CN2540627Y - 一体化安装结构的硅压阻式压力传感器 - Google Patents
一体化安装结构的硅压阻式压力传感器 Download PDFInfo
- Publication number
- CN2540627Y CN2540627Y CN 02220466 CN02220466U CN2540627Y CN 2540627 Y CN2540627 Y CN 2540627Y CN 02220466 CN02220466 CN 02220466 CN 02220466 U CN02220466 U CN 02220466U CN 2540627 Y CN2540627 Y CN 2540627Y
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- main body
- pin
- compensating plate
- welded
- utility
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
本实用新型涉及的是一种是由硅压力芯体和外部接口封装的采用螺纹一体化安装结构的硅压阻式压力传感器,被测介质的压力是通过外部接口传递给硅压力芯体。属于仪表测量技术领域。由螺纹、主体和焊环、膜片、硅油、芯片、瓷环、垫片、补偿板、引脚、引线组成,其中引脚和主体通过玻璃绝缘子烧结一起,瓷环安装在引脚上,芯片粘贴在主体的中心部位,芯片和引脚由金丝通过超声焊接一起,主体、焊环和膜片由激光焊接一起,垫片垫在补偿板的下面,补偿板安装在引脚上用锡焊在一起,引线焊在补偿板上,主体上有两个安装孔。本实用新型的优点:由于主体上有两个安装孔,并用的是M20X1.5螺纹,所以安装方便,它不但可安装在进压头上组成标准信号输出的变送器,而且也可安装在压力测试点上。
Description
技术领域
本实用新型涉及的是一种是由硅压力芯体和外部接口封装的采用螺纹一体化安装结构的硅压阻式压力传感器,被测介质的压力是通过外部接口传递给硅压力芯体。属于仪表测量技术领域。
背景技术
国内外许多生产硅压阻式力传感器的公司,如国外公司有Foxboro、Keller、Nova等,国内有宝鸡麦克传感器有限公司,都采用活塞式安装方式,它是通过螺丝压紧硅压力芯体,具体结构是由压环、硅压力芯体、进压头、“O”型密封圈组成。其中硅压力芯体的密封是由靠“O”型圈来密封,这就要求对进压头和硅压力芯体的配合尺寸、金工件的光洁度要求比较严格。这对制造生产、使用带来了诸多的不便。
发明内容
本实用新型的目的在于针对上述结构硅压力芯体,封装方式存在的缺点,提出一种制造生产、使用安装方便的螺纹一体化安装结构的硅压阻式压力传感器。本实用新型的技术解决方案:由螺纹、主体和焊环、膜片、硅油、芯片、瓷环、垫片、补偿板、引脚、引线组成,其中引脚和主体通过玻璃绝缘子烧结一起,瓷环安装在引脚上,芯片粘贴在主体的中心部位,芯片和引脚由金丝通过超声焊接一起,主体、焊环和膜片由激光焊接一起,垫片垫在补偿板的下面,补偿板安装在引脚上用锡焊在一起,引线焊在补偿板上,主体上有两个安装孔。本实用新型的优点:由于主体上有两个安装孔,并用的是M20X1.5罗纹,所以安装方便,它不但可安装在进压头上组成标准信号输出的变送器,而且也可直接安装在压力测试点上。
附图是本实用新型的结构示意图
图中的1是螺纹(M20X1.5)、2是主体、3是焊环、4是膜片、5是硅油、6是芯片、7是瓷环、8是垫片、9是补偿板、10是引脚、11是引线、12是安装孔。
具体实施方法
本实用新型采用螺纹一体化安装结构方式。由硅压力芯体、“O”型圈、压力接头三部分组成。引脚10和主体2通过玻璃绝缘子烧结一起,瓷环7安装在引脚上,芯片6粘贴在主体2的中心部位,芯片6和引脚10由金丝通过超声焊接一起,主体2、焊环3和膜片4由激光焊接一起,垫片8垫在补偿板9的下面,补偿板9安在引脚10上用锡焊在一起,引线11焊在补偿板上用于测试。主体2上有两个安装孔12,有M20X1.5螺纹安装极其方便,安装在进压头上组成标准信号输出的变送器上,也可安装在压力测试点上。
Claims (1)
1、一体化安装结构的硅压阻式压力传感器,其特征是由螺纹(1)、主体(2)和焊环(3)、膜片(4)、硅油(5)、芯片(6)、瓷环(7)、垫片(8)、补偿板(9)、引脚(10)、引线(11)组成,其中引脚(10)和主体(2)通过玻璃绝缘子烧结一起,瓷环(7)安装在引脚(10)上,芯片(6)粘贴在主体(2)的中心部位,芯片(6)和引脚(10)由金丝通过超声焊接一起,主体(2)、焊环(3)和膜片(4)由激光焊接一起,垫片(8)垫在补偿板(9)的下面,补偿板(9)安装在引脚(10)上用锡焊在一起,引线(11)焊在补偿板(9)上,主体(2)上有两个安装孔(12)。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN 02220466 CN2540627Y (zh) | 2002-05-10 | 2002-05-10 | 一体化安装结构的硅压阻式压力传感器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN 02220466 CN2540627Y (zh) | 2002-05-10 | 2002-05-10 | 一体化安装结构的硅压阻式压力传感器 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN2540627Y true CN2540627Y (zh) | 2003-03-19 |
Family
ID=33698749
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN 02220466 Expired - Fee Related CN2540627Y (zh) | 2002-05-10 | 2002-05-10 | 一体化安装结构的硅压阻式压力传感器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN2540627Y (zh) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN100390516C (zh) * | 2004-03-04 | 2008-05-28 | 株式会社电装 | 压力传感器 |
CN101975637A (zh) * | 2010-07-28 | 2011-02-16 | 杭州博翔传感器有限公司 | 紧凑型汽车压力变送器及制造工艺 |
CN102539063A (zh) * | 2011-12-16 | 2012-07-04 | 西安交通大学 | 一种soi矩形膜结构高压传感器芯片 |
WO2013159583A1 (zh) * | 2012-04-28 | 2013-10-31 | 浙江三花股份有限公司 | 热交换设备及其压力传感器 |
CN104359596A (zh) * | 2014-11-04 | 2015-02-18 | 徐兴才 | 一种齐平膜压阻式陶瓷压力传感器 |
CN108005666A (zh) * | 2016-11-02 | 2018-05-08 | 上海朝辉压力仪器有限公司 | 土仓土压变送器 |
CN108375428A (zh) * | 2018-01-04 | 2018-08-07 | 南京沃天科技有限公司 | 一种采用无胶结构固定绝压芯片的压力传感器 |
CN109540374A (zh) * | 2019-01-10 | 2019-03-29 | 中南大学 | 超声烧结封装装置 |
-
2002
- 2002-05-10 CN CN 02220466 patent/CN2540627Y/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN100390516C (zh) * | 2004-03-04 | 2008-05-28 | 株式会社电装 | 压力传感器 |
CN101975637A (zh) * | 2010-07-28 | 2011-02-16 | 杭州博翔传感器有限公司 | 紧凑型汽车压力变送器及制造工艺 |
CN102539063A (zh) * | 2011-12-16 | 2012-07-04 | 西安交通大学 | 一种soi矩形膜结构高压传感器芯片 |
CN102539063B (zh) * | 2011-12-16 | 2013-10-16 | 西安交通大学 | 一种soi矩形膜结构高压传感器芯片 |
WO2013159583A1 (zh) * | 2012-04-28 | 2013-10-31 | 浙江三花股份有限公司 | 热交换设备及其压力传感器 |
CN104359596A (zh) * | 2014-11-04 | 2015-02-18 | 徐兴才 | 一种齐平膜压阻式陶瓷压力传感器 |
CN104359596B (zh) * | 2014-11-04 | 2018-04-27 | 无锡盛赛传感科技有限公司 | 一种齐平膜压阻式陶瓷压力传感器 |
CN108005666A (zh) * | 2016-11-02 | 2018-05-08 | 上海朝辉压力仪器有限公司 | 土仓土压变送器 |
CN108375428A (zh) * | 2018-01-04 | 2018-08-07 | 南京沃天科技有限公司 | 一种采用无胶结构固定绝压芯片的压力传感器 |
CN108375428B (zh) * | 2018-01-04 | 2020-08-28 | 南京沃天科技有限公司 | 一种采用无胶结构固定绝压芯片的压力传感器 |
CN109540374A (zh) * | 2019-01-10 | 2019-03-29 | 中南大学 | 超声烧结封装装置 |
CN109540374B (zh) * | 2019-01-10 | 2024-03-15 | 中南大学 | 超声烧结封装装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN2938053Y (zh) | 新型硅压力传感器 | |
CN2540627Y (zh) | 一体化安装结构的硅压阻式压力传感器 | |
WO2011150691A1 (zh) | 汽车通用压力传感器 | |
CN100371696C (zh) | 压阻式高频动态高压传感器 | |
CN100394154C (zh) | 压阻式高频动态低压传感器 | |
CN201107149Y (zh) | 高可靠电子式汽车压力传感器 | |
CN2839604Y (zh) | 监测温度和压力的合体传感器装置 | |
CN101470034B (zh) | 风载荷压力传感器 | |
CN112082688B (zh) | 一种应变式压力传感器的绝压封装结构 | |
CN204679198U (zh) | 便装式溅射薄膜压力传感器 | |
CN204679199U (zh) | 分体式溅射薄膜压力传感器 | |
CN201251495Y (zh) | 压力传感器用基座 | |
CN201707160U (zh) | 压阻式压力传感器一体化基座 | |
CN104344923A (zh) | 一种汽车压力传感器及其制作方法 | |
CN2767983Y (zh) | 多功能硅压阻复合传感器 | |
CN2539161Y (zh) | 法兰结构的硅压阻式压力传感器 | |
CN201075018Y (zh) | 声波接收传感器 | |
CN2540628Y (zh) | 双面冲油、膜片结构的硅压阻式压力传感器 | |
CN202083516U (zh) | 基于微熔技术压力传感器 | |
CN214334119U (zh) | 一种可减缓冲击力的压力传感器 | |
CN112729660B (zh) | 一种双通道压力敏感芯体 | |
CN217765303U (zh) | 一种带防水功能的压力传感器 | |
CN204165688U (zh) | 一种汽车压力传感器 | |
CN2563562Y (zh) | 差压传感器 | |
CN201522351U (zh) | 小型弹簧管压力表 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
C19 | Lapse of patent right due to non-payment of the annual fee | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |