CN2461643Y - 椭圆隔板式喷淋吸收废气处理装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种椭圆隔板式喷淋吸收废气的处理装置,其中喷淋吸收塔的内壁在横截面上呈椭圆形,纵向上有一隔板,该隔板将塔内分成两个处理室,每个室有一喷淋装置,其内充填多密球充填物,所述隔板与塔底部内壁间有一气水相通的通道。所述处理装置还包括经通风管道与风机相通的用于向塔内输入废气的进气口,一个输出处理后废气的排放口,与喷淋装置连接的是喷淋循环装置。本实用新型的装置具有处理效果好、结构简单、易操作等优点。

Description

椭圆隔板式喷淋吸收废气处理装置

本实用新型涉及用于电子工业废气处理的椭圆隔板式喷淋吸收废气处理装置。

在半导体材料和器件生产过程中将排放大量的废气，这些废气中以砷、磷、硫、氟及氮氧化合物等最多。如果将上述废气任意排放，将会对大气造成严重的污染，其后果难以想象。因此，在电子工业，特别是半导体材料和器件生产过程中对上述的废气的治理是刻不容缓的。

治理上述废气都是采用喷淋装置，并力入氧化剂和碱混合物吸收，亦即将各种形态的砷、磷等分别氧化为AsO₄ ^3-和PO₄ ^3-等，其中使用的氧化剂为KMnO₄或H₂O₂。在喷淋装置内主要完成的反应为：

气相的各种酸蒸汽，如H₃AsO₃,H₂SO₄,HNO₃,HCl,HF等均能与喷淋液中的碱中和成盐，处理后的溶液，排入废水池中统一处理。

为实现上述反应，目前国内外的治理设备均为单一圆柱体或双筒串联喷淋塔，这类喷淋塔当气体通过时由于内阻大，处理效果不好，且还存在占地面积大的缺点。另外也有方形的上进气上喷淋的顺流式喷淋塔，它存在有死角，吸收不完全的缺点，因此，效果欠佳。

本实用新型的目的在于提供一种椭圆隔板式喷淋吸收废气处理装置。

本实用新型的上述目的是通过以下解决方案实现的。

按照本实用新型的椭圆隔板式喷淋吸收废气处理装置包括一个喷淋吸收塔，塔的上部一侧具有一个进风口，该口经进风管道与风机相通，另一侧有一排风口，塔内上部装有喷淋装置，该装置经连接到塔外的第一管道，循环泵，第二管道和塔下部的引出管形成喷淋循环装置，所述的塔内放有多密球填料，其特征在于所述的塔内壁的横截面呈椭圆形，所述的塔内有一垂直放置的隔板，该板将所述塔的内腔分成两个处理室，每个室内置有一喷淋装置并放有多密球填料，所述的板与所述的喷淋吸收塔底部的内壁之间具有气水相通的通道。

按照本实用新型的椭圆隔板式喷淋吸收废气处理装置，当被处理的废气经风机加压从进风口进入喷淋吸收塔后将沿进风口与隔板一侧向塔的下部方向，亦即按顺流方向前进，其间与顶部的喷淋装置喷洒成雾状的药物相接触并通过多密度填料的吸收。当废气到达底部后，由于进风口与隔板间的压力大于隔板与排风口间的压力，它只能通过隔板与塔底部内壁间的通道由塔的底部向塔的另一侧上部前进，亦即按气水逆流方向前进，废气在向上运动的过程中再通过多密球填料和与另一组装在顶部的喷淋装置喷洒成雾状的药物相接触，最后由排气口排出至大气。

按照上述的气路与已有技术相比较具有气液接触面积大，延长了汽水的接触时间，处理效果好。解决了一般的上进气上喷水结构气体容易短流，处理效果差的缺点。还具有气流通过下部的通道顺畅，阻力小，只有双塔串联中间连接管阻力的1/5(8.8Pa∶42.8Pa)，结构简单、合理。与已有技术的喷淋吸收塔相较，在同样的抽风量的条件下可选用低速风机，节电。喷淋装置由于采用多个乳头交叉喷洒，不存在死角。本实用新型的椭圆隔板式喷淋吸收废气处理装置还具有占地面积小、维修方便、易操作、运行稳定等优点，且在处理废气的能力上远高于已有技术的其它结构的装置。经环保部门检测认为本装置是理想的废气处理装置。

本实用新型的上述目的和其它目的及其优点通过下面结合附图所示实施例的详细说明将会更加清楚，附图有：

图1是按照本实用新型的椭圆隔板式喷淋吸收废气处理装置的正视图；

图2是图1的俯视图；

图3是按Ⅲ-Ⅲ剖面线的剖视图；

图4是按Ⅳ-Ⅳ剖面线的剖视图；

参照附图，按照本实用新型椭圆隔板式喷淋吸收废气处理装置包括一个喷淋吸收塔1，该塔的横向截面呈椭圆形。按照本实用新型的一个优选实施例，该椭圆形的横轴和纵轴长度分别为2m和1m。塔的上部一侧开有通风口2，该口经法蓝3与进风管4的一端相连，其另一端经法蓝5与风机6相连。半导体材料或器件制备时的废气经风机6、进风管4和进风口2送入喷淋吸收塔1。塔的上部另一侧开有排风口7。进入塔1的废气经处理后由该口排出。喷淋吸收塔1内具有两个分别供下面将要说明的两个处理室用的喷淋装置9和9′，喷淋装置9,9′分别出多个相通的圆管10组成，每个圆管上有多个乳头11，从而形成交叉的雾状喷洒，解决了死角问题。喷淋装置的另一端通过第一管道12,12′引出塔外，再经循环泵13，第二管道15与塔1底部的引出管19相接，以形成喷淋循环装置。

喷淋吸收塔1内有一块隔板17，该隔板自上向下，它在塔内顶部与塔1是气密的，而在塔的下部与塔1的底部之间形成一气水相通的通道，从而形成两个相通的处理室，每个室内还充填有具吸收作用的多密球填料18，填料18的充填高度必须保证进入喷淋吸收塔1内的废气能充分地受到喷淋装置9,9′的喷淋。按照本实用新型的一个实施例，塔高为2.78m，填料的高度为1.5m。

喷淋吸收塔1的侧面有一进药管8，处理废气用的药物通过该管送入塔内。进药管8的下面有一观察窗16，该窗的作用有两个方面，一是在处理废气时操作者可通过该孔观察处理运行是否正常；二是在处理装置维护时可打开观察窗更换多密球填料，因此，观察窗16与喷淋吸收塔1之间是气密的。

喷淋吸收塔1的下部还有一水位计14，用于检测塔内水位。一旦喷淋装置9,9′循环的含药物的水过少时可从水位计14上检测到，并通过进药口8补充。

按照本实用新型的椭圆隔板式喷淋吸收废气处理装置，塔的内衬为玻璃钢，吸收液循环泵为玻璃钢耐腐蚀泵，如40FS-20。其它受腐蚀介质接触的另件均采用改性环氧玻璃纤维增强塑性材料制成。因此，能输送0-120℃的各种腐蚀性液体。

经测试，按照本实用新型的椭圆隔板式废气吸收处理装置的出口测试结果列于下列表中：

              表一排放口排放的不同废气浓度(mg/m³)

氯化氢浓度	氟物物浓度	氮氧化合物浓度	硫酸雾浓度	砷化物浓度	磷化物浓度
						0.037	0.010	0.045	0.082	0.004	0.017

        表二废气处理前后杂质浓度比

氮氧化物		氯化物		氟化物		硫酸物
								前	后	前	后	前	后	前	后
0.98	0.045	0.24	0.037	0.16	0.010	0.23	0.082

均符合GB-16297-96大气污染物排放标准。

申请人已就本实用新型的构思和实施例作出详细说明，本专业的技术人员在此基础上可以作出各种变换和改进，但这些变换和改进都没有脱离本实用新型的精神，都在权利要求书限定的保护范围内。

Claims (5)

1．椭圆隔板式喷淋吸收废气处理装置，包括一个喷淋吸收塔，塔的上部一侧具有一个进气口，该口经进风管道与风机相通，另一侧有一排风口，塔内上部装有喷淋装置，该装置经连接到塔外的第一管道，循环泵，第二管道和塔下部的引出管形成喷淋循环装置，所述的塔内放有多密球填料，其特征在于所述的塔内壁的横截面呈椭圆形，所述的塔内有一垂直放置的隔板，该板将所述塔的内腔分成两个处理室，每个室内置有一喷淋装置并放有多密球填料，所述的板与所述的喷淋吸收塔底部的内壁之间具有气水相通的通道。

2．根据权利要求1所述的处理装置，其特征在于所述的呈椭圆形的横截面的长轴为2m，短轴为1m，塔内高2.78m，填料高度为1.5m。

3．根据权利要求1所述的处理装置，其特征在于所述的吸收液循环泵为玻璃钢耐腐蚀泵，其它受腐蚀介质接触的零件均采用改性环氧玻璃纤维增强塑性材料制成。

4．根据权利要求1所述的处理装置，其特征在于所述的喷淋装置由多根相通的圆管制成，每个圆管上有多个能形成交叉喷雾的乳头。

5．根据权利要求1所述的处理装置，其特征在于所述的还包括一个进药管，一个观察窗和一个水位计。

Images