CN2892882Y - 真空锁系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种真空锁系统，其中转动电机与动力传动器通过螺钉安装在侧板的上端；下链轮通过链条与上链轮连接；下链轮通过销钉与偏心轴连接；转动轴承安装在偏心轴的末端并推动着转动密封板绕着轴套座转动，直到转动密封板与真空锁腔体的密封面紧紧的贴在一起；偏心轴的另一个末端与回程定位块连接，信号板与光电传感器，差分抽气口设置在侧板上，并与差分抽气法兰中间的预抽真空空间连通，该系统能快速稳定的建立靶室系统所必须的高真空环境，这样很大程度上提高了单位时间内离子注入机的工作效率，并且很大程度上增加了抱轴密封的可靠性，提高了真空锁的稳定性，减轻了真空锁频繁工作给高真空泵带来的冲击。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种真空锁系统，尤其涉及一种适用于离子注入机靶室的真空锁系统，属于半导体器件制造领域。
背景技术
近年来，随着半导体集成电路技术和芯片技术的发展，半导体集成电路制造技术中，集成度越来越高，电路规模越来越大，电路中单元器件尺寸越来越小，对各种半导体工艺设备提出了更高的要求。离子注入机作为半导体离子掺杂工艺线的关键设备之一，也对它提出了很高的要求，要求离子注入机具有：整机可靠性好、生产效率高、多种电荷态离子宽能量范围注入、精确控制束注入能量精度、精确控制束纯度、低尘粒污染、整机全自动控制、注片均匀性和平行度好等多种功能和特征。
离子注入机的靶室系统，通常分为几个真空空间。晶片在高真空环境内被加速后的离子束搀杂注入，当注入工艺完成后，晶片被机械手放回片盒，整盒晶片都完成后，片盒将从靶室平台上取走。这时片盒将暴露在洁净的大气环境中。这个过程中就需要一个缓冲真空空间来过渡，真空锁就是实现此功能的部件。在每一批晶片注入之后，靶室真空锁都会快速的开关一次，所以快速建立靶室高真空显得十分必要。
发明内容
本实用新型是针对离子注入机的靶室真空锁系统的要求，而提出了一种能实现快速稳定真空转换的真空锁系统。
本实用新型的技术方案是这样实现的：
一种真空锁系统包括：转动密封板、真空锁腔体、转动轴承、偏心轴、差分抽气法兰、侧板、差分抽气口、下链轮、信号板、传动链条、光电传感器、上链轮、动力传动器、轴套座、转动电机、回程定位块，其中转动电机与动力传动器通过螺钉安装在侧板的上端；下链轮通过链条与上链轮连接；下链轮通过销钉与偏心轴连接；转动轴承安装在偏心轴的末端并推动着转动密封板绕着轴套座转动，直到转动密封板与真空锁腔体的密封面紧紧的贴在一起；偏心轴的另一个末端与回程定位块连接，信号板与光电传感器，差分抽气口设置在侧板上，并与差分抽气法兰中间的预抽真空空间连通。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
1、本实用新型为离子注入机靶室系统提供了一个特殊的真空锁结构，此真空锁可以实现快速的真空转换，从而快速稳定的建立靶室系统所必须的高真空环境，这样很大程度上提高了单位时间内离子注入机的工作效率。
2、本实用新型的结构，很大程度上增加了抱轴密封的可靠性，提高了真空锁的稳定性，减轻了真空锁频繁工作给高真空泵带来的冲击，提高了真空锁的工作效率。
附图说明
图1为本实用新型真空锁系统结构示意图；
图2为图1的A-A向剖视图。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步介绍，但不作为对本实用新型专利的限定。
如图1所示，一种真空锁系统，其中，转动电机15与动力传动器13通过螺钉安装在侧板6的上端；上链轮12与动力传动器13没有轴向位移，下链轮8通过链条10得到上链轮12传递过来的转动动力；下链轮8通过销钉带动偏心轴4一起转动；安装在偏心轴4末端的转动轴承3推动着转动密封板1绕着轴套座14转动，直到转动密封板1与真空锁腔体2的密封面紧紧的贴在一起，这时信号板9给光电传感器11位置信号，从而实现真空锁的关闭；反之，转动电机15反转，动力被传送到偏心轴4，偏心轴4末端拉动回程定位块16，从而带着转动密封板1回到打开位置。差分抽气口7处有一泵为差分抽气法兰5中间环的预抽真空空间提供良好的低真空环境。这样，在大气环境和真空锁腔体2之间就形成了一个低真空缓冲空间，保证了偏心轴4的抱轴密封。
靶室真空锁连接着高真空环境的靶室腔体和靶室片库，为整个靶室系统提供了一个真空变化的过度区域。准备注片时，真空锁关闭，靶室片库中被充入干燥氮气至大气气压，放入待注晶片。片库和真空锁腔体被快速抽到高真空，真空锁打开，机械手取到晶片放置注入位置，开始注入。一盒晶片注入完成后，真空所关闭，重复以上步骤。
Claims (1)
1、一种真空锁系统，其特征在于包括转动密封板、真空锁腔体、转动轴承、偏心轴、差分抽气法兰、侧板、差分抽气口、下链轮、信号板、传动链条、光电传感器、上链轮、动力传动器、轴套座、转动电机、回程定位块，其中转动电机与动力传动器通过螺钉安装在侧板的上端；下链轮通过链条与上链轮连接；下链轮通过销钉与偏心轴连接；转动轴承安装在偏心轴的末端；偏心轴的另一个末端与回程定位块连接，信号板与光电传感器，差分抽气口设置在侧板上，并与差分抽气法兰中间的预抽真空空间连通。
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| CN 200520142506 CN2892882Y (zh) | 2005-12-05 | 2005-12-05 | 真空锁系统 |
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| CN 200520142506 CN2892882Y (zh) | 2005-12-05 | 2005-12-05 | 真空锁系统 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| CN2892882Y true CN2892882Y (zh) | 2007-04-25 |
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| CN 200520142506 Expired - Fee Related CN2892882Y (zh) | 2005-12-05 | 2005-12-05 | 真空锁系统 |
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| CN (1) | CN2892882Y (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108895193A (zh) * | 2018-06-22 | 2018-11-27 | 爱发科东方真空(成都)有限公司 | 真空无油阀门 |
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2005
- 2005-12-05 CN CN 200520142506 patent/CN2892882Y/zh not_active Expired - Fee Related
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|---|---|---|---|---|
| CN108895193A (zh) * | 2018-06-22 | 2018-11-27 | 爱发科东方真空(成都)有限公司 | 真空无油阀门 |
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