CN204269283U - 一种基于双soi压力芯体高温差压传感器结构 - Google Patents
一种基于双soi压力芯体高温差压传感器结构 Download PDFInfo
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Abstract
本实用新型属于差压测量技术,涉及一种双SOI压力芯体高温差压传感器结构。本实用新型差压传感器结构由接管嘴、SOI压力芯体、补偿电路板、外筒和电连接器组成,SOI压力芯体焊接在接管嘴的安装孔内,其中一个SOI压力芯体与负压测量端连通,另一个SOI压力芯体与正压测量端连通,实现正负差压压力测量,补偿电路板焊接在压力芯体的对应引脚上,外筒与接管嘴激光焊接固定,同时电连接器与外筒激光焊接固定,补偿电路板的输出端与电连接器连接,外筒内腔灌封胶,接管嘴的凹槽内采用O型密封圈对正反压力端密封。本实用新型适用于气液等介质差压压力的测量方案,满足传感器小型化的要求,可实现高精度、宽量程的高温差压测量。
Description
技术领域
本实用新型属于差压测量技术,涉及一种基于双SOI压力芯体高温差压传感器结构。
背景技术
目前国内外一些生产硅压阻式差压传感器的公司,都采用单面充硅油表压芯体,这种芯体做为差压器件,它的测量介质正面是液体,反面只能是干燥的气体,防腐性能差,而且安装比较困难。另外,部分公司采用了双面充油双面膜片结构的硅压阻式压力传感器,该结构两端都可以测量液体,防腐性能强、但同样也存在安装比较困难,不利于传感器小型化以及客户特殊定制要求。
这些差压传感器都有一定的局限性,尤其是在高温、测量对象为腐蚀性气/液介质、安装空间狭小的测量场合,需要小型化、高温差压传感器,就必须考虑传感器的体积和安装方式。
实用新型内容
本实用新型的目的是:提供一种设计灵活、易于小型化,且测量范围大的基于双SOI压力芯体差压传感器结构。
本实用新型的技术方案是:一种基于双SOI压力芯体高温差压传感器结构,其包括两个独立的SOI压力芯体、接管嘴、补偿电路板,其中,所述两个独立的SOI压力芯体设置在接管嘴的两个压力腔内,所述两个压力腔分别连接外部负压和正压,另外,补偿电路板设置在两个SOI压力芯体的输出端,并连接电连接器。
包括用于封装两个独立的SOI压力芯体及补偿电路板,并与接管嘴密封对接的外筒。
外筒内部进行灌胶密封固定。
接管嘴上采用O型密封圈对正反压力端进行密封。
两个独立的SOI压力芯体与压力腔之间通过间隙配合,并用焊料填充密封固定。
两个SOI压力芯体的输出分别取一半作为一个新的电桥输入,形成差分电桥结构。
本实用新型的优点是:本实用新型基于双SOI压力芯体差压传感器结构利用两个分别与正压和负压连通的SOI压力芯体实现正负差压压力测量,并由补偿电路进行补充,其体积小、高温介质压力可测、精度高、可反复使用。另外,只要SOI压力芯体连接不同压力,位置设计灵活,特别适用于气液等介质差压压力的测量方案,满足传感器小型化的要求,可实现高精度、宽量程的高温差压测量。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图,
图中1是接管嘴,2是SOI压力芯体,3是补偿电路板,4是外筒,5是电连接器。
具体实施方式
下面对本实用新型做进一步详细说明。
请参阅图1,本实用新型基于双SOI压力芯体差压传感器结构包括由两个独立的SOI压力芯体2、补偿电路板3和电连接器5等构成的内部压力传感器部分和由接管嘴1和外筒4构成的外部防护结构,其整体结构紧凑,体积小,便于安装。
所述两个独立的SOI压力芯体2为高温硅压阻压力芯体,分别设置在接管嘴1的两个独立连通正压和负压的压力腔内,并与正压通通和负压通道构成了高温差压敏感组件,另外,两个SOI压力芯体的输出分别取一般作为一个新的电桥输入,形成一差分电桥结构。所述补偿电路板3无源温度补偿电路,设置在连通正压的SOI压力芯体2一侧,对双SOI压力芯体组成的电桥进行温度补偿和零位、满量程输出调整。连接负压的SOI压力芯体2输出端则经导线连接电连接器。所述外筒内腔灌封胶,确保补偿电路板与导线的安全固定。接管嘴1表面凹槽内采用O型密封圈对正反压力端密封。
本实用新型基于双SOI压力芯体差压传感器结构具有双SOI压力芯体感压、双芯体差分电桥和O型圈密封正、负压力输入端结构,可在高温环境下,通过正、负压力输入端将测量介质引入压力芯体测量面,实现高温差压精确测量的目的。当压力P1通过接管嘴1的正压入口到达SOI压力芯体2,压力P2通过接管嘴1的负压入口到达SOI压力芯体2时,压力芯体的量程根据测量压力确定,双SOI压力芯体分别感受正负压力,输出电压信号,通过将双SOI压力芯体的电桥组合,形成差分电桥结构,差分电桥输出的电压与P1-P2成线性比例关系,通过补偿电路3将差分电压信号进行温度补偿,并调整好零位和满量程输出,用外筒将压力芯体和补偿电路板封闭保护,电压信号通过导线与电连接器连接对外输出信号,从而实现150°以上高温差压测量,且测量精度高,量程宽。
Claims (6)
1.一种基于双SOI压力芯体高温差压传感器结构,其特征在于,包括两个独立的SOI压力芯体(2)、接管嘴(1)、补偿电路板(3),其中,所述两个独立的SOI压力芯体(2)设置在接管嘴的两个压力腔内,所述两个压力腔分别连接外部负压和正压,另外,补偿电路板(3)设置在两个SOI压力芯体(2)的输出端,并连接电连接器(5)。
2.根据权利要求1所述的传感器结构,其特征在于,包括用于封装两个独立的SOI压力芯体(2)及补偿电路板(3),并与接管嘴密封对接的外筒。
3.根据权利要求2所述的传感器结构,其特征在于,外筒内部进行灌胶密封固定。
4.根据权利要求1所述的传感器结构,其特征在于,接管嘴上采用O型密封圈对正反压力端进行密封。
5.根据权利要求1所述的传感器结构,其特征在于,两个独立的SOI压力芯体(2)与压力腔之间通过间隙配合,并用焊料填充密封固定。
6.根据权利要求1所述的传感器结构,其特征在于,两个SOI压力芯体的输出分别取一半作为一个新的电桥输入,形成差分电桥结构。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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CN201420702254.3U CN204269283U (zh) | 2014-11-20 | 2014-11-20 | 一种基于双soi压力芯体高温差压传感器结构 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN109489986A (zh) * | 2018-11-21 | 2019-03-19 | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 | 一种发动机用双通道压力传感器 |
CN114636506A (zh) * | 2022-03-22 | 2022-06-17 | 厦门乃尔电子有限公司 | 一种双余度差压传感器 |
CN114646420A (zh) * | 2022-05-19 | 2022-06-21 | 成都倍芯传感技术有限公司 | 一种高可靠性的压力变送器 |
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