po předchozím tažení, t.j· vložením do grafitového kelímku o průměru 4 - 5 mm větším než kelímek pro první tavbu, nebo po sklářské úpravě rozměrů, do kelímku stejného druhu jako pro první tavbu.
Claims (1)
- PŘEDMĚT VYNÁLEZU239 522Způsob umožňující opakované použití křemenného kelímku při výrobě monokrystalu křemíku Czochralského metodou, vyznačený tím, že se do zbytku taveniny v křemenném kelímku zavede železo, tvořící s křemíkem slitinu, která se po zatuhnutí nespojuje s křemenným kelímkem.
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CS831903A CS239522B1 (cs) | 1983-03-21 | 1983-03-21 | Způsob umožňujíci opakované použití křemenného kelímku při výrobě monokrystalu křemíku Czochralského metodou |
| CS84720A CS239872B1 (cs) | 1983-03-21 | 1984-03-21 | Způsob umožňující opakované použiti křemenného kelímku při výrobě monokrystalu křemíku Czochralského metodou |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CS831903A CS239522B1 (cs) | 1983-03-21 | 1983-03-21 | Způsob umožňujíci opakované použití křemenného kelímku při výrobě monokrystalu křemíku Czochralského metodou |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CS190383A1 CS190383A1 (en) | 1985-06-13 |
| CS239522B1 true CS239522B1 (cs) | 1986-01-16 |
Family
ID=5354538
Family Applications (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CS831903A CS239522B1 (cs) | 1983-03-21 | 1983-03-21 | Způsob umožňujíci opakované použití křemenného kelímku při výrobě monokrystalu křemíku Czochralského metodou |
| CS84720A CS239872B1 (cs) | 1983-03-21 | 1984-03-21 | Způsob umožňující opakované použiti křemenného kelímku při výrobě monokrystalu křemíku Czochralského metodou |
Family Applications After (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CS84720A CS239872B1 (cs) | 1983-03-21 | 1984-03-21 | Způsob umožňující opakované použiti křemenného kelímku při výrobě monokrystalu křemíku Czochralského metodou |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CS (2) | CS239522B1 (cs) |
-
1983
- 1983-03-21 CS CS831903A patent/CS239522B1/cs unknown
-
1984
- 1984-03-21 CS CS84720A patent/CS239872B1/cs unknown
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CS190383A1 (en) | 1985-06-13 |
| CS239872B1 (cs) | 1986-01-16 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| MY112515A (en) | Method for preparing molten silicon melt from polycrystalline silicon charge | |
| DE3276332D1 (en) | Method for making thixotropic materials | |
| JP4347916B2 (ja) | 坩堝およびその製造方法 | |
| US4569384A (en) | Dissolving ceramic materials | |
| CS239522B1 (cs) | Způsob umožňujíci opakované použití křemenného kelímku při výrobě monokrystalu křemíku Czochralského metodou | |
| KR20070026516A (ko) | Ａｌ-ｂ4ｃ 복합재료의 재생방법 | |
| US2670284A (en) | Production of nonferrous alloys | |
| AU708515B2 (en) | Method for dissolving a hardened glass solder, method for separating components joined by means of a glass solder, method for disassembling a fuel cell, and apparatus for disassembling a fuel cell | |
| JP3872233B2 (ja) | シリコン鋳造方法 | |
| JPS571539A (en) | Casting method and mold | |
| JP2001048697A (ja) | 粉状シリコンの溶解方法 | |
| JPH10211592A (ja) | テルミット・レール溶接装置用の反応坩堝 | |
| CN106521257B (zh) | 一种高纯铝硅中间合金及其生产方法 | |
| RU2016105C1 (ru) | Способ переработки отходов алюминиевых сплавов | |
| JP4076598B2 (ja) | 金属−セラミックス複合材料の製造方法 | |
| JP2000247781A (ja) | 黒鉛るつぼ | |
| JP2002249395A (ja) | 単結晶原料チャージ方法 | |
| SU1713889A1 (ru) | Способ получени нормального электрокорунда | |
| JPS60141812A (ja) | 球状黒鉛鋳鉄のドロス除去方法 | |
| RU2378421C1 (ru) | Способ выращивания кристаллов кремния | |
| Balevski et al. | Method of and Installation for Casting Under Pressure | |
| JPH06285589A (ja) | シリコン鋳造方法 | |
| JPS6223946A (ja) | アルミニウム結晶微細化剤の製造方法 | |
| JPH04317500A (ja) | ニオブ酸リチウム晶析残留物の除去方法 | |
| JPS6281252A (ja) | 連続鋳造方法 |