CN2540628Y - 双面冲油、膜片结构的硅压阻式压力传感器 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及的是一种是由硅压力芯体和外部接口封装的采用双面冲油双面膜片结构的硅压阻式压力传感器，被测介质的压力是通过外部接口传递给硅压力芯体，属于仪表测量技术领域。结构主要由差压主体和焊环、膜片、硅油、芯片、瓷片、引脚、金丝、玻璃绝缘子、“O”型密封圈组成，其中差压主体和引脚通过玻璃绝缘子烧结一起，玻璃绝缘子起绝缘作用，瓷片和差压主体通过胶粘接一起，芯片和瓷片粘接一起，芯片和引脚由金丝通过超声焊接一起，焊环、膜片和差压主体通过激光焊接一起，腔体内部充满硅油。本实用新型的优点：两端都可以测量液体，防腐性能强、差压测量精确度高，稳定性能好。
Description
技术领域
本实用新型涉及的是一种是由硅压力芯体和外部接口封装的采用双面冲油双面膜片结构的硅压阻式压力传感器，被测介质的压力是通过外部接口传递给硅压力芯体。属于仪表测量技术领域。
背景技术
国内外许多生产硅压阻式力传感器的公司，如国外公司有Foxboro、Nova等，国内有宝鸡麦克传感器有限公司，都采用单面冲硅油表压芯体，这种芯体做为差压器件，它的测量介质正面是液体，反面只能是干燥的气体，防腐性能差，而且安装比较困难。
发明内容
本实用新型的目的在于针对上述存在的缺陷，提出一种双面都可测量液体，并具有防腐性能好，安装方便等特点的双面冲油、膜片结构的硅压阻式压力传感器。本实用新型的技术解决方案：由差压主体和焊环、膜片、硅油、芯片、瓷片、引脚、金丝、玻璃绝缘子、“O”型密封圈组成，其中差压主体和引脚通过玻璃绝缘子烧结一起，玻璃绝缘子起绝缘作用，瓷片和差压主体通过胶粘接一起，芯片和瓷片粘接一起，芯片和引脚由金丝通过超声焊接一起，焊环、膜片和差压主体通过激光焊接一起，腔体内部充满硅油。本实用新型的优点：两端都可以测量液体，防腐性能强、差压测量精确度高，稳定性能好。
附图是本实用新型的结构示意图
图中的1是差压主体、2是焊环、3是膜片、4是硅油、5是芯片、6是瓷片、7是引脚、8是金丝、9是玻璃绝缘子、10是“O”型密封圈。
具体实施方法
差压硅压阻式压力传感器是由差压硅压力芯体和外部接口封装的传感器，被测介质的压力是通过外部接口传递给硅压力芯体。采用双面冲油双面膜片结构，其中差压主体1和引脚7通过玻璃绝缘子9烧结一起，玻璃绝缘子起绝缘作用，瓷片6和差压主体1通过胶粘接一起，芯片5和瓷片6粘接一起，芯片5和引脚7由金丝8通过超声焊接一起，焊环2、膜片3和差压主体1通过激光焊接一起，腔体内部充满硅油起转递压力作用，“O”型密封圈起密封作用。本结构的主要特点是双膜片结构，双面充硅油，双面测压力，两端都可以测量液体，防腐性能强，差压测量精度高，稳定性能好。安装方式：主体1上有两个“O”型密封圈，安装比较方便，可安装在进压头上组成标准信号输出的变送器，也可安装在压力测试点上。
硅压阻式压力传感器是测量领域内的一次仪表，它可以装配成标准信号输出的变送器，也可以配二次仪表使用。广泛应用于石油、化工、机械、冶金、电力、航空、航天、医疗设备、汽车、科研等自动化领域。
Claims (1)
1、双面冲油、膜片结构的硅压阻式压力传感器，其特征是由差压主体(1)和焊环(2)、膜片(3)、硅油(4)、芯片(5)、瓷片(6)、引脚(7)、金丝(8)、玻璃绝缘子(9)、“O”型密封圈(10)组成，其中差压主体(1)和引脚(7)通过玻璃绝缘子(9)烧结一起，瓷片(6)和差压主体(1)通过胶粘接一起，芯片(5)和瓷片(6)粘接一起，芯片(5)和引脚(7)由金丝(8)通过超声焊接一起，焊环(2)、膜片(3)和差压主体(1)通过激光焊接一起，腔体内部充满硅油(4)。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 02220467 CN2540628Y (zh) | 2002-05-10 | 2002-05-10 | 双面冲油、膜片结构的硅压阻式压力传感器 |
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| CN 02220467 CN2540628Y (zh) | 2002-05-10 | 2002-05-10 | 双面冲油、膜片结构的硅压阻式压力传感器 |
Publications (1)
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| CN2540628Y true CN2540628Y (zh) | 2003-03-19 |
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| CN (1) | CN2540628Y (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102435341A (zh) * | 2011-10-28 | 2012-05-02 | 山东昌润科技有限公司 | 复合型温度压差传感器 |
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2002
- 2002-05-10 CN CN 02220467 patent/CN2540628Y/zh not_active Expired - Fee Related
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