CN212161771U - 一种干法去胶机驱动装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种干法去胶机驱动装置，具有安装座，安装座的下端连接有电机安装座，电机安装座连接有升降电机，升降电机向安装座的上端垂直延伸有升降丝杆，升降丝杆连接有第一驱动装置和第二驱动装置。本实用新型结构紧凑，占用空间小，具有第一驱动装置和第二驱动装置，第一驱动装置的第一驱动轴和第二驱动装置的第二驱动轴共同协作驱动机器手从片盒取片运送给腔体，实现晶圆类干法去胶机的自动化。

Description

一种干法去胶机驱动装置

技术领域

本实用新型涉及去胶机技术领域，涉及一种干法去胶机驱动装置。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆。等离子去胶是一种常用的干法去胶方法，其利用低压放电,把氧分子电离成激发态的氧原子,然后氧原子和抗蚀剂反应生成挥发性气体,用机械泵抽走,达到去胶目的。

干法去胶机是利用给干法去胶方法对晶圆进行去胶的一种设备，其依靠氧和抗蚀剂起反应来完成。在该过程中，需要使用驱动装置驱动机器手从片盒取片运送给腔体，这类设备占用空间小，结构紧密，传动复杂，现有国内技术很难实现晶圆类干法去胶机的自动化。

发明内容

本实用新型的目的是克服现有技术的驱动，提供一种干法去胶机驱动装置。

实现本实用新型目的的技术方案是：具有安装座，所述安装座的下端连接有电机安装座，所述电机安装座连接有升降电机，所述升降电机向所述安装座的上端垂直延伸有升降丝杆，所述升降丝杆连接有第一驱动装置，所述第一驱动装置具有第一驱动轴、第一驱动装置安装座、第一驱动电机、第一驱动电机安装座、第一日内瓦齿轮组，所述第一驱动轴连接有第二驱动装置，所述第二驱动装置具有第二驱动轴、第二驱动装置安装座、第二驱动电机、第二驱动电机安装座、第二日内瓦齿轮组。

上述技术方案所述第二驱动装置安装座的上方连接有密封圈。

上述技术方案所述安装座连接有位置传感器。

上述技术方案所述第一驱动电机和所述第二驱动电机为R轴驱动电机。

采用上述技术方案后，本实用新型具有以下积极的效果：

本实用新型结构紧凑，占用空间小，具有第一驱动装置和第二驱动装置，第一驱动装置的第一驱动轴和第二驱动装置的第二驱动轴共同协作驱动机器手从片盒取片运送给腔体，实现晶圆类干法去胶机的自动化。

附图说明

为了使本实用新型的内容更容易被清楚地理解，下面根据具体实施例并结合附图，对本实用新型作进一步详细的说明，其中

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的爆炸结构示意图。

安装座1、电机安装座11、升降电机12、升降丝杆13、第一驱动轴14、第一驱动装置安装座21、第一驱动电机22、第一驱动电机安装座23、第一日内瓦齿轮组24、第二驱动轴15、第二驱动装置安装座31、第二驱动电机32、第二驱动电机安装座33、第二日内瓦齿轮组34、密封圈35、位置传感器16。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

此外，术语“水平”、“竖直”、“悬垂”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。

在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

见图1和图2，本实用新型提供一种干法去胶机驱动装置，具有安装座1，所述安装座1的下端连接有电机安装座11，所述电机安装座11连接有升降电机12，所述升降电机12向所述安装座1的上端垂直延伸有升降丝杆13，所述升降丝杆13连接有第一驱动装置，所述第一驱动装置具有第一驱动轴14、第一驱动装置安装座21、第一驱动电机22、第一驱动电机安装座23、第一日内瓦齿轮组24，所述第一驱动轴14连接有第二驱动装置，所述第二驱动装置具有第二驱动轴15、第二驱动装置安装座31、第二驱动电机32、第二驱动电机安装座33、第二日内瓦齿轮组34。

第一驱动装置中，第一驱动轴14连接于升降丝杆13，第一驱动轴14固定连接于第一驱动装置安装座21并贯穿第一驱动装置安装座21向上延伸，第一驱动轴14连接有第一日内瓦齿轮组24，第一日内瓦齿轮组24齿轮连接于第一驱动电机22，第一驱动电机22安装于第一驱动电机安装座23。

第二驱动装置中，第二驱动轴15套接于第一驱动轴14并固定连接于第一驱动装置安装座21，这里的套接不是固定连接，第二驱动轴15和第一驱动轴14能够各自独立旋转以驱动机器手。第二驱动轴15贯穿第二驱动装置安装座31并连接有第二日内瓦齿轮组34，第二日内瓦齿轮组34连接于第二驱动电机32，第二驱动电机32安装于第二驱动电机安装座33。

升降电机12为伺服电机，本实用新型启动时，升降电机12驱动升降丝杆13，并在升降丝杆13的带动下第一驱动轴14和第二驱动轴15一起上升至待工作区域进行运作。其中，第一驱动轴14固定连接于第一驱动装置安装座21，第一驱动装置安装座21延电机安装座11上下滑轨运动。第一驱动轴14在第一日内瓦齿轮组24和第一驱动电机22的作用下旋转驱动机器手，第二驱动轴15在第二日内瓦齿轮组34和第二驱动电机32的作用下旋转驱动机器手，机器手在第一驱动轴14和第二驱动轴15的共同作用下进行伸展，取晶圆，回缩等动作。工作完毕后，机器手回缩，升降电机12驱动升降丝杆13，并在升降丝杆13的带动下第一驱动轴14和第二驱动轴15一起下降至待机或停机状态。

所述第二驱动装置安装座31的上方连接有密封圈35。用以在真空密封环境下驱动机器手从片盒取片运送给腔体。

所述安装座1连接有位置传感器16。进行第一驱动装置安装座21位置的检测，以确定第一驱动装置是否能够进行工作。

所述第一驱动电机22和所述第二驱动电机32为R轴驱动电机。即第一驱动电机22和第二驱动电机32工作时分别驱动第一日内瓦齿轮组24和第二日内瓦齿轮组34，并且分别以第一驱动轴14和第二驱动轴14为轴心做圆周运动。

以上所述的具体实施例，对本实用新型的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本实用新型的具体实施例而已，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (4)

1.一种干法去胶机驱动装置，其特征在于：具有安装座(1)，所述安装座(1)的下端连接有电机安装座(11)，所述电机安装座(11)连接有升降电机(12)，所述升降电机(12)向所述安装座(1)的上端垂直延伸有升降丝杆(13)，所述升降丝杆(13)连接有第一驱动装置，所述第一驱动装置具有第一驱动轴(14)、第一驱动装置安装座(21)、第一驱动电机(22)、第一驱动电机安装座(23)、第一日内瓦齿轮组(24)，所述第一驱动轴(14)连接有第二驱动装置，所述第二驱动装置具有第二驱动轴(15)、第二驱动装置安装座(31)、第二驱动电机(32)、第二驱动电机安装座(33)、第二日内瓦齿轮组(34)。

2.根据权利要求1所述的一种干法去胶机驱动装置，其特征在于：所述第二驱动装置安装座(31)的上方连接有密封圈(35)。

3.根据权利要求1所述的一种干法去胶机驱动装置，其特征在于：所述安装座(1)连接有位置传感器(16)。

4.根据权利要求1所述的一种干法去胶机驱动装置，其特征在于：所述第一驱动电机(22)和所述第二驱动电机(32)为R轴驱动电机。

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