CN2707735Y - 高纯过氧化氢纯化装置 - Google Patents

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Abstract

本实用新型涉及一种高纯过氧化氢纯化装置，包括依次顺序连接的原料槽1、大孔吸附树脂柱2、单个阴离子交换树脂柱3、单个阳离子交换树脂柱4、阴阳离子交换树脂混合柱5、微孔过滤器6、成品接收器7，以及泵8、阀9和连接管道。本实用新型能有效除去过氧化氢中的有机碳、阴、阳离子杂质和颗粒杂质，纯化生产的产品质量符合国际半导体设备和材料组织SEMI.C8－2001先进标准。本装置具有占地面积小，原料利用率高达99％以上、生产成本低，易操作，产量大、质量稳定和可连续生产等特点。

Description

高纯过氧化氢纯化装置
技术领域：
本实用新型涉及一种生产高纯过氧化氢的纯化装置。高纯过氧化氢主要适用于电子工业制造集成电路半导体器件行业中作腐蚀和清洗之用。也应用于食品、医药等行业。
背景技术：
目前工业化提纯过氧化氢的装置一般采用减压精馏串联塔器。提纯普通试剂的精馏塔器为GG-17料玻璃，提纯较高纯度的过氧化氢时，则采用石英玻璃精馏塔器。当产品纯度要符合国际半导体设备和材料组织(SEMI-C8)，即金属离子含量小时1PPb，有机碳含量小于20PPm时，采用精馏塔器很难实现，且原料利用率为仅85％，生产成本高。过氧化氢的提纯还有反渗透法、离子交换法、氧化锡吸附法等。但其因分离效果差，纯度达不到要求等缺陷，而不易实现工业化批量生产。
发明内容：
本实用新型的目的在于克服上述不足，提供一种既能达到纯度高，质量稳定，又能满足批量生产的高纯过氧化氢纯化装置。
本实用新型的目的是这样实现的：一种高纯过氧化氢纯化装置，包括原料槽、大孔吸附树脂柱、单个阴离子交换树脂柱、单个阳离子交换树脂柱、阴阳离子交换树脂混合柱、微孔过滤器、成品接收器以及泵、阀和连接管道，原料槽出口与泵相连，泵与大孔吸附树脂柱进口相连，大孔吸附树脂柱出口与单个阴离子交换树脂柱进口相连，单个阴离子交换树脂柱出口与单个阳离子交换树脂柱进口相连，单个阳离子交换树脂柱出口与阴阳离子交换树脂混合柱进口相连，阴阳离子交换树脂混合柱出口与阀相连，阀与微孔过滤器相连，微孔过滤器与成品接收器相连。
原料槽用来盛放工业级过氧化氢，用泵将工业级过氧化氢通过管道输入大孔吸附树脂柱，进行有机碳的吸附，以除去过氧化氢中的有机碳，然后将除去有机碳的过氧化氢依次输入阴、阳单个离子交换树脂柱，进行离子交换，以彻底除去过氧化氢中有害离子杂质，最后将上述过氧化氢经控制流速阀、微孔过滤器，以除去杂质，最后进入成品接收器。从而得到高纯过氧化氢产品。
本实用新型能有效除去过氧化氢中的有机碳、阴、阳离子杂质和颗粒杂质，纯化生产的产品质量符合国际半导体设备和材料组织SEMI.C8-2001先进标准。本装置具有占地面积小，原料利用率高达99％以上、生产成本低，易操作，产量大、质量稳定和可连续生产等特点。
附图说明：
图1为本实用新型的结构示意图。
具体实施方式：
如图1，本实用新型为一种高纯过氧化氢纯化装置，由原料槽1、大孔吸附树脂柱2、单个阴离子交换树脂柱3、单个阳离子交换树脂柱4、阴阳离子交换树脂混合柱5、微孔过滤器6、成品接收器7以及泵8、阀9和连接管道组成。
原料槽1出口与泵8相连，泵8与大孔吸附树脂柱2进口相连，大孔吸附树脂柱2出口与单个阴离子交换树脂柱3进口相连，单个阴离子交换树脂柱3出口与单个阳离子交换树脂柱4进口相连，单个阳离子交换树脂柱4出口与阴阳离子交换树脂混合柱5进口相连，阴阳离子交换树脂混合柱5出口与阀9相连，阀9与微孔过滤器6相连，微孔过滤器6与成品接收器7相连。

Claims (1)

1、一种高纯过氧化氢纯化装置，其特征在于它包括原料槽(1)、大孔吸附树脂柱(2)、单个阴离子交换树脂柱(3)、单个阳离子交换树脂柱(4)、阴阳离子交换树脂混合柱(5)、微孔过滤器(6)、成品接收器(7)以及泵(8)、阀(9)和连接管道，原料槽(1)出口与泵(8)相连，泵(8)与大孔吸附树脂柱(2)进口相连，大孔吸附树脂柱(2)出口与单个阴离子交换树脂柱(3)进口相连，单个阴离子交换树脂柱(3)出口与单个阳离子交换树脂柱(4)进口相连，单个阳离子交换树脂柱(4)出口与阴阳离子交换树脂混合柱(5)进口相连，阴阳离子交换树脂混合柱(5)出口与阀(9)相连，阀(9)与微孔过滤器(6)相连，微孔过滤器(6)与成品接收器(7)相连。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107902630A (zh) * 2017-12-27 2018-04-13 李祥庆 一种高纯过氧化氢的生产设备及生产工艺
CN109941967A (zh) * 2019-04-24 2019-06-28 广州市天夫美新材料科技有限公司 一步法生产超净高纯微电子级过氧化氢的生产工艺
CN114044493A (zh) * 2021-10-15 2022-02-15 湖北兴福电子材料有限公司 一种高纯过氧化氢溶液的制备工艺及设备
CN116002626A (zh) * 2022-11-30 2023-04-25 湖北兴福电子材料股份有限公司 一种高效安全去除双氧水中阴离子的提纯方法

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Date Code Title Description
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
EE01 Entry into force of recordation of patent licensing contract

Assignee: JIANGYIN XIANGYANG TECHNOLOGY CO., LTD.

Assignor: Li Xiangqing

Contract fulfillment period: 2009.4.10 to 2014.4.10

Contract record no.: 2009320000677

Denomination of utility model: High pure hydrogen peroxide purifying device

Granted publication date: 20050706

License type: Exclusive license

Record date: 20090423

LIC Patent licence contract for exploitation submitted for record

Free format text: EXCLUSIVE LICENSE; TIME LIMIT OF IMPLEMENTING CONTACT: 2009.4.10 TO 2014.4.10; CHANGE OF CONTRACT

Name of requester: JIANGYIN CITY XIANGYANG SCIENCE CO., LTD.

Effective date: 20090423

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CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20050706

Termination date: 20120615