CN103409794A - 蓝宝石单晶电阻生长炉 - Google Patents

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姚泰
韩杰才
于永澔
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Abstract

一种蓝宝石单晶电阻生长炉，属于蓝宝石单晶培养设备领域，解决了传统蓝宝石单晶电阻生长炉打开大炉盖时费时费力的问题，它包含真空炉体，在真空炉体内部包含保温层、加热电极、电阻加热元件、坩埚和籽晶杆，所述坩埚通过支柱和托板设置在真空炉体的中间位置，在坩埚的上方设有保温层，在坩埚周围设置有电阻加热元件，电阻加热元件的上端与加热电极固定连接，加热电极还与真空炉体固定连接并伸出真空炉体之外，在加热电极内设有水循环通道，在电阻加热元件周围及下方设置有保温层；所述真空炉体上设置有大炉盖和小炉盖，在小炉盖上设置有旋转机构，所述籽晶杆的上端与旋转机构连接，籽晶杆的下端伸入坩埚内。本发明用于培养蓝宝石单晶生长。

Description

蓝宝石单晶电阻生长炉
技术领域
本发明属于蓝宝石单晶培养设备领域，具体涉及一种蓝宝石单晶电阻生长炉。
背景技术
蓝宝石单晶电阻生长炉是培养蓝宝石单晶的设备，几乎每进行一次单晶培养后，都需要对变形的温场结构进行调整，而温场的结构及其均匀程度直接关系到单晶的生长效率及质量。对于泡生法，以及各种改进的泡生法所使用的传统生长炉，在调整温场结构前需要将小炉盖和大炉盖打开，才能露出炉体内部完整温场系统进行调整，由于传统蓝宝石单晶电阻生长炉的加热电极和电阻加热元件等部件是吊装在大炉盖上，所以每次打开大炉盖前必须将加热电极和电阻加热元件等部件全部移走后才能将大炉盖打开，这样不但费时费力，还容易导致加热电极和电阻加热元件等部件损坏，特别是加热器的电阻丝在移动过程中极易被损坏，增加了设备维修维护的难度和成本。
发明内容
本发明的目的是为了解决传统蓝宝石单晶电阻生长炉的加热电极和电阻加热元件等部件是吊装在大炉盖上，打开大炉盖时费时费力，还增加了设备维修维护的难度和成本的问题，提供了一种蓝宝石单晶专用电阻生长炉，其技术方案如下：
一种蓝宝石单晶电阻生长炉，它包含真空炉体，在真空炉体内部包含保温层、加热电极、电阻加热元件、坩埚和籽晶杆，所述坩埚通过支柱和托板设置在真空炉体的中间位置，在坩埚的上方设有保温层，在坩埚周围设置有电阻加热元件，电阻加热元件的上端与加热电极固定连接，加热电极还与真空炉体固定连接并伸出真空炉体之外，在加热电极内设有水循环通道，在电阻加热元件周围及下方设置有保温层；所述真空炉体上设置有大炉盖，在大炉盖上设置有小炉盖，在小炉盖上设置有旋转机构，所述籽晶杆的上端与旋转机构连接，籽晶杆的下端伸入坩埚内。
本发明的有益效果为：将加热电极和电阻加热元件等部件装配在炉体上，这样在打开大炉盖时无需先移走加热电极和电阻加热元件等部件，方便进行温场的调整和维护，极大降低了设备后续的维护难度和真空炉体内部各部件的损坏几率，从而提高温场的使用寿命50%以上，降低产品的成本达30%。
附图说明
图1为本发明的结构示意图。
具体实施方式
参照附图1，一种蓝宝石单晶电阻生长炉，它包含真空炉体1，在真空炉体1内部包含保温层2、加热电极3、电阻加热元件4、坩埚5和籽晶杆6，所述坩埚5通过支柱5-1和托板5-2设置在真空炉体1的中间位置，在坩埚5的上方设有保温层2，在坩埚5周围设置有电阻加热元件4，电阻加热元件4的上端与加热电极3固定连接，加热电极3还与真空炉体1固定连接并伸出真空炉体1之外，在加热电极3内设有水循环通道3-1，在电阻加热元件4周围及下方设置有保温层2；所述真空炉体1上设置有大炉盖7，在大炉盖7上设置有小炉盖8，在小炉盖8上设置有旋转机构9，所述籽晶杆6的上端与旋转机构9连接，籽晶杆6的下端伸入坩埚5内。
使用方法及原理：本发明的使用方法与传统蓝宝石单晶电阻生长炉无异，无需费时学习其使用方法，本发明将加热电极和电阻加热元件等部件装配在炉体上，这样在打开大炉盖时无需先移走加热电极和电阻加热元件等部件，方便进行温场的调整和维护，还方便了设备后续的维护难度，降低了真空炉体内部各部件的损坏几率。

Claims (1)

1.一种蓝宝石单晶电阻生长炉，其特征在于它包含真空炉体(1)，在真空炉体(1)内部包含保温层(2)、加热电极(3)、电阻加热元件(4)、坩埚(5)和籽晶杆(6)，所述坩埚(5)通过支柱(5-1)和托板(5-2)设置在真空炉体(1)的中间位置，在坩埚(5)的上方设有保温层(2)，在坩埚(5)周围设置有电阻加热元件(4)，电阻加热元件(4)的上端与加热电极(3)固定连接，加热电极(3)还与真空炉体(1)固定连接并伸出真空炉体(1)之外，在加热电极(3)内设有水循环通道(3-1)，在电阻加热元件(4)周围及下方设置有保温层(2)；所述真空炉体(1)上设置有大炉盖(7)，在大炉盖(7)上设置有小炉盖(8)，在小炉盖(8)上设置有旋转机构(9)，所述籽晶杆(6)的上端与旋转机构(9)连接，籽晶杆(6)的下端伸入坩埚(5)内。
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