CS224200B1 - Způsob oxidace studené katody - Google Patents
Způsob oxidace studené katody Download PDFInfo
- Publication number
- CS224200B1 CS224200B1 CS330982A CS330982A CS224200B1 CS 224200 B1 CS224200 B1 CS 224200B1 CS 330982 A CS330982 A CS 330982A CS 330982 A CS330982 A CS 330982A CS 224200 B1 CS224200 B1 CS 224200B1
- Authority
- CS
- Czechoslovakia
- Prior art keywords
- cathode
- pressure
- discharge
- oxidation
- cold cathode
- Prior art date
Links
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 title claims description 15
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 title claims description 15
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 9
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 claims description 5
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 4
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 4
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000000746 purification Methods 0.000 claims 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 5
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 3
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 3
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 2
- 239000003792 electrolyte Substances 0.000 description 2
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 2
- 238000009489 vacuum treatment Methods 0.000 description 2
- 239000010406 cathode material Substances 0.000 description 1
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005238 degreasing Methods 0.000 description 1
- 238000007791 dehumidification Methods 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 1
- 238000010926 purge Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Lasers (AREA)
Description
(54) způsob oxidace studené katody
224 200
- 1 £14 800 ί
i
Vynález se týká způsobu oxidace studené katody pro výbojové trubice plynových laserů.
2iv otnost trubic plynových laserů je značnou měrou ovlivněna životností katody. Ztráta emisní schopnosti katody je většinou dána rozprášením emisního povrchu spojeným se zazdívánim” okolní atmosféry. Oxidová vrstva, zvyšující odolnost proti rozprašování, je vytvářena anodickou oxidací v elektrolytech. Nevýhodou tohoto způsobu je vytváření mezívrstev mezi základním materiálem a oxidovou vrstvou. Tyto mezivrstvy snižují soudržnost oxidu s podložkouja tím odolnost proti rozprašování ve výbojových trubicích. Další nevýhodou je charakter prováděných chemických operací, které jsou neslučitelné s navazujícím vakuovým zpracováním katody v trubici Taseni,
Tyto dosavadní nevýhody odstraňuje způsob oxidace studené katody charakterizovaný tím, že chemicky očištěná katoda se ve vakuovém prostoru vyhřívá na teplotu 300 až 400°C po dobu nejméně 4 hod.j a poté se podrobí čištění vysokofrekvenčním výbojem v argonu při tlaku max. 15 Pa a stejnosměrným výbojem při tlaku 80 až 100 Paja to tak dlouho, až změna zvýšeného tlaku při opakovaném cyklu je menší než 5 yaí^oté se provádí oxidace vnitřního povrchu katody stejnosměrným výbojem v anodickém režimu v kyslíkové atmosféře při tlaku 100 až 200 Pa,
Hlavní předností způsobu je podstatné zvýšení životnosti studených katod^a tím i trubic plynových laserů. Vzniklá vrstva oxidu má stejné krystalografické vlastnosti jako při oxidaci v elektrolytu, což zaručuje shodné vlastnosti výboje v katodové části trubiceja tím i stejné elektrické parametry laseru. Vakuové
-2 224 20Q.
zpracování při oxidaci^, nejen zamezuje vzniku nežádoucích mezivrstev, ale i značně omezuje zaneseni různých nečistot do výbojová trubice.
Uvedený způsob oxidace studené katody vychází z účinného odmaštění a následujícího vyčištění katody, kdy dochází k odstranění všech možných znečištění při výrobě katody a všech zbytků oxidů a jiných nežádoucích vrstev na povrchu katody. Poslední čištění vnitřního povrchu katody se provádí při vakuovém zpracování katody před oxidací stejnosměrným výbojem v argonu, zbavením vlhkosti a všech oxidačních příměsí. Důkladné odčerpání pracovního prostoru na mezní tlak aparatury těsně před oxidací odstraní všechna volná znečištění z pracovního prostoru katody. Podmínkou vzniku kvalitní oxidové vrstvy je anodický režim stejnosměrného výboje v kyslíku s obsahem nečistot menš4,než 0,5 $·.
Postup zpracování studené katody uvedeným způsobem oxidace je tento} Studená katoda se nejdříve odmastí v acetonových parách a pak se leptá á chemicky leští v roztocích odpovídajících použitému materiálu katody. Před konečným osušením je třeba získat dokonale hladký a lesklý vnitřní povrch katody. Pak se katoda umístí do přípravku, který je součástí vakuové aparatury, umož nující souosé uspořádání elektrod ve výbojovém prostoru. Po vyhřátí pracovního prostoru v peci při teplotě až ^00°C po dobu nejméně čtyři hodiny a vyčištěni aparatury vysokofrekvenčním výbojem v argonu při tlaku tnax. 15 Pa se provede očištění vnitřního povrchu katody stejnosměrným výbojem při tlaku 80 až 100 Pa o
s proudovou hustotou 1 až 2 mA/cm v dvou až pěti minutových cyklech s odčerpáváním argonové náplně, až změna tlaku během cyklu je menší než 5 Po důkladném odčerpání se provede oxidace v kyslíkové atmosféře při tlaku 100 až 200 Pa v 10. až 20. minutových cyklech|při minimální proudové hustotě 2mA/cm aktivního povrchu pomocné elektrody. Proud výbojem při oxidaci je nutno nastavit tak, aby výboj hořel těsně pod hranicí, kdy dochází k hoření mimo vnitřní prostor katody. Minimální doba oxidace je 60 minut.
Uvedený způsob zpracování studených katod lze použít i pro jiné výbojové trubice, pracující jak ve stejnosměrném, tak i ve střídavém režimu.
Claims (1)
- Ρ Κ E D M S T VYNÁLEZUZpůsob oxidace studené katody pro trubice plynových laserů, vyznačený tím, že chemicky vyčištěná katoda se ve vakuovém prostoru vyhřívá na teplotu 300 až ^00°Č po dobu nejméně h hodiny a poté se podrobí čištění vysokofrekvenčním výbojem v argonu při tlaku max. 15 Pa a stejnosměrným výbojem při tlaku 30 až 100 Pa, a to tak dlouho, až změna zvýšeného tlaku při opakovaném cyklu je menší než 5 načež se prOvádí oxidace vnitřního povrchu katody stejnosměrným výbojem v anodickém režimu v kyslíkové atmosféře při tlaku 100 až 200 Pa,
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CS330982A CS224200B1 (cs) | 1982-05-07 | 1982-05-07 | Způsob oxidace studené katody |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CS330982A CS224200B1 (cs) | 1982-05-07 | 1982-05-07 | Způsob oxidace studené katody |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CS224200B1 true CS224200B1 (cs) | 1983-12-30 |
Family
ID=5372764
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CS330982A CS224200B1 (cs) | 1982-05-07 | 1982-05-07 | Způsob oxidace studené katody |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CS (1) | CS224200B1 (cs) |
-
1982
- 1982-05-07 CS CS330982A patent/CS224200B1/cs unknown
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN102019282B (zh) | 一种用于陶瓷-金属结构部件净化的方法 | |
| US3784452A (en) | Method of treating the surface of superconducting niobium cavity resonators | |
| CS224200B1 (cs) | Způsob oxidace studené katody | |
| EP2463234A1 (en) | Expanded-graphite sheet | |
| US1965582A (en) | Electric discharge device | |
| EP0068651A2 (en) | Method of sputtering an exhaust electrode on to an exhaust gas oxygen sensor | |
| CN210030866U (zh) | 一种气体弧光放电装置以及与真空腔体的耦合系统 | |
| KR920010603B1 (ko) | 가스레이저 장치 | |
| US4541811A (en) | Method of manufacturing a low-pressure mercury vapor discharge lamp and low-pressure mercury vapor discharge lamp manufactured by this method | |
| SU890463A1 (ru) | Способ изготовлени конденсаторов с оксидным диэлектриком | |
| SU898536A1 (ru) | Способ обработки электровакуумных приборов | |
| JPH03230448A (ja) | プラズマディスプレイパネルの製造方法 | |
| CN116197184B (zh) | 一种Poly舟的清洗方法 | |
| CN110828260A (zh) | 一种用于气体放电灯材料还原的处理方法 | |
| KR19990043620A (ko) | 플라즈마 표시소자의 배기충전방법 | |
| RU2740516C1 (ru) | Способ получения покрытий из диоксида марганца на танталовых анодах оксидно-полупроводниковых конденсаторов | |
| US2084911A (en) | Glow lamp electrode and method of manufacture | |
| SU947925A1 (ru) | Способ финишной обработки поверхности изол торов металлокерамических узлов СВЧ-приборов | |
| JPS61116843A (ja) | 絶縁薄膜の製造方法 | |
| US1318832A (en) | Ments | |
| JPS6362164A (ja) | ナトリウム−硫黄電池の硫黄極成形体の製造法 | |
| JP4778674B2 (ja) | アルカリ電池用セパレーターの製造方法 | |
| KR100266156B1 (ko) | 음극선관용 벌브의 재생방법 | |
| JPS63198240A (ja) | 抵抗体の製法 | |
| SU1075319A1 (ru) | Способ изготовлени анодов танталовых конденсаторов |