CN2505846Y - 石英晶片频率自动选分装置 - Google Patents
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- 239000010453 quartz Substances 0.000 title claims abstract description 19
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 19
- 239000013078 crystal Substances 0.000 title description 10
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 36
- 239000000835 fiber Substances 0.000 claims description 11
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 11
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 4
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 abstract 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000009966 trimming Methods 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000009514 concussion Effects 0.000 description 1
- 239000002178 crystalline material Substances 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 1
- 230000024241 parasitism Effects 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
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- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种石英晶片频率自动选分装置。它由上料装置、测量装置、分料装置构成,其特征是测量装置由上下平行的测量板和间隙调整垫块构成,光纤传感器设置于测量头内部。本实用新型实现了对晶片采用扫频测量,可同时检测晶片的频率,寄生频率以及活力情况。可在屏幕时实显示晶片谐振波形,包括主振、寄生、频率、活力情况。且分档方法灵活,可以按照晶片的频率、活力、寄生情况直接分档,每挡参数可独立设置,适用于与生产工艺相结合。
Description
技术领域:
本实用新型涉及一种晶体测频装置,特别是一种石英晶片频率自动选分装置。
背景技术:
石英晶体是目前世界上用量最大的晶体材料,利用石英晶体本身具有的物理特性制造的电子元件,如石英晶体谐振器、晶体滤波器、晶体振荡器等,具有很高的频率稳定性,作为频率基准或频率源,在数字电路、计算机、通讯等领域得到了广泛应用。石英晶体是制作石英晶体元件的基体,在生产加工过程中需要对晶片的参数,特别是谐振频率,做多次检测和分类,因此,石英晶片频率参数的自动选分系统成为生产石英晶体产品必不可少的设备。
现有的石英晶片自动选分装置以南京熊猫电子股份有限公司的产品“石英晶片动态测频分选装置”(ZL 97235567)为代表,它主要由控制器和测频分选装置构成,测频分选装置的震荡槽位于定向送料器的出料端,用间隙微调支架实现上下电极的间隙调整。采用计算机连续密集采样和极值判断的方式测频,定向送料器的出料端下方连接有能分离正品、废品的出料分选装置。
上述设备使石英晶片频率的检测和选分实现了自动化,并且和日本SANSEL DENSHI公司生产的AT QUART BLANK SORTING SYSTEM MODELAT-24AS-F型转移式静态环境测频自动分选系统装置相比,有了较大改进,具有机械结构简单,晶片破损率降低,分选速度快等优点,但存在以下缺陷:
1.测频范围窄,对于高基频晶片频率测量不准。
2.晶片分档间隔固定,无法对每盒选分频率范围进行独立设定。
3.只检测晶片主振频率,无法检测晶片其他参数,如寄生情况,活力情况等,而这些参数直接影响晶片质量。
4.晶片定位是靠测量回路的反馈信号实现,定位不准确,容易出现过双片现象。
5.操作人员通过间隙微调支架调整上下电极的间隙,调整受人为因素影响较大。对于同一规格的晶片,由于每次调整的间隙不同,容易造成测量误差。
发明内容:
本实用新型的目的在于提供一种测频范围宽,测量准确,定位精确,测量间隙调整准确方便、并可以可检测晶片的相对活力和寄生情况的石英晶片频率自动选分装置。
本实用新型的技术方案如下:
一种石英晶片频率自动选分装置,包括上料装置、测量装置和分料装置,测量装置包括测量头和光纤传感器,其特征在于:上料装置由圆振(11)和直线料道(12)组成,直线料道(12)位于圆振(11)的出口端,其方向是沿圆振(11)的切线方向;测量装置包括测量头和光纤传感器,光纤传感器(14)设置于测量头内部的中心位置,测量头由上下平行的测量板(13)、(15)和间隙调整垫块(16)构成,上测量板(13)与调整垫块(16)通过螺钉连接为一体,固定在直线料道(12)出口端的螺丝口上;分料装置由出料口(17)、接料盘(18)、分料器(19)、料盒(20)组成,出料口(17)的一端位于直线料道(12)的出料端下方,出料口(17)的另一端对准接料盘孔。
测量装置采用数字直接频率合成的扫频测量方式检测晶片频率,计算机实时采集测量数据并判断晶片特征频率,同时可检测晶片的寄生频率以及活力情况。
本实用新型与现有实技术相比,显著优点是:1.测量频率范围宽,对高基频晶片的测量尤其具有优势。2.可检测晶片的相对活力和寄生情况,把电阻大和寄生严重的产品直接剔除。3.可在屏幕时实显示晶片谐振波形,包括主振、寄生、频率、活力情况。4.该系统下料采用中继料盒形式,中继料盘匀速转动、晶片平稳滑落,保证晶片无破损。5.采用光纤传感器定位,保证晶片中心自动定位在测量头中心,避免了因位置偏差引起的测量误差。6.测量间隙调整准确方便,具有一致性,避免了人为调整误差,并能很好保持上下测量板之间的平行度。7.分档方法灵活,其特点在于每挡参数可独立设置,适用于与生产工艺相结合。8.料斗振动的频率和幅度采用数字调节方式,性能稳定,不受环境温度影响。
上料装置由于振动使晶片产生行进式移动,保证晶片单片行进到测量头下面。测量头由上测量板、下测量板和光纤传感器共同组成,上下测量板之间有一定间隙,允许晶片单片通过。当光纤传感器探测到一片晶片时,此时晶片正好位于上下测量板中心,上料装置停止振动,测量装置在上下测量板之间产生振荡信号,使晶片起振,计算机采集测量数据并判断晶片特征频率。测量完毕后直线料道恢复振动,晶片落入分料装置中;电机带动接料盘与分料器继续顺时针转动,当装有A档晶片的分料器转动至A料盒上方时,此电磁铁与分料器挡片吸合,晶片即滑落到此料盒中。
附图说明:
图1是本实用新型的总体结构示意图;
图2是本实用新型的上料装置示意图;
图3是本实用新型的测量及测量头间隙调整装置示意图;
图4是本实用新型的分料装置示意图。
具体实施方式:
如图1所示:石英晶片频率自动选分装置的整体结构,包括显示器1,打印机2,上料装置3,测量盒4,分料装置5,控制盒6,机身7,工作台面8,地脚9,报警灯10,其中,工作台面8具体分为上台面8A、中台面8B、下台面8C三个台面,显示器1位于上台面8A上,打印机2放置于中台面8B上,测量盒4和控制盒6固定面,即主工作台面上,分料装置5与机身7内部的电机连为一体,上料装置3直接放置在主工作台面上。可以看到,石英晶片频率自动选分装置,主要由上料装置、测量装置、分料装置三大部分构成。
图2为上料装置3的结构图;如图2所示,上料装置由圆振11和直线料道12组成,其功能是使晶片产生行进式移动,保证晶片自动行进到测量头下面。
如图3所示,测量及测量头间隙调整装置,由上下平行的测量板13、15和光纤传感器14组成。光纤传感器14设置于下测量板15内部中心位置,上下测量板之间设有间隙调整垫块16。光纤传感器14的作用是使晶片准确定位在上下测量板的中心位置,间隙调整垫块16的作用是使上下测量板之间保持一定间隙。由于被测晶片的规格不同,需要的测量间隙不同,通过更换间隙调整垫块,得到所需的测量间隙。
如图4所示,分料装置由出料口17、接料盘18、分料器19、料盒20组成,测量完毕时,晶片从出料口17经接料盘18落入分料器19中;电机带动接料盘18与分料器19继续顺时针转动,当装有A档晶片的分料器转动至A料盒上方时,此电磁铁与分料器挡片吸合,晶片即滑落。
Claims (2)
1、一种石英晶片自动测频分选装置,包括上料装置、测量装置、分料装置,测量装置包括测量头和光纤传感器,其特征在于:光纤传感器(14)设置于测量头内部。
2、根据权利要求1所述的石英晶片自动测频分选装置,其特征在于:测量头由上下平行的测量板(13)、(15)和间隙调整块(16)构成,通过更换间隙调整块(16)来调整测量间隙。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN 01271098 CN2505846Y (zh) | 2001-11-22 | 2001-11-22 | 石英晶片频率自动选分装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN 01271098 CN2505846Y (zh) | 2001-11-22 | 2001-11-22 | 石英晶片频率自动选分装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN2505846Y true CN2505846Y (zh) | 2002-08-14 |
Family
ID=33676597
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN 01271098 Expired - Fee Related CN2505846Y (zh) | 2001-11-22 | 2001-11-22 | 石英晶片频率自动选分装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN2505846Y (zh) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102832897A (zh) * | 2012-08-31 | 2012-12-19 | 铜陵日科电子有限责任公司 | 石英晶体微调检测系统 |
CN107490427A (zh) * | 2017-08-25 | 2017-12-19 | 歌尔股份有限公司 | 马达振动检测装置 |
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2001
- 2001-11-22 CN CN 01271098 patent/CN2505846Y/zh not_active Expired - Fee Related
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C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
C56 | Change in the name or address of the patentee |
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