CN2900557Y - 一种水平梯度凝固法生长单晶体的热场装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种水平梯度凝固法生长单晶体的热场装置，它包括有一个水平放置的筒状加热场，在加热场的保温层内沿圆周轴向均布有多个分支加热体，各个加热体之间分别设有绝缘子。在保温层上对应于上部加热体设有一个长条形透明观察窗。本实用新型因采用多个加热体来控制各横截面上和水平的梯度温度，并在上部加热体对应的保温层上设置透明观察窗，所以可以方便调整场内各处的温度，观察晶体的生长状况，有利于提高晶体的成品率，保证产品质量。
Description
技术领域：
本实用新型涉及电热装置，特别是一种水平梯度凝固法生长砷化镓单晶体的热场装置。
背景技术：
目前水平梯度凝固法生长单晶体的热场装置包括有一个水平放置的筒形加热场，在加热场的外周设有均布的保温层，在保温层内沿轴向同圆心安装有均布的加热体，在加热体的电阻导线之间设有绝缘体。这种在热场内采用圆周等温法生长砷化镓单晶体的装置，因为是以热场横截面圆心为圆心，所有同心圆圆周为等温线，而加热体电阻是一整体，因此无法调整截面和水平的梯度温度，并且无法观察晶体的生长状况，所以成品质量难以提高。
发明内容：
本实用新型的目的是提供一种加热场内各垂直截面和水平梯度内温度可以调整，并可观察到晶体生长状况，有利提高晶体成晶率的水平梯度凝固法生长单晶体的热场装置。
本实用新型的技术方案是以如下方式完成的，它包括有一个水平放置的筒状加热场，其特征在于：在加热场的保温层内沿圆周轴向均布有多个分支加热体，各个加热体之间分别设有绝缘子。在保温层上对应于上部加热体设有一个长条形透明观察窗。
本实用新型因采用多个加热体来控制各横截面上和水平的梯度温度，并在上部加热体对应的保温层上设置透明观察窗，所以可以方便调整场内各处的温度，观察晶体的生长状况，有利于提高晶体的成品率，保证产品质量。
附图说明：
图1是现有技术的热场装置结构示意图，
图2是本实用新型的热场装置结构示意图。
具体实施方式：
本实用新型是对现有技术的改进，从图1和图2的对比中可以看出，本实用新型是将加热场内由一个沿同心圆周安装的加热体3改为多个独立的分支加热体3，各分支加热体沿着保温层2的内壁轴向对称均布，在各分支加热体之间安装有绝缘体4，同时在保温层上对应于上部的分支加热体设置有一个用石英制成的长条形透明观察窗5。通过上述的改进，可根据需要随机调整各分支加热体区域内的温度，从而达到控制各横截面和水平梯度温度的目的，透过观察窗可方便地观察热场内晶体生长的状况，若晶体生长不太理想，可随时终止正在进行的程序，返回到理想位置时继续生长，从而提高了晶体的成晶率。
Claims (2)
1、一种水平梯度凝固法生长单晶体的热场装置，它包括有一个水平放置的筒状加热场，其特征在于：在加热场的保温层内沿圆周轴向均布有多个分支加热体，各个加热体之间分别设有绝缘子。
2、根据权利要求1所述的一种水平梯度凝固法生长单晶体的热场装置，其特征在于：在保温层上对应于上部加热体设有一个长条形透明观察窗。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 200620031769 CN2900557Y (zh) | 2006-04-28 | 2006-04-28 | 一种水平梯度凝固法生长单晶体的热场装置 |
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| CN 200620031769 CN2900557Y (zh) | 2006-04-28 | 2006-04-28 | 一种水平梯度凝固法生长单晶体的热场装置 |
Publications (1)
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| CN2900557Y true CN2900557Y (zh) | 2007-05-16 |
Family
ID=38084720
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN 200620031769 Expired - Fee Related CN2900557Y (zh) | 2006-04-28 | 2006-04-28 | 一种水平梯度凝固法生长单晶体的热场装置 |
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|---|---|
| CN (1) | CN2900557Y (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105401216A (zh) * | 2015-12-15 | 2016-03-16 | 河南西格马晶体科技有限公司 | 一种温场梯度水平移动法制备片状单晶的方法及装置 |
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2006
- 2006-04-28 CN CN 200620031769 patent/CN2900557Y/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105401216A (zh) * | 2015-12-15 | 2016-03-16 | 河南西格马晶体科技有限公司 | 一种温场梯度水平移动法制备片状单晶的方法及装置 |
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Legal Events
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| C17 | Cessation of patent right | ||
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